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    [0004] ±¾ÉêÇëÄ¿µÄÔÚÓÚÌṩһÖÖÔ­×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽Õëԭλ¼ÓÈÈ¡¢Ô­Î»±íÕ÷ÄÉÃ×Èû±´¿Ë ϵÊýµÄ·½·¨£¬¸Ã·½·¨½«Ô­×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µÄÉÃ×¼ì²â¹¦ÄÜ¡¢½¹¶úÈÈЧӦ¡¢ÈÈ´«µ¼Ð§Ó¦ºÍÈȵç²ÄÁÏÈû ±´¿ËÎïÀíЧӦÏà½áºÏ£¬½¨Á¢Æð»ùÓÚÔ­×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽Õëԭλ¼ÓÈÈ¡¢Ô­Î»¶¨Á¿±íÕ÷ÄÉÃ×Èû ±´¿ËϵÊýµÄм¼Êõ¡£¸ÃÐÂÐÍÄÉÃ×·½·¨¾ßÓÐÄÉÃ׳߶Èԭλ¼ÓÈÈ¡¢Ô­Î»Í¬²½±íÕ÷µÄ¶ÀÌØ¹¦ÄÜ£¬ÇÒ ¾ßÓÐÄÉÃ×¼¶³¬¸ß·Ö±æÂÊ¡¢¸ßÁéÃô¶È¡¢¸ßÐÅÔë±È¡¢²âÊÔÖ±½ÓµÈÓŵã¡£±¾ÉêÇëËùÊöµÄ¹Ø¼ü¼¼Êõ×° Öýṹ¼òµ¥¡¢¼æÈÝÐÔÇ¿£¬ÊÊÓ벻ͬÉÌÓÃAFMϵͳÏà½áºÏ£¬ÊÇÒ»ÏîÒ×ÓÚÍÆ¹ãºÍÓ¦ÓõÄм¼Êõ¡£
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    [0018] ËùÊöÒ»ÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýԭλ¼ì²âÄ£¿é½øÒ»²½°üÀ¨£º
    [0019] - AFMƽ̨£¬Ò»ÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·£¬Ò»´ÅÐÔ½ðÊôµæ²ã£¬Ò»µÍÐźÅÒý³ö¶Ë£¬Ò»¸ßÐźŠÒý³ö¶Ë£¬Ò»¸ßÁéÃôµçѹ¼Æ£¬Ò»Êý¾Ý´¦ÀíÏÔʾÄ£¿é£»ÆäÖУ¬ËùÊöÒ»ÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÓëËùÊöµ¼µç̽ ÕëÕë¼âÏ໥½Ó´¥Ê±£¬½«ÓÉÓÚ¼ÓÈÈËùÊöµ¼µç̽ÕëÕë¼âÔÚ±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·ºÍËùÊöµ¼µç̽ ÕëÕë¼âÏà½Ó´¥µÄÄÉÃ׳߶ȼÓÈÈÇøÓë·Ç½Ó´¥µÄδ¼ÓÈÈÇøÖ®¼äԭλ¼¤·¢ÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿Ëµçѹ Ðźţ»ËùÊöÒ»µÍÐźÅÒý³ö¶ËºÍÒ»¸ßÐźÅÒý³ö¶Ë¹²Í¬Êä³öÄÉÃ×Èû±´¿ËµçѹÐźţ¬²¢ÓëËùÊö¸ß ÁéÃô¶Èµçѹ¼ÆÏàÁ¬£¬ÊµÏÖ¶ÔÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËµçѹÐźŵÄԭλ¼ì²â£¬½ø¶ø»ñµÃÄÉÃ׳߶ÈÈû±´ ¿ËϵÊýԭ붨Á¿±íÕ÷½á¹û¡£
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    [0024] ͼ3¸ø³öÁ˲»Í¬¼ÓÈȵçѹϵÄ7ÖÖÈȵç²ÄÁϵÄÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËµçѹÐźţ»
    [0025] ͼ4¸ø³öÁ˲»Í¬¼ÓÈȵçѹÏÂÓë̽Õë¼ÓÈÈζÈÖ®¼äµÄ¹ØÏµ£»
    [0026] ͼ5¸ø³öÁË 7ÖÖÈȵç²ÄÁϵÄÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËµçѹÓë̽Õë¼ÓÈÈζÈÖ®¼äµÄ¹ØÏµ£»
    [0027] ͼ6¸ø³öÁË 7ÖÖÈȵç²ÄÁÏÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËϵÊýԭλ±íÕ÷½á¹û¡£
    [0028] ¸½Í¼±ê¼Ç
    [0029] 10---AFMµ¼µç̽Õë
    [0030] 11---AFM̽ÕëÖ§¼Ü
    [0031] 12---¾øÔµµ××ù
    [0032] 13---̽Õëµ××ù
    [0033] 14---·¢ÈÈÌåÖ§¼Ü
    [0034] 15---·¢ÈÈÌå
    [0035] 16---¼¤ÀøÔ´
    [0036] 17---µ¼µç̽Õë΢Ðü±Û
    [0037] 18---µ¼µç̽ÕëÕë¼â
    [0038] 19 ±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·
    [0039] 20---´ÅÐÔ½ðÊôµæ²ã
    [0040] 21---AFM ƽ̨
    [0041] 22---µÍÐźÅÒý³ö¶Ë
    [0042] 23 ÉÌ?Ä¿ºÅÒý³ö¶Ë
    [0043] 24---¸ßÁéÃôµçѹ¼Æ
    [0044] 25---Êý¾Ý´¦ÀíÏÔʾÄ£¿é

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    [0047] ±¾ÉêÇë×°ÖõŤ×÷Ô­ÀíÈçͼ1Ëùʾ£¬¾ßÌå¿É±íÊöÈçÏ£ºµ±Ò»Ö±Á÷ÎÈѹ¼¤ÀøÐźÅÊ© ¼ÓÓÚ·¢ÈÈÌå15ʱ£¬·¢ÈÈÌå15ζÈÉÏÉý²¢¼ÓÈÈÓëÆäÁ¬½Ó½ôÃܵÄAFMµ¼µç̽Õë10,ÓÉ´ËʵÏÖ¶Ô ¸ÃAFMµ¼µç̽Õë10ԭλ¼ÓÈÈ£¬¼ÓÈȺóµÄAFMµ¼µç̽Õë10½«ÈÈÁ¿´«µÝÓÚÓëÆäÏ໥½Ó´¥µÄ±» ²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19,ÓÉ´Ë£¬ÔÚ¸ÃÑùÆ·19ÉÏÐγÉÓÉAFMµ¼µç̽Õë10ºÍ±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏ ÑùÆ·19ÄÉÃ׳߶ȽӴ¥ÇøºÍ·Ç½Ó´¥Çø·Ö±ð¹¹³É¼ÓÈÈÇøÓëδ¼ÓÈÈÇø£¬ÇÒÁ½¸ö¼ÓÈÈÇøºÍδ¼ÓÈÈ Çø½«´æÔÚһζȲ»ùÓÚ±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19ËùÌØÓеÄÈȵçÈû±´¿ËЧӦ£¬¸ÃζȲ ²úÉúÈû±´¿ËµçѹÐźÅ¡£Òò´Ë£¬ÀûÓÃ΢ÐÍ·¢ÈÈÌå15ʵÏÖÁË AFMµ¼µç̽Õë10ԭλ¼ÓÈÈ£¬Í¬Ê±ÔÚ ±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19ÖÐʵÏÖÁËÎ¢ÇøÈû±´¿ËµçѹÐźŵÄԭλ¼¤·¢ºÍԭλ¼ì²â¡£
    [0048] »ùÓڸù¤×÷Ô­Àí£¬±¾ÉêÇ뽨Á¢ÁËÒ»ÖÖÔ­×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽Õëԭλ¼ÓÈÈ¡¢Ô­Î»±íÕ÷ ÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýµÄÐÂ×°Öã¬Æä¹¤×÷½á¹¹Èçͼ2Ëùʾ£¬¸Ã±íÕ÷×°ÖÃÓɶþ²¿·Ö×é³É£ºÔ­×ÓÁ¦ÏÔ΢ ¾µµ¼µç̽Õëԭλ¼ÓÈÈÄ£¿éºÍÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýԭλ¼ì²âÕ÷Ä£¿é¡£
    [0049] ÆäÖУ¬Ô­×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽Õëԭλ¼ÓÎÂÄ£¿éÓÃÓÚʵÏÖAFMµ¼µç̽Õë10ԭλ¼ÓÈȲ¢ ½ø¶øÊµÏÖÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÎ¢Çø¼ÓÈÈ£¬´Ó¶øÔÚÄÉÃ×ÈȵçµÄ¼ÓÈÈÇø£¨Ì½Õë-ÑùÆ·ÄÉÃ׳߶ȽӴ¥Çø£© Óëδ¼ÓÈÈÇø²úÉúһζÈÌݶȲÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýԭλ±íÕ÷Ä£¿é£¬ÓÃÓÚÌṩ·¢Õ¹µ¼µç̽ÕëÔ­ λ±íÕ÷Èû±´¿ËϵÊý×°ÖÃµÄÆ½Ì¨£¬²¢Ô­Î»ÊµÏÖËùÊöÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÎ¢ÇøÈû±´¿ËµçѹÐźŵÄԭλ ¼¤·¢ºÍԭλ¼ì²â£¬²¢½ø¶ø»ñµÃÎ¢ÇøÈû±´¿ËϵÊýµÄԭ붨Á¿±íÕ÷½á¹û¡£
    [0050] ÆäÖУ¬Ô­×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽Õëԭλ¼ÓÎÂÄ£¿é°üÀ¨£ºÒ» AFM̽ÕëÖ§¼Ü11£¬Ò»¾øÔµµ××ù 12, һ̽Õëµ××ù13, Ò»·¢ÈÈÌåÖ§¼Ü14, Ò»·¢ÈÈÌå15, Ò»¼¤ÀøÔ´16ºÍÒ» AFMµ¼µç̽Õë10,ͼ2 ʾÒâÁ˵¼µç̽Õë΢Ðü±Û17ºÍµ¼µç̽ÕëÕë¼â18¹¹³ÉÁËÆäÖÐAFMµ¼µç̽Õë10¡£
    [0051] ÆäÖУ¬AFM̽ÕëÖ§¼Ü11¡¢¾øÔµµ××ù12¡¢·¢ÈÈÌåÖ§¼Ü14¡¢·¢ÈÈÌå15ÒÀ´ÎÏàÁ¬£¬ÆäÖУ¬ AFM̽ÕëÖ§¼Ü11ÓÃÒÔ×÷Ϊ¹Ì¶¨Õû¸öÄ£¿éµÄÖ§¼Ü£¬¾øÔµµ××ù12¹Ì¶¨ÓÚAFM̽ÕëÖ§¼Ü11ÉÏ£¬Óà ÓÚÖ§³Å·¢ÈÈÌåÖ§¼Ü14²¢½«ÆäÓëAFM̽ÕëÖ§¼Ü11ʵÏÖµç¾ø£»Ì½Õëµ××ù13Ϊһ½ðÊôµ××ù£¬Óë ËùÊö·¢ÈÈÌåÖ§¼Ü14¶ÀÁ¢Æ½ÐÐÖÃÓÚËùÊö¾øÔµµ××ù12Éϲ¢ÓëËùÊöµ¼µç̽Õë΢Ðü±Û17ÏàÁ¬£¬Êµ ÏÖAFMµ¼µç̽Õë10µÄÎȶ¨°²Öã»ËùÊö·¢ÈÈÌåÖ§¼Ü14Ϊһ¸ÕÐÔ±¡²ã½á¹¹£¬ËùÊö·¢ÈÈÌå15Óë ÆäÁ¬½á½ôÃÜ£»ËùÊö·¢ÈÈÌå15ÓëËùÊö¼¤ÀøÔ´16ÏàÁ¬£¬¼¤ÀøÔ´16ÓÃÒÔ¶Ô·¢ÈÈÌå15ʵÏÖ·¢ÈȲ¢ ¶ÔÖÃÓÚÆäÉϲ¢½ôÃÜÁ¬½ÓµÄµ¼µç̽Õë΢Ðü±Û17½øÐмÓÈÈ£¬¸ÃÈÈÁ¿¾­µ¼µç̽Õë΢Ðü±Û17´«µ¼ ÓÚÓëÆäÁ¬½ÓµÄµ¼µç̽ÕëÕë¼â18,´Ó¶øÊµÏÖµ¼µç̽ÕëÕë¼â18ԭλ¼ÓÈÈ¡£
    [0052] ÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýԭλ¼ì²âÄ£¿é°üÀ¨£ºÒ»±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19, Ò»´ÅÐÔ½ðÊôµæ ²ã20, Ò» AFMƽ̨21£¬Ò»µÍÐźÅÒý³ö¶Ë22, Ò»¸ßÐźÅÒý³ö¶Ë23, Ò»¸ßÁéÃôµçѹ¼Æ24, Ò»Êý¾Ý ´¦ÀíÏÔʾÄ£¿é25¡£
    [0053] ÆäÖУ¬ËùÊö±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19ÖÃÓÚÔ­×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µÆ½Ì¨21µÄ´ÅÐÔ½ðÊôµæ²ã 20ÉÏ£¬±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19Óë´ÅÐÔ½ðÊôµ××ù20¹¹³ÉÈȵçÑùƷ̨£¬±Ë´ËÖ®¼ä²ÉÓõ¼µç ½ºÕ³½á£¬ÓÐЧ±£Ö¤Á˱»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19µÄ»úеÎȶ¨ÐÔºÍÐźŵÄÓÐЧ´«Êä¡£±»²âÄÉÃ× Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19ÓëËùÊöµ¼µç̽ÕëÕë¼â18Ö®¼äÏ໥½Ó´¥£¬ÒÔʵÏÖµ¼µç̽ÕëÕë¼â18¶Ô±»²âÄÉ Ã×ÈȵçÑùÆ·19ÄÉÃ׳߶ȽӴ¥ÇøµÄԭλ¼ÓÈÈ£¬½ø¶øÔÚ±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19µÄÄÉÃ×³ß¶È ¼ÓÈÈÇø£¨µ¼µç̽ÕëÕë¼â18Óë±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19ÄÉÃ×½Ó´¥Çø£©Óëδ¼ÓÈÈÇøÖ®¼äԭλ ¼¤·¢ÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËµçѹÐźÅ¡£µÍÐźÅÒý³ö¶Ë22Ô´ÓÚ±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19ÉϵÄδ¼Ó Èȵ㣨µÍζˣ©£¬¸ßÐźÅÒý³ö¶Ë23Ô´ÓÚµ¼µç̽Õëµ××ù13,ͨ¹ýµ¼µç̽Õë΢Ðü±Û17ºÍµ¼µçÕë ¼â18´Ó¶ø×÷ΪÕë¼â18ÓëÑùÆ·19Ï໥½Ó´¥Çø¼ÓÈÈ´¦µÄµçÐźÅÒý³ö¶Ë£¨¸ßζˣ©£¬µÍÐźÅÒý ³ö¶Ë22Óë¸ßÐźÅÒý³ö¶Ë23¶þÕßʵÏÖ±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19¼ÓÈÈÇø£¨µ¼µçÕë¼â18ÓëÑù Æ·½Ó´¥´¦£©Óë±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19ÉÏδ¼ÓÈÈÇøÖ®¼ä²úÉúµÄÎ¢ÇøÈû±´¿ËµçѹÐźŵÄÊä ³ö£»µÍÐźÅÒý³ö¶Ë22ºÍ¸ßÐźÅÒý³ö¶Ë23Ö±½ÓÓë¸ßÁéÃôµçѹ¼Æ24ÏàÁ¬£¬ÊµÏÖÄÉÃ׳߶ÈÈû±´ ¿ËµçѹÐźŵÄԭλ¼ì²â£»¸ÃÐźž­Êý¾Ý´¦Àí¼°ÏÔʾÄ£¿é25´¦Àí£¬´Ó¶øÏÔʾÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿Ë ϵÊýÖµ¡£
    [0054] ¾ßÓÐÉÏÊö½á¹¹µÄÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýԭλ²âÊÔÆ½Ì¨ÊµÏÖÁË AFMµ¼µç̽Õëԭλ¼ÓÈÈ¡¢ ÄÉÃ×Èû±´¿ËµçѹÐźŵÄԭλ¼¤·¢ºÍԭλ¼ì²â£¬´Ó¶ø¿É»ñµÃÎ¢ÇøÈû±´¿ËϵÊýµÄԭ붨Á¿±íÕ÷ ½á¹û¡£
    [0055] »ùÓÚÔ­×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µÆ½Ì¨Ëù½¨Á¢µÄµ¼µç̽Õëԭλ¼ÓÈÈ¡¢Ô­Î»±íÕ÷ÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýµÄ ¹¤×÷ģʽΪAFM½Ó´¥¹¤×÷ģʽ£¬ÓÃÒÔʵÏÖµ¼µç̽Õë10ÓëÑùÆ·19Ö®¼äÁ¼ºÃµÄÄÉÃ׳߶ÈÈÈ½Ó ´¥¼°ÓÐЧµÄÐźż¤·¢ºÍ´«Êä¡£
    [0056] ͼ2Öеķ¢ÈÈÌå15ÊDZ¾·¢Ã÷µÄÔ­×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽Õëԭλ¼ÓÈÈ¡¢Ô­Î»±íÕ÷ÄÉÃ×Èû ±´¿ËϵÊýµÄ×°ÖÃʵÏÖAFMµ¼µç̽Õë10ԭλ¼ÓÈȵĺËÐIJ¿¼þ£¬¾ßÈÈÃôµç×èÌØÐÔ£¬Ìå»ýС£¬Æä±í Ãæ¸²¹üÒ»¾øÔµÆá²ã£¬¿É¸ßЧ´«Èȶø²»µ¼Í¨£¬Óëµ¼µç̽Õë΢Ðü±Û17½áºÏ½ôÃÜ£¬ÊµÏÖÁ˵¼µç̽ Õë΢Ðü±Û17ºÍµ¼µç̽ÕëÕë¼â18µÄÁ¼ºÃ¼ÓÈÈ¡£
    [0057] ¼¤ÀøÔ´16Óë·¢ÈÈÌå15Ö±½ÓÏàÁ¬£¬Æä¹¤×÷µçѹÐëͬʱ¼æ¹Ë·¢ÈÈÌå16µÄ¹¤×÷µçÁ÷¡¢ µ¼µç̽Õë10Óë±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19Ö®¼äµÄÁ¼ºÃ½Ó´¥ÒÔ¼°Î¢ÇøÈû±´¿ËµçѹÐźŵÄÓÐЧ ¼¤·¢ºÍÊä³ö¡£
    [0058] µ¼µç̽ÕëÕë¼â18ÊÇϵͳʵÏÖԭλ¼¤·¢ºÍ¼ì²âµÄºËÐIJ¿¼þ£¬¾ßµ¼µçÌØÐÔ¡£¸Ã̽Õëͬ ʱ¾ßÓÐÎ¢Çø¼ÓÈÈÔ´¡¢Î¢ÇøÈû±´¿ËµçѹÐźÅÒý³ö¶ËµÈ¹¦ÄÜ¡£µ¼µç̽ÕëÕë¼â18¹¤×÷ģʽΪ½Ó´¥ ģʽ£¬Óë±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19»¥×÷ÓýӴ¥Ãæ»ýΪ10_30nm£¬Ì½Õë×÷ÓÃÁ¦Îª3nN-100nN£¬ ̽Õë¼ÓÈȵçѹΪ©–. 5V-10V¡£Èç´ËÓÐЧʵÏÖÁËÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËµçѹÐźŵÄÓÐЧ¼¤·¢¼°Êä³ö£¬ Ìá¸ßÁ˲âÊÔÐźŵļì²âÁéÃô¶È£¬È·±£Á˲âÊÔÊý¾ÝµÄ׼ȷÐÔ¡£
    [0059] ÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËµçѹÐźÅÔ´ÓÚµ¼µç̽ÕëÕë¼â18ÓëÑùÆ·19Ï໥×÷Óô¦£¨¼ÓÈÈÇø£© ÓëÑùÆ·19ÉÏδ¼ÓÈÈÇøÖ®¼äβîËùÓÕµ¼µÄÈû±´¿ËµçѹÐźÅ¡£ÄÉÃ×Èû±´¿ËµçѹÐźÅÒ»¶ËÔ´ÓÚ µÍÐźÅÒý³ö¶Ë22,ÁíÒ»¶ËÔ´ÓÚ¸ßÐźÅÒý³ö¶Ë23¡£µÍÐźÅÒý³ö¶Ë22Óë¸ßÐźÅÒý³ö¶Ë23·Ö±ð Óë±»²âÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÑùÆ·19ºÍ̽Õëµ××ù13ÒÔº¸½Ó·½Ê½Õ³½á£¬²»½ö±£Ö¤ÁËÐźÅÒýÏßµÄ΢ŷ Ä·½Ó´¥£»Í¬Ê±ÒýÏß¼á¹Ì±£Ö¤Á˲âÊÔÌõ¼þµÄÎȶ¨ÐÔºÍÊý¾ÝµÄ¿É¿¿ÐÔ¡£
    [0060] ¸ßÁéÃô¶Èµçѹ¼Æ24¾ßÓвâÁ¿ÁéÃô¶È¸ß¡¢¿¹¸ÉÈÅÐÔÇ¿¡¢Âú×ãϵͳ¹¤×÷ÒªÇóµÈÓŵ㣬 ¿ÉʵÏÖ΢ÈõµçѹÐźŵĸßÁéÃô¶È¼ì²â¡£
    [0061] Êý¾Ý´¦Àí¼°ÏÔʾÄ£¿é25°üÀ¨»ùÓÚ¼ÆËã»úƽ̨µÄÐźŴ¦ÀíÄ£¿éºÍ½á¹ûÏÔʾÄ£¿é¡£ »ùÓÚ²»Í¬ÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÓë±ê×¼Èȵç²ÄÁϵÄÄÉÃ×Èû±´¿ËµçѹÐźŵıÈÖµ£¬¿É¼ÆËã»ñµÃ±»²âÄÉ Ã×Èȵç²ÄÁÏÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËϵÊý¡£
    [0062] Ó¦Óñ¾ÉêÇ뽨Á¢µÄÔ­×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽Õëԭλ¼ÓÈÈ¡¢Ô­Î»±íÕ÷ÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýµÄ ×°ÖöԶàÖÖÈȵç²ÄÁÏÑùÆ·µÄÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËϵÊý½øÐÐÁ˲âÊÔ¡£
    [0063] ͼ3¸ø³öÁ˲»Í¬¼ÓÈȵçѹϵÄ7ÖÖÈȵç²ÄÁϵÄÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËµçѹÐźţ¬ ÆäÖдÓÉϵ½ÏÂÒÀ´ÎΪ£º²ôÆÌµÄ¾†»¯Ãر¡Ä¤-1 ((Bi, Sb) 2Te3f ilm-1)¡¢²ôÆÌµÄ¾†»¯Ãر¡ Ĥ-2 ((Bi£¬Sb) 2Te3f ilm-2)¡¢²ôÌàµÄíÚ»¯î鱡Ĥ-3 ((Bi£¬Sb) 2Te3f ilm-3)¡¢´¿íÚ»¯î鱡 Ĥ-4 (Bi2Te3film-4)¡¢Îø»¯ÒøÌå²ÄÁÏ-5 (Ag2Se bulk-5)¡¢´¿íÚ»¯î鱡Ĥ-6 (Bi2Te3f ilm-6)¡¢´¿ íÚ»¯î鱡Ĥ-7(Bi2Te3film-7)¡£ÆäÖÐÎø»¯ÒøÌå²ÄÁÏ-5(Ag 2Se bulk-5)Ϊ±ê×¼ÑùÆ·£¬ÆäÈû±´ ¿ËϵÊýΪ124¦Ì¦Í/¦ª¡£
    [0064] ¸ù¾ÝÈȵçÈû±´¿ËϵÊý¹«Ê½£¬Èû±´¿ËϵÊýΪÈû±´¿ËµçѹÓëβîÖ®±È¡£Òò´Ë£¬ÒÔAg2Se Ìå²ÄÁÏΪ±êÑù£¬¿ÉÒÔ¼ÆË㲻ͬ¼ÓÈȵçѹÏÂ̽ÕëµÄ¼ÓÈÈζÈ¡£Í¼4¸ø³öÁ˲»Í¬¼ÓÈȵçѹÓë̽ Õë¼ÓÈÈζÈÖ®¼äµÄ¹ØÏµ¡£
    [0065] ÓÉͼ3ºÍͼ4µÄ½á¹û£¬¿ÉÒÔ»ñµÃ7ÖÖÈȵç²ÄÁϵÄÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËµçѹÓë̽Õë¼ÓÈÈ Î¶ÈÖ®¼äµÄ¹ØÏµ£¬Èçͼ5Ëùʾ¡£ÀíÂÛÉ϶þÕßÖ®¼äÓ¦¸Ã³ÊÏßÐÔ¹ØÏµÇÒÆäбÂʼ´ÎªÈû±´¿ËϵÊý Öµ¡£ÄâºÏ½á¹û±íÃ÷£¬¶þÕßÖ®¼äÁ¼ºÃµÄÏßÐÔ¹ØÏµÓëÀíÂÛÍêȫһÖ£¬
    [0066] ͼ6¸ø³öÁ˸ù¾Ýͼ5бÂÊ»ñµÃµÄ7ÖÖÈȵç²ÄÁÏÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËϵÊý£¬±íÃ÷¸Ã·½·¨ µÄ¿ÉÐÐÐԺͽá¹ûµÄ׼ȷÐÔ¡£
    [0067] ÉÏÊöʵÀý±íÃ÷ÁË»ùÓÚÔ­×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µËù½¨Á¢µÄÔ­×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽Õëԭλ¼ÓÈÈ¡¢Ô­ λ±íÕ÷ÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýµÄ×°Öýâ¾öÁËÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËϵÊýԭλ±íÕ÷ÕâÒ»¹Ø ¼ü¼¼ÊõÄÑÌâ¡£¸ÃÐÂÐÍÄÉÃ×±íÕ÷×°ÖÃʵÏÖÁËÄÉÃ׳߶ÈÇøÓòԭλ¼ÓÈÈ¡¢ÄÉÃ׳߶ÈÈû±´¿ËµçѹÐÅ ºÅµÄԭλ¼¤·¢ºÍԭλ¼ì²â£¬ÍØÕ¹ÁËÏÖÓÐÉÌÓÃÔ­×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µËù²»¾ßÓеÄÄÉÃ×Èȵç²ÄÁÏÄÉÃ×³ß ¶ÈÇøÓòԭλ¼ÓÈȺÍÄÉÃ׳߶ÈÎïÀíÐÔÄÜԭλ±íÕ÷¹¦ÄÜ£¬ÎªÉîÈëÑо¿ÄÉÃ×Èȵç²ÄÁϼ°Ïà¹ØÆ÷¼þ µÄÉîÈë·¢Õ¹ÌṩÁËÖØÒªµÄԭλÄÉÃ×±íÕ÷з½·¨¡£
    [0068] ×ÛÉÏËùÊö£¬±¾ÉêÇëÍ»³öÓŵ㽫ԭ×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µÄÉÃ×¼ì²â¹¦ÄÜ¡¢½¹¶úÈÈЧӦ¡¢ÈÈ´«µ¼Ð§ Ó¦ºÍÈȵç²ÄÁÏÈû±´¿ËÎïÀíЧӦÏà½áºÏ£¬½¨Á¢Æð»ùÓÚÔ­×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µµ¼µç̽Õëԭλ¼ÓÈÈ¡¢Ô­Î» ¶¨Á¿±íÕ÷ÄÉÃ×Èû±´¿ËϵÊýµÄз½·¨ºÍÐÂ×°Öá£
    [0069] ¸Ãз½·¨¾ßÓÐÄÉÃ׳߶Èԭλ¼ÓÈÈ¡¢Ô­Î»Í¬²½±íÕ÷µÄ¶ÀÌØ¹¦ÄÜ£¬ÇÒ¾ßÓÐÄÉÃ×¼¶³¬¸ß ·Ö±æÂÊ¡¢¸ßÁéÃô¶È¡¢¸ßÐÅÔë±È¡¢²âÊÔÖ±½ÓµÈÓŵã¡£±¾ÉêÇëËùÊöµÄ¹Ø¼ü¼¼Êõ×°Öýṹ¼òµ¥¡¢¼æÈÝ ÐÔÇ¿£¬ÊÊÓ벻ͬÉÌÓÃAFMϵͳÏà½áºÏ£¬ÊÇÒ»ÏîÒ×ÓÚÍÆ¹ãºÍÓ¦ÓõÄм¼Êõ£¬¿ÉÍûÔÚÄÉÃ×Èȵç²Ä ÁÏ¡¢ÄÉÃ×°ëµ¼Ìå²ÄÁϼ°ÆäËüÄÉÃײÄÁϺ͹¦ÄÜÆ÷¼þµÈÁìÓòÖлñµÃÖØÒªÓ¦Óá£
    [0070] Ç°ÃæÌṩÁ˶ԽϼÑʵʩÀýµÄÃèÊö£¬ÒÔʹ±¾ÁìÓòÄÚµÄÈκμ¼ÊõÈËÔ±¿ÉʹÓûòÀûÓñ¾ ÉêÇë¡£¶ÔÕâЩʵʩÀýµÄ¸÷ÖÖÐ޸ĶԱ¾ÁìÓòÄڵļ¼ÊõÈËÔ±ÊÇÏÔ¶øÒ×¼ûµÄ£¬¿É°ÑÕâÀïËùÊöµÄ×Ü µÄÔ­ÀíÓ¦Óõ½ÆäËûʵʩÀý¶ø²»Ê¹Óô´ÔìÐÔ¡£Òò¶ø£¬±¾ÉêÇ뽫²»ÏÞÓÚÕâÀïËùʾµÄʵʩÀý£¬¶øÓ¦ ÒÀ¾Ý·ûºÏÕâÀïËù½ÒʾµÄÔ­ÀíºÍÐÂÌØÕ÷µÄ×î¿í·¶Î§¡£
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