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[0001] ±¾ÉêÇëÉæ¼°Ðźżì²âÒÇÆ÷ÁìÓò£¬Ò»ÖÖÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ôλ±íÕ÷ ÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýµÄ×°Öá£
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[0002] ÔÚÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µ£¨Atomic force microscope)»ù´¡ÉÏ·¢Õ¹ÆðÀ´µÄɨÃè̽ÕëÏÔ΢ ¾µ£¨Scanning Probe Microscopy, SPM)ÒѳÉΪµ±Ç°¿ªÕ¹ÄÉÃ׿ÆÑ§Óë¼¼ÊõÑо¿µÄÖØÒªÊÖ¶ÎÖ® Ò»£¬Ä¿Ç°ÉÌÓÃSPM¹¦ÄÜģʽÖ÷Òª°üÀ¨É¨ÃèËíµÀÏÔ΢¾µ£¨STM)¡¢É¨Ãè½ü³¡¹âѧÏÔ΢¾µ¡¢Ô×ÓÁ¦ ÏÔ΢¾µ¡¢¾²µçÁ¦ÏÔ΢¾µ¼°´ÅÁ¦ÏÔ΢¾µµÈ¡£SPM²»½ö¾ßÓм«¸ßµÄ¿Õ¼ä·Ö±æÂÊ£¨ÄÉÃ×¼¶ÉõÖÁÔ×Ó ¼¶£©£¬¿ÉʵÏÖÎïÖʱíÃæ¸ß·Ö±æÂʵĽṹ³ÉÏñ£»¶øÇÒ¿É̽²âÄÉÃ׳߶È΢½á¹¹ÓëÍⳡ»¥×÷ÓÃµÄ ¹¦ÄÜÏìÓ¦£¬´Ó¶ø¿ÉÔλ¡¢ÎÞË𡢸߷ֱæÂÊ»ñµÃÓë²ÄÁÏÄÉÃ׳߶ȽṹÏà¶ÔÓ¦µÄ¡¢µç¡¢´Å¡¢¹âµÈÐÔ ÄÜ¡£Òò´ËÔÚAFM»ù´¡ÉÏ·¢Õ¹ÆðÀ´µÄSPM¼¼Êõ¸øÄÉÃ׽ṹµÄ³¬¸ß·Ö±æÏÔ΢³ÉÏñ¡¢½á¹¹²Ù×ÝÒÔ ¼°ÓйØÄÉÃ×ÐÔÄܵÄÔλ±íÕ÷µÈ·½Ãæ´øÀ´Á˸ïÃüÐÔÍ»ÆÆ¡£Ëæ×ÅÄÉÃײÄÁÏºÍÆ÷¼þµÄÉîÈë·¢Õ¹£¬ Ñо¿ÓëÄÉÃ×ÈÈѧÏà¹ØµÄÎïÀíÐÔÄÜÏÔµÃÈÕÓúÖØÒª¡£ÓÉ´Ë£¬ÆÈÇÐÐèÒª·¢Õ¹Ò»ÖÖÄܹ»ÊµÏÖÄÉÃ×³ß ¶ÈÔλ¼ÓÈȵļ¼Êõ£¬ÒÔ¸üºÃµØÄܹ»¿ªÕ¹ÓëÄÉÃ×ÈÈѧÃÜÇйØÁªµÄÄÉÃ×ÎïÀí¹¦ÄÜÏìÓ¦µÄ±¾ÖÊÑÐ ¾¿¡£Õë¶Ô¸Ã¼±ÐèÐÔ£¬±¾ÉêÇë»ùÓÚAFMƽ̨£¬Ï£Íû·¢Õ¹Ò»ÖÖÄܹ»ÊµÏÖAFMµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈ鵀 ·½·¨ºÍ×°Ö㬲¢½ø¶øÊµÏָ÷½·¨ºÍ×°ÖÃÓ¦ÓÃÓÚÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÎ¢ÇøÈȵçÎïÀíÐÔÄܱíÕ÷£¬ÒÔ»ñ µÃÎ¢ÇøÈû±´¿ËϵÊýÎïÀí²ÎÁ¿µÄ³¬¸ß·Ö±æÔ붨Á¿±íÕ÷½á¹û¡£
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[0003] »ùÓÚĿǰÄÉÃײÄÁÏÎïÀíÐÔÄܱíÕ÷Ö®ÆÈÇÐÐèÇ󣬱¾ÉêÇë»ùÓÚAFMÄÉÃׯ½Ì¨·¢Õ¹ÁËÒ» ÖÖÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ×°Ö㬲¢³É¹¦Ó¦ÓÃÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÎ¢ÇøÈû±´¿ËϵÊýµÄ³¬¸ß ·Ö±æÔ붨Á¿±íÕ÷£¬ÎªÄÉÃײÄÁÏÓйØÓëÈÈѧÏà¹ØµÄÎïÀí¹¦ÄÜÏìÓ¦ÉîÈëÑо¿¼°ÓйØÄÉÃׯ÷¼þ µÄÎïÐÔÆÀ¼ÛÌṩÁËÒ»ÖÖÔÀí¼òµ¥¡¢²âÊÔÖ±½ÓµÄÔλÄÉÃ×±íÕ÷¼¼Êõ¡£
[0004] ±¾ÉêÇëÄ¿µÄÔÚÓÚÌṩһÖÖÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ôλ±íÕ÷ÄÉÃ×Èû±´¿Ë ϵÊýµÄ·½·¨£¬¸Ã·½·¨½«Ô×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µÄÉÃ×¼ì²â¹¦ÄÜ¡¢½¹¶úÈÈЧӦ¡¢ÈÈ´«µ¼Ð§Ó¦ºÍÈȵç²ÄÁÏÈû ±´¿ËÎïÀíЧӦÏà½áºÏ£¬½¨Á¢Æð»ùÓÚÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ô붨Á¿±íÕ÷ÄÉÃ×Èû ±´¿ËϵÊýµÄм¼Êõ¡£¸ÃÐÂÐÍÄÉÃ×·½·¨¾ßÓÐÄÉÃ׳߶ÈÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ôλͬ²½±íÕ÷µÄ¶ÀÌØ¹¦ÄÜ£¬ÇÒ ¾ßÓÐÄÉÃ×¼¶³¬¸ß·Ö±æÂÊ¡¢¸ßÁéÃô¶È¡¢¸ßÐÅÔë±È¡¢²âÊÔÖ±½ÓµÈÓŵ㡣±¾ÉêÇëËùÊöµÄ¹Ø¼ü¼¼Êõ×° Öýṹ¼òµ¥¡¢¼æÈÝÐÔÇ¿£¬ÊÊÓ벻ͬÉÌÓÃAFMϵͳÏà½áºÏ£¬ÊÇÒ»ÏîÒ×ÓÚÍÆ¹ãºÍÓ¦ÓõÄм¼Êõ¡£
[0005] ΪÁËʵÏÖÉÏÊö·¢Ã÷Ä¿µÄ£¬±¾·¢Ã÷¹«¿ªÁËÒ»ÖÖÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ô λ±íÕ÷ÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýµÄ×°Öã¬ÓÃÓÚÔλ¼ÓÈÈÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽Õë¡¢Ô붨Á¿±íÕ÷ÄÉÃ× Èȵç²ÄÁÏÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊý£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ËùÊö×°ÖýøÒ»²½°üÀ¨£º
[0006] -Ô×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÎÂÄ£¿é£¬ÓÃÓÚʵÏÖÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëµÄÔλ ¼ÓÈÈÒÔ¼°ÓëÆäÏ໥½Ó´¥µÄÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÎ¢Çø¼ÓÈÈ£»
[0007] -ÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýÔλ¼ì²âÄ£¿é£¬ÓÃÓÚÌṩ·¢Õ¹Ôλ±íÕ÷ÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊý×°ÖÃµÄ Ô×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µÆ½Ì¨£¬²¢ÔλʵÏÖËùÊöÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÄÉÃ×Èû±´¿ËµçѹÐźŵÄÔλ¼¤·¢ºÍÔλ ¼ì²â£¬²¢½ø¶ø»ñµÃÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýµÄÔ붨Á¿±íÕ÷½á¹û¡£
[0008] ±È½ÏºÃµÄÊÇ£¬±¾·¢Ã÷Ëù½ÒʾµÄÒ»ÖÖÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ôλ±íÕ÷ÄÉ Ã×Èû±´¿ËϵÊýµÄ×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬
[0009] ËùÊöÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÎÂÄ£¿é½øÒ»²½°üÀ¨£º
[0010] Ò» AFM̽ÕëÖ§¼Ü£¬Ò»¾øÔµµ××ù£¬Ò»Ì½Õëµ××ù£¬Ò»·¢ÈÈÌåÖ§¼Ü£¬Ò»·¢ÈÈÌ壬һ¼¤ÀøÔ´ºÍ Ò» AFMµ¼µç̽Õ룬ËùÊöAFMµ¼µç̽Õë°üÀ¨Ò»µ¼µç̽Õë΢Ðü±ÛºÍÒ»µ¼µç̽ÕëÕë¼â£¬ÆäÖУ¬ËùÊö AFM̽ÕëÖ§¼Ü¡¢ËùÊö¾øÔµµ××ù¡¢ËùÊö·¢ÈÈÌåÖ§¼Ü¡¢ËùÊö·¢ÈÈÌåÒÀ´ÎÏàÁ¬£¬ËùÊö̽Õëµ××ùÓëËùÊö ·¢ÈÈÌåÖ§¼Ü¶ÀÁ¢Æ½ÐÐÖÃÓÚËùÊö¾øÔµµ××ùÉϲ¢ÓëËùÊöµ¼µç̽Õë΢Ðü±ÛÏàÁ¬£¬ÊµÏÖËùÊöAFMµ¼ µç̽ÕëÎȶ¨°²Öã»ËùÊö·¢ÈÈÌåÖÃÓÚ¸ÕÐÔ±¡²ã½á¹¹×´µÄ·¢ÈÈÌåÖ§¼ÜÉϲ¢Ó뼤ÀøÔ´ÏàÁ¬£¬ÊµÏÖ ·¢ÈÈÌå·¢ÈȲ¢¶ÔÖÃÓÚÆäÉϲ¢½ôÃÜÁ¬½ÓµÄËùÊöµ¼µç̽Õë΢Ðü±Û½øÐмÓÈÈ£¬¸ÃÈÈÁ¿¾ËùÊöµ¼µç ̽Õë΢Ðü±Û´«µ¼ÓÚÓëÆäÒ»Ì廯Á¬½ÓµÄËùÊöµ¼µç̽ÕëÕë¼â£¬´Ó¶øÊµÏÖËùÊöµ¼µç̽ÕëÕë¼âÔλ ¼ÓÈÈ¡£
[0011] ±È½ÏºÃµÄÊÇ£¬±¾·¢Ã÷Ëù½ÒʾµÄÒ»ÖÖÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ôλ±íÕ÷ÄÉ Ã×Èû±´¿ËϵÊýµÄ×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬
[0012] ËùÊö·¢ÈÈÌå¾ßÈÈÃôµç×èÌØÐÔ£¬Æä±íÃæ¸²¹üÒ»¾øÔµÆá²ã£¬¿É¸ßЧ´«Èȶø²»µ¼Í¨¡£
[0013] ±È½ÏºÃµÄÊÇ£¬±¾·¢Ã÷Ëù½ÒʾµÄÒ»ÖÖÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ôλ±íÕ÷ÄÉ Ã×Èû±´¿ËϵÊýµÄ×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬
[0014] ËùÊöµ¼µç̽Õë¾ßÓÐÎ¢Çø¼ÓÈÈÔ´¡¢Ðźżì²âÔ´µÄ¹¦ÄÜ£¬Æä¹¤×÷ģʽΪÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µ ½Ó´¥Ä£Ê½¡£
[0015] ±È½ÏºÃµÄÊÇ£¬±¾·¢Ã÷Ëù½ÒʾµÄÒ»ÖÖÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ôλ±íÕ÷ÄÉ Ã×Èû±´¿ËϵÊýµÄ×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬
[0016] ËùÊöAFMµ¼µç̽ÕëÓë±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·»¥×÷ÓýӴ¥Ãæ»ýΪ10-30nm£¬ËùÊöAFM µ¼µç̽ÕëµÄ×÷ÓÃÁ¦Îª3nN-100nN£¬ËùÊöAFMµ¼µç̽ÕëµÄ¼ÓÈȵçѹΪ0. 5V-10V¡£
[0017] ±È½ÏºÃµÄÊÇ£¬±¾·¢Ã÷Ëù½ÒʾµÄÒ»ÖÖÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ôλ±íÕ÷ÄÉ Ã×Èû±´¿ËϵÊýµÄ×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬
[0018] ËùÊöÒ»ÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýÔλ¼ì²âÄ£¿é½øÒ»²½°üÀ¨£º
[0019] - AFMƽ̨£¬Ò»ÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·£¬Ò»´ÅÐÔ½ðÊôµæ²ã£¬Ò»µÍÐźÅÒý³ö¶Ë£¬Ò»¸ßÐźŠÒý³ö¶Ë£¬Ò»¸ßÁéÃôµçѹ¼Æ£¬Ò»Êý¾Ý´¦ÀíÏÔʾģ¿é£»ÆäÖУ¬ËùÊöÒ»ÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÓëËùÊöµ¼µç̽ ÕëÕë¼âÏ໥½Ó´¥Ê±£¬½«ÓÉÓÚ¼ÓÈÈËùÊöµ¼µç̽ÕëÕë¼âÔÚ±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·ºÍËùÊöµ¼µç̽ ÕëÕë¼âÏà½Ó´¥µÄÄÉÃ׳߶ȼÓÈÈÇøÓë·Ç½Ó´¥µÄδ¼ÓÈÈÇøÖ®¼äÔλ¼¤·¢ÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿Ëµçѹ Ðźţ»ËùÊöÒ»µÍÐźÅÒý³ö¶ËºÍÒ»¸ßÐźÅÒý³ö¶Ë¹²Í¬Êä³öÄÉÃ×Èû±´¿ËµçѹÐźţ¬²¢ÓëËùÊö¸ß ÁéÃô¶Èµçѹ¼ÆÏàÁ¬£¬ÊµÏÖ¶ÔÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËµçѹÐźŵÄÔλ¼ì²â£¬½ø¶ø»ñµÃÄÉÃ׳߶ÈÈû±´ ¿ËϵÊýÔ붨Á¿±íÕ÷½á¹û¡£
[0020] ±¾ÉêÇëµÄÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ôλ±íÕ÷ÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýµÄ×°ÖÃÖ»Ðè Ö±½Ó¼ÓÈȲ¢Ö±½Ó¼ì²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÎ¢ÇøÈû±´¿ËµçѹÐźż´¿ÉÖ±½Ó»ñµÃÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýµÄ ¶ÀÌØÓŵ㡣¸Ã·½·¨ÍØÕ¹ÁËÏÖÓÐÉÌÓÃÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µËù²»¾ßÓеĵ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈȺÍÔλÆÀ¼Û ÈȵçÎïÐÔ¹¦ÄÜ£¬ÎªÓйØAFM¼¼ÊõµÄÉîÈë·¢Õ¹ÒÔ¼°ÄÉÃײÄÁÏÏà¹ØÄÉÃ׳߶ÈÈÈÎïÐÔÑо¿ÌṩÁË ÖØÒªµÄÔλÄÉÃ×±íÕ÷з½·¨¡£
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[0021] ÏÂÃæ£¬²ÎÕÕ¸½Í¼£¬¶ÔÓÚÊìϤ±¾¡¾¼¼ÊõÁìÓò¡¿µÄÈËÔ±¶øÑÔ£¬´Ó¶Ô±¾ÉêÇëµÄÏêϸÃèÊöÖУ¬±¾ ÉêÇëµÄÉÏÊöºÍÆäËûÄ¿µÄ¡¢ÌØÕ÷ºÍÓŵ㽫ÏÔ¶øÒ×¼û¡£
[0022] ͼ1ʾÒâ³ö±¾ÉêÇëµÄAFMµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ôλ±íÕ÷ÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýµÄÔÀí ͼ£»
[0023] ͼ2ʾÒâ³ö±¾ÉêÇëµÄÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ôλ±íÕ÷ÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊý µÄ×°ÖõĽṹ¿òͼ£»
[0024] ͼ3¸ø³öÁ˲»Í¬¼ÓÈȵçѹϵÄ7ÖÖÈȵç²ÄÁϵÄÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËµçѹÐźţ»
[0025] ͼ4¸ø³öÁ˲»Í¬¼ÓÈȵçѹÏÂÓë̽Õë¼ÓÈÈζÈÖ®¼äµÄ¹ØÏµ£»
[0026] ͼ5¸ø³öÁË 7ÖÖÈȵç²ÄÁϵÄÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËµçѹÓë̽Õë¼ÓÈÈζÈÖ®¼äµÄ¹ØÏµ£»
[0027] ͼ6¸ø³öÁË 7ÖÖÈȵç²ÄÁÏÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËϵÊýÔλ±íÕ÷½á¹û¡£
[0028] ¸½Í¼±ê¼Ç
[0029] 10---AFMµ¼µç̽Õë
[0030] 11---AFM̽ÕëÖ§¼Ü
[0031] 12---¾øÔµµ××ù
[0032] 13---̽Õëµ××ù
[0033] 14---·¢ÈÈÌåÖ§¼Ü
[0034] 15---·¢ÈÈÌå
[0035] 16---¼¤ÀøÔ´
[0036] 17---µ¼µç̽Õë΢Ðü±Û
[0037] 18---µ¼µç̽ÕëÕë¼â
[0038] 19 ±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·
[0039] 20---´ÅÐÔ½ðÊôµæ²ã
[0040] 21---AFM ƽ̨
[0041] 22---µÍÐźÅÒý³ö¶Ë
[0042] 23 ÉÌ?Ä¿ºÅÒý³ö¶Ë
[0043] 24---¸ßÁéÃôµçѹ¼Æ
[0044] 25---Êý¾Ý´¦ÀíÏÔʾģ¿é
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[0045] ÒÔÏÂʵÀý¾ùÊÇÓ¦Óñ¾ÉêÇëµÄÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ôλ±íÕ÷ÄÉÃ×Èû±´ ¿ËϵÊýµÄ×°ÖöÔÄÉÃ×Èȵç²ÄÁϵıíÕ÷½á¹û£¬ÒÔ½øÒ»²½ËµÃ÷±¾ÉêÇëµÄЧ¹û£¬µ«²¢·Ç½öÏÞÓÚÏ ÊöʵʩÀý¡£
[0046] ±¾ÉêÇ뽨Á¢ÁËÒ»ÖÖÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ôλ±íÕ÷ÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýµÄ ÐÂ×°Öá£
[0047] ±¾ÉêÇë×°ÖõŤ×÷ÔÀíÈçͼ1Ëùʾ£¬¾ßÌå¿É±íÊöÈçÏ£ºµ±Ò»Ö±Á÷ÎÈѹ¼¤ÀøÐźÅÊ© ¼ÓÓÚ·¢ÈÈÌå15ʱ£¬·¢ÈÈÌå15ζÈÉÏÉý²¢¼ÓÈÈÓëÆäÁ¬½Ó½ôÃܵÄAFMµ¼µç̽Õë10,ÓÉ´ËʵÏÖ¶Ô ¸ÃAFMµ¼µç̽Õë10Ôλ¼ÓÈÈ£¬¼ÓÈȺóµÄAFMµ¼µç̽Õë10½«ÈÈÁ¿´«µÝÓÚÓëÆäÏ໥½Ó´¥µÄ±» ²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19,ÓÉ´Ë£¬ÔÚ¸ÃÑùÆ·19ÉÏÐγÉÓÉAFMµ¼µç̽Õë10ºÍ±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏ ÑùÆ·19ÄÉÃ׳߶ȽӴ¥ÇøºÍ·Ç½Ó´¥Çø·Ö±ð¹¹³É¼ÓÈÈÇøÓëδ¼ÓÈÈÇø£¬ÇÒÁ½¸ö¼ÓÈÈÇøºÍδ¼ÓÈÈ Çø½«´æÔÚһζȲ»ùÓÚ±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19ËùÌØÓеÄÈȵçÈû±´¿ËЧӦ£¬¸ÃζȲ ²úÉúÈû±´¿ËµçѹÐźš£Òò´Ë£¬ÀûÓÃ΢ÐÍ·¢ÈÈÌå15ʵÏÖÁË AFMµ¼µç̽Õë10Ôλ¼ÓÈÈ£¬Í¬Ê±ÔÚ ±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19ÖÐʵÏÖÁËÎ¢ÇøÈû±´¿ËµçѹÐźŵÄÔλ¼¤·¢ºÍÔλ¼ì²â¡£
[0048] »ùÓڸù¤×÷ÔÀí£¬±¾ÉêÇ뽨Á¢ÁËÒ»ÖÖÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ôλ±íÕ÷ ÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýµÄÐÂ×°Öã¬Æä¹¤×÷½á¹¹Èçͼ2Ëùʾ£¬¸Ã±íÕ÷×°ÖÃÓɶþ²¿·Ö×é³É£ºÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢ ¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈÄ£¿éºÍÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýÔλ¼ì²âÕ÷Ä£¿é¡£
[0049] ÆäÖУ¬Ô×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÎÂÄ£¿éÓÃÓÚʵÏÖAFMµ¼µç̽Õë10Ôλ¼ÓÈȲ¢ ½ø¶øÊµÏÖÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÎ¢Çø¼ÓÈÈ£¬´Ó¶øÔÚÄÉÃ×ÈȵçµÄ¼ÓÈÈÇø£¨Ì½Õë-ÑùÆ·ÄÉÃ׳߶ȽӴ¥Çø£© Óëδ¼ÓÈÈÇø²úÉúһζÈÌݶȲÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýÔλ±íÕ÷Ä£¿é£¬ÓÃÓÚÌṩ·¢Õ¹µ¼µç̽ÕëÔ Î»±íÕ÷Èû±´¿ËϵÊý×°ÖÃµÄÆ½Ì¨£¬²¢ÔλʵÏÖËùÊöÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÎ¢ÇøÈû±´¿ËµçѹÐźŵÄÔλ ¼¤·¢ºÍÔλ¼ì²â£¬²¢½ø¶ø»ñµÃÎ¢ÇøÈû±´¿ËϵÊýµÄÔ붨Á¿±íÕ÷½á¹û¡£
[0050] ÆäÖУ¬Ô×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÎÂÄ£¿é°üÀ¨£ºÒ» AFM̽ÕëÖ§¼Ü11£¬Ò»¾øÔµµ××ù 12, һ̽Õëµ××ù13, Ò»·¢ÈÈÌåÖ§¼Ü14, Ò»·¢ÈÈÌå15, Ò»¼¤ÀøÔ´16ºÍÒ» AFMµ¼µç̽Õë10,ͼ2 ʾÒâÁ˵¼µç̽Õë΢Ðü±Û17ºÍµ¼µç̽ÕëÕë¼â18¹¹³ÉÁËÆäÖÐAFMµ¼µç̽Õë10¡£
[0051] ÆäÖУ¬AFM̽ÕëÖ§¼Ü11¡¢¾øÔµµ××ù12¡¢·¢ÈÈÌåÖ§¼Ü14¡¢·¢ÈÈÌå15ÒÀ´ÎÏàÁ¬£¬ÆäÖУ¬ AFM̽ÕëÖ§¼Ü11ÓÃÒÔ×÷Ϊ¹Ì¶¨Õû¸öÄ£¿éµÄÖ§¼Ü£¬¾øÔµµ××ù12¹Ì¶¨ÓÚAFM̽ÕëÖ§¼Ü11ÉÏ£¬Óà ÓÚÖ§³Å·¢ÈÈÌåÖ§¼Ü14²¢½«ÆäÓëAFM̽ÕëÖ§¼Ü11ʵÏÖµç¾ø£»Ì½Õëµ××ù13Ϊһ½ðÊôµ××ù£¬Óë ËùÊö·¢ÈÈÌåÖ§¼Ü14¶ÀÁ¢Æ½ÐÐÖÃÓÚËùÊö¾øÔµµ××ù12Éϲ¢ÓëËùÊöµ¼µç̽Õë΢Ðü±Û17ÏàÁ¬£¬Êµ ÏÖAFMµ¼µç̽Õë10µÄÎȶ¨°²Öã»ËùÊö·¢ÈÈÌåÖ§¼Ü14Ϊһ¸ÕÐÔ±¡²ã½á¹¹£¬ËùÊö·¢ÈÈÌå15Óë ÆäÁ¬½á½ôÃÜ£»ËùÊö·¢ÈÈÌå15ÓëËùÊö¼¤ÀøÔ´16ÏàÁ¬£¬¼¤ÀøÔ´16ÓÃÒÔ¶Ô·¢ÈÈÌå15ʵÏÖ·¢ÈȲ¢ ¶ÔÖÃÓÚÆäÉϲ¢½ôÃÜÁ¬½ÓµÄµ¼µç̽Õë΢Ðü±Û17½øÐмÓÈÈ£¬¸ÃÈÈÁ¿¾µ¼µç̽Õë΢Ðü±Û17´«µ¼ ÓÚÓëÆäÁ¬½ÓµÄµ¼µç̽ÕëÕë¼â18,´Ó¶øÊµÏÖµ¼µç̽ÕëÕë¼â18Ôλ¼ÓÈÈ¡£
[0052] ÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýÔλ¼ì²âÄ£¿é°üÀ¨£ºÒ»±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19, Ò»´ÅÐÔ½ðÊôµæ ²ã20, Ò» AFMƽ̨21£¬Ò»µÍÐźÅÒý³ö¶Ë22, Ò»¸ßÐźÅÒý³ö¶Ë23, Ò»¸ßÁéÃôµçѹ¼Æ24, Ò»Êý¾Ý ´¦ÀíÏÔʾģ¿é25¡£
[0053] ÆäÖУ¬ËùÊö±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19ÖÃÓÚÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µÆ½Ì¨21µÄ´ÅÐÔ½ðÊôµæ²ã 20ÉÏ£¬±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19Óë´ÅÐÔ½ðÊôµ××ù20¹¹³ÉÈȵçÑùƷ̨£¬±Ë´ËÖ®¼ä²ÉÓõ¼µç ½ºÕ³½á£¬ÓÐЧ±£Ö¤Á˱»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19µÄ»úеÎȶ¨ÐÔºÍÐźŵÄÓÐЧ´«Êä¡£±»²âÄÉÃ× Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19ÓëËùÊöµ¼µç̽ÕëÕë¼â18Ö®¼äÏ໥½Ó´¥£¬ÒÔʵÏÖµ¼µç̽ÕëÕë¼â18¶Ô±»²âÄÉ Ã×ÈȵçÑùÆ·19ÄÉÃ׳߶ȽӴ¥ÇøµÄÔλ¼ÓÈÈ£¬½ø¶øÔÚ±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19µÄÄÉÃ×³ß¶È ¼ÓÈÈÇø£¨µ¼µç̽ÕëÕë¼â18Óë±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19ÄÉÃ×½Ó´¥Çø£©Óëδ¼ÓÈÈÇøÖ®¼äÔλ ¼¤·¢ÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËµçѹÐźš£µÍÐźÅÒý³ö¶Ë22Ô´ÓÚ±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19ÉϵÄδ¼Ó Èȵ㣨µÍζˣ©£¬¸ßÐźÅÒý³ö¶Ë23Ô´ÓÚµ¼µç̽Õëµ××ù13,ͨ¹ýµ¼µç̽Õë΢Ðü±Û17ºÍµ¼µçÕë ¼â18´Ó¶ø×÷ΪÕë¼â18ÓëÑùÆ·19Ï໥½Ó´¥Çø¼ÓÈÈ´¦µÄµçÐźÅÒý³ö¶Ë£¨¸ßζˣ©£¬µÍÐźÅÒý ³ö¶Ë22Óë¸ßÐźÅÒý³ö¶Ë23¶þÕßʵÏÖ±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19¼ÓÈÈÇø£¨µ¼µçÕë¼â18ÓëÑù Æ·½Ó´¥´¦£©Óë±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19ÉÏδ¼ÓÈÈÇøÖ®¼ä²úÉúµÄÎ¢ÇøÈû±´¿ËµçѹÐźŵÄÊä ³ö£»µÍÐźÅÒý³ö¶Ë22ºÍ¸ßÐźÅÒý³ö¶Ë23Ö±½ÓÓë¸ßÁéÃôµçѹ¼Æ24ÏàÁ¬£¬ÊµÏÖÄÉÃ׳߶ÈÈû±´ ¿ËµçѹÐźŵÄÔλ¼ì²â£»¸ÃÐźžÊý¾Ý´¦Àí¼°ÏÔʾģ¿é25´¦Àí£¬´Ó¶øÏÔʾÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿Ë ϵÊýÖµ¡£
[0054] ¾ßÓÐÉÏÊö½á¹¹µÄÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýÔλ²âÊÔÆ½Ì¨ÊµÏÖÁË AFMµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢ ÄÉÃ×Èû±´¿ËµçѹÐźŵÄÔλ¼¤·¢ºÍÔλ¼ì²â£¬´Ó¶ø¿É»ñµÃÎ¢ÇøÈû±´¿ËϵÊýµÄÔ붨Á¿±íÕ÷ ½á¹û¡£
[0055] »ùÓÚÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µÆ½Ì¨Ëù½¨Á¢µÄµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ôλ±íÕ÷ÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýµÄ ¹¤×÷ģʽΪAFM½Ó´¥¹¤×÷ģʽ£¬ÓÃÒÔʵÏÖµ¼µç̽Õë10ÓëÑùÆ·19Ö®¼äÁ¼ºÃµÄÄÉÃ׳߶ÈÈÈ½Ó ´¥¼°ÓÐЧµÄÐźż¤·¢ºÍ´«Êä¡£
[0056] ͼ2Öеķ¢ÈÈÌå15ÊDZ¾·¢Ã÷µÄÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ôλ±íÕ÷ÄÉÃ×Èû ±´¿ËϵÊýµÄ×°ÖÃʵÏÖAFMµ¼µç̽Õë10Ôλ¼ÓÈȵĺËÐIJ¿¼þ£¬¾ßÈÈÃôµç×èÌØÐÔ£¬Ìå»ýС£¬Æä±í Ãæ¸²¹üÒ»¾øÔµÆá²ã£¬¿É¸ßЧ´«Èȶø²»µ¼Í¨£¬Óëµ¼µç̽Õë΢Ðü±Û17½áºÏ½ôÃÜ£¬ÊµÏÖÁ˵¼µç̽ Õë΢Ðü±Û17ºÍµ¼µç̽ÕëÕë¼â18µÄÁ¼ºÃ¼ÓÈÈ¡£
[0057] ¼¤ÀøÔ´16Óë·¢ÈÈÌå15Ö±½ÓÏàÁ¬£¬Æä¹¤×÷µçѹÐëͬʱ¼æ¹Ë·¢ÈÈÌå16µÄ¹¤×÷µçÁ÷¡¢ µ¼µç̽Õë10Óë±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19Ö®¼äµÄÁ¼ºÃ½Ó´¥ÒÔ¼°Î¢ÇøÈû±´¿ËµçѹÐźŵÄÓÐЧ ¼¤·¢ºÍÊä³ö¡£
[0058] µ¼µç̽ÕëÕë¼â18ÊÇϵͳʵÏÖÔλ¼¤·¢ºÍ¼ì²âµÄºËÐIJ¿¼þ£¬¾ßµ¼µçÌØÐÔ¡£¸Ã̽Õëͬ ʱ¾ßÓÐÎ¢Çø¼ÓÈÈÔ´¡¢Î¢ÇøÈû±´¿ËµçѹÐźÅÒý³ö¶ËµÈ¹¦ÄÜ¡£µ¼µç̽ÕëÕë¼â18¹¤×÷ģʽΪ½Ó´¥ ģʽ£¬Óë±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19»¥×÷ÓýӴ¥Ãæ»ýΪ10_30nm£¬Ì½Õë×÷ÓÃÁ¦Îª3nN-100nN£¬ ̽Õë¼ÓÈȵçѹΪ©–. 5V-10V¡£Èç´ËÓÐЧʵÏÖÁËÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËµçѹÐźŵÄÓÐЧ¼¤·¢¼°Êä³ö£¬ Ìá¸ßÁ˲âÊÔÐźŵļì²âÁéÃô¶È£¬È·±£Á˲âÊÔÊý¾ÝµÄ׼ȷÐÔ¡£
[0059] ÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËµçѹÐźÅÔ´ÓÚµ¼µç̽ÕëÕë¼â18ÓëÑùÆ·19Ï໥×÷Óô¦£¨¼ÓÈÈÇø£© ÓëÑùÆ·19ÉÏδ¼ÓÈÈÇøÖ®¼äβîËùÓÕµ¼µÄÈû±´¿ËµçѹÐźš£ÄÉÃ×Èû±´¿ËµçѹÐźÅÒ»¶ËÔ´ÓÚ µÍÐźÅÒý³ö¶Ë22,ÁíÒ»¶ËÔ´ÓÚ¸ßÐźÅÒý³ö¶Ë23¡£µÍÐźÅÒý³ö¶Ë22Óë¸ßÐźÅÒý³ö¶Ë23·Ö±ð Óë±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19ºÍ̽Õëµ××ù13ÒÔº¸½Ó·½Ê½Õ³½á£¬²»½ö±£Ö¤ÁËÐźÅÒýÏßµÄ΢ŷ Ä·½Ó´¥£»Í¬Ê±ÒýÏß¼á¹Ì±£Ö¤Á˲âÊÔÌõ¼þµÄÎȶ¨ÐÔºÍÊý¾ÝµÄ¿É¿¿ÐÔ¡£
[0060] ¸ßÁéÃô¶Èµçѹ¼Æ24¾ßÓвâÁ¿ÁéÃô¶È¸ß¡¢¿¹¸ÉÈÅÐÔÇ¿¡¢Âú×ãϵͳ¹¤×÷ÒªÇóµÈÓŵ㣬 ¿ÉʵÏÖ΢ÈõµçѹÐźŵĸßÁéÃô¶È¼ì²â¡£
[0061] Êý¾Ý´¦Àí¼°ÏÔʾģ¿é25°üÀ¨»ùÓÚ¼ÆËã»úƽ̨µÄÐźŴ¦ÀíÄ£¿éºÍ½á¹ûÏÔʾģ¿é¡£ »ùÓÚ²»Í¬ÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÓë±ê×¼Èȵç²ÄÁϵÄÄÉÃ×Èû±´¿ËµçѹÐźŵıÈÖµ£¬¿É¼ÆËã»ñµÃ±»²âÄÉ Ã×Èȵç²ÄÁÏÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËϵÊý¡£
[0062] Ó¦Óñ¾ÉêÇ뽨Á¢µÄÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ôλ±íÕ÷ÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýµÄ ×°ÖöԶàÖÖÈȵç²ÄÁÏÑùÆ·µÄÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËϵÊý½øÐÐÁ˲âÊÔ¡£
[0063] ͼ3¸ø³öÁ˲»Í¬¼ÓÈȵçѹϵÄ7ÖÖÈȵç²ÄÁϵÄÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËµçѹÐźţ¬ ÆäÖдÓÉϵ½ÏÂÒÀ´ÎΪ£º²ôÆÌµÄ¾†»¯Ãر¡Ä¤-1 ((Bi, Sb) 2Te3f ilm-1)¡¢²ôÆÌµÄ¾†»¯Ãر¡ Ĥ-2 ((Bi£¬Sb) 2Te3f ilm-2)¡¢²ôÌàµÄíÚ»¯î鱡Ĥ-3 ((Bi£¬Sb) 2Te3f ilm-3)¡¢´¿íÚ»¯î鱡 Ĥ-4 (Bi2Te3film-4)¡¢Îø»¯ÒøÌå²ÄÁÏ-5 (Ag2Se bulk-5)¡¢´¿íÚ»¯î鱡Ĥ-6 (Bi2Te3f ilm-6)¡¢´¿ íÚ»¯î鱡Ĥ-7(Bi2Te3film-7)¡£ÆäÖÐÎø»¯ÒøÌå²ÄÁÏ-5(Ag 2Se bulk-5)Ϊ±ê×¼ÑùÆ·£¬ÆäÈû±´ ¿ËϵÊýΪ124¦Ì¦Í/¦ª¡£
[0064] ¸ù¾ÝÈȵçÈû±´¿ËϵÊý¹«Ê½£¬Èû±´¿ËϵÊýΪÈû±´¿ËµçѹÓëβîÖ®±È¡£Òò´Ë£¬ÒÔAg2Se Ìå²ÄÁÏΪ±êÑù£¬¿ÉÒÔ¼ÆË㲻ͬ¼ÓÈȵçѹÏÂ̽ÕëµÄ¼ÓÈÈζȡ£Í¼4¸ø³öÁ˲»Í¬¼ÓÈȵçѹÓë̽ Õë¼ÓÈÈζÈÖ®¼äµÄ¹ØÏµ¡£
[0065] ÓÉͼ3ºÍͼ4µÄ½á¹û£¬¿ÉÒÔ»ñµÃ7ÖÖÈȵç²ÄÁϵÄÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËµçѹÓë̽Õë¼ÓÈÈ Î¶ÈÖ®¼äµÄ¹ØÏµ£¬Èçͼ5Ëùʾ¡£ÀíÂÛÉ϶þÕßÖ®¼äÓ¦¸Ã³ÊÏßÐÔ¹ØÏµÇÒÆäбÂʼ´ÎªÈû±´¿ËϵÊý Öµ¡£ÄâºÏ½á¹û±íÃ÷£¬¶þÕßÖ®¼äÁ¼ºÃµÄÏßÐÔ¹ØÏµÓëÀíÂÛÍêȫһÖ£¬
[0066] ͼ6¸ø³öÁ˸ù¾Ýͼ5бÂÊ»ñµÃµÄ7ÖÖÈȵç²ÄÁÏÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËϵÊý£¬±íÃ÷¸Ã·½·¨ µÄ¿ÉÐÐÐԺͽá¹ûµÄ׼ȷÐÔ¡£
[0067] ÉÏÊöʵÀý±íÃ÷ÁË»ùÓÚÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µËù½¨Á¢µÄÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ô λ±íÕ÷ÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýµÄ×°Öýâ¾öÁËÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËϵÊýÔλ±íÕ÷ÕâÒ»¹Ø ¼ü¼¼ÊõÄÑÌâ¡£¸ÃÐÂÐÍÄÉÃ×±íÕ÷×°ÖÃʵÏÖÁËÄÉÃ׳߶ÈÇøÓòÔλ¼ÓÈÈ¡¢ÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËµçѹÐÅ ºÅµÄÔλ¼¤·¢ºÍÔλ¼ì²â£¬ÍØÕ¹ÁËÏÖÓÐÉÌÓÃÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µËù²»¾ßÓеÄÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÄÉÃ×³ß ¶ÈÇøÓòÔλ¼ÓÈȺÍÄÉÃ׳߶ÈÎïÀíÐÔÄÜÔλ±íÕ÷¹¦ÄÜ£¬ÎªÉîÈëÑо¿ÄÉÃ×Èȵç²ÄÁϼ°Ïà¹ØÆ÷¼þ µÄÉîÈë·¢Õ¹ÌṩÁËÖØÒªµÄÔλÄÉÃ×±íÕ÷з½·¨¡£
[0068] ×ÛÉÏËùÊö£¬±¾ÉêÇëÍ»³öÓŵ㽫Ô×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µÄÉÃ×¼ì²â¹¦ÄÜ¡¢½¹¶úÈÈЧӦ¡¢ÈÈ´«µ¼Ð§ Ó¦ºÍÈȵç²ÄÁÏÈû±´¿ËÎïÀíЧӦÏà½áºÏ£¬½¨Á¢Æð»ùÓÚÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ôλ ¶¨Á¿±íÕ÷ÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýµÄз½·¨ºÍÐÂ×°Öá£
[0069] ¸Ãз½·¨¾ßÓÐÄÉÃ׳߶ÈÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ôλͬ²½±íÕ÷µÄ¶ÀÌØ¹¦ÄÜ£¬ÇÒ¾ßÓÐÄÉÃ×¼¶³¬¸ß ·Ö±æÂÊ¡¢¸ßÁéÃô¶È¡¢¸ßÐÅÔë±È¡¢²âÊÔÖ±½ÓµÈÓŵ㡣±¾ÉêÇëËùÊöµÄ¹Ø¼ü¼¼Êõ×°Öýṹ¼òµ¥¡¢¼æÈÝ ÐÔÇ¿£¬ÊÊÓ벻ͬÉÌÓÃAFMϵͳÏà½áºÏ£¬ÊÇÒ»ÏîÒ×ÓÚÍÆ¹ãºÍÓ¦ÓõÄм¼Êõ£¬¿ÉÍûÔÚÄÉÃ×Èȵç²Ä ÁÏ¡¢ÄÉÃ×°ëµ¼Ìå²ÄÁϼ°ÆäËüÄÉÃײÄÁϺ͹¦ÄÜÆ÷¼þµÈÁìÓòÖлñµÃÖØÒªÓ¦Óá£
[0070] Ç°ÃæÌṩÁ˶ԽϼÑʵʩÀýµÄÃèÊö£¬ÒÔʹ±¾ÁìÓòÄÚµÄÈκμ¼ÊõÈËÔ±¿ÉʹÓûòÀûÓñ¾ ÉêÇë¡£¶ÔÕâЩʵʩÀýµÄ¸÷ÖÖÐ޸ĶԱ¾ÁìÓòÄڵļ¼ÊõÈËÔ±ÊÇÏÔ¶øÒ×¼ûµÄ£¬¿É°ÑÕâÀïËùÊöµÄ×Ü µÄÔÀíÓ¦Óõ½ÆäËûʵʩÀý¶ø²»Ê¹Óô´ÔìÐÔ¡£Òò¶ø£¬±¾ÉêÇ뽫²»ÏÞÓÚÕâÀïËùʾµÄʵʩÀý£¬¶øÓ¦ ÒÀ¾Ý·ûºÏÕâÀïËù½ÒʾµÄÔÀíºÍÐÂÌØÕ÷µÄ×î¿í·¶Î§¡£
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3. ¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó2ËùÊöµÄÒ»ÖÖÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ôλ±íÕ÷ÄÉÃ×Èû±´¿Ë ϵÊýµÄ×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ ËùÊö·¢ÈÈÌå¾ßÈÈÃôµç×èÌØÐÔ£¬Æä±íÃæ¸²¹üÒ»¾øÔµÆá²ã£¬¿É¸ßЧ´«Èȶø²»µ¼Í¨¡£
4. ¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó2ËùÊöµÄÒ»ÖÖÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ôλ±íÕ÷ÄÉÃ×Èû±´¿Ë ϵÊýµÄ×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ ËùÊöµ¼µç̽Õë¾ßÓÐÎ¢Çø¼ÓÈÈÔ´¡¢Ðźżì²âÔ´µÄ¹¦ÄÜ£¬Æä¹¤×÷ģʽΪÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µ½Ó´¥ ģʽ¡£
5. ¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó2ËùÊöµÄÒ»ÖÖÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ôλ±íÕ÷ÄÉÃ×Èû±´¿Ë ϵÊýµÄ×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ ËùÊöAFMµ¼µç̽ÕëÓë±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·»¥×÷ÓýӴ¥Ãæ»ýΪ10-30nm£¬ËùÊöAFMµ¼µç ̽ÕëµÄ×÷ÓÃÁ¦Îª3nN-100nN£¬ËùÊöAFMµ¼µç̽ÕëµÄ¼ÓÈȵçѹΪ0. 5V-10V¡£
6. ¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó2ËùÊöµÄÒ»ÖÖÔ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽ÕëÔλ¼ÓÈÈ¡¢Ôλ±íÕ÷ÄÉÃ×Èû±´¿Ë ϵÊýµÄ×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ ËùÊöÒ»ÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýÔλ¼ì²âÄ£¿é½øÒ»²½°üÀ¨£º Ò» AFMƽ̨£¬Ò»ÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·£¬Ò»´ÅÐÔ½ðÊôµæ²ã£¬Ò»µÍÐźÅÒý³ö¶Ë£¬Ò»¸ßÐźÅÒý³ö ¶Ë£¬Ò»¸ßÁéÃôµçѹ¼Æ£¬Ò»Êý¾Ý´¦ÀíÏÔʾģ¿é£»ÆäÖУ¬ËùÊöÒ»ÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÓëËùÊöµ¼µç̽ÕëÕë ¼âÏ໥½Ó´¥Ê±£¬½«ÓÉÓÚ¼ÓÈÈËùÊöµ¼µç̽ÕëÕë¼âÔÚ±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·ºÍËùÊöµ¼µç̽ÕëÕë ¼âÏà½Ó´¥µÄÄÉÃ׳߶ȼÓÈÈÇøÓë·Ç½Ó´¥µÄδ¼ÓÈÈÇøÖ®¼äÔλ¼¤·¢ÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËµçѹÐźţ» ËùÊöÒ»µÍÐźÅÒý³ö¶ËºÍÒ»¸ßÐźÅÒý³ö¶Ë¹²Í¬Êä³öÄÉÃ×Èû±´¿ËµçѹÐźţ¬²¢ÓëËùÊö¸ßÁéÃô¶È µçѹ¼ÆÏàÁ¬£¬ÊµÏÖ¶ÔÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËµçѹÐźŵÄÔλ¼ì²â£¬½ø¶ø»ñµÃÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËϵÊý Ô붨Á¿±íÕ÷½á¹û¡£
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