»ùÓÚÈý¹âÏ˹²ÇòñîºÏµÄ΢²âÁ¿Á¦Ãé×¼´«¸ÐÆ÷µÄÖÆÔì·½·¨
¡¾×¨ÀûÕªÒª¡¿»ùÓÚÈý¹âÏ˹²ÇòñîºÏµÄ΢²âÁ¿Á¦Ãé×¼´«¸ÐÆ÷ÊôÓÚ¾«ÃÜÒÇÆ÷ÖÆÔì¼°²âÁ¿¼¼Êõ£»¸Ã´«¸ÐÆ÷°üÀ¨¼¤¹âÆ÷¡¢À©Êø×¼Ö±¾µ¡¢¹âÏËñîºÏ͸¾µ¡¢µ¼¹Ü¡¢ÏÔ΢Îï¾µb¡¢CCDÏà»úb¡¢ÏÔ΢Îï¾µa¡¢CCDÏà»úa¡¢¼ÆËã»úºÍÓÉÈëÉä¹âÏË¡¢ñîºÏÆ÷¡¢³öÉä¹âÏËa¡¢³öÉä¹âÏËb×é³ÉµÄ̽Õ룬ñîºÏÆ÷×÷Ϊ̽ÕëµÄ´¥µã£¬¹âÊø¾ÈëÉä¹âÏ˵¼ÈëñîºÏÆ÷ºó·Ö±ðÓɳöÉä¹âÏËaºÍ³öÉä¹âÏËbµ¼³ö£¬µ¼³ö¹âÊø·Ö±ð¾ÏÔ΢Îï¾µa¡¢ÏÔ΢Îï¾µb½øÈëCCDÏà»úa¡¢CCDÏà»úb£¬Í¨¹ýͼÏñ´¦Àí¼¼Êõ¼´¿ÉµÃµ½Á½Êø³öÉä¹âÊø·Ö±ðÔÚCCDÉÏÐγɵĹâ°ßÄÜÁ¿ÖÐÐÄλÖã¬ÓÉCCDÏà»úÉϹâ°ßÄÜÁ¿ÖÐÐÄλÖÃÓë´«¸ÐÆ÷´¥²âµãÔÚ¿Õ¼äλÖõÄÒ»Ò»¶ÔÓ¦¹ØÏµ¼´¿ÉµÃ³ö´«¸ÐÆ÷ÔÚ¿Õ¼äµÄÃé×¼Çé¿ö£»±¾´«¸ÐÆ÷¿É²âÉî¾¶±È´ó£¬¾ßÓÐÈýά̽²âÄÜÁ¦¡£
¡¾×¨Àû˵Ã÷¡¿»ùÓÚÈý¹âÏ˹²ÇòñîºÏµÄ΢²âÁ¿Á¦Ãé×¼´«¸ÐÆ÷
¡¾¼¼ÊõÁìÓò¡¿
[0001]±¾·¢Ã÷ÊôÓÚ¾«ÃÜÒÇÆ÷ÖÆÔì¼°²âÁ¿¼¼Êõ£¬ÌرðÉæ¼°Ò»ÖÖ»ùÓÚÈý¹âÏ˹²ÇòñîºÏµÄ΢²âÁ¿Á¦Ãé×¼´«¸ÐÆ÷¡£
¡¾±³¾°¼¼Êõ¡¿
[0002]Ëæ×ź½¿Õº½Ì칤ҵ¡¢Æû³µ¹¤Òµ¡¢µç×Ó¹¤ÒµÒÔ¼°¼â¶Ë¹¤ÒµµÈµÄ²»¶Ï·¢Õ¹£¬¶ÔÓÚ¾«ÃÜ΢С¹¹¼þµÄÐèÇó¼±¾çÔö³¤¡£ÓÉÓÚÊܵ½¿Õ¼ä³ß¶ÈºÍ´ý²â΢С¹¹¼þÕÚ±ÎЧӦµÄÏÞÖÆÒÔ¼°²âÁ¿½Ó´¥Á¦µÄÓ°Ï죬΢С¹¹¼þ³ß´çµÄ¾«ÃܲâÁ¿±äµÃÄÑÒÔʵÏÖ£¬ÓÈÆäÊÇ΢СÄÚÇ»¹¹¼þµÄ²âÁ¿Éî¶ÈÄÑÒÔÌá¸ß£¬ÕâЩÒÑÈ»³ÉÎªÖÆÔ¼ÐÐÒµ·¢Õ¹µÄ¡°Æ¿¾±¡±¡£ÎªÁËʵÏÖ¸üСµÄ³ß´ç²âÁ¿¡¢Ôö¼Ó²âÁ¿Éî¶È£¬×î¹ã·ºÊ¹Óõİ취¾ÍÊÇʹÓÃϸ³¤µÄ̽ÕëÉîÈë΢С¹¹¼þµÄÄÚÇ»½øÐÐ̽²â£¬Í¨¹ýÃé×¼·¢Ñ¶µÄ·½Ê½²âÁ¿²»Í¬Éî¶ÈÉϵÄ΢СÄڳߴ硣Òò´Ë£¬Ä¿Ç°Î¢Ð¡¹¹¼þ³ß´çµÄ¾«ÃܲâÁ¿Ö÷ÒªÒÔ×ø±ê²âÁ¿»ú½áºÏ¾ßÓÐÏËϸ̽ÕëµÄÃé×¼·¢Ñ¶Ê½Ì½²âϵͳΪÖ÷£¬ÓÉÓÚ£¬×ø±ê²âÁ¿»ú¼¼ÊõµÄ·¢Õ¹ÒѾ±È½Ï³ÉÊ죬¿ÉÒÔÌṩ¾«ÃܵÄÈýά¿Õ¼äÔ˶¯£¬Òò´ËÃé×¼´¥·¢Ê½Ì½ÕëµÄ̽²â·½Ê½³ÉΪ΢С¹¹¼þ³ß´ç̽²âϵͳÉè¼ÆµÄ¹Ø¼ü¡£
[0003]Ŀǰ£¬Î¢Ð¡¹¹¼þ³ß´ç²âÁ¿µÄÖ÷ÒªÊֶΰüÀ¨ÒÔϼ¸ÖÖ·½·¨:
[0004]1.µÂ¹úÁª°îÎïÀí¼¼ÊõÑо¿ÔºµÄH.Schwenke½ÌÊÚµÈÈËÌá³öÁËÒ»ÖÖ΢¹âÖéÉ¢Éä³ÉÏñ·¨£¬ÊµÏÖÁ˶Ô̽Õë²âͷλÖÃÐÅÏ¢µÄ¶þά¼ì²â¡£¸Ã·½·¨ÀûÓõ¥¹âÏË×÷Ϊ̽Õë²â¸Ë£¬°Ñ΢¹âÖéÕ³½Ó»òÕߺ¸½Óµ½²â¸ËÄ©¶Ë£¬Ê¹¹âÏßñîºÏ½øÈë¹âÏËÄÚ²¿´«²¥µ½Î¢¹âÖéÉÏÐγÉÉ¢É䣬ÓÃÒ»¸öÃæÕóCCD½ÓÊÕÉ¢Éä¹âÐγÉÃô¸ÐÐźţ¬ÊµÏÖÁË΢Á¦½Ó´¥Ê½²âÁ¿¡£ºóÀ´H.Schwenke½ÌÊÚµÈÈËÍØÕ¹ÁËÕâÖÖ·½·¨£¬ÔÚ²â¸ËÉÏÕ³½ÓÁËÒ»¸ö΢¹âÖ飬ͬʱÔö¼ÓÁËһ·¶Ô¸Ã΢¹âÖéµÄ³ÉÏñ¹â·£¬ÕâʹµÃ¸Ã̽²âϵͳ¾ßÓÐÁËÈýά̽²âÄÜÁ¦£¬²âÁ¿±ê×¼ÇòʱµÃµ½µÄ±ê׼ƫ²îΪ0.2 ¦Ì m¡£¾ÝÏà¹Ø±¨µÀ£¬´Ë·½·¨¿ÉʵÏÖ²âÁ¿¦µ 151 ¦Ì mµÄ¿×¾¶£¬²âÁ¿Éî¶ÈΪ1mm¡£ÕâÖÖ·½·¨ÔÚ²âÁ¿Éî¿×¹ý³ÌÖУ¬ÓÉÓÚ΢¹âÖéÉ¢Éä½Ç¶È½Ï´ó£¬Ëæ×ŲâÁ¿Éî¶ÈµÄÔö¼Ó£¬Î¢¹âÖéÉ¢Éä³ÉÏñ¹â°ßµÄÖÊÁ¿ÓÉÓÚÉ¢Éä¹âÏßÊܵ½¿×±ÚÕÚµ²¶øÖð½¥½µµÍ£¬µ¼Ö³ÉÏñÄ£ºý£¬½µµÍÁ˲âÁ¿¾«¶È£¬Òò´ËÎÞ·¨ÊµÏÖ´óÉî¾¶±ÈµÄ¸ß¾«¶È²âÁ¿¡£
[0005]2.Öйú¹þ¶û±õ¹¤Òµ´óѧ̷¾Ã±ò½ÌÊںʹ޼ÌÎIJ©Ê¿µÈÈËÌá³öÒ»ÖÖ»ùÓÚË«¹âÏËñîºÏµÄ̽Õë½á¹¹£¬°ÑÁ½¸ù¹âÏËͨ¹ýÄ©¶ËÈÛ½ÓÇòÁ¬½Ó£¬ÈÛ½ÓÇò×÷Ϊ²âÍ·£¬Ò»¸ù½Ï³¤¹âÏËÒýÈë¹âÏߣ¬ÁíÍâÒ»¸ù½Ï¶Ìµ¼³ö¹âÏߣ¬¿Ë·þÁË΢¹âÖéÉ¢Éä·¨²âÁ¿Éî¶ÈµÄ¾ÖÏÞ£¬¿ÉÒÔʵÏÖ¶ÔÖ±¾¶²»Ð¡ÓÚ
0.01mm¡¢Éî¾¶±È²»´óÓÚ50: IµÄ΢Éî¿×²âÁ¿Ê±µÄ¾«È·Ãé×¼¡£ÕâÖÖ·½·¨Ä¿Ç°½öÄÜʵÏÖ¶þάλÖÃÐÅÏ¢µÄ¼ì²â£¬²»¾ß±¸Èýά̽²âÄÜÁ¦¡£
[0006]3.ÃÀ¹ú¹ú¼Ò±ê×¼¼¼ÊõÑо¿ÔºÊ¹ÓÃÁ˵¥¹âÏ˲â¸Ë½áºÏ΢¹âÖé²âÍ·µÄ̽Õ룬ͨ¹ý¹âѧÉè¼ÆÔÚ¶þά·½ÏòÉϽ«¹âÏ˲â¸Ë³ÉÏñ·Å´ó35±¶×óÓÒ£¬ÓÃ2¸öÃæÕóCCD·Ö±æ½ÓÊÕ¶þά·½ÏòÉϹâÏ˲â¸ËËù³ÉµÄÏñ£¬È»ºó¶Ô½ÓÊÕµ½µÄͼÏñ½øÐÐÂÖÀª¼ì²â£¬´Ó¶ø¼à²â¹âÏ˲â¸ËµÄÔÚ²âÁ¿¹ý³ÌÖеÄÎ¢Ð¡ÒÆ¶¯£¬½ø¶øÊµÏÖ´¥·¢Ê½²âÁ¿£¬¸Ã̽²âϵͳµÄÀíÂÛ·Ö±æÁ¦¿ÉÒÔ´ïµ½4nm£¬Ì½²âϵͳµÄ̽Õë²âÍ·Ö±¾¶Îª¦µ75¦Ì¦Ð¦É£¬ÊµÑéÖвâÁ¿ÁË ¦µ129¦Ì¦Ð¦ÉµÄ¿×¾¶£¬ÆäÀ©Õ¹²»È·¶¨¶È¹ÀËãÖµ´ïµ½ÁË70nm(k=2)£¬²âÁ¿Á¦Îª¦Ì NÁ¿¼¶¡£ÕâÖÖ·½·¨Ì½²â·Ö±æÁ¦¸ß£¬²âÁ¿¾«¶È¸ß£¬Ê¹ÓõIJâÍ·Ò×ÓÚСÐÍ»¯£¬¿ÉÒÔ²âÁ¿½Ï´óÉî¾¶±ÈµÄ΢¿×¡£¸Ã·½·¨µÄ¾ÖÏÞÊdzÉÏñµ¥Ôª¶Ô¹âÏ˲â¸ËµÄÎ¢Î»ÒÆ·Å´ó±¶Êý½ÏµÍ(½öÓÐ35±¶)£¬±ØÐëͨ¹ýͼÏñËã·¨½øÒ»²½Ìá¸ß·Ö±æÁ¦£¬Ì½²â¹âÏ˲â¸ËµÄ¶þÎ¬Î¢Î»ÒÆ±ØÐëʹÓÃÁ½Ì׳ÉÏñϵͳ£¬µ¼ÖÂϵͳ½á¹¹±È½Ï¸´ÔÓ£¬²âÁ¿Êý¾Ý¼ÆËãÁ¿±È½Ï´ó£¬ÕâЩÒòËØµ¼ÖÂ̽²âϵͳµÄ·Ö±æÁ¦ÄÑÒÔ½øÒ»²½Ìá¸ß£¬Ì½²âϵͳµÄʵʱÐԽϲϵͳ¹¹³É±È½Ï¸´ÔÓ£»ÇҸ÷½·¨Ä¿Ç°½ö¾ßÓжþά̽²âÄÜÁ¦¡£
[0007]4.Öйú¹þ¶û±õ¹¤Òµ´óѧ̷¾Ã±ò½ÌÊÚºÍÍõ·ÉµÈÈËÌá³öÁËÒ»ÖÖ»ùÓÚµ¥¹âÏË̽Õë²â¸ËµÄһά΢½¹×¼Ö±µÄ²âÁ¿·½·¨£¬¸Ã·½·¨ÀûÓõ¥¹âÏË̽Õë²â¸ËµÄ³¬´óÇúÂÊÓë΢ÖùÃæÍ¸¾µµÄ½á¹¹Ìصã×齨Á˵ã¹âԴһά΢½¹×¼Ö±³ÉÏñ¹â·£¬Í¨¹ý²âÁ¿³ÉÏñÁÁÌõÎÆµÄÄÜÁ¿ÖÐÐĵÄλÖÃÓëÌõÎÆ¿í¶È£¬´Ó¶ø»ñµÃ¹âÏË̽Õë²â¸ËµÄ¶þÎ¬Î»ÒÆÁ¿ÐÅÏ¢£¬Èô¶Ô¸Ã×°ÖÃÈçÏÂÅäÖÃ:¹âÏË̽Õë²â¸Ë°ë¾¶Îª10 ¦Ì m,ÆäÕÛÉäÂʦÇ=1.7,Ïñ¾àr=300mm,¹âµç½ÓÊÕÆ÷ÏñÔª³ß´çΪ7 ¦Ì m,ÀûÓÃͼÏñËã·¨Äܹ»·Ö±æ0.1¸öÏñÔªµÄ±ä»¯£¬ÆäÀíÂÛ·Ö±æÁ¦¿É´ï0.03nm¡£¸Ã·½·¨Ëù³ÉÏñÁÁÌõÎÆµÄÌõÎÆ¿í¶È²»ÒײâÁ¿£¬Í¬Ê±ÔÚ¶þÎ¬Î»ÒÆ²âÁ¿Ê±£¬´æÔÚ³ÉÏñÐÅÏ¢ÖеÄñîºÏÎÊÌ⣬¼´³ÉÏñÁÁÌõÎÆµÄÄÜÁ¿ÖÐÐĵÄλÖÃÓëÌõÎÆ¿í¶ÈµÄñîºÏÎÊÌâ¡£Ëæºó£¬´Þ¼ÌÎĵÈÈËÓÖÌá³öÒ»ÖÖ»ùÓÚÕý½»¶þά΢½¹×¼Ö±µÄ΢¿×²âÁ¿·½·¨£¬¸Ã·½·¨½â¾öÁ˶þάÐÅÏ¢ñîºÏµÄÎÊÌ⣬µ«ÊǸ÷½·¨Ö»ÄÜʵÏÖ¶þά΢³ß¶È²âÁ¿£¬²»¾ß±¸Èýά²âÁ¿ÄÜÁ¦¡£
[0008]5.ÈðÊ¿ÁªºÏ¼ÆÁ¿°ì¹«ÊÒÑз¢ÁËÒ»¸öÐÂÐ͵Ä×ø±ê²âÁ¿»úÖÂÁ¦ÓÚС½á¹¹¼þÄÉÃ×¾«¶ÈµÄ¿É×·¼£µÄ²âÁ¿¡£¸Ã²âÁ¿»ú²ÉÓÃÁË»ùÓÚ²¢ÁªÔ˶¯Ñ§ÔÀíµÄÍäÇú½ÂÁ´½á¹¹µÄÐÂÐͽӴ¥Ê½Ì½Õ룬¸ÃÉè¼Æ¿ÉÒÔ¼õÐ¡ÒÆ¶¯ÖÊÁ¿²¢ÇÒÈ·±£È«·½ÏòµÄµÍÓ²¶È£¬ÊÇÒ»¸ö¾ßÓÐÈýά¿Õ¼ä½á¹¹Ì½²âÄÜÁ¦µÄ̽Õë¡£ÕâÒ»´«¸Ð½á¹¹µÄ²âÁ¿Á¦µÍÓÚ0.5mN,ͬʱ֧³Ö¿É¸ü»»µÄ̽Õ룬̽Õë²âÍ·µÄÖ±¾¶×îСµ½¦µ¦©¦¯¦¯¦Ì¦Ð¦É¡£Ì½²âϵͳ½áºÏÁËÒ»¸öÓÉPhilips CFT¿ª·¢µÄ¸ßλÖþ«¶ÈµÄƽ̨£¬Æ½Ì¨µÄλÖþ«¶ÈΪ20nm¡£¸Ã²âÁ¿ÏµÍ³²âÁ¿Öظ´ÐԵıê׼ƫ²î´ïµ½5nm£¬²âÁ¿½á¹ûµÄ²»È·¶¨¶ÈΪ50nm¡£¸ÃÖÖ·½·¨½á¹¹Éè¼Æ¸´ÔÓ£¬Í¬Ê±ÒªÇó²â¸Ë¾ßÓнϸߵĸնȺÍÓ²¶È£¬·ñÔòÄÑÒÔʵÏÖÓÐЧµÄÎ»ÒÆ´«¸Ð£¬ÕâʹµÃ²â¸Ë½á¹¹ÄÑÒÔ½øÒ»²½Ð¡ÐÍ»¯£¬²âÁ¿Éî¾¶±ÈͬʱÊܵ½ÖÆÔ¼£¬Ì½²âϵͳµÄ·Ö±æÁ¦ÄÑÒÔ½øÒ»²½ÌáÎÅ¡£
[0009]×ÛÉÏËùÊö£¬Ä¿Ç°Î¢Ð¡³ß´çºÍ×ø±ê̽²â·½·¨ÖУ¬ÓÉÓÚ¹âÏËÖÆ×÷µÄ̽Õë¾ßÓÐ̽Õë³ß´çС¡¢²âÁ¿½Ó´¥Á¦Ð¡¡¢²âÁ¿Éî¾¶±È´ó¡¢²âÁ¿¾«¶È¸ßµÄÌØµã¶ø»ñµÃÁ˹㷺¹Ø×¢£¬ÀûÓÃÆäÌØÓеĹâÑ§ÌØÐԺͻúÐµÌØÐÔͨ¹ý¶àÖÖ·½Ê½ÊµÏÖÁËÒ»¶¨Éî¶ÈÉϵÄ΢С³ß´çµÄ¾«ÃܲâÁ¿¡£ÏÖ´æ²âÁ¿ÊÖ¶ÎÖ÷Òª´æÔÚµÄÎÊÌâÓÐ:
[0010]1.̽²âϵͳµÄ²âÁ¿Éî¶ÈÊÜÏÞ¡£µÂ¹úPTBµÄ΢¹âÖéÉ¢Éä³ÉÏñ·¨ÊÜÕÚ±ÎЧӦµÄÓ°Ï죬ÄÑÒÔʵÏÖ²âÁ¿Éî¶ÈµÄÌáÉý£¬Í¬Ê±½µµÍÁËϵͳ̽²â¾«¶È¡£
[0011]2.̽²âϵͳµÄÎ»ÒÆ·Ö±æÁ¦ÄÑÒÔ½øÒ»²½Ìá¸ß¡£ÏÖ´æµÄ̽²âϵͳµÄ³õ¼¶·Å´óÂʽϵͣ¬µ¼ÖÂÁËÆäÕûÌå·Å´óÂʽϵͣ¬ÄÑÒÔʵÏÖÆäÎ»ÒÆ·Ö±æÁ¦µÄ½øÒ»²½Ìá¸ß¡£ÃÀ¹ú¹ú¼Ò±ê×¼¼¼ÊõÑо¿Ôº²ÉÓõÄ̽²â·½·¨µÄ¹âѧ²â¸ËµÄ¹âѧ¹â··Å´ó±¶ÂʽöÓÐ35±¶£¬½ÏµÍµÄ³õ¼¶·Å´ó±¶Âʵ¼ÖÂÁËÆäÎ»ÒÆ·Ö±æÁ¦ÄÑÒÔ½øÒ»²½Ìá¸ß¡£
[0012]3.̽²âϵͳʵʱÐԲÄÑÒÔʵÏÖ¾«ÃܵÄÔÚÏß²âÁ¿¡£ÃÀ¹ú¹ú¼Ò±ê×¼¼¼ÊõÑо¿Ôº²ÉÓõÄ̽²â·½·¨±ØÐëʹÓÃÁ½Â·ÃæÕóCCD½ÓÊÕÐźÅͼÏñ£¬±ØÐëʹÓýϸ´ÔÓµÄͼÏñËã·¨²ÅÄÜʵÏÖ¶Ô¹âÏ˲â¸ËÎ»ÒÆµÄ¸ß·Ö±æÁ¦¼à²â£¬Õâµ¼Ö²âÁ¿ÏµÍ³ÐèÒª´¦ÀíµÄÊý¾ÝÁ¿´ó´óÔö¼Ó£¬½µµÍÁË̽²âϵͳµÄʵʱÐÔÄÜ£¬ÄÑÒÔʵÏÖ΢СÄÚÇ»³ß´çºÍ¶þÎ¬×ø±ê²âÁ¿¹ý³ÌÖÐÃé×¼·¢Ñ¶ÓëÆô¡¢Ö¹²âÁ¿µÄͬ²½ÐÔ¡£
[0013]4.ÈýÎ¬Î»ÒÆ·½Ïò̽²âÄÜÁ¦²»×ã¡£¹þ¶û±õ¹¤Òµ´óѧÌá³öµÄ»ùÓÚË«¹âÏËñîºÏµÄ̽Õë½á¹¹ºÍ»ùÓÚÕý½»¶þά΢½¹×¼Ö±µÄ΢¿×²âÁ¿·½·¨¶¼²»¾ßÓÐÈýά̽²âÄÜÁ¦£¬Ö»ÄÜʵÏÖ΢³ß¶ÈµÄ¶þά²âÁ¿£¬ÎÞ·¨Âú×㵱ǰ΢³ß¶ÈÈýά²âÁ¿µÄÐèÒª¡£
¡¾·¢Ã÷ÄÚÈÝ¡¿
[0014]±¾·¢Ã÷µÄÄ¿µÄÊǿ˷þ΢С¹¹¼þ³ß´ç²âÁ¿·½·¨ÏÖÓм¼ÊõÖдæÔڵIJ»×ãÖ®´¦£¬ÌṩһÖÖÊÊÓÃÓÚ´óÉî¾¶±È΢С¹¹¼þ³ß´ç²âÁ¿µÄ»ùÓÚÈý¹âÏ˹²ÇòñîºÏµÄ΢²âÁ¿Á¦Ãé×¼´«¸ÐÆ÷£¬Í¨¹ýñîºÏÆ÷¼°ÏÔ΢Îï¾µ½«´«¸ÐÆ÷̽ÕëÔÚ΢¿×ÄÚµÄ΢С´¥²âÎ»ÒÆÁ¿×ª±äΪCCDͼÏñ²¶×½ÏµÍ³µÄºáÏòÎ»ÒÆÁ¿£¬ÓÉͼÏñÖÊÐĶ¨Î»Ë㷨ʵÏÖ¶Ô¿×±Ú²âÁ¿Ê±µÄ¸ß¾«¶ÈÈýάÃé×¼¡£
[0015]±¾·¢Ã÷µÄ¼¼Êõ·½°¸ÊÇ:Ò»ÖÖ»ùÓÚÈý¹âÏ˹²ÇòñîºÏµÄ΢²âÁ¿Á¦Ãé×¼´«¸ÐÆ÷°üÀ¨¼¤¹âÆ÷¡¢À©Êø×¼Ö±¾µ¡¢¹âÏËñîºÏ͸¾µ¡¢µ¼¹Ü¡¢Ì½Õë¡¢ÏÔ΢Îï¾µa¡¢CCDÏà»úaºÍ¼ÆËã»ú£¬Êý¾ÝÏß½«CCDÏà»úaÓë¼ÆËã»úÁ¬Í¨£¬Ì½ÕëÖÃÓÚ´ý²â΢¿×ÄÚ£¬ËùÊö̽Õë°üÀ¨ÈëÉä¹âÏË¡¢ñîºÏÆ÷ºÍ³öÉä¹âÏËa£¬ñîºÏÆ÷×÷Ϊ̽ÕëµÄ´¥µã·Ö±ðÓëÈëÉä¹âÏ˺ͳöÉä¹âÏËaÁ¬½Ó£¬¼¤¹âÆ÷·¢³öµÄ¹âÊø¾À©Êø×¼Ö±¾µºÍ¹âÏËIÓíºÏ͸¾µºó½øÈëÈëÉä¹âÏË£¬¹âÊø¾ÈëÉä¹âÏ˵¼ÈëIÓíºÏÆ÷ºóÓɳöÉä¹âÏËaµ¼³ö£¬µ¼³ö¹âÊø¾ÏÔ΢Îï¾µa½øÈëCCDÏà»úa£¬ËùÊö̽Õ뻹°üÀ¨³öÉä¹âÏËb£¬ËùÊö³öÉä¹âÏËbÓëñîºÏÆ÷Á¬½Ó£¬ÇÒ³öÉä¹âÏËbµÄÄ©¶Ë³Ê80-100¡ãÍäÇú×´£¬¹âÊø¾ÈëÉä¹âÏ˵¼ÈëñîºÏÆ÷ºóÓɳöÉä¹âÏËbµ¼³ö£¬µ¼³ö¹âÊø¾ÏÔ΢Îï¾µb½øÈëCXDÏà»úb£¬Êý¾ÝÏß½«CXDÏà»úbÓë¼ÆËã»úÁ¬Í¨¡£
[0016]±¾·¢Ã÷µÄÓŵãÊÇ:
[0017]1.´«¸ÐÆ÷ÖеijöÉä¹âÏËaÓë³öÉä¹âÏËb¶ÔÓÚÑØÖá·½Ïò×÷ÓÃÁ¦ºÍ´¹Öá·½Ïò×÷ÓÃÁ¦¾ù»á²úÉúÏìÓ¦£¬ÇÒ×÷ÓÃÁ¦Ö®¼äÏ໥½âñÒò¶ø¿ÉÒÔʵÏÖÈýά¿Õ¼äλÖÃÐźÅ̽²â£¬¼´±¾´«¸ÐÆ÷¾ßÓÐÏ໥½âñîµÄÈýά̽²âÄÜÁ¦¡£
[0018]2.±¾´«¸ÐÆ÷¿ÉÒÔͨ¹ý¸Ä±äÏÔ΢Îï¾µa¡¢ÏÔ΢Îï¾µbµÄ·Å´óÂÊÀ´¸Ä±ä´«¸ÐÆ÷µÄ²âÁ¿·Ö±æÁ¦£¬½ÚÔ¼³É±¾ÒÔÂú×㲻ͬ³¡ºÏµÄÒªÇó¡£
[0019]3.¹âѧ̽²âÐźŽöÔÚ¹âÏËÄÚ²¿´«Ê䣬²»ÊÜ΢³ß¶È¹¹¼þÕÚ±ÎЧӦµÄÓ°Ï죬²âÁ¿×î´óÉî¾¶±È¿É´ï40: 1£¬Âú×ã´óÉî¾¶±È΢½á¹¹²âÁ¿ÒªÇó¡£
¡¾×¨Àû¸½Í¼¡¿
¡¾¸½Í¼ËµÃ÷¡¿
[0020]ͼ1ÊÇ»ùÓÚÈý¹âÏ˹²ÇòñîºÏµÄ΢²âÁ¿Á¦Ãé×¼´«¸ÐÆ÷½á¹¹Ê¾Òâͼ¡£
[0021]ͼÖÐ:1¡¢¼¤¹âÆ÷,2¡¢À©Êø×¼Ö±¾µ,3¡¢¹âÏË·QºÏ͸¾µ,4¡¢µ¼¹Ü,5¡¢´ý²â΢¿×,6¡¢ÈëÉä¹âÏË£¬7¡¢ñîºÏÆ÷£¬8¡¢³öÉä¹âÏËa£¬9¡¢³öÉä¹âÏËb£¬10¡¢Ì½Õ룬11¡¢ÏÔ΢Îï¾µb£¬12¡¢CCDÏà»úb£¬13¡¢ÏÔ΢Îï¾µa£¬14¡¢CXDÏà»úa£¬15¡¢¼ÆËã»ú¡£
¡¾¾ßÌåʵʩ·½Ê½¡¿
[0022]ÏÂÃæ½áºÏ¸½Í¼¶Ô±¾·¢Ã÷ʵʩÀý×÷½øÒ»²½ÏêϸÃèÊö¡£
[0023]Ò»ÖÖ»ùÓÚÈý¹âÏ˹²ÇòñîºÏµÄ΢²âÁ¿Á¦Ãé×¼´«¸ÐÆ÷°üÀ¨¼¤¹âÆ÷1¡¢À©Êø×¼Ö±¾µ2¡¢¹âÏËñîºÏ͸¾µ3¡¢µ¼¹Ü4¡¢Ì½Õë10¡¢ÏÔ΢Îï¾µal3¡¢(XDÏà»úal4ºÍ¼ÆËã»ú15£¬Êý¾ÝÏß½«CXDÏà»úal4Óë¼ÆËã»ú15Á¬Í¨£¬Ì½Õë10ÖÃÓÚ´ý²â΢¿×5ÄÚ£¬ËùÊö̽Õë10°üÀ¨ÈëÉä¹âÏË6¡¢ñîºÏÆ÷7ºÍ³öÉä¹âÏËa8£¬ñîºÏÆ÷7×÷Ϊ̽Õë10µÄ´¥µã·Ö±ðÓëÈëÉä¹âÏË6ºÍ³öÉä¹âÏËa8Á¬½Ó£¬¼¤¹âÆ÷I·¢³öµÄ¹âÊø¾À©Êø×¼Ö±¾µ2ºÍ¹âÏËñîºÏ͸¾µ3ºó½øÈëÈëÉä¹âÏË6£¬¹âÊø¾ÈëÉä¹âÏË6µ¼ÈëñîºÏÆ÷7ºóÓɳöÉä¹âÏËa8µ¼³ö£¬µ¼³ö¹âÊø¾ÏÔ΢Îï¾µal3½øÈëCXDÏà»úal4£¬ËùÊö̽Õë10»¹°üÀ¨³öÉä¹âÏËb9£¬ËùÊö³öÉä¹âÏËb9ÓëñîºÏÆ÷7Á¬½Ó£¬ÇÒ³öÉä¹âÏËb9µÄÄ©¶Ë³Ê80-100¡ãÍäÇú×´£¬¹âÊø¾ÈëÉä¹âÏË6µ¼ÈëIÓíºÏÆ÷7ºóÓɳöÉä¹âÏËb9µ¼³ö£¬µ¼³ö¹âÊø¾ÏÔ΢Îï¾µbll½øÈëCXDÏà»úbl2£¬Êý¾ÝÏß½«CXDÏà»úbl2Óë¼ÆËã»ú15Á¬Í¨¡£
[0024]ËùÊö³öÉä¹âÏËb9µÄÄ©¶ËÍäÇú½Ç¶ÈÓÅѡΪ90¡ã¡£
[0025]ÀûÓõ¼¹Ü4½«ÈëÉä¹âÏË6ÍäÇúÒÔ±ãÌṩͼÏñ²¶»ñ¿Õ¼ä£¬Ò²¿ÉÒÔ²»Ê¹Óõ¼¹Ü4£¬¶øÖ±½ÓÓÃÈȶ¨ÐÍ·¨½«ÈëÉä¹âÏË6ÍäÇú£¬ÒÔ±ãÌṩͼÏñ²¶»ñ¿Õ¼ä¡£ÀûÓÃÈȶ¨ÐÍ·¨½«³öÉä¹âÏËb9µÄÄ©¶ËÍäÇú80-100¡ã£¬ÒÔ±ã¸ÐÖªÑØÖá·½ÏòµÄ×÷ÓÃÁ¦£¬Óë³öÉä¹âÏËa8ÅäºÏ´Ó¶øÊµÏÖÈýά̽²âÄÜÁ¦£¬ÆäÖе±³öÉä¹âÏËb9µÄÄ©¶ËÍäÇú½Ç¶ÈΪ90¡ãʱ£¬ÆäÔÚÑØÖá·½Ïò¾ßÓÐ×î¸ßµÄÁéÃô¶È¡£
[0026]±¾·¢Ã÷µÄ¹¤×÷¹ý³ÌÈçÏÂ:
[0027]Ìáǰ°ëСʱ´ò¿ª¼¤¹âÆ÷1£¬Ê¹¼¤¹âÆ÷I·¢³öµÄ¹âÊøÎȶ¨¡£µ÷Õû¹âÏË·QºÏ͸¾µ3ÓëÈëÉä¹âÏË6Ö®¼äµÄÏà¶ÔλÖÃÓë×Ë̬£¬±£Ö¤×î´ó¹âÄÜÁ¿½øÈëÈëÉä¹âÏË6¡£µ÷Õû³öÉä¹âÏËa8ÓëÏÔ΢Îï¾µal3¡¢³öÉä¹âÏËb9ÓëÏÔ΢Îï¾µbllÖ®¼äµÄÏà¶ÔλÖÃÓë×Ë̬,±£Ö¤³öÉä¹âÏËa8µÄ³öÉä¶ËÃæÏà¶ÔÏÔ΢Îï¾µal3¡¢³öÉä¹âÏËb9µÄ³öÉä¶ËÃæÏà¶ÔÏÔ΢Îï¾µbllÊǽüÖáÇøÄÚÎïÌ壬ÒÔÌá¸ß³ÉÏñÖÊÁ¿¡£½«Ì½Õë10ÉìÈë´ý²â΢¿×5ÄÚ²¿£¬²¢Ê¹Ö®Óë´ý²â΢¿×5²úÉúÏà¶ÔÎ»ÒÆ£¬µ±ñîºÏÆ÷7Óë´ý²â΢¿×5¿×±Ú½Ó´¥Ê±£¬Í¨¹ýÏÔ΢Îï¾µal3¡¢ÏÔ΢Îï¾µbll½«Ì½Õë10ÔÚ´ý²â΢¿×5ÄÚµÄ΢С´¥²âÎ»ÒÆÁ¿×ª±äΪCCDÏà»úal4¡¢CCDÏà»úbl2ͼÏñ²¶×½ÏµÍ³µÄºáÏòÎ»ÒÆÁ¿£¬¼´Í¨¹ýCCDÏà»úal4¶Ô̽Õë10ÔÚXÏòÓëYÏòµÄ´¥²âÎ»ÒÆÁ¿½øÐÐ̽²â£¬Í¨¹ýCCDÏà»úbl2¶Ô̽Õë10ÔÚZÏòµÄ´¥²âÎ»ÒÆÁ¿½øÐÐ̽²â£¬×îÖÕÓÉͼÏñÖÊÐĶ¨Î»Ë㷨ʵÏÖ¶Ô¿×±Ú²âÁ¿Ê±µÄ¸ß¾«¶ÈÈýάÃé×¼¡£
¡¾È¨ÀûÒªÇó¡¿
1.Ò»ÖÖ»ùÓÚÈý¹âÏ˹²ÇòñîºÏµÄ΢²âÁ¿Á¦Ãé×¼´«¸ÐÆ÷£¬ËùÊö´«¸ÐÆ÷°üÀ¨¼¤¹âÆ÷(I)¡¢À©Êø×¼Ö±¾µ(2)¡¢¹âÏËñîºÏ͸¾µ(3)¡¢µ¼¹Ü(4)¡¢Ì½Õë(10)¡¢ÏÔ΢Îï¾µa(13)¡¢CCDÏà»úa(14)ºÍ¼ÆËã»ú(15)£¬Êý¾ÝÏß½«CCDÏà»úa (14)Óë¼ÆËã»ú(15)Á¬Í¨£¬Ì½Õë(10)ÖÃÓÚ´ý²â΢¿×(5)ÄÚ£¬ËùÊö̽Õë(10)°üÀ¨ÈëÉä¹âÏË(6)¡¢ñîºÏÆ÷(7)ºÍ³öÉä¹âÏËa(8)£¬ñîºÏÆ÷(7)×÷Ϊ̽Õë(10)µÄ´¥µã·Ö±ðÓëÈëÉä¹âÏË(6)ºÍ³öÉä¹âÏËa(8)Á¬½Ó£¬¼¤¹âÆ÷(I)·¢³öµÄ¹âÊø¾À©Êø×¼Ö±¾µ(2)ºÍ¹âÏËñîºÏ͸¾µ(3)ºó½øÈëÈëÉä¹âÏË(6)£¬¹âÊø¾ÈëÉä¹âÏË(6)µ¼ÈëñîºÏÆ÷(7)ºóÓɳöÉä¹âÏËa(8)µ¼³ö£¬µ¼³ö¹âÊø¾ÏÔ΢Îï¾µa(13)½øÈëCCDÏà»úa(14)£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ:ËùÊö̽Õë(10)»¹°üÀ¨³öÉä¹âÏËb (9)£¬ËùÊö³öÉä¹âÏËb (9)ÓëñîºÏÆ÷(7)Á¬½Ó£¬ÇÒ³öÉä¹âÏËb (9)µÄÄ©¶Ë³Ê80-100¡ãÍäÇú×´£¬¹âÊø¾ÈëÉä¹âÏË(6)µ¼ÈëñîºÏÆ÷(7)ºóÓɳöÉä¹âÏËb(9)µ¼³ö£¬µ¼³ö¹âÊø¾ÏÔ΢Îï¾µb (II)½øÈëC¢ÇÏà»úb (12)£¬Êý¾ÝÏß½«C¢ÇÏà»úb (12)Óë¼ÆËã»ú(15)Á¬Í¨¡£
2.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄ»ùÓÚÈý¹âÏ˹²ÇòñîºÏµÄ΢²âÁ¿Á¦Ãé×¼´«¸ÐÆ÷£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ:ËùÊö³öÉä¹âÏËb (9)µÄ Ä©¶ËÍäÇú½Ç¶ÈÓÅѡΪ90¡ã¡£
¡¾Îĵµ±àºÅ¡¿G01B11/00GK103900470SQ201410118924
¡¾¹«¿ªÈÕ¡¿2014Äê7ÔÂ2ÈÕ ÉêÇëÈÕÆÚ:2014Äê3ÔÂ20ÈÕ ÓÅÏÈȨÈÕ:2014Äê3ÔÂ20ÈÕ
¡¾·¢Ã÷Õß¡¿´Þ¼ÌÎÄ, Àî¿¡Ó¢, Ì·¾Ã±ò ÉêÇëÈË:¹þ¶û±õ¹¤Òµ´óѧ