亚星游戏官网-www.yaxin868.com

  • 山东亚星游戏官网机床有限公司铣床官方网站今天是:2025-06-04切换城市[全国]-网站地图
    推荐产品 :
    推荐新闻
    技术文章当前位置:技术文章>

    微机械加速度计温度系统的测试与标定方法

    时间:2023-06-11    作者: 管理员

    微机械加速度计温度系统的测试与标定方法
    【专利摘要】提供一种微机械加速度计温度系统的测试与标定方法,根据其工作原理和技术特点,通过试验和拟合计算得到用于温度补偿的数学模型,进而在系统应用时提高微机械加速度计性能和环境适应性。采用本发明操作简单可靠,拟合精度高,可间接有效地解决微机械加速度计输出受温度影响变化大的问题,拓展微机械加速度计的工程应用范围。
    【专利说明】微机械加速度计温度系统的测试与标定方法

    【技术领域】
    [0001] 本发明属微惯性器件测试及应用【技术领域】,具体涉及一种微机械加速度计温度系 统的测试与标定方法,主要应用于机载导航系统、武器制导及民用各类微机械加速度计的 温度特性测试和标定,W提高微机械加速度计的性能与环境适应性。

    【背景技术】
    [0002] 目前,国内外W娃材料为基体的微机械加速度计普遍存在输出受温度影响变化大 的问题。解决该一问题的方法有两种:一是工作环境温度控制,二是应用系统中的温度补 偿。一般对于高精度的微机械加速度计(稳定性小于lXl(T 5g),可采用温度控制的方法, 而对于中低精度的微机械加速度计,从成本和适用性考虑,若采用温度控制的方法,则成本 大幅攀升,因此有必要提出改进。


    【发明内容】

    [0003] 本发明解决的技术问题;提供一种微机械加速度计温度系统的测试与标定方法, 根据其工作原理和技术特点,通过试验和拟合计算得到用于温度补偿的数学模型,进而在 系统应用时提高微机械加速度计性能和环境适应性。
    [0004] 本发明采用的技术方案:微机械加速度计温度系统的测试与标定方法,包含下述 步骤:
    [000引1)开启温箱,设定温度75。当温度达到75C ±0. 5°C时,恒温比,然后微机械加 速度计通电,进行四位置测试并记录其偏值K。、标度因数Ki和温度值;
    [0006] 2)微机械加速度计断电;
    [0007] 扣降温至65C,恒温比,微机械加速度计通电测试并记录K。、Ki和温度值,断电;
    [000引 4)按上述方法,逐次测试并记录55 °C、45 °C、35 °C、25 °C、15 °C、5 °C、 (TC、-5°C、-15°C、-25°C、-35°C和-45°C环境下偏值K。、标度因数Ki和温度值;
    [0009] 5)升温,逐次测试并记录-45 °C、-35 °C、-25 °C、-15 °C、-5 °C、(TC、5 °C、15 °C、25 °C、 35 °C、45 °C、55 °C、65 °C和75 °C环境下偏值K。、标度因数Ki和温度值;
    [0010] 6)分别计算降温和升温过程中同一温度值下的偏值K。、标度因数Ki的平均值;
    [0011] 7)温度系数标定:对试验数据进行H阶非线性拟合,确定微机械加速度计的拟合 模型参数,然后对各项温度系数进行标定。
    [0012] 本发明与现有技术相比操作简单可靠,拟合精度高,可间接有效地解决微机械加 速度计输出受温度影响变化大的问题,拓展工程应用范围。

    【专利附图】

    【附图说明】
    [0013] 图1为本发明的工作原理示意图;
    [0014] 图2为10001#微机械加速度计偏值的拟合温度曲线图;
    [0015] 图3为10001#微机械加速度计标度因数的拟合温度曲线图;
    [0016] 图4为10007#微机械加速度计偏值的拟合温度曲线图;
    [0017] 图5为10007#微机械加速度计标度因数的拟合温度曲线图;
    [0018] 图6为10001#微机械加速度计全温输出曲线图;
    [0019] 图7为10007#微机械加速度计全温输出曲线图。

    【具体实施方式】
    [0020] 下面结合附图1-7描述本发明的实施例。
    [0021] W某型微机械加速度计为例,具体指标如下:工作电压;15V±0. 15V,直流,双向 供电;工作温度;-45°C?75C ;量程;± 15g ;偏值K。;-2. 5X 10-ig?2. 5X 10-ig ;标度因数 Ki ;220mV/g±20mV/g。
    [0022] -、工作原理;如图1所示,微机械加速度计闭环系统主要由表头组件(含敏感质 量块的微结构)、检测放大电路和反馈电路等几部分组成。当加速度输入作用于敏感质量 块m形成惯性力,使微结构上电容极板发生位移,产生电容变化A C,检测放大电路将电容 变化AC转变为电压变化AV,反馈电路产生负反馈电压,加到微结构上W平衡惯性力的作 用,形成闭环系统。
    [0023] 二、试验设备;1)带温度箱的垂直位置转台;2)微机械加速度计四位置测试系统 (也可用61/ 2精度的数字电压表手动测试、记录和计算)
    [0024] H、温度系数测试方法
    [0025] 为建立微机械加速度计的温度模型,首先应在各温度点下对其进行性能试验,具 体方法如下:
    [002引 1)开启温箱,设定温度75。当温度达到75C ±0. 5C时,恒温比,然后微机械加 速度计通电,进行四位置测试并记录其偏值K。、标度因数Ki和温度值;
    [0027] 2)微机械加速度计断电;
    [002引扣降温至65°C,恒温比,微机械加速度计通电测试并记录K。、Ki和温度值,断电;
    [0029] 4)按上述方法,逐次测试并记录 55 °C、45 °C、35 °C、25 °C、15 °C、5 °C、 (TC、-5°C、-15°C、-25°C、-35°C和-45°C环境下偏值K。、标度因数Ki和温度值;
    [0030] 5)升温,逐次测试并记录-45 °C、-35 °C、-25 °C、-15 °C、-5 °C、(TC、5 °C、15 °C、25 °C、 35 °C、45 °C、55 °C、65 °C和75 °C环境下偏值K。、标度因数Ki和温度值;
    [003。 6)分别计算降温和升温过程中同一温度值下的偏值K。、标度因数Ki的平均值。
    [0032] 选取表号10001#和10007#的2只微机械加速度计进行试验,试验数据分别见表 1和表2。
    [0033] 表1 ;10001#微机械加速度计温度曲线试验数据
    [0034]

    【权利要求】
    1.微机械加速度计温度系统的测试与标定方法,其特征在于包含下述步骤: 1) 开启温箱,设定温度75°c,当温度达到75°C ±0. 5°C时,恒温lh,然后微机械加速度 计通电,进行四位置测试并记录其偏值&、标度因数&和温度值; 2) 微机械加速度计断电; 3) 降温至65°C,恒温lh,微机械加速度计通电测试并记录IV &和温度值,断电; 4) 按上述方法,逐次测试并记录55 °C、45 °C、35 °C、25 °C、15 °C、5 °C、 0°C、-5°C、-15°C、-25°C、-35°C和-45°C环境下偏值KQ、标度因数&和温度值; 5) 升温,逐次测试并记录 _45°C、_35°C、_25°C、_15°C、_5°C、0°C、5°C、15°C、25°C、 35°C、45°C、55°C、65°C和75°C环境下偏值心、标度因数&和温度值; 6) 分别计算降温和升温过程中同一温度值下的偏值&、标度因数&的平均值; 7) 温度系数标定:对试验数据进行三阶非线性拟合,确定微机械加速度计的拟合模型 参数,然后对各项温度系数进行标定。
    【文档编号】G01P21/00GK104237565SQ201410513578
    【公开日】2014年12月24日 申请日期:2014年9月29日 优先权日:2014年9月29日
    【发明者】刘敬涛, 张蔚, 刘小舟, 马让奎, 闫瑞, 刘欣 申请人:陕西宝成航空仪表有限责任公司

    • 专利名称:一种检查平面质量缺陷的方法技术领域:本发明涉及一种平面质量的检查方法。背景技术: 在涉及平面加工的制造领域,对平面加工质量通常有较高的要求。下面以液晶显示器制造领域为例,说明目前平面质量缺陷检测的重要性和平面质量缺陷的方法液晶显示
    • 专利名称:摩托车前行李架检测装置的制作方法技术领域:本实用新型属于工装夹具技术领域,具体地说,涉及一种摩托车前行李架的检测装置。背景技术:前行李架是摩托车上的连接部件,固定于车架上的前面罩安装支架上,用于安装 前行李筐。前行李架通常为框架结
    • 专利名称:汽车玻璃切割尺寸统计过程控制检测仪的制作方法技术领域:本实用新型属于汽车部件质量检测领域,尤其是指汽车玻璃尺寸的检测。 背景技术:随着国外汽车厂家进入中国,汽车玻璃行业的竞争也越来越激烈。汽车玻璃行业的快速发展离不开制造技术的不断
    • 专利名称:温度指示型组件式水冷器的制作方法技术领域:本实用新型涉及一种用于工业流程中的各种工业样气预处理中的装置,主要涉及 一种温度指示型组件式水冷器。背景技术:在现代各类流程工业中,各类工业样气绝大多数都含有水、水雾和油雾,有的水含 量达
    • 专利名称:汽车变速箱部件的气密性检测工装的制作方法技术领域:本发明涉及机械工装的设计与制造技术领域,特别是用于检测产品密封性能的一种工装结构,具体地说是汽车变速箱部件的气密性检测工装。背景技术:密封性是许多产品特别是众多汽车零部件上的一个重
    • 专利名称:一种激光雨滴谱仪降水信息反演修正方法技术领域:本发明属气象测量技术领域,具体涉及一种适用于天气现象的激光雨滴谱仪降水信息反演修正方法。背景技术:在天气现象自动观测领域,采用激光技术对降水信息进行检测。其中激光雨滴谱测量原理如图1所
    山东亚星游戏官网机床有限公司
    全国服务热线:13062023238
    电话:13062023238
    地址:滕州市龙泉工业园68号
    关键词:铣床数控铣床龙门铣床
    公司二维码
    Copyright 2010-2024 版权所有 All rights reserved 鲁ICP备19044495号-12
    【网站地图】【sitemap】