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    [0002] ÐÇÃô¸ÐÆ÷ÊÇÒ»Öָ߾«¶È×Ë̬Ãô¸Ð²âÁ¿ÒÇÆ÷£¬¾ßÓо«¶È¸ß¡¢¿¹¸ÉÈÅÐÔÇ¿¡¢¿É²»ÒÀÀµÆä Ëüϵͳ½øÐжÀÁ¢µ¼º½µÈÓŵã¡£ÏÖ½ñ¹úÄÚº½ÌìÆ÷¶à²ÉÓýø¿ÚµÄ¹úÍâµÍ¾«¶ÈµÄÐÇÃô¸ÐÆ÷£¬Ëæ×Å º½ÌìÓ¦ÓõÄÉîÈ룬¶ÔÆä¾«¶ÈºÍ¶¯Ì¬ÐÔÄÜÌá³öÁËÔ½À´Ô½¸ßµÄÒªÇó£¬ÓÉÓڸߵȼ¶²úÆ·¹úÍâ½ûÔË£¬ Ö»ÄÜÒÀ¿¿×ÔÉíÁ¦Á¿ÑÐÖÆ¡£±¾·¢Ã÷ÌṩһÖÖ»ùÓڸ߷ֱæÂÊCMOSºÍµÍ·Ö±æÂÊ»ùÓÚµç×Ó±¶Ôöµç ºÉñîºÏÆ÷¼þ£¨EMCXD£¬Electronic Multiplying (XD)µÄ×éºÏ¸ß¶¯Ì¬ÐÇÃô¸ÐÆ÷³ÉÏñϵͳ¡£ÐÇ Ãô¸ÐÆ÷»ù±¾¹¤×÷Ô­ÀíΪºãÐÇËù·¢³öµÄÐǹ⾭¹âѧϵͳ³ÉÏñÔÚ̽²âÆ÷°ÐÃæÉÏ£¬ÓɳÉÏñϵͳÅÄ ÉãÊÓÖáÖ¸ÏòÐǿյÄͼÏñ£¬Í¨¹ýÐźŴ¦Àíµç·¶ÔÊý×Ö»¯ºóµÄÐÇͼ½øÐд¦Àí£¬Ö÷Òª°üÀ¨ºãÐÇÄ¿ ±ê¼ì²â£¨ÐÇÌáÈ¡£©¡¢ÐÇʶ±ð¡¢×Ë̬¼ÆËãµÈ¹ý³Ì£¬×îºóÈ·¶¨ÐÇÃô¸ÐÆ÷¹âÖáÔÚ¹ßÐÔ¿Õ¼äÖеÄÖ¸Ïò£¬ ÔÙÀûÓüºÖªµÄÐÇÃô¸ÐÆ÷ÓëÔØÌåµÄ°²×°½ÇºÍ´ËÖ¸Ïò¾Í¿ÉÒÔÍê³ÉÔØÌåÈýÖá˲ʱ×Ë̬µÄ²âÁ¿¡£
    [0003] Ëæ×Å¿ÆÑ§¼¼ÊõµÄ·¢Õ¹£¬º½ÌìÆ÷µÄ»ú¶¯ÐÔÔ½À´Ô½¸ß£¬¶ÔÐÇÃô¸ÐÆ÷µÄÐÔÄÜÒªÇóÒ²¾ÍÔ½ À´Ô½¸ß£¬¶øÄ¿Ç°µÄÐÇÃô¸ÐÆ÷´æÔÚ¶¯Ì¬ÐÔÄܽϵ͡¢×Ë̬¸üÐÂÂʲ»¸ßµÄȱµã£¬Òò´Ë£¬ÎÞ·¨Âú×ãδ À´º½Ìì×Ë̬²âÁ¿µÄÐèÒª¡£±±¾©º½Ì캽¿Õ´óѧÌá³ö²ÉÓÃICCDÀ´¸ßËÙ»ñÈ¡ÐÇͼ£¬´æÔÚÌå»ý´ó¡¢ ÊÙÃü¶Ì¡¢¹¦ºÄ¸ßµÈÎÊÌ⣻±±¾©¿ØÖƹ¤³ÌÑо¿Ëù²ÉÓÃEMCCDÀ´»ñÈ¡ÐÇͼ£¬ÊÜÆ÷¼þÐÔÄÜÏÞÖÆ£¬²» ÄÜͬʱÂú×ã¸ß·Ö±æÂʺ͸ß֡Ƶ£»´«Í³µÄTDI¹¤×÷·½Ê½Ö»ÄÜʵÏÖÒ»¸ö·½ÏòµÄÀÛ¼Ó»ý·Ö£¬²»ÄÜ ÊµÏÖ¶þά·½Ê½µÄÀÛ¼Ó»ý·ÖµÈÎÊÌâ¡£


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    [0004] ±¾·¢Ã÷Ϊ½â¾öÏÖÓм¼Êõ²ÉÓÃICCD¸ßËÙ»ñÈ¡ÐÇͼ£¬´æÔÚÌå»ý´ó¡¢ÊÙÃü¶Ì¡¢¹¦ºÄ¸ßµÈ ÎÊÌâ»òÕß²ÉÓÃEMCCDÀ´»ñÈ¡ÐÇͼ²»ÄÜͬʱÂú×ã¸ß·Ö±æÂʺ͸ß֡ƵµÄÎÊÌ⣬ͬʱÏÖÓвÉÓà TDIµÄ·½Ê½ÎÞ·¨ÊµÏÖ¶þά·½Ê½ÀÛ¼Ó»ý·ÖµÈÎÊÌ⣬ÌṩһÖÖ»ùÓÚEMCCDºÍCMOSµÄ¸ß¶¯Ì¬ÐÇÃô ¸ÐÆ÷µÄʵÏÖ·½·¨¡£
    [0005] »ùÓÚEMCCDºÍCMOSµÄ¸ß¶¯Ì¬ÐÇÃô¸ÐÆ÷µÄʵÏÖ·½·¨£¬¸Ã·½·¨ÓÉÒÔϲ½ÖèʵÏÖ£º
    [0006] ²½ÖèÒ»¡¢¹âѧϵͳ½ÓÊÕÐÇͼÐÅÏ¢ºóͬʱÔÚCMOS´«¸ÐÆ÷ÒÔ¼°ÔÚËùÊöCMOS´«¸ÐÆ÷ËÄ ½ÇµÄËÄÆ¬EMCCD´«¸ÐÆ÷ÉϳÉÏñ£¬ËùÊöËÄÆ¬EMCCD´«¸ÐÆ÷ÒÔ±¶Ôö·½Ê½¸ß֡Ƶ»ñÈ¡¸ßÐǵÈСÊÓ ³¡µÄÐÇͼÐÅÏ¢£¬²¢½«ÐÇͼÐÅÏ¢´«ËÍÖÁͼÏñ´¦ÀíÆ÷£»ËùÊöͼÏñ´¦ÀíÆ÷»ñµÃµ±Ç°ËÄÆ¬EMCCDÊä ³öµÄÐÇͼÐÅÏ¢´Ó¶ø¼ÆËã³öÿ֡ÔÚ¶þά·½ÏòµÄÏñÒÆÁ¿£»
    [0007] ²½Öè¶þ¡¢ËùÊöCMOS´«¸ÐÆ÷½«²É¼¯µÄÐÇͼÐÅÏ¢´«ËÍÖÁͼÏñ´¦ÀíÆ÷£¬ËùÊöͼÏñ´¦ÀíÆ÷ ¸ù¾Ý²½ÖèÒ»ÖÐËÄÆ¬EMC¢ÇÊä³öµÄÐÇͼÐÅÏ¢¼ÆËã³öÿ֡ÔÚ¶þά·½ÏòÏñÒÆÁ¿£¬Í¨¹ýÀÛ¼ÓÔÚCMOS ÿ֡ÉãÏñʱ¼äÄÚEMCCDÊä³öµÄ¸÷Ö¡ÏñÒÆÁ¿£¬´Ó¶ø»ñµÃCMOS´«¸ÐÆ÷ÿ֡¼ä¶þά·½ÏòµÄÏñÒÆ Á¿£»
    [0008] ²½ÖèÈý¡¢²ÉÓÃÍⲿ´æ´¢Æ÷¶ÔCMOS´«¸ÐÆ÷Êä³öͼÏñ½øÐжþά·½ÏòµÄTDI·½Ê½µþ¼Ó£¬ ½«TDIµþ¼ÓºóͼÏñ½øÐÐÐÇͼʶ±ð£»»ñµÃ¸ß¾«¶ÈµÄ´óÊÓ³¡µÍÐǵÈÐÇͼͼÏñ¡£
    [0009] ±¾·¢Ã÷µÄÓÐÒæÐ§¹û£º±¾·¢Ã÷Ö÷ÒªÀûÓÃEMCCD±¶Ôöģʽ¸ßËÙÅÄÉã¸ßÐǵȵÄÐÇͼ£¬Í¨ ¹ý̽²â¸ßÐǵÈͼÏñÔÚСÊÓ³¡ÄÚ»ñµÃ¸ü¶àµÄ̽²âÐÇÊýÁ¿£¬²ÉÓÃÏà¹ØËã·¨¼ÆËã³öÿ֡¼äµÄ¶þά ·½ÏòµÄÏà¶ÔÏñÒÆÁ¿£»È»ºó×ÛºÏCMOSËĽǵÄËÄÆ¬EMCCD»ñÈ¡µÄÏñÒÆÁ¿À´»ñµÃ¶þά·½ÏòµÄÏñÒÆ ʸÁ¿£¬±ÜÃⵥƬEMCCDÔÚijʱ¼ä¶ÎδÅÄÉãµ½ºãÐÇ´Ó¶øÎÞ·¨¼ÆËã³öÏñÒÆÊ¸Á¿µÄÇé¿ö£¬Ìá¸ß»ñ È¡ÏñÒÆÊ¸Á¿µÄ¼¸ÂÊ¡£Èô½öÓÐһƬEMCCD̽²âµ½ºãÐÇ£¬Êä³öÁË·Ç0µÄÏñÒÆÁ¿£¬ÔòÒÔ¸ÃÆ¬Êä³öµÄ ÏñÒÆÁ¿Îª×¼£»Èô³¬¹ýһƬEMCCD̽²âµ½ºãÐÇ£¬Êä³öÁË·Ç0µÄÏñÒÆÁ¿£¬ÔòÒÔËùÓÐÊä³ö·Ç0ÏñÒÆ Á¿µÄƽ¾ùÖµ×÷Ϊ×îÖÕµÄÏñÒÆÁ¿¡£×îºó°Ñͨ¹ýËÄÆ¬»ñÈ¡µÄÏñÒÆÊ¸Á¿×ª»»ÎªÖÐÐÄCMOSµÄ¶þά ·½ÏòµÄÏñÒÆÁ¿£¬²¢ÔÚÖÐÐÄCMOSÆØ¹âÊä³öһ֡ͼÏñʱ¼ÆËã³öÔÚ¸ÃÖ¡ÆØ¹âʱ¼äÄÚ×ܵÄÏñÒÆÁ¿£¬ Ò²¾ÍÊÇEMCCDÊä³öµÄ×îÖÕÏñÒÆÁ¿ÔÚ¸Ã֡ʱ¼äÄڵĵþ¼Ó£»CMOS½øÐжþά·½ÏòµÄTDI¹¤×÷·½ ʽ£¬Ö÷ÒªÊDzÉÓÃÈí¼þ·½Ê½»ùÓÚÍⲿ´æ´¢Æ÷ʵÏֵġ£
    [0010] ±¾·¢Ã÷»ùÓÚËĽǵÄËÄÆ¬Ð¡EMC¢ÇÔÚ±¶ÔöģʽÏ»ñÈ¡¸ßÐǵÈСÊÓ³¡ÐÇͼ¼ÆËã³öÏñ ÒÆ£¬¶ÔÖÐÐĵĴóCMOS´«¸ÐÆ÷½øÐÐÏñÒÆ²¹³¥ºó¼ÆËãµÍÐǵȴóÊÓ³¡ÐÇͼµÄ»ùÓÚEMC¢ÇºÍCMOS µÄ¸ß¶¯Ì¬ÐÇÃô¸ÐÆ÷µÄʵÏÖ·½·¨£¬½«´«Í³ÐÇÃô¸ÐÆ÷ºÍµç×Ó±¶Ôö¼¼Êõ½áºÏÆðÀ´£¬±¾·¢Ã÷¿É»ñµÃ CMOS½Ï³¤µÄ»ý·Öʱ¼äÌá¸ßÐÅÔë±È£¬±ÜÃâÁËÏñÒÆµ¼ÖµÄÐÇͼÄ£ºý£¬¶øÇÒ±ÜÃâÁ˹ý¸ßƵÉãÏñÒý ÆðµÄÔëÉùÔö¼Ó£»²ÉÓøßÐǵȵÄEMCCDÅÄÉãÐÇͼ»ñÈ¡ÏñÒÆ£¬½µµÍÁË´óÃæÕó¼ÆËãÏñÒÆ¶Ô´¦ÀíÆ÷ µÄÒªÇó£»²ÉÓÃËĽǵÄËÄÆ¬EMCCD»ñȡͼÏñ£¬¿É»ñµÃ¶þάÏà·´·½ÏòµÄÏñÒÆ£¬±ÜÃâÁ˵¥Æ¬»ñÈ¡Ïñ ÒÆµÄ¼¸ÂʹýµÍµÄÎÊÌâ¡£

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    [0011] ͼ1Ϊ±¾·¢Ã÷ËùÊöµÄ»ùÓÚEMC¢ÇºÍCMOSµÄ¸ß¶¯Ì¬ÐÇÃô¸ÐÆ÷µÄ½á¹¹Ê¾Òâͼ¡£

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    [0012] ½áºÏͼ1˵Ã÷±¾ÊµÊ©·½Ê½£¬»ùÓÚEMC¢ÇºÍCMOSµÄ¸ß¶¯Ì¬ÐÇÃô¸ÐÆ÷µÄʵÏÖ·½·¨£¬¸Ã ·½·¨ÓÉÒÔϲ½ÖèʵÏÖ£º
    [0013] Ò»¡¢Ìì¿ÕÖеÄÐÇͼ¾­¹âѧϵͳºó³ÉÏñ´óCMOS´«¸ÐÆ÷¼°ÆäËĽǵÄËÄÆ¬Ð¡EMC¢Ç´«¸Ð Æ÷ÉÏ£»ËÄÆ¬Ð¡EMCXD´«¸ÐÆ÷ÒÔ±¶Ôö·½Ê½¸ß֡ƵÈç1000Ö¡/Ãë»ñÈ¡¸ßÐǵȵÄÐÇͼ£¬²¢°ÑÐÇͼ Êý¾ÝËÍÈëͼÏñ´¦ÀíÆ÷£»Í¼Ïñ´¦ÀíÆ÷×ۺϴ¦ÀíËÄÆ¬EMC¢ÇËÍÈëµÄÐÇͼ£¬¼ÆËã³öµ±Ç°¶þά·½Ïò µÄÏñÒÆËÙ¶È£»
    [0014] ¶þ¡¢CMOS´«¸ÐÆ÷ÒԽϸߵÄ֡ƵÈç100Ö¡/ÃëÉãÏñ£¬²¢°Ñ²É¼¯µÄÐÇͼËÍÈëͼÏñ´¦Àí Æ÷£»Í¼Ïñ´¦ÀíÆ÷¸ù¾ÝËÄÆ¬EMC¢ÇÐÇͼ¼ÆËã³öËÄÆ¬EMCXDÿ֡µÄÏñÒÆÁ¿£¬Í¨¹ýÀÛ¼ÓÔÚCMOSÿ Ö¡ÉãÏñʱ¼äÄÚEMCCDÊä³öµÄ¸÷Ö¡ÏñÒÆÁ¿£¨¼Ù¶¨ÔÚCMOSÿ֡ÉãÏñʱ¼äÄÚEMCCD³ÉÏñq´Î£¬ ÐкÍÁз½ÏòµÄÏñÒÆÁ¿·Ö±ðΪXiºÍyi£¬©– < y < q-¦©)£¬µÃµ½´óCMOSÿ֡¼ä¶þά·½ÏòµÄÏñÒÆÁ¿ (ÐкÍÁз½ÏòµÄÏñÒÆÁ¿·Ö±ðΪ

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