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[0003]¹â¿Ì¶ÔÆØ¹âϵͳµÄ¹âѧÐÔÄÜÒªÇóºÜ¸ß£¬ÔÚ¹â¿Ì»ú¹¤×÷¹ý³ÌÖУ¬ÆøÑ¹¡¢Î¶È¡¢Õñ¶¯µÈºÜ¶àÒòËØ¶¼»áÓ°Ïì¹â¿Ì»úÆØ¹âϵͳµÄ¹âѧÐÔÄÜ£¬µ¼ÖÂÆØ¹âϵͳ²¨Ïñ²î²úÉú¾çÁұ仯£¬ÇÒÕâ¸ö±ä»¯ÊÇÒ»¸ö¶¯Ì¬¹ý³Ì£¬ÓкܴóµÄËæ»úÐÔ¡£Õâ¾ÍÒªÇó¹â¿Ì»úÔÚʹÓùý³ÌÖУ¬±ØÐë¶ÔÆä¹âѧÐÔÄܽøÐÐÔÚÏßʵʱ¼à²â£¬²¢·´À¡¸ø±Õ»·¿ØÖÆÏµÍ³£¬½øÐÐÆØ¹âϵͳ¹âѧÐÔÄܵ÷Õû¡£¹â¿Ì»úÉú²úЧÂʺܸߣ¬ÏÖÔÚÖ÷Á÷¹â¿Ì»úÉú²úЧÂʶ¼ÔÚ200¶àƬÿСʱ£¬Õâ¾Í¶Ô¼à²âϵͳµÄʵʱÐÔÌá³öºÜ¸ßµÄÒªÇó¡£ËùÒÔÕâ¾ÍÒªÇ󯨹â¹âѧϵͳ¹âѧÐÔÄÜÔÚÏßԭλ¼ì²âϵͳ²âÁ¿Ëٶȿ졢²âÁ¿¾«¶È¸ß£¬ÇÒÒ×ÓÚ¼¯³É°²ÖÃÔÚ¹â¿Ì»úÖС£
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[0005]ÓùâÕÕÉä³ß´çºÜСµÄ¿×£¬ÔÚÆäºóÒ»¶¨·¶Î§ÄÚ¿ÉÒԵõ½½üºõÀíÏëÇòÃæ²¨£¬Èç¹þÌØÂü¼ì²â·½·¨¡£ÕâÖÖ·½·¨±È½Ï¼òµ¥£¬Ô­Àí·ÖÎöÏà¶ÔÈÝÒס£µ«ÊǶÔÓڸóߴçºÜСµÄ¿×£¬ÆäÖÆ×÷ºÍ¼Ó¹¤¹¤ÒÕÒªÇóºÜ¸ß£¬ÇÒÓÉÓڸÿ׳ߴçºÜС£¬Í¸¹ýµÄÄÜÁ¿ºÜÉÙ£¬²»ÀûÓÚºóÐø²¿¼þ¹¤×÷¡£
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[0026]ÔÚDUVÆØ¹â¹âѧϵͳÖУ¬¹âÔ´101 ¡ª°ãΪArF¡¢KrF×¼·Ö×Ó¼¤¹âÆ÷£¬Æä·¢ÉäµÄ²¨³¤·Ö±ðΪ193nm¡¢248nm ;ÔÚÆäËû¹âѧ¼ì²âÖУ¬¿ÉÒÔʹÓóöÉ䲨ÈëΪ632.8nmµÄHe-Ne¼¤¹âÆ÷£¬Ò²¿ÉÒÔʹÓÃÆäËûµÄ¼¤¹â¡£
[0027]ÕÕÃ÷Ä£¿é101°üÀ¨É¢Éä°å211¡¢×¼Ö±¾µ×é212¡¢Æ«ÕñÆ÷¼þ213ºÍ¾Û½¹¾µ×é214£¬¾ßÓÐÏû³ý¼¤¹âÉ¢°ß¡¢½µµÍ¼¤¹â¹âÊø¿Õ¼äÏà¸ÉÐÔ¡¢¹âÊø×¼Ö±¡¢Æ«ÕñÌØÐÔµ÷ÕûºÍ¾ùÔÈÕÕÃ÷µÈ¹¦ÄÜ¡£Èçͼ1Ëùʾ£¬¹âÔ´201·¢³öµÄ¼¤¹âÊø½øÈëÕÕÃ÷Ä£¿é102£¬¾­¹ýÉ¢Éä°å211·¢É¢¡£É¢Éä°å211·¢É¢¼¤¹âÊø£¬²¢Ïû³ý¼¤¹âÉ¢°ßÏÖÏóºÍ½µµÍ¼¤¹â¿Õ¼äÏà¸ÉÐÔ¡¢Ìá¸ß¹âÊø¾ùÔÈÐÔ¡£É¢Éä°å211·ÅÖÃÓÚ×¼Ö±¾µ×é212ǰ½¹ÃæÉÏ¡£·¢É¢ºóµÄ¹âÊø¾­¹ý×¼Ö±¾µ×é212×¼Ö±ºó£¬³ÉΪƽÐйâÊø¡£Æ½ÐйâÊøÈëÉäÖÁÆ«ÕñÆ÷¼þ213£¬¾­Æ«ÕñÆ÷¼þ213µ÷Õû¹âÊøÆ«ÕñÌØÐÔºó£¬ÈëÉäÖÁ¾Û½¹¾µ×é214¡£¾Û½¹¾µ×é214¶ÔÈëÉäµÄ¹âÐйâÊø½øÐо۽¹£¬Ê¹Ö®³ÉΪһ¸öºÜСµÄ¹â°ß¡£
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10.ÈçȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄ¹âѧϵͳ²¨Ïñ²î¼ì²â×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ:ËùÊöµÄÇý¶¯¿ØÖÆÄ£¿é(106)°üÀ¨Æ½ÒÆÌ¨Çý¶¯¿ØÖÆÆ÷(261)ºÍ̽²âÆ÷¿ØÖÆÆ÷(262);ËùÊöµÄÊý¾Ý´¦ÀíÄ£¿é(107)°üÀ¨Êý¾Ý´¦ÀíÈí¼þ(271)£¬ÓÃÓÚÊý¾Ý´¦ÀíºÍ²¨Ç°¸´Ô­¡£
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