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ʱ¼ä:2023-06-15    ×÷Õß: ¹ÜÀíÔ±

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[0004]ÏÖÓеĹúÍâÖ÷Á÷µÄ²âÎÂϵͳʹÓõϹÊǵ¥²¨³¤²âΣ¬ÀíÂÛÉÏÎÞ·¨×öµ½²âÁ¿ÕæÊµÎ¶ȣ¬¶øÇÒ¼Û¸ñÏà¶Ô°º¹ó¡£
[0005]
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[0011]ºìÍâ·øÉä̽ͷºÐÌåµÄϽø¹â¿×ÓëMOCVD·´Ó¦ÊҵĹâѧ´°¿ÚµÄÉÏÃæµÄ½Óͷͨ¹ýÂÝÎÆÁ¬½Ó¡£
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[0028]ÔÚMOCVD·´Ó¦ÊÒ18µÄ¹âѧ´°¿Ú 15µÄÉÏÃæÉèÓÐÓëºìÍâ·øÉä̽ͷºÐÌåIµÄϽø¹â¿×2ÅäÌ×Á¬½ÓµÄ½ÓÍ·16¡£
[0029]±¾ÊµÓÃÐÂÐͰ²×°ÔÚMOCVD·´Ó¦ÊÒ18µÄ¹âѧ´°¿Ú 15ÉÏÃæµÄ½ÓÍ·16ÉÏ£¬µ±MOCVD·´Ó¦ÊÒ18Äڵĵç¯˿12ͨµçʱ£¬ÈÈÁ¿·øÉäÖÁʯīÅÌ10£¬¸ßεÄʯīÅÌ10°ÑÈÈÁ¿´«¸øÍâÑÓÆ¬
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