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专利名称：酸液供应系统的气泡消除装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种气泡消除装置，特别是涉及一种应用于酸液供应 系统中的气泡消除装置，其可有效地减少在进行滴定时所取得的样品中的 气泡含量，以有效地增进酸液供应系统中酸液供应的精准度。
背景技术：
在一般的流体系统中，由于在输送所欲传递的溶液时，必须使用泵提 供流体压差，进而产生流动现象的驱动力，然而在液体输送的过程中，由于 所输送的液体本身在室温及常压下，即会产生对气体的吸收现象，在一般 的正常压力状况下，这些溶解于液体中的气体，由于受到外界气压的作用，
状况，''在需要使用泵作为提供流体压差的 一般流体系统中:，由于i线本身 所产生的密闭性，以及泵提供流体压差所产生的压力变化，使得平常溶于 所欲传递的溶液液体中不会产生变化影响的这些气体，便有可能造成在溶 液中析出小气泡的现象。
在一般的大流量流体系统中，由于气泡本身的产生对于流量产生的影 响，几乎小到可以被忽略，因此前述的气泡生成也就不致于产生太大的问 题，但是在要求高精密的半导体蚀刻程序(即制程，本文统称为程序)中，若 所欲传递的酸液量，受到气泡的影响而产生误差，亦或是因气泡所产生的 量过多，造成酸液中所具有的杂质受到不断的搅动，造成在进行酸液滴定 的取样样品中存在有过多气泡而使后续的滴定产生误差，都可能对于利用 酸液作为蚀刻工具的蚀刻程序产生不良的影响，进而影响产品的良率，造成 瑕疯，因此，如何在酸液供应系统中，有效地根据不同酸液的种类，以及 其它可能产生干扰的外在因素，如温度、湿度、压力变化等，以及不同情 况下所可能产生的气泡现象，能够在取样管线中减少取样中的气泡含量， 便成为对供应流体的流量有精确要求的酸液供应系统必须充分改善的重要 课题。
由此可见，上述现有的气泡消除装置在结构与使用上，显然仍存在有 不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题，相关厂 商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展 完成，而一般产品又没有适切结构能够解决上述问题，此显然是相关业者 急欲解决的问题。因此如何能创设一种新型的酸液供应系统的气泡消除装 置，实属当前重要研发课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。有鉴于上述现有的气泡消除装置存在的缺陷，本发明人基于从事此类 产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极 加以研究创新，以期创设一种新型的酸液供应系统的气泡消除装置，能够
改进一般现有的气泡消除装置，使其更具有实用性。经过不断的研究、设 计，并经过反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本实用新型。
发明内容
本实用新型的主要目的在于，克服现有的气泡消除装置存在的缺陷，而 提供一种新型的酸液供应系统的气泡消除装置，所要解决的技术问题是使 其借着微泵对于酸液供应系统中所供给的酸液进行加速度与减速度的控 制，利用不同速度的流体推动气泡通过阀件的能力不同的特性，有效将气 泡阻隔在取样阀件前，将取样样品中的气泡降到最低，取样后再藉由高速 的流体排除阻隔在阀件前的气泡，非常适于实用。
本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现
的。依据本实用新型提出的一种酸液供应系统的气泡消除装置将定量阀 件连接于管线以控制流体进出流量并定量，且于管线的另一端连接微泵以
控制该管线中流体的加速或减速，同时在定量阀件的出口处另外连接取样 装置用以在该定量阀件中取得该流体试样的取样装置。
本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施来进一步实现。
前述的酸液供应系统的气泡消除装置，其中所述的取样装置连接有取 出单一或不同酸液混合物的定量阀件出口 。
前述的酸液供应系统的气泡消除装置，其中所述的微泵装设有加减或 流速的控制阀。
前述的酸液供应系统的气泡消除装置，其中所述的定量阀件的出口处 连接有针筒、试管、管线或检测仪器的样品容器。
前述的酸液供应系统的气泡消除装置，其中所述的取样装置结合有检 测PH值或金属离子浓度的检测装置。
本实用新型与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。经由以上可 知，为了达到上述目的，本实用新型提供了 一种酸液供应系统的气泡消除装 置，其包含了 一组定量阀件，其中该定量阀件的功能在于控制酸液供给管 线、取样管线以及其它管线的酸液进出流量，除了本身具有开关阀的功能之 夕卜，亦同时具有定量取样的功能，可以依不同取样方法以及待测酸液成分的 变化，有效地控制出所需要的流量。
本实用新型同时包含了 一组微泵，其中该组微泵的功效在于输送供给管线、取样管线以及其它管线中所包含的酸液或其它需要精确控制流量的 流体，其中该组微泵可依外部控制人员或计算机系统的指示，藉由连接于
控制主机的信号端，精确地控制管线中所包含的酸液或其它液体的速度， 并可以由操作人员依各种不同成分以及外部条件的变化，有效地设定各种 不同加减管线中流体的流速的指示，进而达成最佳化的调整状况，以减少取 样管线中取样品内气泡的产生。
本实用新型另外包含了 一组管线及取样装置，其中该组管线及取样装 置的功效在于自定量阀件中实时性地取得酸液供给管线中酸液成分的试 样，其中该组取样装置可以为针筒、试管、管线或其它仪器的样品容器，且
可具有一组以上的管线及取样装置，并可同时配合检测PH值或金属离子浓
度的检测装置。
借由上述技术方案，本实用新型酸液供应系统的气泡消除装置至少具
有下列优点及有益效果本实用新型可以有效的改善现有习用的气泡消除 装置存在的种种缺点，可以借着一组以上的定量阀件、 一组以上微泵以及一 组以上的管线及取样装置所构成的气泡消除装置，可以有效地达成减少酸 液供应系统取样的试样中气泡的数量，进而提高酸液供应系统的稳定性与 供应质量。进而使本实用新型具有技术更进步、更实用、更符合使用者所 需的功效。
综上所述，本实用新型是有关于一种用于酸液供应系统的气泡消除装 置，其中该气泡消除装置系架设于需准确控制流量的浓度控酸仪中，该高 精密度浓度控酸仪是利用滴定系统作为侦测酸液浓度变化的方法，以此有 效控制酸液的供给量，其中该滴定系统的作用为有效地藉由当量点滴定，分 析各种酸液原料，例如硝酸、醋酸或磷酸的滴定终点，藉此有效量测出不 同批次酸液原料所可能产生的浓度变化，并且利用本实用新型的气泡消除 装置，可以有效地减少滴定时所取得的样品中的气泡含量，并增进酸液供 应系统中酸液精准供应。本实用新型具有上述诸多优点及实用价值，其不论 在产品结构或功能上皆有较大改进，在技术上有显著的进步，并产生了好用 及实用的效果，且较现有的气泡消除装置具有增进的突出功效，从而更加适 于实用，并具有产业的广泛利用价值，诚为一新颖、进步、实用的新设计。
上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实 用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用 新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施 例，并配合附图，i羊细i兑明:fe口下。


图1是本实用新型较佳实施例的气泡消除装置的结构图。图2是微泵与管线、取样装置的示意图。
图3是微泵未进行作用前的取样管线。
图4是微泵对管线中的酸液进行加速度后的作用示意图。
l-.定量阀件 2:管线
3:微泵 4:取样装置
具体实施方式
为更进一步阐述本实用新型为达成预定发明目的所采取的技术手段及 功效，
以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的酸液供应系统 的气泡消除装置其具体实施方式
、结构、特征及其功效，详细说明如后。
有关本实用新型的前述及其他技术内容、特点及功效，在以下配合参
考图式的较佳实施例的详细说明中将可清楚的呈现。通过具体实施方式
的
加深入il体的5解',然而所附图式仅是提供参考与说明之用，并非用来 对本实用新型加以限制。
本实用新型的一些实施例将详细描述如下。然而，除了以下描述外，本 实用新型还可以广泛地在其他实施例施行，并且本实用新型的保护范围并 不受实施例的限定，其以权利要求的保护范围为准。再者，为提供更清楚 的描述及更容易理解本实用新型，图式内各部分并没有依照其相对尺寸绘 图，某些尺寸与其他相关尺度相比已经被夸张；不相关的细节部分也未完全 绘示出，以求图式的简洁。
请参阅图1所示，其是本实用新型较佳实施例的气泡消除装置的结构 图，其中包含了一组以上的定量阀件1、 一组以上微泵3以及一组以上的管 线2及取样装置4，当待测酸液成分经由外部管线进入微泵3后，此时操作 人员依各种不同待测酸液的成分、浓度、温度、压力等各种条件的变化，对 于管线中的酸液流速进行加速(或减速)的指示，其结果请参阅图3与图4 所示，其分别为泵未进行作用前的取样管线及泵对管线中的酸液进行加速 度后的作用示意图。在一般未经控制的情况下，酸液中存在有相当数量的 气泡，且均匀分散于酸液中，然而经由图4所示，经由本实用新型的气泡 消除装置中的樣史泵3对管线2中的酸液进行了加速度的推进后，管线2中 的气泡会加速移动，使得气泡产生向前或向后移动集中的现象，再由定量阀 件1针对气泡量明显减少的酸液流动段落进行取样，进而提升酸液供应系统 中酸液流量控制精准度。
请参阅图2所示，其是泵与管线、取样装置的示意图。在管线2中的 酸液经由泵3推动后，可以由取样装置4，其可能为针筒、试管、管线或者其 它仪器的样品容器，经由定量阀件1对于管线2中的酸液进行取样，并进行目视或是仪器的判读，进而掌握管线2中气泡生成的状况，以利操作人员对 流速进行调整及指示。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作 任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非 用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员在不脱离本实用新型技 术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同 变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实 用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均 仍属于本实用新型技术方案的范围内。
权利要求1、一种酸液供应系统的气泡消除装置，其特征在于将定量阀件连接于管线以控制流体进出流量并定量，且于管线的另一端连接微泵以控制该管线中流体的加速或减速，同时在定量阀件的出口处另外连接取样装置用以在该定量阀件中取得该流体试样的取样装置。
2、 根据权利要求1所述的酸液供应系统的气泡消除装置，其特征在于 取样装置连接有取出单一或不同酸液混合物的定量阀件出口 。
3、 根据权利要求1所述的酸液供应系统的气泡消除装置，其特征在于 微泵装设有加减或流速的控制阀。
4、 根据权利要求1所述的酸液供应系统的气泡消除装置，其特征在于 在定量阀件的出口处连接有针筒、试管、管线或其它检测仪器的样品容器。
5、 根据权利要求1所述的酸液供应系统的气泡消除装置，其特征在于 取样装置结合有检测PH值或金属离子浓度的检测装置。
专利摘要本实用新型是有关于一种用于酸液供应系统的气泡消除装置，其包含一定量阀件，用于控制流体进出流量并定量；一微泵，其是以一管线连接该定量阀件，并控制该管线中流体的加速或减速；以及一取样装置，其是用以在该定量阀件中取得该流体的试样。其中该气泡消除装置架设于需准确控制流量浓度的控酸仪中，该高精密度浓度控酸仪是利用滴定系统作为侦测酸液浓度变化的方法，以此有效控制酸液的供给量，其中该滴定系统的作用为有效地藉由当量点滴定，分析各种酸液原料，例如硝酸、醋酸或磷酸的滴定终点，由此有效量测出不同批次酸液原料所可能产生的浓度变化，并有效地减少在进行滴定时所取得的样品中的气泡含量，并增进酸液供应系统中酸液精准供应。
文档编号G01N31/16GK201251562SQ200820132800
公开日2009年6月3日 申请日期2008年8月29日 优先权日2008年8月29日
发明者陈志行 申请人:浩硕科技股份有限公司