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ʱ¼ä:2023-06-15    ×÷Õß: ¹ÜÀíÔ±

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[0002]Ëæ×Ű뵼ÌåÖÆ³Ì³ß´çÔ½À´Ô½Ð¡£¬Ê§Ð§·ÖÎöÒ²±äµÄÔ½À´Ô½À§ÄÑ£¬Ò»¸öºÜСµÄȱÏݾÍÓпÉÄܵ¼ÖÂÆ÷¼þµÄʧЧ£¬½ø¶øÓ°ÏìÕû¸öоƬµÄ¹¤×÷¡£Í¨³£²ÉÓÃEM(Electron Microscopeµç×ÓÏÔ΢¾µ)À´¼ì²â°ëµ¼ÌåÆ÷¼þµÄ±¡Ä¤ÐÎò¡¢³ß´ç¼°ÌØÐÔ£¬½øÐÐʧЧ·ÖÎö¡£³£ÓõÄEM°üÀ¨TEM(Transmission Electron Microscope ͸Éäµç×ÓÏÔ΢¾µ)ºÍ SEM(Scanning ElectronMicroscopeɨÃèµç×ÓÏÔ΢¾µ)¡£TEMµÄ¹¤×÷Ô­ÀíÊǽ«Ðè¼ì²âµÄÑùƬÒÔÇиî¡¢ÑÐÄ¥¡¢Àë×Ó¼õ±¡µÈ·½Ê½¼õ±¡£¬È»ºó·ÅÈëTEM¹Û²âÊÒ£¬ÒÔ¸ßѹ¼ÓËٵĵç×ÓÊøÕÕÉäÑùƬ£¬½«ÑùƬÐÎò·Å´ó¡¢Í¶Ó°µ½ÆÁÄ»ÉÏ£¬ÕÕÏ࣬Ȼºó½øÐзÖÎö¡£TEMÒò¾ßÓнϸߵķֱæÂÊ£¬·Ç³£ÊÊÓÃÓÚ¹Û²âÖÆ³ÌÖвúÉúµÄȱÏݵÄÐÎò£¬´óСÒÔ¼°È±ÏݳöÏֵIJã´ÎλÖ㬲¢ÇÒ¿ÉÒÔͨ¹ýÔªËØ·ÖÎöÀ´ÅжÏȱÏݵÄÔªËØ×é³É£¬½øÒ»²½À´È·¶¨È±ÏݵÄÀ´Ô´¡£Í¬Ê±TEMÑùÆ·µÄºñ¶È¶Ô³ÉÏñЧ¹û¼°·ÖÎöʧЧ·ÖÎöµÄ½á¹û¾ùÓнϴóÓ°Ï죬ʵ¼Ê¹¤ÒÕÖУ¬Ö»Óд¹Ö±ÓÚ¼ì²âÃæµÄ·½ÏòÉϵÄTEMÑùÆ·µÄºñ¶ÈÔ½±¡(ͨ³£ºñ¶ÈСÓÚ100nm)£¬×îºó³ÉÏñ²ÅÄÜÔ½ÇåÎú¡¢Ô½ÄÜ·´Ó³ÑùÆ·µÄ½á¹¹¡£µ«ÊǶÔÓÚ°ëµ¼ÌåÖÆ³ÌÖкÜСµÄȱÏÝ£¬´«Í³µÄÖÆ±¸Æ½ÃæTEMÑùÆ·µÄ·½·¨Í¨³£Ö»ÄÜÔÚÒ»¸ö·½ÏòÉϽøÐÐɨÃè³ÉÏñ£¬Èçͼ1Ëùʾ£¬TEMÑùÆ·I·ÅÖÃÔÚÍ­Íø2ÉÏ£¬Ö»Äܹ۲⵽TEMÑùÆ·IÖÐȱÏÝ3ÔÚY·½ÏòµÄ³ÉÏñ£¬¼´Í¼2ÖеÄÔ²ÐÎȱÏÝͼ°¸4£¬²»ÄÜ»ñµÃȱÏݵÄÈ«ÃæÐÅÏ¢£¬Òò´ËÄÑÒÔ¸ø³öÖÆ³Ì¸Ä½øµÄÃ÷È··½Ïò¡£Í¨³£µÄ×ö·¨¾ÍÊÇÔö¼ÓÑùÆ·µÄÊýÁ¿£¬µ«ÊÇÈç¹ûÖ»ÓÐÒ»¸öÑùÆ·£¬ÄÇôÓÃÆ½ÃæTEMµÄ·½Ê½¾ÍÎÞ·¨¶Ô´ËȱÏݽøÐÐÈ«ÃæµÄ·ÖÎö¡£

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[0003]±¾·¢Ã÷ËùÒª½â¾öµÄ¼¼ÊõÎÊÌâÊÇÌṩһÖÖ»ùÓÚÈýάTEMÑùÆ·½øÐÐȱÏÝ·ÖÎöµÄ·½·¨£¬½â¾öÁËÏÖÓм¼ÊõÖÐÄÑÒÔ»ñµÃȱÏݵÄÈ«ÃæÐÅÏ¢½øÐÐʧЧ·ÖÎöµÄ¼¼ÊõÎÊÌâ¡£
[0004]±¾·¢Ã÷½â¾öÉÏÊö¼¼ÊõÎÊÌâµÄ¼¼Êõ·½°¸ÈçÏÂ:Ò»ÖÖ»ùÓÚÈýάTEMÑùÆ·½øÐÐȱÏÝ·ÖÎöµÄ·½·¨£¬°üÀ¨ÒÔϲ½Öè:
[0005](a)Ìṩ°ëµ¼ÌåÑùÆ·£¬ËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·µÄ´ý¹Û²âÇøÓò¾ßÓдý¼ì²âµÄȱÏÝ£»
[0006](b)²ÉÓþ۽¹Àë×ÓÊø¶ÔËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·µÄ±íÃæ½øÐкä»÷£¬ÔÚËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·µÄ´ý¹Û²âÇøÓòÐγÉÓÃÓÚ±êʶȱÏÝλÖõĵÚÒ»±ê¼Ç£»
[0007](c)ÔÚËùÊö´ý¹Û²âÇøÓòÉÏ·½µÄ°ëµ¼ÌåÑùÆ·±íÃæÉÏ£¬µç¶ÆµÚÒ»îâ½ð±£»¤²ã£¬ËùÊöµÚÒ»îâ½ð±£»¤²ã¸²¸ÇËùÊöȱÏÝλÖú͵ÚÒ»±ê¼Ç£»
[0008](d)ÔÚËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·µÄ´ý¹Û²âÇøÓò£¬²ÉÓþ۽¹Àë×ÓÊøÖÆ±¸¾ßÓÐËùÊö´ý¼ì²âȱÏݵĵÚÒ» TEMÑùÆ·,ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·¾ßÓеÚÒ»¹Û²âÃæ£»
[0009](e)½«²½ÖèdÖÆ±¸µÄµÚÒ» TEMÑùÆ··ÅÖõ½Í­ÍøÉÏ£¬²¢ÓëËùÊöÍ­ÍøÒ»ÆðÖÃÓÚTEM»ų́£¬Ê¹ËùÊöTEM»ų́µÄµç×ÓÊøÑØ´¹Ö±ÓÚËùÊöµÚÒ»¹Û²âÃæµÄ·½ÏòͶӰ³ÉÏñ£¬²¢ÔÚTEMÏÂÁ¿²âËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·µÄ³ÉÏñͼ°¸ÖÐËùÊö´ý¼ì²âȱÏݵ½ËùÊöµÚÒ»±ê¼ÇµÄ¾àÀ룻
[0010](f)½«ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·´ÓÍ­ÍøÉÏÈ¡³ö£¬ÒÔËùÊöµÚÒ»¹Û²âÃæ³¯Éϵķ½Ïò½«ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ··ÅÖÃÓÚËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·ÉÏ£»
[0011](g)¸ù¾Ý²½ÖèeÁ¿²â³öµÄ¾àÀ룬ÅжÏËùÊö´ý¼ì²âȱÏÝÔÚËùÊöµÚÒ»¹Û²âÃæµÄλÖ㬲¢ÔÚËùÊöµÚÒ»¹Û²âÃæµÄȱÏÝ´¦µç¶ÆµÚ¶þîâ½ð±£»¤²ã£»
[0012](h)¶ÔËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·£¬²ÉÓþ۽¹Àë×ÓÊøÖÆ±¸µÚ¶þ TEMÑùÆ·£¬ËùÊöµÚ¶þ TEMÑùÆ·¾ß±¸µÚ¶þ¹Û²âÃæ£¬ËùÊöµÚ¶þ TEMÑùÆ·¼´ÎªÈýάTEMÑùÆ·£»
[0013](i)½«ËùÊö²½ÖèhÖÆ±¸µÄÈýάTEMÑùÆ··ÅÖõ½Í­ÍøÉÏ£¬²¢ÓëËùÊöÍ­ÍøÒ»ÆðÖÃÓÚTEM»ų́£¬Ê¹ËùÊöTEM»ų́µÄµç×ÓÊøÑØ´¹Ö±ÓÚËùÊöµÚ¶þ¹Û²âÃæµÄ·½ÏòͶӰ£¬½øÐÐÈýάTEM³ÉÏñ¡£
[0014]½øÒ»²½£¬²½ÖèbÖУ¬ËùÊöµÚÒ»±ê¼Ç¾àÀëËùÊöȱÏݵľàÀëСÓÚ2um;ËùÊöµÚÒ»±ê¼ÇΪ´ÓËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·±íÃæÑÓÉìÖÁËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·ÄÚ²¿µÄµ¹×¶Ðο׶´¡£
[0015]½øÒ»²½£¬²½ÖèfÖУ¬ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ··ÅÖÃÓÚËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·µÄ±íÃæÉÏ£»»òÕß²ÉÓÃÊøÁ÷·¶Î§93?500pAµÄ¾Û½¹Àë×ÓÊø£¬ÔÚËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·ÄÚÐγɳ¤¿í·Ö±ðΪ10um£¬ÉîΪIumµÄ·½¿Ó£¬ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·ÖÃÓÚËùÊö·½¿ÓÄÚ£¬ËùÊö·½¿ÓÉèÖÃÔÚ¿¿½üËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·ÖÆ±¸Íê³ÉºóÁôϵݼ¿ÓÇøÓò¡£
[0016]½øÒ»²½£¬²½ÖègÖУ¬ËùÊöµÚÒ»¹Û²âÃæµÄȱÏÝλÓÚËùÊöµÚ¶þîâ½ð±£»¤²ãµÄÖÐÐÄλÖá£
[0017]½øÒ»²½£¬ËùÊö²½Öèd¾ßÌåΪ:
[0018](I)²ÉÓÃÊøÁ÷·¶Î§Îª6.5?9.2nAµÄ¾Û½¹Àë×ÓÊø£¬ÔÚËùÊöµÚÒ»îâ½ð±£»¤²ãµÄÁ½²à·Ö±ðÇиî³öÒ»¸öºá¶ÏÃæÒÔ·ÖÀëËùÊö´ý¹Û²âÇøÓòµÄÑùÆ·£¬ËùÊöÇиî¿í¶ÈÒÔ²»³¬¹ýËùÊöµÚÒ»îâ½ð±£»¤²ãµÄ¿í¶ÈΪ½ç£»
[0019](2)²ÉÓÃÊøÁ÷·¶Î§Îª2.8?6.5nAµÄ¾Û½¹Àë×ÓÊø£¬¶ÔËùÊö·ÖÀë³öµÄÑùÆ·µÄµ×²¿ºÍ²àÃæ½øÐÐUÐÍÇжϣ¬ÐγɵÚÒ» TEMÑùÆ·£»
[0020](3)²ÉÓÃÊøÁ÷·¶Î§Îª93pA?500pAµÄ¾Û½¹Àë×ÓÊø£¬¶ÔËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·µÄÕýÃæºÍ±³Ãæ½øÐÐÑÐÄ¥£¬Ê¹ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·µÄºñ¶È¼õ±¡Îª0.1?0.3um ;ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·µÄÕýÃæ¼´ÎªµÚÒ»¹Û²âÃæ¡£
[0021]½øÒ»²½,ËùÊöµÚÒ»îâ½ð±£»¤²ãµÄ¿í¶ÈΪIOOnm,ºñ¶ÈΪ3?4um¡£
[0022]½øÒ»²½£¬ËùÊö²½Öèh¾ßÌåΪ:
[0023](I)½«ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ··ÅÖÃÓÚËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·µÄ±íÃæ£¬²¢ÔÚËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·Á½²à·Ö±ðµç¶ÆÓÃÓڹ̶¨ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·µÄîâ½ð²ã£¬ËùÊöîâ½ð²ã¿ÉÒÔ·ÀÖ¹ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·ÔÚËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·µÄ±íÃæÉ϶ªÊ§¡£
[0024](2)²ÉÓÃÊøÁ÷·¶Î§Îª6.5?9.2nAµÄ¾Û½¹Àë×ÓÊø£¬ÔÚËùÊöµÚ¶þîâ½ð±£»¤²ãµÄÁ½²à·Ö±ðÇиî³öÒ»¸öºá¶ÏÃæÒÔ·ÖÀëËùÊö´ý¹Û²âÇøÓòµÄÑùÆ·£¬ËùÊöÇиî¿í¶ÈÒÔ²»³¬¹ýËùÊöµÚ¶þîâ½ð±£»¤²ãµÄ¿í¶ÈΪ½ç£»
[0025](3)²ÉÓÃÊøÁ÷·¶Î§Îª2.8?6.5nAµÄ¾Û½¹Àë×ÓÊø£¬¶ÔËùÊö·ÖÀë³öµÄÑùÆ·µÄµ×²¿ºÍ²àÃæ½øÐÐUÐÍÇжϣ¬ÐγÉÈýάTEMÑùÆ·£»
[0026](4)²ÉÓÃÊøÁ÷·¶Î§Îª93pA?500pAµÄ¾Û½¹Àë×ÓÊø£¬¶ÔËùÊöÈýάTEMÑùÆ·µÄÕýÃæºÍ±³Ãæ½øÐÐÑÐÄ¥£¬Ê¹ËùÊöÈýάTEMÑùÆ·µÄºñ¶È¼õ±¡Îª0.1?0.3um ;ËùÊöÈýάTEMÑùÆ·µÄÕýÃæ¼´ÎªµÚ¶þ¹Û²âÃæ¡£
[0027]½øÒ»²½£¬ËùÊöµÚ¶þîâ½ð±£»¤²ãµÄ¿í¶ÈΪlOOnm£¬ºñ¶ÈΪlum¡£[0028]±¾·¢Ã÷µÄÓÐÒæÐ§¹ûÊÇ:±¾·¢Ã÷µÄ¼¼Êõ·½°¸£¬ÔÚÖÆ±¸ÈýάTEMÑùÆ·µÄ»ù´¡ÉÏ£¬½øÐÐÁ½¸ö·½ÏòµÄTEM¹Û²âºÍ³ÉÏñ£¬¿ÉÒԵõ½°ëµ¼ÌåÖÆ³ÌÖÐȱÏݵÄÐÎò¡¢´óС¡¢Ëù´¦²ã´ÎµÈÈ«ÃæÐÅÏ¢£¬½øÐжÔËùÊöȱÏݽøÐÐ׼ȷʧЧ·ÖÎö£¬´Ó¶øÌá³ö¶Ô°ëµ¼ÌåÖÆ³ÌµÄ¿É¿¿¸Ä½øÒâ¼û£»±¾·¢Ã÷µÄ¼¼Êõ·½°¸²Ù×÷·½·¨¼òµ¥£¬ÈýάTEMÑùÆ·ÖÆ±¸Ð§Âʸߣ¬¶ÔTEMÑùÆ·½øÐÐʧЧ·ÖÎöЧ¹ûºÃ£¬×¼È·Âʸß¡£
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[0029]ͼ1ΪÏÖÓм¼ÊõÖÐÀûÓÃÆ½ÃæTEMÑùÆ·½øÐÐTEM¹Û²âµÄʾÒâͼ£»
[0030]ͼ2ΪÏÖÓм¼ÊõÖÐÆ½ÃæTEMÑùÆ·ÔÚY·½ÏòµÄ³ÉÏñʾÒâͼ£»
[0031]ͼ3Ϊ±¾·¢Ã÷½øÐÐȱÏÝ·ÖÎöµÄ·½·¨µÄÁ÷³ÌʾÒâͼ£»
[0032]ͼ4a?4kΪ±¾·¢Ã÷¸÷²½ÖèµÄЧ¹ûʾÒâͼ£»
[0033]ͼ5Ϊ±¾·¢Ã÷ÖÆ±¸µÚÒ» TEMÑùÆ·µÄÁ÷³ÌʾÒâͼ£»
[0034]ͼ6Ϊ±¾·¢Ã÷ÖÆ±¸µÚ¶þ TEMÑùÆ·µÄÁ÷³ÌʾÒâͼ¡£
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[0035]ÒÔϽáºÏ¸½Í¼¶Ô±¾·¢Ã÷µÄÔ­ÀíºÍÌØÕ÷½øÐÐÃèÊö£¬Ëù¾ÙʵÀýÖ»ÓÃÓÚ½âÊͱ¾·¢Ã÷£¬²¢·ÇÓÃÓÚÏÞ¶¨±¾·¢Ã÷µÄ·¶Î§¡£
[0036]Èçͼ3Ëùʾ£¬Îª±¾·¢Ã÷»ùÓÚÈýάTEMÑùÆ·½øÐÐȱÏÝ·ÖÎöµÄ·½·¨µÄÁ÷³ÌʾÒâͼ£¬°üÀ¨ÒÔϲ½Öè:
[0037]SlOlÌṩ°ëµ¼ÌåÑùÆ·5£¬ËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·5µÄ´ý¹Û²âÇøÓò¾ßÓдý¼ì²âµÄȱÏÝ6 ;±¾ÊµÊ©ÀýÖУ¬ËùÊöȱÏÝ6ΪԲÖùÐÎȱÏÝ,Èçͼ4aËùʾ¡£
[0038]S102²ÉÓþ۽¹Àë×ÓÊø¶ÔËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·µÄ±íÃæ7½øÐкä»÷£¬ÔÚËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·5µÄ´ý¹Û²âÇøÓòÐγÉÓÃÓÚ±êʶȱÏÝλÖõĵÚÒ»±ê¼Ç8£¬Èçͼ4bËùʾ¡£Í¼4bÖн¨Á¢ÁË X¡¢Y¡¢Z×ø±êϵ£¬ÈçͼËùʾ£¬ËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·µÄ±íÃæ7ΪXÖá¡¢YÖáËùÔڵıíÃæ£¬±¾ÊµÊ©ÀýÖУ¬ËùÊöµÚÒ»±ê¼Ç8¾àÀëËùÊöȱÏÝ6µÄ¾àÀëΪ2um ;ËùÊöµÚÒ»±ê¼Ç8Ϊ´ÓËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·±íÃæÑÓÉìÖÁËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·ÄÚ²¿µÄµ¹×¶Ðο׶´¡£
[0039]S103ÔÚËùÊö´ý¹Û²âÇøÓòÉÏ·½µÄ°ëµ¼ÌåÑùÆ·±íÃæ7ÉÏ£¬ºáÏòµç¶ÆµÚÒ»îâ½ð±£»¤²ã9£¬ËùÊöµÚÒ»îâ½ð±£»¤²ã¸²¸ÇËùÊöȱÏÝλÖú͵ÚÒ»±ê¼Ç8£¬Èçͼ4cËùʾ¡£
[0040]S104ÔÚËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·5µÄ´ý¹Û²âÇøÓò£¬²ÉÓþ۽¹Àë×ÓÊøÖÆ±¸¾ßÓÐËùÊö´ý¼ì²âȱÏݵĵÚÒ» TEMÑùÆ·10£¬¾ßÌå²½ÖèÏê¼ûÒÔÏÂS401?S403£¬ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·10¾ß±¸µÚÒ»¹Û²âÃæ11,Èçͼ4dËùʾ£¬ËùÊöµÚÒ»¹Û²âÃæ11ΪËù½¨×ø±êϵÖÐXÖáºÍZÖáËùÈ·¶¨µÄÆ½Ãæ£¬ÎªÁËÔÚTEM»ų́ÖнøÐй۲⣬ÐèÒª½«µÚÒ» TEMÑùÆ·ÔÚYÖá·½ÏòÉϵĺñ¶È¼õ±¡ÎªlOOnm¡£
[0041]S105½«²½ÖèS104ÖÆ±¸µÄµÚÒ» TEMÑùÆ·10·ÅÖõ½Í­Íø12ÉÏ£¬²¢ÓëËùÊöÍ­Íø12 ¡ªÆðÖÃÓÚTEM»ų́£¬Ê¹ËùÊöTEM»ų́µÄµç×ÓÊø13ÑØ´¹Ö±ÓÚËùÊöµÚÒ»¹Û²âÃæ11µÄ·½Ïò£¬¼´ÔÚY·½ÏòÉÏͶӰ²¢³ÉÏñ£¬Èçͼ4eËùʾ£»²¢ÔÚTEMÏÂÁ¿²âËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·10µÄ³ÉÏñͼ°¸ÖÐËùÊö´ý¼ì²âµÄȱÏÝ6µ½µÚÒ»±ê¼Ç8µÄ¾àÀ룬¼´µÃµ½ÑØXÖá·½ÏòÉϵÄËùÊöȱÏÝ6µ½µÚÒ»±ê¼Ç8µÄ¾àÀ룬Èçͼ4fËùÊö£»
[0042]S106½«ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·10´ÓÍ­ÍøÉÏÈ¡³ö£¬ÒÔËùÊöµÚÒ»¹Û²âÃæ11³¯Éϵķ½Ïò½«ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·10ÔٴηÅÖÃÓÚËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·5ÉÏ£»±¾ÊµÊ©ÀýÖÐËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·10·ÅÖÃÓÚËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·5µÄ±íÃæÉÏ£¬Èçͼ4gËùʾ¡£ÔÚÆäËûʵʩÀýÖУ¬¿ÉÒÔ²ÉÓÃÊøÁ÷·¶Î§93?500pAµÄ¾Û½¹Àë×ÓÊø,ÔÚËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·5ÄÚÐγɳ¤¿í·Ö±ðΪIOum,ÉîΪIumµÄ·½¿Ó14,ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·10ÖÃÓÚËùÊö·½¿Ó14ÄÚ£¬ËùÊö·½¿Ó14ÉèÖÃÔÚ¿¿½üËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·10ÖÆ±¸Íê³ÉºóÁôϵݼ¿ÓÇøÓò£¬Èçͼ4hËùʾ¡£
[0043]S107¸ù¾Ý²½ÖèS105Á¿²â³öµÄ¾àÀ룬ÅжÏËùÊö´ý¼ì²âµÄȱÏÝ6ÔÚËùÊöµÚÒ»¹Û²âÃæ11µÄλÖ㬲¢ÔÚËùÊöµÚÒ»¹Û²âÃæ11µÄȱÏÝ´¦µç¶ÆµÚ¶þîâ½ð±£»¤²ã15£¬Èçͼ4iËùʾ£»±¾ÊµÊ©ÀýÖУ¬ËùÊöµÚÒ»¹Û²âÃæ11µÄȱÏÝλÓÚËùÊöµÚ¶þîâ½ð±£»¤²ã15µÄÖÐÐÄλÖ㬴Ëʱ£¬ËùÊöµÚ¶þîâ½ð±£»¤²ãµÄ¿í¶È¼´ÎªËùÒªÖÆ±¸µÄÈýάTEMÑùÆ·µÄºñ¶È¡£
[0044]S108¶ÔËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·10£¬²ÉÓþ۽¹Àë×ÓÊøÖÆ±¸µÚ¶þ TEMÑùÆ·£¬¾ßÌå²½ÖèÏê¼ûÒÔÏÂS801?S803£¬ËùÊöµÚ¶þ TEMÑùÆ·¾ß±¸µÚ¶þ¹Û²âÃæ17£¬ËùÊöµÚ¶þ¹Û²âÃæÎªËù½¨×ø±êϵÖÐYÖáÓëZÖáËùÈ·¶¨µÄÆ½Ãæ£¬ËùÊöµÚ¶þ TEMÑùÆ·¼´ÎªÈýάTEMÑùÆ·16£¬Èçͼ4jËùÊö£»ÎªÁËÔÚTEM»ų́ÖнøÐй۲⣬ÐèÒª½«ËùÊöÈýάTEMÑùÆ·16ÔÚXÖá·½ÏòÉϵĺñ¶È¼õ±¡ÎªlOOnm¡£
[0045]S109½«ËùÊö²½ÖèS108ÖÆ±¸µÄÈýάTEMÑùÆ·16·ÅÖõ½Í­Íø12ÉÏ£¬²¢ÓëËùÊöÍ­Íø12 ¡ªÆðÖÃÓÚTEM»ų́£¬Ê¹ËùÊöTEM»ų́µÄµç×ÓÊøÑØ´¹Ö±ÓÚËùÊöµÚ¶þ¹Û²âÃæ17µÄ·½ÏòͶӰ£¬¼´ÑØXÖá·½ÏòÉÏͶӰ£¬½øÐÐÈýάTEM³ÉÏñ£¬Èçͼ4kËùʾ£¬¿ÉÒÔ¿´µ½ÖùÐÎȱÏÝ18¡£
[0046]Èçͼ5Ëùʾ£¬±¾ÊµÊ©ÀýÖУ¬ËùÊö²½ÖèS104µÄ¾ßÌå¹ý³ÌΪ:
[0047]S401²ÉÓÃÊøÁ÷·¶Î§Îª6.5?9.2nAµÄ¾Û½¹Àë×ÓÊø£¬ÔÚËùÊöµÚÒ»îâ½ð±£»¤²ã9µÄÁ½²à·Ö±ðÇиî³öÒ»¸öºá¶ÏÃæÒÔ·ÖÀëËùÊö´ý¹Û²âÇøÓòµÄÑùÆ·£¬ËùÊöÇиî¿í¶ÈÒÔ²»³¬¹ýËùÊöµÚÒ»îâ½ð±£»¤²ã9µÄ¿í¶ÈΪ½ç¡£±¾ÊµÊ©ÀýÖУ¬ËùÊöµÚÒ»îâ½ð±£»¤²ã9µÄ¿í¶ÈΪlOOnm£¬ºñ¶ÈΪ3um ;ÔÚÆäËûÓÅѡʵʩÀýÖÐ,ËùÊöµÚÒ»îâ½ð±£»¤²ãµÄºñ¶ÈΪ3?4um¼äµÄÈÎÒâÖµ¡£
[0048]S402²ÉÓÃÊøÁ÷·¶Î§Îª2.8?6.5nAµÄ¾Û½¹Àë×ÓÊø£¬¶ÔËùÊö·ÖÀë³öµÄÑùÆ·µÄµ×²¿ºÍ²àÃæ½øÐÐUÐÍÇжϣ¬ÐγɵÚÒ» TEMÑùÆ·10¡£
[0049]S403²ÉÓÃÊøÁ÷·¶Î§Îª93pA?500pAµÄ¾Û½¹Àë×ÓÊø£¬¶ÔËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·µÄÕýÃæºÍ±³Ãæ½øÐÐÑÐÄ¥£¬Ê¹ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·10µÄºñ¶È¼õ±¡Îª0.1um;ÔÚÆäËûÓÅѡʵʩÀýÖУ¬ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·µÄºñ¶ÈΪ0.1?0.3um¼äµÄÈÎÒâÖµ¡£ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·µÄÕýÃæ¼´ÎªµÚÒ»¹Û²âÃæ11£¬¼´Ëù½¨×ø±êϵÖУ¬XÖáÓëZÖáËùÈ·¶¨µÄÆ½Ãæ¡£
[0050]Èçͼ6Ëùʾ£¬±¾ÊµÊ©ÀýÖУ¬ËùÊö²½ÖèS108µÄ¾ßÌå¹ý³ÌΪ:
[0051]S801²ÉÓÃÊøÁ÷·¶Î§Îª6.5?9.2nAµÄ¾Û½¹Àë×ÓÊø£¬ÔÚËùÊöµÚ¶þîâ½ð±£»¤²ã15µÄÁ½²à·Ö±ðÇиî³öÒ»¸öºá¶ÏÃæÒÔ·ÖÀëËùÊö´ý¹Û²âÇøÓòµÄÑùÆ·£¬ËùÊöÇиî¿í¶ÈÒÔ²»³¬¹ýËùÊöµÚ¶þîâ½ð±£»¤²ã15µÄ¿í¶ÈΪ½ç£»±¾ÊµÊ©ÀýÖУ¬ËùÊöµÚ¶þîâ½ð±£»¤²ã15µÄ¿í¶ÈΪlOOnm£¬ºñ¶ÈΪIum0
[0052]S802²ÉÓÃÊøÁ÷·¶Î§Îª2.8?6.5nAµÄ¾Û½¹Àë×ÓÊø£¬¶ÔËùÊö·ÖÀë³öµÄÑùÆ·µÄµ×²¿ºÍ²àÃæ½øÐÐUÐÍÇжϣ¬ÐγÉÈýάTEMÑùÆ·16 £»
[0053]S803²ÉÓÃÊøÁ÷·¶Î§Îª93pA?500pAµÄ¾Û½¹Àë×ÓÊø£¬¶ÔËùÊöÈýάTEMÑùÆ·16µÄÕýÃæºÍ±³Ãæ½øÐÐÑÐÄ¥£¬Ê¹ËùÊöÈýάTEMÑùÆ·16µÄºñ¶È¼õ±¡Îª0.1um;ÔÚÆäËûÓÅѡʵʩÀýÖУ¬ËùÊöÈýάTEMÑùÆ·16µÄºñ¶ÈΪ0.1?0.3um¼äµÄÈÎÒâÖµ¡£ËùÊöÈýάTEMÑùÆ·16µÄÕýÃæ¼´ÎªµÚ¶þ¹Û²âÃæ17£¬¼´Ëù½¨×ø±êϵÖУ¬YÖáÓëZÖáËùÈ·¶¨µÄÆ½Ãæ¡£
[0054]ÓÅÑ¡µÄ£¬µ±ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ··ÅÖÃÓÚËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·µÄ±íÃæ½øÐÐÖÆ±¸ÈýάTEMÑùƷʱ£¬Ê×ÏÈÔÚËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·Á½²à·Ö±ðµç¶ÆÓÃÓڹ̶¨ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·µÄîâ½ð²ã£¬È»ºóÔÙ½øÐв½ÖèS801?S803£¬ËùÊöîâ½ð²ã¿ÉÒÔ·ÀÖ¹ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·ÔÚËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·µÄ±íÃæÉ϶ªÊ§¡£
[0055]±¾·¢Ã÷µÄ¼¼Êõ·½°¸£¬ÔÚÖÆ±¸ÈýάTEMÑùÆ·µÄ»ù´¡ÉÏ£¬½øÐÐÁ½¸ö·½ÏòµÄTEM¹Û²âºÍ³ÉÏñ£¬¿ÉÒԵõ½°ëµ¼ÌåÖÆ³ÌÖÐȱÏݵÄÐÎò¡¢´óС¡¢Ëù´¦²ã´ÎµÈÈ«ÃæÐÅÏ¢£¬½øÐжÔËùÊöȱÏݽøÐÐ׼ȷʧЧ·ÖÎö£¬´Ó¶øÌá³ö¶Ô°ëµ¼ÌåÖÆ³ÌµÄ¿É¿¿¸Ä½øÒâ¼û£»±¾·¢Ã÷µÄ¼¼Êõ·½°¸²Ù×÷·½·¨¼òµ¥£¬ÈýάTEMÑùÆ·ÖÆ±¸Ð§Âʸߣ¬¶ÔTEMÑùÆ·½øÐÐʧЧ·ÖÎöЧ¹ûºÃ£¬×¼È·Âʸß¡£
[0056]ÒÔÉÏËùÊö½öΪ±¾·¢Ã÷µÄ½Ï¼ÑʵʩÀý£¬²¢²»ÓÃÒÔÏÞÖÆ±¾·¢Ã÷£¬·²ÔÚ±¾·¢Ã÷µÄ¾«ÉñºÍÔ­ÔòÖ®ÄÚ£¬Ëù×÷µÄÈκÎÐ޸ġ¢µÈÍ¬Ìæ»»¡¢¸Ä½øµÈ£¬¾ùÓ¦°üº¬ÔÚ±¾·¢Ã÷µÄ±£»¤·¶Î§Ö®ÄÚ¡£
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1.Ò»ÖÖ»ùÓÚÈýάTEMÑùÆ·½øÐÐȱÏÝ·ÖÎöµÄ·½·¨£¬°üÀ¨ÒÔϲ½Öè: Ca)Ìṩ°ëµ¼ÌåÑùÆ·£¬ËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·µÄ´ý¹Û²âÇøÓò¾ßÓдý¼ì²âµÄȱÏÝ£» (b)²ÉÓþ۽¹Àë×ÓÊø¶ÔËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·µÄ±íÃæ½øÐкä»÷£¬ÔÚËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·µÄ´ý¹Û²âÇøÓòÐγÉÓÃÓÚ±êʶȱÏÝλÖõĵÚÒ»±ê¼Ç£» (c)ÔÚËùÊö´ý¹Û²âÇøÓòÉÏ·½µÄ°ëµ¼ÌåÑùÆ·±íÃæÉÏ£¬µç¶ÆµÚÒ»îâ½ð±£»¤²ã£¬ËùÊöµÚÒ»îâ½ð±£»¤²ã¸²¸ÇËùÊöȱÏÝλÖú͵ÚÒ»±ê¼Ç£» (d)ÔÚËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·µÄ´ý¹Û²âÇøÓò£¬²ÉÓþ۽¹Àë×ÓÊøÖÆ±¸¾ßÓÐËùÊö´ý¼ì²âȱÏݵĵÚÒ» TEMÑùÆ·,ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·¾ßÓеÚÒ»¹Û²âÃæ£» Ce)½«²½ÖèdÖÆ±¸µÄµÚÒ» TEMÑùÆ··ÅÖõ½Í­ÍøÉÏ£¬²¢ÓëËùÊöÍ­ÍøÒ»ÆðÖÃÓÚTEM»ų́£¬Ê¹ËùÊöTEM»ų́µÄµç×ÓÊøÑØ´¹Ö±ÓÚËùÊöµÚÒ»¹Û²âÃæµÄ·½ÏòͶӰ³ÉÏñ£¬²¢ÔÚTEMÏÂÁ¿²âËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·µÄ³ÉÏñͼ°¸ÖÐËùÊö´ý¼ì²âȱÏݵ½ËùÊöµÚÒ»±ê¼ÇµÄ¾àÀ룻 (f)½«ËùÊöµÚÒ»TEMÑùÆ·´ÓÍ­ÍøÉÏÈ¡³ö£¬ÒÔËùÊöµÚÒ»¹Û²âÃæ³¯Éϵķ½Ïò½«ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ··ÅÖÃÓÚËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·ÉÏ£» (g)¸ù¾Ý²½ÖèeÁ¿²â³öµÄ¾àÀ룬ÅжÏËùÊö´ý¼ì²âȱÏÝ ÔÚËùÊöµÚÒ»¹Û²âÃæµÄλÖ㬲¢ÔÚËùÊöµÚÒ»¹Û²âÃæµÄȱÏÝ´¦µç¶ÆµÚ¶þîâ½ð±£»¤²ã£» (h)¶ÔËùÊöµÚÒ»TEMÑùÆ·£¬²ÉÓþ۽¹Àë×ÓÊøÖÆ±¸µÚ¶þ TEMÑùÆ·£¬ËùÊöµÚ¶þ TEMÑùÆ·¾ß±¸µÚ¶þ¹Û²âÃæ£¬ËùÊöµÚ¶þ TEMÑùÆ·¼´ÎªÈýάTEMÑùÆ·£» (i)½«ËùÊö²½ÖèhÖÆ±¸µÄÈýάTEMÑùÆ··ÅÖõ½Í­ÍøÉÏ£¬²¢ÓëËùÊöÍ­ÍøÒ»ÆðÖÃÓÚTEM»ų́£¬Ê¹ËùÊöTEM»ų́µÄµç×ÓÊøÑØ´¹Ö±ÓÚËùÊöµÚ¶þ¹Û²âÃæµÄ·½ÏòͶӰ£¬½øÐÐÈýάTEM³ÉÏñ¡£
2.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄ·½·¨£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ:²½ÖèbÖУ¬ËùÊöµÚÒ»±ê¼Ç¾àÀëËùÊöȱÏݵľàÀëСÓÚ2um ;ËùÊöµÚÒ»±ê¼ÇΪ´ÓËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·±íÃæÑÓÉìÖÁËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·ÄÚ²¿µÄµ¹×¶Ðο׶´¡£
3.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄ·½·¨£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ:²½ÖèfÖУ¬ËùÊöµÚÒ»TEMÑùÆ··ÅÖÃÓÚËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·µÄ±íÃæÉÏ£»»òÕß²ÉÓÃÊøÁ÷·¶Î§93~500pAµÄ¾Û½¹Àë×ÓÊø£¬ÔÚËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·ÄÚÐγɳ¤¿í·Ö±ðΪlOum£¬ÉîΪIumµÄ·½¿Ó£¬ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·ÖÃÓÚËùÊö·½¿ÓÄÚ£¬ËùÊö·½¿ÓÉèÖÃÔÚ¿¿½üËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·ÖÆ±¸Íê³ÉºóÁôϵݼ¿ÓÇøÓò¡£
4.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄ·½·¨£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ:²½ÖègÖУ¬ËùÊöµÚÒ»¹Û²âÃæµÄȱÏÝλÓÚËùÊöµÚ¶þîâ½ð±£»¤²ãµÄÖÐÐÄλÖá£
5.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1~4ÈÎÒ»ËùÊöµÄ·½·¨£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ:ËùÊö²½Öèd¾ßÌåΪ: (1)²ÉÓÃÊøÁ÷·¶Î§Îª6.5~9.2nAµÄ¾Û½¹Àë×ÓÊø£¬ÔÚËùÊöµÚÒ»îâ½ð±£»¤²ãµÄÁ½²à·Ö±ðÇиî³öÒ»¸öºá¶ÏÃæÒÔ·ÖÀëËùÊö´ý¹Û²âÇøÓòµÄÑùÆ·£¬ËùÊöÇиî¿í¶ÈÒÔ²»³¬¹ýËùÊöµÚÒ»îâ½ð±£»¤²ãµÄ¿í¶ÈΪ½ç£» (2)²ÉÓÃÊøÁ÷·¶Î§Îª2.8~6.5nAµÄ¾Û½¹Àë×ÓÊø£¬¶ÔËùÊö·ÖÀë³öµÄÑùÆ·µÄµ×²¿ºÍ²àÃæ½øÐÐUÐÍÇжϣ¬ÐγɵÚÒ» TEMÑùÆ·£» (3)²ÉÓÃÊøÁ÷·¶Î§Îª93pA~500pAµÄ¾Û½¹Àë×ÓÊø£¬¶ÔËùÊöµÚÒ»TEMÑùÆ·µÄÕýÃæºÍ±³Ãæ½øÐÐÑÐÄ¥£¬Ê¹ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·µÄºñ¶È¼õ±¡Îª0.1~0.3um ;ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·µÄÕýÃæ¼´ÎªµÚÒ»¹Û²âÃæ¡£
6.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó5ËùÊöµÄ·½·¨£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ:ËùÊöµÚÒ»îâ½ð±£»¤²ãµÄ¿í¶ÈΪlOOnm£¬ºñ¶ÈΪ3~4um¡£
7.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1~4ÈÎÒ»ËùÊöµÄ·½·¨£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ.ËùÊö²½Öèh¾ßÌåΪ: (1)½«ËùÊöµÚÒ»TEMÑùÆ··ÅÖÃÓÚËùÊö°ëµ¼ÌåÑùÆ·µÄ±íÃæ£¬²¢ÔÚËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·Á½²à·Ö±ðµç¶ÆÓÃÓڹ̶¨ËùÊöµÚÒ» TEMÑùÆ·µÄîâ½ð²ã£» (2)²ÉÓÃÊøÁ÷·¶Î§Îª6.5~9.2nAµÄ¾Û½¹Àë×ÓÊø£¬ÔÚËùÊöµÚ¶þîâ½ð±£»¤²ãµÄÁ½²à·Ö±ðÇиî³öÒ»¸öºá¶ÏÃæÒÔ·ÖÀëËùÊö´ý¹Û²âÇøÓòµÄÑùÆ·£¬ËùÊöÇиî¿í¶ÈÒÔ²»³¬¹ýËùÊöµÚ¶þîâ½ð±£»¤²ãµÄ¿í¶ÈΪ½ç£» (3)²ÉÓÃÊøÁ÷·¶Î§Îª2.8~6.5nAµÄ¾Û½¹Àë×ÓÊø£¬¶ÔËùÊö·ÖÀë³öµÄÑùÆ·µÄµ×²¿ºÍ²àÃæ½øÐÐUÐÍÇжϣ¬ÐγÉÈýάTEMÑùÆ·£» (4)²ÉÓÃÊøÁ÷·¶Î§Îª93pA~500pAµÄ¾Û½¹Àë×ÓÊø£¬¶ÔËùÊöÈýάTEMÑùÆ·µÄÕýÃæºÍ±³Ãæ½øÐÐÑÐÄ¥£¬Ê¹ËùÊöÈýάTEMÑùÆ·µÄºñ¶È¼õ±¡Îª0.1~0.3um ;ËùÊöÈýάTEMÑùÆ·µÄÕýÃæ¼´ÎªµÚ¶þ¹Û²âÃæ¡£
8.¸ù¾Ý ȨÀûÒªÇó7ËùÊöµÄ·½·¨£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ:ËùÊöµÚ¶þîâ½ð±£»¤²ãµÄ¿í¶ÈΪlOOnm£¬ºñ¶ÈΪlum¡£
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