专利名称：检查板状透明体的缺陷的装置以及缺陷检查方法
技术领域：
本发明涉及一种检查板状透明体的缺陷的装置以及缺陷检查方法。
背景技术：
以往，作为对在FPD (Flat Panel Display 平板显示器)用玻璃基板等板状透明体的内部或者表面产生的缺陷部位进行检测的装置，可知一种专利文献1所公开的使用边光法的缺陷检查装置。在专利文献1的缺陷检查装置中，使在一个方向上具有指向性的照明光从玻璃基板的侧面(端面)倾斜地入射，使其在玻璃基板的内表面进行全反射来对玻璃基板的内部进行照明，使用受光部对被玻璃基板的内部或者表面的缺陷散射而得到的散射光进行检测。专利文献1的上述受光部包含平行地配置的多台线传感器相机，对沿着上述照明光的发射方向的玻璃基板的整个宽度方向进行拍摄。另外，多台线传感器相机的受光方向与玻璃基板的表面的法线方向之间的角度被设定为0°。即，多台线传感器相机的受光方向被设定在与玻璃基板的表面正交的方向上。专利文献1 日本国专利第33四233号公报
发明内容
发明要解决的问题在输送玻璃基板的过程中有时玻璃基板的表面与附着在输送辊上的碎玻璃接触， 由于与该碎玻璃接触，有时在上述表面上产生长径IOym左右的微细凹痕、剥离伤(以下将这些总称为微细伤)。在FPD用玻璃基板中，由上述微细伤导致的成品率下降被视为问题。在专利文献1所公开的缺陷检查装置中，将存在于玻璃基板内部的长径50μπι以上大小的气泡等缺陷作为检测对象，因此无法检测上述微细伤。即，这是由于，长径50 μ m 以上的缺陷的散射光的亮度较大，但是微细伤的散射光远远小于上述缺陷的亮度，在专利文献1的装置中，没有在检测这种微细伤的散射光上下功夫。为了检测微细伤，考虑进行显微镜精查，但是在通过显微镜精查来得到具有统计意义的数据、例如确定微细伤的产生频率的数据时需要庞大的时间和费用。本发明是鉴于这种情形而完成的，目的在于提供一种不进行显微镜精查就能够对存在于板状透明体的表面的长径10 μ m左右的微细伤进行检测的检查板状透明体的缺陷的装置以及缺陷检查方法。用于解决问题的方案为了达到上述目的，本发明提供一种检查板状透明体的缺陷的装置，使光照射到存在于板状透明体的第一表面的缺陷上并发生散射来检查上述缺陷，该检查板状透明体的缺陷的装置具备以下部分第一发光器，其将光照射到上述板状透明体的第一侧面；第二发光器，其将光照射到上述板状透明体的与第一侧面相对的第二侧面；第一受光器，其接收由来自上述第一发光器的光产生的前方散射光；以及第二受光器，其接收由来自上述第二发光器的光产生的前方散射光，其中，上述第一受光器的受光方向和上述板状透明体的位于第一表面相反侧的第二表面的法线方向之间的角度Q1Scr <，上述第二受
光器的受光方向与上述法线方向之间的角度02为0° < θ2<60°。为了达到上述目的，本发明提供一种检查板状透明体的缺陷的方法，使光照射到存在于板状透明体的第一表面的缺陷上并发生散射来检查上述缺陷，在该检查板状透明体的缺陷的方法中，将光从第一发光器照射到上述板状透明体的第一侧面，将光从第二发光器照射到上述板状透明体的与第一侧面相对的第二侧面，由第一受光器接收由照射到上述第一侧面的光产生的第一前方散射光，由第二受光器接收由照射到上述第二侧面的光产生的第二前方散射光，上述第一受光器的受光方向和上述板状透明体的与第一表面相对的第二表面的法线方向之间的角度<，上述第二受光器的受光方向与上述法线方向之间的角度92为0° < θ2<60°。另外，本发明的检查板状透明体的缺陷的装置优选具备控制单元，其对上述第一发光器的照明光的输出强度以及上述第二发光器的照明光的输出强度进行控制，以使在从上述第一侧面至上述第二侧面为止的观测区域内，由上述第一受光器和上述第二受光器接收的到达观察部位的光量成为固定值；以及计算装置，其预先存储与上述第一受光器和上述第二受光器的总受光量的积分值对应的上述缺陷的深度，算出上述第一受光器和上述第二受光器的总受光量的积分值，根据该积分值来算出上述缺陷的深度。另外，在本发明的检查板状透明体的缺陷的方法中，优选对上述第一发光器的照明光的输出强度以及上述第二发光器的照明光的输出强度进行控制，以使在从上述第一侧面至上述第二侧面为止的观测区域内，由上述第一受光器和上述第二受光器接收的到达观察部位的光量成为固定值，算出上述第一受光器和上述第二受光器的总受光量的积分值， 根据该积分值来算出上述缺陷的深度。另外，在本发明的检查板状透明体的缺陷的装置中，优选上述板状透明体是FPD 用玻璃基板。另外，在本发明的检查板状透明体的缺陷的装置中，优选上述第一受光器的受光方向和上述板状透明体的位于第一表面相反侧的第二表面的法线方向之间的角度θ i 为30° < Q1 <45°，上述第二受光器的受光方向与上述法线方向之间的角度92为 30° 彡 θ 2 彡 45°。另外，在本发明的检查板状透明体的缺陷的方法中，优选上述板状透明体是FPD 用玻璃基板。另外，在本发明的检查板状透明体的缺陷的方法中，优选上述第一受光器的受光方向和上述板状透明体的位于第一表面相反侧的第二表面的法线方向之间的角度θ i 为30° <，上述第二受光器的受光方向与上述法线方向之间的角度92为 30° 彡 θ 2 彡 45°。本发明的特征在于，相对于专利文献1的装置，变更受光器的受光方向，将受光器的受光方向设定为对存在于板状透明体的第一表面的微细伤具有较强受光灵敏度的受光角度θ (0° < θ <60°，优选30° < θ <45° )。另外，特征在于，控制发光器侧的输出强度以使由受光器接收的到达观察部位的照明光的光量成为固定值，由此弥补受光器侧的
5动态范围不足，不在受光器侧进行信号校正而能够检测微细伤。并且，通过实验发现对使用两个受光器检测出的总受光量(亮度)进行积分而得到的值与微细伤的深度具有相关关系 (比例关系)，基于该发现，根据受光信号强度算出微细伤的深度。在本发明中，还能够对存在于板状透明体内部的长径50 μ m以上大小的气泡等缺陷进行检测，但是由该缺陷导致的前方散射光的亮度远远大于微细伤的前方散射光的亮度。因此，根据亮度等级能够容易地辨别气泡等缺陷和微细的缺陷，因此不需要进行精查来对两者的缺陷进行辨别。因而，通过使亮度等级具有阈值，能够仅提取微细伤来进行检测。 另外，能够根据受光信号强度来算出微细伤的深度，因此还能够实时掌握不同深度的产生频率等数据。在本发明的具体结构中，使用第一发光器、第二发光器从板状透明体的相对的第一侧面、第二侧面入射在一个方向上具有指向性的强力的片状照明光，以使该照明光在板状透明体的内表面进行全反射的方式照明板状透明体的内部。并且，在观察部位，使用第一受光部、第二受光部捕捉存在于板状透明体的内部以及表面的伤(气泡、微细伤)专有的前方散射光作为缺陷信号。此时，抑制附着在板状透明体上的污垢等的错误识别，并且将受光器的受光方向设定为对于板状透明体的表面的微细伤具有较强受光灵敏度的受光角度θ (0° < θ ^ 60°，优选 30° 彡 θ 彡 45° )。另外，可知在边光法中，随着观察部位远离被入射照明光的板状透明体的侧面，到达观察部位的照明光的光量(密度)呈指数函数减少。以往，通过在受光器侧校正灵敏度， 将到达观察部位的照明光的光量调整为如同相同，但是在本案中，控制发光器侧的输出强度以使到达观察部位的光量不依赖观察部位的位置(与照明光入射位置的距离)而相同， 由此补偿受光器侧的动态范围不足。例如，只要对第一和第二发光器的输出强度进行控制以使即使在任一观察部位所到达的光量都固定即可。由此，根据本发明，即使对长径10 μ m左右的微细伤，也能够与观察部位的位置无关地保持检测灵敏度。另外，能够根据与微细伤的深度相关联的信号强度来得到微细伤的深度。由此，在本发明中，不进行显微镜精查而能够检测出微细伤，并且能够确定微细伤的产生频率以及确定微细伤的深度的产生频率。此外，第一、第二受光器优选应用线传感器相机，将该线传感器相机的配置方向设为与由第一、第二发光器发射照明光的发射方向正交的方向能够保持检测灵敏度，因此优选。发明的效果根据上述本发明所涉及的检查板状透明体的缺陷的装置以及缺陷检查方法，不进行显微镜精查而能够检测微细伤。
图1是实施方式所涉及的检查板状透明体的缺陷的装置的整体立体图。图2是将玻璃基板的主要部分进行放大而得到的纵截面图。图3是表示图1示出的缺陷检查装置的结构的框图。图4是表示发光器和受光器的结构的侧视图。
图5是图4的俯视图。图6是表示受光器的视场入射角度依赖性的图表。图7是表示亮度积分值总和与微细伤的深度之间的关系的图表。图8是说明发光器针对观察部位的位置的光量控制的图表。图9的㈧以及图9的⑶是使用光纤导光管作为发光器的情况的结构图。附图标记说明10 缺陷检查装置；12、14 微细伤；16 保持台；18、20 发光器；22J4 受光器； 26 自动调焦透镜；28 显微镜；30 =CPU ；32,42 壳体；32A、42A 发射口 ；34,44 :LED光源； 36,46 导光管；38,48 柱面透镜；40、50 电源；52 :Y方向移动部；54 梁部；56,58 脚部； 60 基座；62,64,72 螺杆(滚珠螺杆)；66,68,74 伺服马达；70 平板；70Α 平坦部；76 监视器；78 光纤导光管；P 观察部位。
具体实施例方式下面，参照附图详细说明本发明所涉及的检查板状透明体的缺陷的装置以及缺陷检查方法的优选实施方式。图1是本发明的实施方式所涉及的检查板状透明体的缺陷的装置10的整体结构的立体图。如图1所示，侧面保持被切断的状态或者具有倒角的玻璃基板G通过导辊 11、11、…在输送路上被输送，被放入到缺陷检查装置10。在玻璃基板G为液晶显示器用基板的情况下，板厚为0.7mm以下，大小采用G 10尺寸Q850X3050mm)或者G8尺寸 (2160X 2460mm)等。缺陷检查装置10是以下装置以加工成矩形形状的FPD用玻璃基板 G为检查对象，特别是，用于对如图2所示的存在于玻璃基板G的下表面(第一表面)Gl的微细伤12、14进行检查。此外，在图2中，对于厚度0. 7mm以下的玻璃基板G，放大示出长径IOym左右的微细伤12、14。另外，在图1中，将在水平方向正交的两个轴的方向表示为 X方向、Y方向。图1示出的缺陷检查装置10包括保持台16、发光器18(第一发光器)、发光器 20 (第二发光器)、受光器22 (第一受光器)、受光器M (第二受光器)以及具备自动调焦透镜26的带电子相机的显微镜观等。另外，由图3示出的CPU(控制单元)30统一控制构成缺陷检查装置10的上述各部件18 28。后面说明该CPU 30的控制。如图1所示，将玻璃基板G的作为检查对象的下表面Gl(参照图2)水平地载置在保持台16上。另外，使用未图示的保持部件来将该玻璃基板G水平地定位在保持台16上并进行保持。关于发光器18，在保持于保持台16上的玻璃基板G的图1中左侧面(第一侧面) G2，相对配置有形成于其壳体32的狭缝状发射口 32A。因而，向玻璃基板G的左端面G2发射从发射口 32A发射出的片状照明光。该照明光从玻璃基板G的左侧面G2入射到玻璃基板G的内部，一边在玻璃基板G的内表面进行全反射，一边在图1的X方向上从左方向右方传播。由此，玻璃基板G的内部被上述照明光照明。另外，在发光器18的壳体32内收容有如图4的侧视图、图5的俯视图所示那样发出高亮度的光的LED光源34、导光管36以及柱面透镜38。由此，来自LED光源34的高亮度的照明光通过导光管36和柱面透镜38形成平行光而从发射口 32A向玻璃基板G的左端面G2发射。此外，通过由CPU 30对图3示出的LED光源34的电源40进行接通和断开控制，来使LED光源34点亮和熄灭。关于图1示出的发光器20，在保持于保持台16上的玻璃基板G的图1中右侧面 (第二侧面)G3，相对配置有形成于其壳体42的狭缝状发射口 42A。因而，向玻璃基板G的右端面G3发射从发射口 42A发射出的片状照明光。该照明光从玻璃基板G的右侧面G3入射到玻璃基板G的内部，一边在玻璃基板G的内表面进行全反射，一边在图1的X方向上从右方向左方传播。由此，玻璃基板G的内部被上述照明光照明。另外，在发光器20的壳体42内收容图4、图5所示那样发出高亮度的光的LED光源44、导光管46以及柱面透镜48。由此，来自LED光源44的高亮度的照明光通过导光管 46和柱面透镜48形成平行光而从发射口 42A向玻璃基板G的右侧面G3发射。LED光源44 也与LED光源34同样地，通过由CPU 30对图3的电源50进行接通和断开控制来使LED光源44点亮和熄灭。另外，将图1示出的壳体32、42以各个发射口 32A、42A在X方向上相对的方式装载于Y方向移动部52。Y方向移动部52构成为包括梁部M和一对脚部56、58的门型，以在X方向上跨过保持台16的方式立设在支承保持台16的基座60上。壳体32被固定在脚部56上，并且壳体42被固定在脚部58上。在脚部56、58的下部安装有未图示的滚珠螺母，使这些滚珠螺母分别螺合于螺杆(滚珠螺杆)62、64，螺杆(滚珠螺杆)62、64在基座60上沿Y方向配置。这些螺杆62、64被转动自如地支承在基座60上，并且与图3的被CPU 30同步控制的伺服马达66、68相连结。因而，使用伺服马达66、68使螺杆62、64同时且沿相同方向以相同速度进行转动，由此Y方向移动部52相对于基座60沿着Y方向进行移动。通过该动作， 壳体32沿着玻璃基板G的左侧面G2移动，并且壳体42沿着右侧面G3移动，从而照明玻璃基板G的指定的观察部位。此外，在图5的玻璃基板G上示出的以〇标记的P为观察部位。此外，由CPU 30对LED光源34、44的输出强度进行控制以使后述的受光器22、24 接收的到达同一观察部位P的照明光的光量在任一观察部位都固定。由此，能够补偿受光器22J4侧的动态范围不足，不在受光器22J4侧进行信号校正就能够检测图2示出的微细伤12、14。图1、图4示出的受光器22接收由来自发光器18的照明光产生的前方散射光、即由于存在于玻璃基板G的下表面Gl的观察部位P处的微细伤14而发生散射所得到的前方散射光。另外，受光器M接收由来自发光器20的照明光产生的前方散射光、即由于存在于玻璃基板G的下表面Gl的观察部位P处的微细伤12而发生散射所得到的前方散射光。此外，受光器22、24的观察部位P为一处，在该观察部位P处存在微细伤14的情况下，由受光器22捕捉其前方散射光，并且在该观察部位P处存在微细伤12的情况下，由受光器M捕捉其前方散射光。图2的微细伤12、14的形状有所不同，例如在仅存在微细伤12的情况下，根据该伤形状的特征，使用受光器22有时无法捕捉到微细伤12的前方散射光(图2的箭头A)。 同样地，在仅存在微细伤14的情况下，根据该伤形状的特征，使用受光器M有时无法捕捉到微细伤14的前方散射光(图2的箭头B)。即，仅在玻璃基板G的一侧设置发光器和受光器时，根据微细伤12、14的伤形状会产生检测遗漏。
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对此，在实施方式中，将发光器18、20以及受光器22、对设置在玻璃基板G的两侧，因此不依赖于微细伤12、14的形状，而能够检测形状不同的微细伤12、14。受光器22J4被安装在平板70上，该平板70被图1的Y方向移动部52的梁部M 悬吊支承。另外，以使由图4的一点划线表示的各个受光方向和与玻璃基板G的下表面Gl 相对的上表面(第二表面)G4的法线方向之间的角度θ ρ θ 2形成为25°的方式倾斜地将受光器22、24固定在平板70上。此外，各个受光方向交叉的位置为观察部位P。另外，上述角度θ i、θ 2并不限于25°，可以是后述那样为0° < θ工< 60°、0° < θ 2彡60°，优选 30° < Q1 <45°、30° ^ θ2 ^ 45°。并且，也可以将9工和θ 2设定为不同角度。在实施方式中，应用多个受光元件直线状地排列的线传感器相机作为受光器22、 Μ。该线传感器相机的多个受光元件的排列方向被设定为与由发光器18、20发射照明光的发射方向(X方向)正交的Y方向。由此，观察部位P被捕捉为与受光元件的数量相应的线段的范围，由Y方向移动部52移动发光器18、20以及受光器22、24以连接该线段。由此， 对玻璃基板G的规定的X方向位置处的沿Y方向的观察部位P的微细伤12、14进行缺陷检查。另一方面，如图1所示，在平板70的上部的平坦部70Α上安装有未图示的滚珠螺母，该滚珠螺母被螺合于螺杆(滚珠螺杆)72上，该螺杆(滚珠螺杆)72在梁部M上沿X 方向配置。这些螺杆72被转动自如地支承在梁部M上，并且与图3的被CPU 30控制的伺服马达74连结。因而，通过使用伺服马达74使螺杆72进行转动，图1的平板70沿着X方向进行移动。通过该动作，设定玻璃基板G的X方向位置的观察部位P。另外，在平板70上安装有具备电子相机的显微镜28。该显微镜28的调焦透镜沈被配置在观察部位P的铅直方向的上方，使用上述电子相机对由调焦透镜26得到的观察部位P的放大像进行拍摄。由内置于图3的CPU 30的图像信号处理装置对来自电子相机的摄像信号进行图像处理，图像处理后的观察部位的高倍率的放大影像被显示在监视器76中。 此外，在监视器76中还显示通过受光器22、M捕捉到的观察部位P的图像。另外，调焦透镜26是自动调焦透镜。接着，说明如上所述那样构成的缺陷检查装置10的特征。实施方式的缺陷检查装置10的特征在于，相对于专利文献1的装置，变更受光器22、24的受光方向，将受光器22、24的受光方向设定为对存在于玻璃基板G的下表面G 1的微细伤12、14具有较强受光灵敏度的受光角度θ^ θ2(0° < Q1 <60°、0° < θ 2 ^ 60°，优选 30° 彡 θ ^ 45°、30° ^ θ 2 ^ 45° )。在图6的图表中，横轴表示受光器22、24的视场入射角度(受光角度θ” θ2)，左侧的纵轴是对使用一侧的受光器22 (或者受光器24)接收到的亮度进行积分而得到的累计值，右侧的纵轴是对使用两个受光器22、Μ接收到的亮度进行积分而得到的累计值之和。 即，意味着累计值越高微细伤12、14的检测灵敏度越高。根据图6的图表，在视场入射角度为0° < Q1S 60°、0° < θ2<60°的范围内，累计值的峰值位于大约38°处。在视场入射角度为0°的情况下，累计值较小因此检查灵敏度较差，视场入射角度超过60°的情况下也相同。另外，当视场入射角度超过60°时， 有时受光器22、Μ过于接近玻璃基板G而与玻璃基板G接触，因此不理想。出于这种观点， 必须将受光角度θ ^e2SSSiT <、0° < θ2<60°。另外，在要得到较高
9检测灵敏度的情况下，根据图6的图表优选设定为30° ( Q1 <45°、30° ( θ 2 < 45°。另外，实施方式的缺陷检查装置10的特征在于，由CPU 30对发光器18、20侧的输出强度进行控制以使受光器22、M接收到的到达观察部位的照明光的光量成为固定，由此能够补偿受光器22J4侧的动态范围不足，不在受光器22J4侧进行信号校正而能够检测微细伤12、14。并且，实施方式的缺陷检查装置10的特征在于，通过实验发现对使用两个受光器 22、M检测出的总受光量(亮度)进行积分而得到的值与微细伤12、14的深度具有相关关系(比例关系)，基于该发现，根据受光信号强度算出微细伤的深度。在图7的图表中，纵轴表示对使用受光器22、M检测出的总受光量(亮度)进行积分而得到的值，横轴表示微细伤12、14的深度。根据图7的图表可知，亮度积分值总和与微细伤的深度的关系具有比例关系。另一方面，在实施方式的缺陷检查装置10中，还能够对存在于玻璃基板G内部的长径50 μ m以上大小的气泡等缺陷进行检测，但是由该缺陷导致的前方散射光的亮度远远大于微细伤12、14的前方散射光的亮度。因此，根据亮度等级能够容易地辨别气泡等缺陷和微细的缺陷，因此不需要进行精查来对两者的缺陷进行辨别。因而，能够仅提取微细伤 12、14进行检测。另外，在CPU 30的存储部中存储有图7的图表的针对对上述总受光量(亮度)进行积分而得到的值的微细伤12、14的深度。CPU 30根据从受光器22J4输出的受光信号强度来算出微细伤12、14的深度。由此，还能够实时掌握不同深度的产生频率等数据。另外，在边光法中，随着观察部位P远离被入射照明光的玻璃基板G的侧面G2、G3， 到达观察部位P的照明光的光量(密度)呈指数函数减少。在以往的装置中，在受光器侧校正灵敏度，但是在实施方式的缺陷检查装置10中，由CPU 30对发光器18、20侧的输出强度进行控制，以使到达观察部位P的光量相同，由此弥补受光器22、M侧的动态范围不足。 例如，只要由CPU 30对发光器18、20的输出强度进行控制以使即使在任一观察部位P到达的光量都成为固定值即可。S卩，如图8示出的图表的横轴所示，随着观察部位P远离发光器，如图表的纵轴那样使发光器18、20的输出增加。与此相对，随着观察部位P接近发光器，使发光器18、20的输出减少。由此，使到达观察部位P的光量始终固定。也就是说，在CPU 30的存储部中存储有从左侧面G2至右侧面G3为止的与X方向上的观察部位P相应的各发光器18、20的输出值。当从未图示的输入单元(例如键盘)输入观察部位P时，CPU 30对伺服马达66、68、74进行驱动控制，使发光器18、20移动到与指定了受光器22、24的观察部位的观察部位P对应的位置，并且分别控制发光器18、20的输出，使该观察部位P处的光量变得相同。由此，根据本发明，即使对长径10 μ m左右的微细伤12、14，也能够与观察部位P的位置无关地保持检测灵敏度。另外，能够根据与微细伤12、14的深度相关的信号强度来得到微细伤12、14的深度。如上所述，在实施方式的缺陷检查装置10中，不进行显微镜精查而能够检测出微细伤12、14，并且能够确定微细伤12、14的产生频率以及确定微细伤12、14的深度的产生频率。此外，装载于缺陷检查装置10的显微镜观在缺陷检查装置10中不是必须的，在对由受光器22、M检测出的微细伤进行确认的情况下有效。另外，应用线传感器相机作为受光器22、24，将该线传感器相机的受光元件的排列方向设为与发光器18、20发射照明光的发射方向正交的方向，因此能够保持检测灵敏度。并且，在实施方式中，是对玻璃基板G的下表面Gl的微细伤12、14进行检测的装置，在对玻璃基板G的上表面G4的微细伤12、14进行检测的情况下，只要在玻璃基板G的下方配置相同结构的发光器18、20以及受光器22、24即可。并且，在实施方式中，说明了玻璃基板G的缺陷检查装置10，但是作为检测对象的板状透明体并不限于玻璃基板G，例如能够将实施方式的缺陷检查装置10应用于树脂制等板状透明体。另外，在实施方式中，将LED光源34、44使用于照明光源，但是并不限于此，例如还可以使用金属卤化物水银灯或者发射激光等的高亮度照明光的光源。图9的(A)是使用了光纤导光管78的发光器18A的俯视图，图9的(B)是其侧视图。即，还能够使用光纤导光管78来代替图5示出的导光管36。对于发光器20也是一样。并且，在实施方式中，将玻璃基板G载置在保持台16上，但是如果能够将玻璃基板 G的平面等级保持在受光器22、24的景深的允许范围内，则能够省略保持台16。参照特定的实施方式详细说明了本发明，在不脱离本发明的范围和宗旨的范围内能够进行各种修改、变更对于本领域技术人员来说是显而易见的。本申请主张2010年6月M日申请的日本专利申请2010-143889，在此取入其内容作为参照。
权利要求
1.一种检查板状透明体的缺陷的装置，使光照射到存在于板状透明体的第一表面上的缺陷上并发生散射来检查上述缺陷，该检查板状透明体的缺陷的装置具备以下部分第一发光器，其将光照射到上述板状透明体的第一侧面； 第二发光器，其将光照射到上述板状透明体的与第一侧面相对的第二侧面； 第一受光器，其接收由来自上述第一发光器的光产生的前方散射光；以及第二受光器，其接收由来自上述第二发光器的光产生的前方散射光， 其中，上述第一受光器的受光方向和上述板状透明体的位于第一表面相反侧的第二表面的法线方向之间的角度Q1Sf < Q1 <60°上述第二受光器的受光方向与上述法线方向之间的角度02为0° < θ2<60°。
2.根据权利要求1所述的检查板状透明体的缺陷的装置，其特征在于， 还具备控制单元，其对上述第一发光器的照明光的输出强度以及上述第二发光器的照明光的输出强度进行控制，以使在从上述第一侧面至上述第二侧面为止的观测区域内，由上述第一受光器和上述第二受光器接收的到达观察部位的光量成为固定值；以及计算装置，其预先存储与上述第一受光器和上述第二受光器的总受光量的积分值对应的上述缺陷的深度，算出上述第一受光器和上述第二受光器的总受光量的积分值，根据该积分值来算出上述缺陷的深度。
3.根据权利要求1或者2所述的检查板状透明体的缺陷的装置，其特征在于， 上述板状透明体是FPD用玻璃基板。
4.根据权利要求1或者2所述的检查板状透明体的缺陷的装置，其特征在于， 上述第一受光器的受光方向和上述板状透明体的位于第一表面相反侧的第二表面的法线方向之间的角度Q1SSCT ( θι;^45°，上述第二受光器的受光方向与上述法线方向之间的角度92为30° < θ2<45°。
5.一种检查板状透明体的缺陷的方法，使光照射到存在于板状透明体的第一表面上的缺陷上并发生散射来检查上述缺陷，该检查板状透明体的缺陷的方法的特征在于，将光从第一发光器照射到上述板状透明体的第一侧面， 将光从第二发光器照射到上述板状透明体的与第一侧面相对的第二侧面， 由第一受光器接收由照射到上述第一侧面的光产生的第一前方散射光， 由第二受光器接收由照射到上述第二侧面的光产生的第二前方散射光， 上述第一受光器的受光方向和上述板状透明体的位于第一表面相反侧的第二表面的法线方向之间的角度Q1Sf < θι;^60°，上述第二受光器的受光方向与上述法线方向之间的角度92为0° < θ2<60°。
6.根据权利要求5所述的检查板状透明体的缺陷的方法，其特征在于，对上述第一发光器的照明光的输出强度以及上述第二发光器的照明光的输出强度进行控制，以使在从上述第一侧面至上述第二侧面为止的观测区域内，由上述第一受光器和上述第二受光器接收的到达观察部位的光量成为固定值，算出上述第一受光器和上述第二受光器的总受光量的积分值，根据该积分值来算出上述缺陷的深度。
7.根据权利要求5或者6所述的检查板状透明体的缺陷的方法，其特征在于，上述板状透明体是FPD用玻璃基板。
8.根据权利要求5或者6所述的检查板状透明体的缺陷的方法，其特征在于， 上述第一受光器的受光方向和上述板状透明体的位于第一表面相反侧的第二表面的法线方向之间的角度Q1SSCT ( θι;^45°，上述第二受光器的受光方向与上述法线方向之间的角度92为30° ( θ2<45°。
全文摘要
本发明提供一种检查板状透明体的缺陷的装置以及缺陷检查方法，检查板状透明体的缺陷的装置使光照射到存在于板状透明体的第一表面的缺陷并发生散射来检查上述缺陷，具备以下部分第一发光器，其将光照射到上述板状透明体的第一侧面；第二发光器，其将光照射到与上述板状透明体的第一侧面相对的第二侧面；第一受光器，其接收由来自上述第一发光器的光产生的前方散射光；以及第二受光器，其接收由来自上述第二发光器的光产生的前方散射光，其中，上述第一受光器的受光方向和与上述板状透明体的第一表面相对的第二表面的法线方向之间的角度θ1为0°＜θ1≤60°，上述第二受光器的受光方向与上述法线方向之间的角度θ2为0°＜θ2≤60°。
文档编号G01N21/958GK102368056SQ201110175748
公开日2012年3月7日 申请日期2011年6月24日 优先权日2010年6月24日
发明者谷秀人, 金子静则 申请人:旭硝子株式会社
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