内置多探针�？榧捌渚哂懈媚？榈奶秸胩ǖ闹谱鞣椒�
【专利摘要】一种内置多探针�？椋�：底座，所述底座上设置电气测试用印刷电路板和焊接位；探针，所述探针活动设置在所述底座上，并可根据所述待测试器件之结构调整所述探针在所述底座上的位置排布。一种具有内置多探针�？橹秸胩ǎ瞿谥枚嗵秸肽？樯柚迷谟糜诜胖盟龃馐云骷目ㄅ躺戏�。本发明可根据所述待测试器件之测试需求，调整所述内置多探针�？椋孕纬刹煌嘈椭秸肟ǎ苊馄捣笔侄惶秸肟ǖ贾虏馐孕实拖拢约叭宋僮髦缦盏热毕�。
【专利说明】内置多探针模块及其具有该�？榈奶秸胩�
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体【技术领域】，尤其涉及一种内置多探针模块及其具有该�？榈奶秸胩�。
【背景技术】
[0002]众所周知,现有晶圆可接受性测试(Wafer Acceptance Test, WAT)中的探针卡是根据测试程式之需求,手动放入不同类型的探针卡。
[0003]请参阅图4 (a)、图4 (b),图4 (a)?图4 (b)所示为现有不同类型之探针卡的结构示意图。所述探针卡3具有独特设计，不同类型的探针卡3的区别主要在于探针31的数量、探针31的针间距，以及探针31的排布方式不同。同时，在所述测试过程中，任一测试程序仅能使用一张探针卡3。所述繁琐的人工操作势必费事费力，降低测试效率，且存在人为操作之风险。
[0004]故针对现有技术存在的问题，本案设计人凭借从事此行业多年的经验，积极研究改良，于是有了本发明一种内置多探针�？榧捌渚哂懈媚？榈奶秸胩ā�
【发明内容】
[0005]本发明是针对现有技术中，传统用于晶圆可接受性测试的探针台在测试过程中需要进行繁琐的人工操作，不仅费事费力，降低测试效率，而且存在人为操作之风险等缺陷提供一种内置多探针�？�。
[0006]本发明之又一目的是针对现有技术中，传统用于晶圆可接受性测试的探针台在测试过程中需要进行繁琐的人工操作，不仅费事费力，降低测试效率，而且存在人为操作之风险等缺陷提供一种具有内置多探针�？榈奶秸胩�。
[0007]为实现本发明之目的，本发明提供一种内置多探针�？椋瞿谥枚嗵秸肽？榘�:底座，所述底座上设置电气测试用印刷电路板和焊接位；探针，所述探针活动设置在所述底座上，并可根据所述待测试器件之结构调整所述探针在所述底座上的位置排布。
[0008]可选地，所述内置多探针�？橹秸牒嵯蚺挪荚谒龅鬃讲啵⒎直鸲ㄒ逦谝惶秸胱楹偷诙秸胱椋宜龅谝惶秸胱楹偷诙秸胱榈奶秸氲氖烤�24。
[0009]为实现本发明之又一目的，本发明提供一种具有内置多探针�？橹秸胩ǎ瞿谥枚嗵秸肽？樯柚迷谟糜诜胖盟龃馐云骷目ㄅ躺戏健�
[0010]可选地，当所述待测试器件进行测试需要12根探针单排布置时，所述第一探针组或者所述第二探针组的12根探针便移动至所述内置多探针�？榈闹胁浚钩鲆怨┎馐允褂�。
[0011]可选地，当所述待测试器件进行测试需要24根探针双排布置时，所述第一探针组和所述第二探针组的各12根探针便分别移动至所述内置多探针�？榈闹胁砍仕挪贾茫钩鲆怨┎馐允褂�。
[0012]可选地，当所述待测试器件进行测试需要24根探针单排布置时，所述第一探针组和所述第二探针组的各12根探针便移动至所述内置多探针�？榈闹胁砍实ヅ挪贾茫钩鲆怨┎馐允褂�。
[0013]可选地，当所述待测试器件进行测试需要12根探针单排布置，且探针之针间距加倍时，所述第一探针组或者所述第二探针组之12根呈针间距加倍的探针便移动至所述内置多探针�？榈闹胁浚钩鲆怨┎馐允褂�。
[0014]可选地，所述待测试器件为晶圆。
[0015]综上所述，本发明所述探针台可根据所述待测试器件之测试需求，调整所述内置多探针�？椋孕纬刹煌嘈椭秸肟ǎ苊馄捣笔侄惶秸肟ǖ贾虏馐孕实拖拢约叭宋僮髦缦盏热毕�。
【专利附图】
【附图说明】
[0016]图1所示为本发明内置多探针�？榈慕峁故疽馔迹�
[0017]图2所示为具有内置多探针�？榈奶秸胩ㄖ⑻褰峁故疽馔迹�
[0018]图3 (a)?图3 (d)所示为根据不同待测试器件之测试需求所形成的不同探针卡类型；
[0019]图4 (a)?图4 (b)所示为现有不同类型之探针卡的结构示意图。
【具体实施方式】
[0020]为详细说明本发明创造的技术内容、构造特征、所达成目的及功效，下面将结合实施例并配合附图予以详细说明。
[0021]请参阅图1、图2,图1所示为本发明内置多探针�？榈慕峁故疽馔�。图2所示为具有内置多探针�？榈奶秸胩ㄖ⑻褰峁故疽馔�。所述内置多探针�？镮包括:底座11，所述底座11上设置电气测试用印刷电路板(未图示)和焊接位(未图示);探针12，所述探针12活动设置在所述底座11上，并可根据所述待测试器件(未图示)之结构调整所述探针12在所述底座11上的位置排布。所述探针台2为具有所述内置多探针�？镮的测试机台，且所述内置多探针�？镮设置在用于放置所述待测试器件(未图示)的卡盘21上方。
[0022]作为本领域技术人员，容易理解地，所述底座11之电气测试用印刷电路板和焊接位的制作可采用现有工艺完成。所述探针台2读取所述待测试器件之结构，并确定所需探针卡类型，进而调整所述内置多探针�？�1，使其内置多探针�？镮的探针12之数量、探针12之针间距、探针12之排布方式满足所述待测试器件的测试之需。
[0023]为更直观的阐述本发明之技术方案，凸显本发明之有益效果，现结合具体的实施方式进行阐述，在所述【具体实施方式】中，所述内置多探针�？榈奶秸胧�、探针之针间距、探针之排布方式仅为列举，不应视为对本发明技术方案的限制。作为具体的实施例，所述待测试器件包括但不限于晶圆。非限制性的列举，所述内置多探针�？镮之探针12横向排布在所述底座11之两侧，并分别定义为第一探针组12a和第二探针组12b，且所述第一探针组12a和第二探针组12b的探针12的数量均为24。
[0024]请参阅图3 (a)?图3 (d)，图3 (a)?图3 (d)所示为根据不同待测试器件之测试需求所形成的不同探针卡类型。如图3 (a)所示，当所述待测试器件进行测试需要12根探针12单排布置时，所述第一探针组12a或者所述第二探针组12b的12根探针12便移动至所述内置多探针�？镮的中部，凸出以供测试使用；如图3 (b)所示，当所述待测试器件进行测试需要24根探针12双排布置时，所述第一探针组12a和所述第二探针组12b的各12根探针12便分别移动至所述内置多探针�？镮的中部呈双排布置，凸出以供测试使用；如图3 (c)所示，当所述待测试器件进行测试需要24根探针12单排布置时，所述第一探针组12a和所述第二探针组12b的各12根探针12便移动至所述内置多探针�？镮的中部呈单排布置，凸出以供测试使用；如图3 (d)所示，当所述待测试器件进行测试需要12根探针12单排布置，且探针12之针间距加倍时，所述第一探针组12a或者所述第二探针组12b之12根呈针间距加倍的探针12便移动至所述内置多探针�？镮的中部，凸出以供测试使用。
[0025]显然地，本发明所述探针台可根据所述待测试器件之测试需求，调整所述内置多探针�？椋孕纬刹煌嘈椭秸肟ǎ苊馄捣笔侄惶秸肟ǖ贾虏馐孕实拖拢约叭宋僮髦缦盏热毕�。
[0026]综上所述，本发明所述探针台可根据所述待测试器件之测试需求，调整所述内置多探针�？椋孕纬刹煌嘈椭秸肟ǎ苊馄捣笔侄惶秸肟ǖ贾虏馐孕实拖拢约叭宋僮髦缦盏热毕�。
[0027]本领域技术人员均应了解，在不脱离本发明的精神或范围的情况下，可对本发明进行各种修改和变型。因而，如果任何修改或变型落入所附权利要求书及等同物的保护范围内时，认为本发明涵盖这些修改和变型。
【权利要求】
1.一种内置多探针�？椋涮卣髟谟冢瞿谥枚嗵秸肽？榘�: 底座，所述底座上设置电气测试用印刷电路板和焊接位； 探针，所述探针活动设置在所述底座上，并可根据所述待测试器件之结构调整所述探针在所述底座上的位置排布。
2.如权利要求1所述的内置多探针模块，其特征在于，所述内置多探针模块之探针横向排布在所述底座之两侧，并分别定义为第一探针组和第二探针组，且所述第一探针组和第二探针组的探针的数量均为24。
3.一种具有如权利要求1所述的内置多探针�？橹秸胩ǎ涮卣髟谟冢瞿谥枚嗵秸肽？樯柚迷谟糜诜胖盟龃馐云骷目ㄅ躺戏健�
4.如权利要求3所述的探针台，其特征在于，当所述待测试器件进行测试需要12根探针单排布置时，所述第一探针组或者所述第二探针组的12根探针便移动至所述内置多探针�？榈闹胁浚钩鲆怨┎馐允褂�。
5.如权利要求3所述的探针台，其特征在于，当所述待测试器件进行测试需要24根探针双排布置时，所述第一探针组和所述第二探针组的各12根探针便分别移动至所述内置多探针�？榈闹胁砍仕挪贾茫钩鲆怨┎馐允褂�。
6.如权利要求3所述的探针台，其特征在于，当所述待测试器件进行测试需要24根探针单排布置时，所述第一探针组和所述第二探针组的各12根探针便移动至所述内置多探针模块的中部呈单排布置，凸出以供测试使用。
7.如权利要求3所述的探针台，其特征在于，当所述待测试器件进行测试需要12根探针单排布置，且探针之针间距加倍时，所述第一探针组或者所述第二探针组之12根呈针间距加倍的探针便移动至所述内置多探针�？榈闹胁浚钩鲆怨┎馐允褂�。
8.如权利要求3?7任一权利要求所述的探针台，其特征在于，所述待测试器件为晶圆。
【文档编号】G01R1/073GK103760391SQ201410042508
【公开日】2014年4月30日 申请日期:2014年1月29日 优先权日:2014年1月29日
【发明者】李雨凡, 莫保章 申请人:上海华力微电子有限公司
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