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专利名称：一种微力探测器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及カ敏传感器领域，尤其是涉及到用于微小力探測的ー种微力探測器。
(ニ)
背景技术：
利用材料的物理性质在カ的作用下发生变化的现象制备了カ敏传感器。カ敏传感器的种类甚多、传统的測量方法是利用弾性元件的形变和位移来表示，但它的体积大、笨
重、输出非线性。随着微电子技术的发展，利用半导体材料的压阻效应和良好的弾性，研制出半导体力敏传感器，主要有硅压阻式和电容式两种，它们具有体积小、重量轻、灵敏度高等优点，因此半导体力敏传感器得到广泛应用。随着新材料的不断发展，力敏传感器进ー步发展成基于压电材料、磁致伸縮材料等材料。以上的力敏传感器都是基于材料本身的物理性质在カ的作用下发生变化进而对カ进行探測，其灵敏度取决于材料本身的物理性质。

发明内容本实用新型提供ー种微力探測器，其利用光学的方法来探測微力，通过结构的设计，依靠杠杆原来进行探測的放大，可以实现微力的探測。为了实现上述目的，本实用新型所采取的技术方案为，ー种微力探測器，包括固定端、柔性支撑杆、力探測端、激光光源、检测端，其中，柔性支撑杆的一端固定于固定端，另一端与力探測端相连接；柔性支撑杆表面镀有反射光的平滑材料；激光光源、检测端为于柔性支撑杆的正上方，且激光光源与检测端关于柔性支撑杆的发现对称分布。本实用新型的有益效果是采用光学的方法来探測微力，干扰小，根据微力的大小，可以调节杠杆的放大量，通过结构设计优化力的检测，实现高灵敏度的微力探測。

图I为本实用新型的结构示意图。图中I、固定端，2、柔性支撑杆，3、カ探测端，4、激光光源，5、检测端
具体实施方式
以下结合附图实施例对本实用新型作进ー步详细描述。图I为本实用新型的结构示意图，固定端I、柔性支撑杆2、力探測端3、激光光源4、检测端5，其中，柔性支撑杆2的一端固定于固定端I，另一端与力探測端3相连接；柔性支撑杆2表面镀有反射光的平滑材料；激光光源4、检测端5为于柔性支撑杆2的正上方，且激光光源4与检测端5关于柔性支撑杆的发现对称分布。当微力作用于カ探測端3吋，柔性支撑杆2发生弯曲，激光光源射出的光线发生偏转，检测端检测到这ー变化。本实用新型采用光学的方法来探測微力，干扰小，根据微力的大小，可以调节杠杆的放大量，通过结构设计优化カ的检测，实现高灵敏度的微力探測。[0009]以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的 优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
权利要求1.ー种微力探測器，包括固定端、柔性支撑杆、力探測端、激光光源、检测端，其特征在于所述所述的柔性支撑杆的一端固定于固定端，另一端与力探測端相连接；所述的柔性支撑杆表面镀有反射光的平滑材料。
2.根据权利要求I所述的ー种微力探測器，其特征在于所述的激光光源、检测端为于柔性支撑杆的正上方，且激光光源与检测端关于柔性支撑杆的发现对称分布。
专利摘要利用材料的物理性质在力的作用下发生变化的现象制备了力敏传感器。但是，力敏传感器都是基于材料本身的物理性质在力的作用下发生变化进而对力进行探测，其灵敏度取决于材料本身的物理性质。本实用新型提供一种微力探测器，包括固定端、柔性支撑杆、力探测端、激光光源、检测端，其中，柔性支撑杆的一端固定于固定端，另一端与力探测端相连接；柔性支撑杆表面镀有反射光的平滑材料。当微力作用于力探测端时，柔性支撑杆发生弯曲，激光光源射出的光线发生偏转，检测端检测到这一变化。本实用新型采用光学的方法来探测微力，干扰小，根据微力的大小，可以调节杠杆的放大量，通过结构设计优化力的检测，实现高灵敏度的微力探测。
文档编号G01L1/24GK202522351SQ201220063340
公开日2012年11月7日 申请日期2012年2月21日 优先权日2012年2月21日
发明者徐东升 申请人:徐东升