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专利名称：基板保持装置及使用该基板保持装置的缺陷修正装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及基板保持装置及使用该基板保持装置的缺陷修正装置，尤其涉及将基板吸住并保持的基板保持装置及使用这种基板保持装置对图案的缺陷进行修正的缺陷修正装置。
背景技术：
在液晶显示器的制造工序中，有时会在形成于基板的微细图案上产生缺陷。尤其是，作为滤色器的工序中发生的缺陷，会有像素颜色脱落的称为白色缺陷的缺陷和像素颜色混杂的称为黑色缺陷的缺陷。此外，还有在像素的表面附着有异物等的异物缺陷。
在缺陷修正装置中，基于预先由检测装置得到的检测结果的数据来对齐基板的位置。接着，操作者通过光学观察系统确认缺陷的大小和形状来确定修正条件。此时，必不可少的是通过将规定的光照射至缺陷并观察透过基板的透过光来掌握缺陷的状态。此外，为了确认缺陷修正后的修正状态，利用透过光进行观察也是不可缺少的。
在此，对这种包括利用透过光进行观察的光学观察系统的一般的缺陷修正装置进行说明。如图27所示，在缺陷修正装置101中，在装设基板的透明的平台102的下方配置有向基板照射出规定的光的照明光源103。在平台102的上方配置有对透过基板的透过光进行观察的光学观察系统104。
近年来，为了与液晶显示器的大画面趋势相对应，所使用的玻璃板(样品玻璃 (mother glass))的尺寸也变得大型化，例如开始使用观50X3050mm的玻璃板。为了对发生在这种尺寸的玻璃板上的缺陷进行修正，作为缺陷修正装置的平台的尺寸，需要比上述玻璃板的尺寸更大的尺寸。作为这种平台，通常采用透明的玻璃板。然而，在玻璃板的厚度和尺寸上存在限制，因此利用一块玻璃板来形成平台还处于困难的境地。
最近，提出一种将多张玻璃板结合而成的平台。然而，在这种平台中，当通过透过光进行观察时，有时会有玻璃板与玻璃板结合的部分成为阴影而无法进行正确观察的情形。此外，为了将基板固定于平台，需要在构成平台的玻璃板上形成真空吸附用的槽。但是， 上述槽在通过透过光进行观察时有时会成为阴影等而阻碍观察。
此外，在将基板相对于缺陷修正装置搬入、搬出时，多采用机械手进行基板的搬运。如图观所示，在作为平台采用透明玻璃板的平台102中，在平台(玻璃板)102中设有通孔，并配置有可穿过该通孔的起模顶杆(lift pin)lll。在搬入基板时，进行如下动作。
首先，使起模顶杆111从平台102的通孔突出。接着，将基板199配置在起模顶杆 111上方。接着，使机械手110下降来将基板199放置在起模顶杆111上。接着，使机械手 110进一步下降来使机械手110退让。此外，使起模顶杆下降来将基板放置在平台上。另一方面，在搬出基板时，进行与上述动作相反的动作。
在应用这种基板保持装置的缺陷修正装置中，为进行基板的搬运，需要将使起模顶杆动作的机构组装于基板保持装置，使得其在结构上变得复杂。此外，需要使起模顶杆的动作与机械手的动作同步，在缩短基板搬运时间上有局限性。
作为消除以上这些问题的缺陷修正装置，在日本专利特开2009-2928号公报中， 提出了应用了没有采用透明平台的基板保持装置的缺陷修正装置。在该缺陷修正装置的基板保持装置中，由于没有采用透明平台，因此能在基板的整个面上通过透过光进行观察。此外，由于没有采用透明平台，因此在将基板相对于基板保持装置搬入、搬出时，不需要用于搬运基板的机构，也能比较简单地进行搬运基板的动作，还能缩短搬运基板所需的时间。
然而，在上述现有的缺陷修正装置的基板保持装置中，存在以下问题。在该基板保持装置中，不使用透明平台，而是采用由许多支承构件来对基板予以支承的方式。即采用如下方式在基板的下方设置吸附台，通过使设置于该吸附台的抵接部与支承构件侧的凸轮滚柱接触，来使支承构件离开基板，在穿过该缝隙后使吸附台在基板下方移动。
因此，为了减缓吸附台的抵接部与支承构件侧的凸轮滚柱相接触时的冲击，需要将抵接部的形状形成为复杂的曲面。此外，为了根据支承构件的位置来调整支承构件的返回速度，需要采用弹簧、减震器(Shock absorber)，并根据各自的位置来进行强度调整。其结果是，存在机构上和调整作业上变得非常复杂这样的问题。

发明内容
本发明为解决上述问题而作，其目的之一在于提供一种能以更简易的结构来对基板进行保持的基板保持装置，其另一目的在于提供一种适用上述基板保持装置的缺陷修正装置。
本发明的基板保持装置是适用于对形成于规定基板的图案的缺陷进行修正的基板保持装置，其具有一对基板端支承台、基板支承用滚轮机构及基板吸附台。一对基板端支承台彼此隔开间隔地朝第一方向延伸，并从下方对规定基板的彼此相对的端部予以支承。 基板支承用滚轮机构配置于一对基板端支承台之间的区域内，从下方对装载于一对基板端支承台的基板予以支承，并能分别朝第一方向和与第一方向相反的方向自由移动。基板吸附台安装于基板支承用滚轮机构，从而能与基板支承用滚轮机构一起自由移动，并对装载于一对基板端支承台的基板的下表面进行吸附。基板支承用滚轮机构包括滚轮主体和滚轮主体导向部。滚轮主体包括多个滚轮构件；能将多个滚轮构件分别支承成能转动的多个滚轮支承轴；以及将多个滚轮支承轴环状连结的滚轮支承轴连结板。滚轮主体导向部将滚轮主体配置在通过滚轮构件能从下方对装载于一对基板端支承台的基板予以支承的规定高度的第一位置，还将滚轮主体配置在比第一位置更低的第二位置，并使滚轮主体在第一位置与第二位置之间环状转动地进行引导。
本发明的缺陷修正装置是包括技术方案1 8中任一项所记载的基板保持装置的缺陷修正装置，其包括光学观察部、激光源、油墨涂布部、第一驱动机构、第二驱动机构、第三驱动机构及控制部。通过光学观察部能观察发生在基板上的缺陷。激光源通过照射激光线来除去发生在基板上的缺陷。油墨涂布部通过对发生在基板上的缺陷部分涂布规定的油墨来修正缺陷。第一驱动机构使光学观察部、激光源部和油墨涂布部相对于装载于一对基板支承台的基板表面朝垂直方向移动。第二驱动机构使光学观察部、激光源部和油墨涂布部相对于基板表面沿第二方向平行移动。第三驱动机构使光学观察部、激光源部和油墨涂布部相对于基板表面沿第一方向平行移动。控制部对第一驱动机构、第二驱动机构和第三驱动机构进行控制。
在本发明的基板保持装置中，对基板进行吸附的基板吸附台安装于基板支承用滚轮机构，其中，该基板支承用滚轮机构包括被滚轮主体导向部环状转动地引导的滚轮主体。 藉此，使对基板进行保持的构造变得简易，与现有的基板保持装置相比，不需要进行根据基板吸附台的位置和速度来对凸轮、弹簧、减震器等构件进行调整这样的繁杂作业。此外，由于在结构上简易，因此也能用较短的时间进行组装作业。
此外，在适用本发明的基板保持装置的缺陷修正装置中，在通过透过光进行缺陷的观察时，没有像现有的缺陷修正装置那样的成为阴影的部分。藉此，在基板的任意部分均能可靠地通过透过光进行观察。


图1是表示本发明实施方式1的缺陷修正装置的立体图。
图2是表示在上述实施方式中，适用于图1所示的缺陷修正装置的基板保持部的俯视图。
图3是表示在上述实施方式中，适用于图1所示的缺陷修正装置的基板保持部的主视图。
图4是表示在上述实施方式中，适用于基板保持部的基板支承滚轮机构(日文-口機構)的局部立体图。
图5是表示在上述实施方式中，适用于基板保持部的基板支承滚轮机构的局部侧视图。
图6是上述实施方式中沿图5所示剖面线VI-VI的剖视图。
图7是在上述实施方式中，将图6所示的虚线框内放大后表示的局部放大剖视图。
图8是表示在上述实施方式中，安装于基板支承滚轮机构的基板吸附台的局部放大侧视图。
图9是表示在上述实施方式中，用于说明缺陷修正装置的动作的基板保持部的第一立体图。
图10是表示在上述实施方式中，用于说明缺陷修正装置的动作的基板保持部的第二立体图。
图11是表示在上述实施方式中，作为缺陷修正装置所修正的对象的缺陷的第一例的局部俯视图。
图12是表示在上述实施方式中，作为缺陷修正装置所修正的对象的缺陷的第二例的局部俯视图。
图13是表示在上述实施方式中，作为缺陷修正装置所修正的对象的缺陷的第三例的局部俯视图。
图14是表示在上述实施方式中，利用缺陷修正装置对缺陷进行修正后的形态的局部俯视图。
图15是用于说明在上述实施方式中缺陷修正装置的动作的表示基板保持部的第三立体图。
图16是用于说明在上述实施方式中缺陷修正装置的动作的表示基板保持部的第四立体图。
图17是表示适用于本发明实施方式2的缺陷修正装置的基板保持部的俯视图。
图18是表示在上述实施方式中，适用于缺陷修正装置的基板保持部的主视图。
图19是表示在上述实施方式中，适用于基板保持部的基板端支承部的局部放大侧视图。
图20是表示在上述实施方式中，基板端支承部对端部予以支承的状态的局部侧视图。
图21是表示在上述实施方式中，基板端支承部避让状态的局部侧视图。
图22是表示适用于本发明实施方式3的缺陷修正装置的基板保持部的俯视图。
图23是表示在上述实施方式中，适用于缺陷修正装置的基板保持部的主视图。
图M是表示在上述实施方式中，适用于基板保持部的基板端支承头部的局部放大侧视图。
图25是表示在上述实施方式中，基板端支承头部对端部予以支承的状态的局部侧视图。
图沈是表示在上述实施方式中，基板端支承头部避让状态的局部侧视图。
图27是表示现有的缺陷修正装置的立体图。
图观是表示现有的缺陷修正装置中基板的一系列搬运作业的图。
具体实施例方式实施方式1 对本发明的实施方式的基板保持装置和适用该基板保持装置的缺陷修正装置进行说明。如图1、图2和图3所示，在缺陷修正装置1中，在规定高度的平台2的上表面设有对玻璃基板予以保持的基板保持部(装置)15。玻璃基板被设于该基板保持部15的基板吸附台沈保持。对该基板保持部15的具体情况在后叙述。在平台2的上表面，以跨过保持于上述基板保持部15的玻璃基板99的形态设有可沿Y轴方向移动的Y轴工作台10。在Y 轴工作台10上设有可沿X轴方向移动的X轴工作台9，在该X轴工作台9上设有可沿Z轴方向移动的Z轴工作台11。
Z轴工作台上装设有观察缺陷并对其进行修正的修正头部16。修正头部16包括 对缺陷进行观察的光学观察系统5 ；将观察到的图像转换成电信号的CCD照相机12 ；用于通过照射激光线来除去缺陷部分的激光源6 ；以及对缺陷部分涂布油墨的油墨涂布机构8。 光学观察系统5安装有物镜、此外还组装有对从激光源照射出的激光线的能量进行控制的衰减器(未图示)和用于将激光线以任意形状照射到缺陷部分的切槽机构(未图示)。除此之外，修正头部16包括用于使所涂布的油墨干燥或是固化的红外线照明或紫外线照明 (未图示)。此外，在平台2侧方配置有对缺陷修正装置的一系列动作进行控制的控制用计算机13等。
接着，对适用于上述缺陷修正装置1的基板保持部(基板保持装置)15进行详细说明。如图2和图3所示，在平台2的上表面配置有供玻璃基板99装载的一对基板端支承台3。一对基板端支承台3以从下方支承玻璃基板99彼此相对的端部的形态朝Y轴方向延伸，并在X轴方向上彼此隔开间隔。一对基板端支承台3之间的平台2的区域内配置有多个基板支承用滚轮机构4，这些基板支承用滚轮机构4从下方对装载于基板端支承台3的玻璃基板99予以支承。多个基板支承用滚轮机构4均沿Y轴方向配置，且在X轴方向上彼此隔开间隔。基板支承用滚轮机构4安装有对所装载的玻璃基板99的下表面进行吸附并保持的基板吸附台26。
接着，对基板支承用滚轮机构4进行更详细的说明。如图4、图5、图6和图7所示， 在基板支承用滚轮机构4中，对玻璃基板予以支承的多个基板支承滚轮20均被安装于滚轮支承轴的滚轮支承轴承22支承成可旋转。此外，多个基板支承滚轮20均通过滚轮支承轴连结板21环状地无端连结，该滚轮支承轴连结板21通过滑动轴承安装于各滚轮支承轴的两端部分。
基板支承用滚轮机构4设有对该环状连结的多个基板支承用滚轮的运动进行引导的导向部35。如图6和图7所示，一对传送板M被配置成从基板支承滚轮20的滚轮支承轴方向的一侧和另一侧夹住基板支承滚轮20。此外，在滚轮支承轴上安装有一对滚轮支承轴传送用轴承23，这一对滚轮支承轴传送用轴承23将滚轮支承轴可自由移动地支承在一对传送板M各自的上端。而且，为了防止滚轮支承轴传送用轴承23从传送板M脱落， 一对传送辅助板25被配置成从滚轮支承轴方向的一侧和另一侧夹住上述一对滚轮支承轴传送用轴承23和一对传送板24。
一对传送板M和一对传送辅助板25被配置于基板支承滚轮20能从下方对所装载的玻璃基板予以支承的规定位置A(高度)和平台2的上表面(位置B)。被环状连结的多个基板支承用滚轮20在该位置A与位置B之间环状地转动。
接着，对保持玻璃基板的基板吸附台进行更详细的说明。如图4和图8所示，基板吸附台26安装于基板支承用滚轮机构4以与Y轴工作台的运动相一致地移动。基板支承用滚轮机构4能随着该基板吸附台沈的Y轴方向的运动而运动。基板吸附台沈形成有用于将玻璃基板吸附并固定的基板吸附槽27。通过使该基板吸附槽27呈负压，玻璃基板被固定于基板吸附台26。
此外，为防止在使基板吸附台沈沿Y轴方向移动时其与玻璃基板的接触，在基板吸附台26上形成有基板上浮用槽观，该基板上浮用槽观用于喷射压缩空气以在基板吸附台沈与玻璃基板之间形成例如大约500 μ m左右的间隙。而且，在基板吸附台沈上分别沿 X轴方向直线状配置有照射出用于观察缺陷部分的光的照明光源四以及将从该照明光源 29照射出的光聚光的柱面透镜(* U > K ‘)力m' )30。在进行修正作业时，在光学观察系统5的正下方位置配置基板吸附台沈来将玻璃基板吸附固定，在此状态下，从照明光源四射出规定的光。此外，通过光学观察系统5来观察透过玻璃基板的透过光。
接着，对包括基板保持部的缺陷修正装置的动作进行说明。首先，预先通过检查装置检测出发生在玻璃基板上的缺陷。将与所检测出的缺陷在玻璃基板上的位置相关的信息输入缺陷修正装置。
如图9所示，检查装置完成检查后的玻璃基板99被规定的机械手61搬入缺陷修正装置。此时，基板吸附台沈配置在规定的避让位置。机械手61的臂部在相邻的基板支承用滚轮机构4之间沿Y轴方向移动到规定的装载位置。在臂部到达装载位置后，机械手 61下降，将玻璃基板99以其端部被基板端支承台3支承的状态装载于一对基板端支承台 3。然后，机械手61从缺陷修正装置离开。
接着，如图10所示，基于事先所输入的与缺陷所在位置相关的信息，驱动Y轴工作台10、X轴工作台9以及Z轴工作台11，以使修正头部16到达所要修正的缺陷所在位置的正上方。此外，基板吸附台沈也与修正头部16的运动同步地移动到缺陷所在的Y轴方向的规定位置。在基板吸附台26移动时，通过从基板吸附台沈的基板上浮用槽28 (参照图 8)喷射压缩空气来在基板吸附台沈与玻璃基板99之间形成间隙，从而防止因基板吸附台 26与玻璃基板接触而对玻璃基板99带来损伤。此外，在基板吸附台沈移动的过程中，基板支承用滚轮机构4的基板支承滚轮20 —边旋转一边从下方对玻璃基板99予以支承。
在基板吸附台沈到达Y轴方向上的规定位置后，停止喷射压缩空气。接着，对基板吸附槽27供给负压空气，以将玻璃基板99吸附固定于基板吸附台26。接着，从设于基板吸附台26的照明光源四照射出规定的光，通过柱面透镜30聚光后照射到玻璃基板99上。 操作者通过光学观察系统5观察照射到玻璃基板99并透过玻璃基板99的透过光，藉此来确认发生在玻璃基板99上的缺陷的大小和形状。此外，根据上述观察结果来确定用于修正该缺陷的修正条件。
接着，根据所确定的修正条件来进行缺陷的修正。如图11所示，作为对R像素51、 G像素52和B像素53中例如G像素52的颜色掉落的白色缺陷这样的缺陷进行修正时所采用的方法，有通过从油墨涂布机构8对颜色掉落部分涂布相同颜色的绿色油墨来进行修正的方法。此外，作为其它方法，有从激光源6对颜色掉落部分照射激光线，在调整颜色掉落部分的形状后涂布相同颜色的油墨来进行修正的方法。如图14所示，当在涂布油墨之后使涂布有油墨的部分57热固化时，对油墨照射红外线。此外，在通过紫外线使涂布有油墨的部分57固化时，照射紫外线，根据需要在这之后再照射红外线。这样就能使白色缺陷得以修正。
此外，在如图12所示对像素的颜色混杂的黑色缺陷55这样的缺陷进行修正时、或是在如图13所示对在像素表面附着有异物等的异物缺陷56进行修正时，能分别通过照射激光线来除去黑色缺陷55、异物缺陷56。在除去黑色缺陷55或异物缺陷56之后，与白色缺陷的情形一样，通过涂布相对应颜色的油墨并使涂布了油墨的部分固化来修正缺陷。
在完成一个缺陷的修正后，如图15所示，使基板支承用滚轮机构4和基板吸附台沈一起移动到别的缺陷所在的Y轴方向上的规定位置。接着，与上述方法一样，用光学观察系统来观察别的缺陷，并根据该观察结果来进行其它缺陷的修正。
这样，在修正了发生在玻璃基板99上的所有缺陷之后，将玻璃基板99从缺陷修正装置1搬出。此时，首先，将基板吸附台沈配置在规定的避让位置。接着，如图16所示，机械手61的臂部在相邻的基板支承用滚轮机构4之间沿Y轴方向移动到规定的位置(装载位置)。在臂部到达该位置之后，机械手61上升，将玻璃基板99装载于臂部并抬起。然后， 机械手61从缺陷修正装置离开，将玻璃基板99搬出。从缺陷修正装置搬出的玻璃基板99 被移送向下一工序。这样，发生在玻璃基板99上的缺陷通过本缺陷修正装置1得以修正。
在上述包括基板保持部15的缺陷修正装置1中，基板吸附台沈被安装于将可旋转的基板支承滚轮20通过滚轮支承轴连结板21环状连结而成的基板支承用滚轮机构4。 藉此，随着基板吸附台沈的移动，基板支承用滚轮机构4的基板支承滚轮20在玻璃基板99 下方一边移动一边旋转来对玻璃基板99予以支承。
因此，在本缺陷修正装置1的基板保持部(基板保持装置)15中，不需要如现有的缺陷修正装置那样，确保用于使基板吸附台26移动的间隙(空间)，此外，也没有与基板吸附台26抵接而可动的构件。其结果是，没有需要根据基板吸附台沈的位置和速度来进行调整的部位，从而能以更简易的结构来保持玻璃基板99。
此外，在上述基板保持部15中，在使搬运玻璃基板99的机械手61移动到规定的装载位置之后，通过使机械手61下降来将玻璃基板99装载于基板保持部15，从而完成搬入。相反地，在使机械手61上升来将玻璃基板99装载于臂部之后，通过使机械手61避让， 从而完成玻璃基板99的搬出。
藉此，在搬入、搬出玻璃基板99时，不需要起模顶杆机构，也不需要使机械手61的动作与起模顶杆的动作同步。其结果是，能用更简单的结构进行玻璃基板99的搬入、搬出， 此外，能容易地实现搬入、搬出所需时间的缩短。
而且，通过将玻璃基板99吸附固定于基板吸附台26，在对缺陷进行修正时，不会发生玻璃基板99的位置偏移、玻璃基板99挠曲这样的情况，从而能可靠地进行缺陷的修正。此外，通过在基板吸附台沈组装有照明光源四和聚光用的柱面透镜30，藉此在缺陷修正前后，能通过观察透过光来确定缺陷的状态和修正的状态。而且，由于没有像现有的缺陷修正装置那样存在供玻璃基板装载的平台的接缝、对玻璃基板进行固定的吸附槽，因此，不会出现在通过透过光进行观察时产生阴影等情况，从而能更可靠地进行观察。
实施方式2 对本发明实施方式2的缺陷修正装置进行说明。如图17和图18所示，在本缺陷修正装置的基板保持部(基板保持装置)中，配置有对被基板保持部15 (参照图幻保持的玻璃基板99的端部中没有被一对基板端支承台3支承的端部予以支承的基板端支承部41。 另外，由于除此之外的结构与实施方式1中所说明的缺陷修正装置(图1等)相同，因此， 对相同构件标注相同符号而省略其说明。
如图19所示，基板端支承部41安装于基板支承用滚轮机构4，基板端支承部41设有从下方对玻璃基板99的端部予以支承的基板端支承滚轮42。该基板端支承滚轮42被驱动电机44和驱动螺钉43驱动成能在图20所示的从下方对玻璃基板99的端部予以支承的位置与图21所示的在大致水平方向上与玻璃基板99的端部隔开规定距离的避让位置之间移动。
在上述缺陷修正装置中，除了实施方式1中说明的缺陷修正装置所带来的效果之外，还能得到以下效果。首先，被一对基板端支承台3支承的玻璃基板99因其自重而挠曲。 可以想象，玻璃基板99挠曲时，没有被基板端支承台3支承一侧的玻璃基板99的端部的位置降低，在基板支承用滚轮机构4的基板支承滚轮20循环移动而进入到玻璃基板99的端部正下方时，基板支承滚轮20会与其端部碰撞。
在上述缺陷修正装置中，当基板吸附台沈没有位于玻璃基板99的端部时，玻璃基板99的端部的位置被基板端支承部41抬起到能被一对基板端支承台3支承的位置。藉此， 能使基板支承滚轮20与玻璃基板99的端部接触时的冲击得到缓和。上述基板端支承部41 特别是在玻璃基板99的板厚变薄、其挠曲量变大的情况下能发挥出功效。
另外，对在上述基板端支承部41中，通过驱动电机44和驱动螺钉43使基板端支承滚轮42移动的情形进行了说明，但只要能在上述两个位置之间移动，并不限定于驱动电机和驱动螺钉。
实施方式3 在实施方式3中，对保持于基板保持部15(参照图3)的玻璃基板99的端部中、没有被一对基板端支承台3支承的端部予以支承的机构的其它例子进行说明。如图22和图 23所示，在本缺陷修正装置的基板保持部(基板保持装置)中，配置基板端支承头部45作为对没有被一对基板端支承台3支承的玻璃基板99的端部予以支承的机构。另外，由于除此之外的结构与实施方式1中所说明的缺陷修正装置(图1等)相同，因此，对相同构件标注相同符号而省略其说明。
如图对所示，基板端支承头部45以从下方对玻璃基板99的端部予以支承的形态安装于基板支承用滚轮机构4。该基板端支承头部45通过汽缸46而能在图25所示的从下方对玻璃基板99的端部予以支承的位置与图沈所示的在大致垂直(铅垂)方向上与玻璃基板99的端部隔开规定距离的避让位置之间移动。
在上述缺陷修正装置中，除了实施方式1中说明的缺陷修正装置所带来的效果之外，还能得到以下效果。即、与实施方式2中说明的缺陷修正装置一样，当基板吸附台沈没有位于玻璃基板99端部时，玻璃基板99的端部的位置被基板端支承头部45抬起到能被一对基板端支承台3支承的位置。藉此，能使基板支承滚轮20与玻璃基板99的端部接触时的冲击得到缓和。此外，与基板端支承部41 一样，上述基板端支承头部45特别是在玻璃基板99的板厚变薄、其挠曲量变大的情况下能发挥出功效。
另外，在上述基板端支承头部45中，对通过汽缸46使基板端支承头部45上下移动的情形进行了说明，但只要能在上述两个位置之间移动，并不限定于汽缸。
此外，作为基板保持装置(基板保持部)，以适用于缺陷修正装置的情形为例进行了说明，但基板保持装置除了缺陷修正装置之外，例如还能适用于检测装置或复查装置。
本次公开的实施方式仅是例示而不限定于此。本发明的范围并不是上述说明的范围而是通过权利要求的范围来表示的，包括与权利要求的范围相同的意思及范围内的所有变更。
权利要求
1.一种基板保持装置，适用于对形成于规定基板的图案的缺陷进行修正，其特征在于， 所述基板保持装置包括一对基板端支承台，这一对基板端支承台彼此隔开间隔地朝第一方向延伸，并从下方对规定基板的彼此相对的端部予以支承；基板支承用滚轮机构，该基板支承用滚轮机构配置于所述一对基板端支承台之间的区域内，从下方对装载于所述一对基板端支承台的所述基板予以支承，并能分别朝所述第一方向和与所述第一方向相反的方向自由移动；以及基板吸附台，该基板吸附台安装于所述基板支承用滚轮机构，从而能与所述基板支承用滚轮机构一起自由移动，并对装载于所述一对基板端支承台的所述基板的下表面进行吸附，所述基板支承用滚轮机构包括滚轮主体，该滚轮主体具有多个滚轮构件、能将多个所述滚轮构件分别支承成能转动的多个滚轮支承轴、将多个所述滚轮支承轴环状连结的滚轮支承轴连结板；以及滚轮主体导向部，该滚轮主体导向部将所述滚轮主体配置在通过所述滚轮构件能从下方对装载于所述一对基板端支承台的基板予以支承的规定高度的第一位置，还将所述滚轮主体配置在比所述第一位置更低的第二位置，并使所述滚轮主体在所述第一位置与所述第二位置之间环状转动地进行引导。
2.如权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于， 所述滚轮主体引导部包括一对传送板，这一对传送板被配置成从所述滚轮构件的滚轮支承轴方向的一侧和另一侧夹住所述滚轮构件，并被设定在所述滚轮构件能从下方对所述基板予以支承的规定高度；一对滚轮支承轴传送用轴承，这一对滚轮支承轴传送用轴承安装于所述滚轮支承轴， 并在一对所述传送板各自的上端将所述滚轮支承轴支承成能自由移动；以及一对传送辅助板，这一对传送辅助板被配置成从所述滚轮支承轴方向的一侧和另一侧夹住一对所述传送板和一对所述滚轮支承轴传送用轴承。
3.如权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于， 所述基板吸附台包括线状的照明光源，该照明光源被配置成从一对所述基板支承台的一个基板支承台朝另一个基板支承台延伸；以及线状的聚光透镜，该聚光透镜将从所述照明光源照射出的光聚光。
4.如权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，所述基板吸附台包括空气喷射部，该空气喷射部用于在所述基板吸附台可动时，在基板吸附台与所装载的所述基板之间形成间隙来阻止基板吸附台与所述基板的接触。
5.权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，包括基板端辅助支承部，该基板端辅助支承部从下方分别对装载于一对所述基板端支承台中没有被一对所述基板端支承台支承的、沿与所述第一方向交叉的第二方向彼此相对的第一端部和第二端部予以支承。
6.如权利要求5所述的基板保持装置，其特征在于，当所述基板吸附台位于所述基板的所述第一端部、所述第二端部的正下方位置之外的位置时，所述基板端辅助支承部处于从下方对所述第一端部、所述第二端部予以支承的支承状态，当所述基板吸附台位于所述基板的所述第一端部、所述第二端部的正下方时，所述基板端辅助支承部处于避让状态。
7.如权利要求6所述的基板保持装置，其特征在于，通过使所述基板端辅助支承部朝水平方向移动来靠近所述基板，从而从所述避让状态变为所述支承状态，通过使所述基板端辅助支承部朝水平方向移动来远离所述基板，从而从所述支承状态变为所述避让状态。
8.如权利要求6所述的基板保持装置，其特征在于，通过使所述基板端辅助支承部朝铅垂方向移动来靠近所述基板，从而从所述避让状态变为所述支承状态，通过使所述基板端辅助支承部朝铅垂方向移动来远离所述基板，从而从所述支承状态变为所述避让状态。
9.一种缺陷修正装置，具有如权利要求1 8中任一项所述的基板保持装置，其特征在于，包括对发生在所述基板上的缺陷进行观察的光学观察部；用于通过照射激光线来除去发生在所述基板上的缺陷的激光源；用于通过对发生在所述基板上的缺陷部分涂布规定的油墨来修正缺陷的油墨涂布部；使所述光学观察部、所述激光源部和所述油墨涂布部相对于装载于一对所述基板支承台的所述基板的表面朝垂直方向移动的第一驱动机构；使所述光学观察部、所述激光源部和所述油墨涂布部相对于所述基板的表面沿所述第二方向平行移动的第二驱动机构；使所述光学观察部、所述激光源部和所述油墨涂布部相对于所述基板的表面沿所述第一方向平行移动的第三驱动机构；以及包括对所述第一驱动机构、所述第二驱动机构和所述第三驱动机构的控制的控制部。
全文摘要
一种缺陷修正装置(1)，配置有供玻璃基板(99)装载的一对基板端支承台3。在一对基板端支承台(3)之间的区域内配置有多个基板支承用滚轮机构(4)，这些基板支承用滚轮机构(4)从下方对玻璃基板(99)予以支承。基板支承用滚轮机构(4)安装有将所装载的玻璃基板(99)的下表面吸附并保持的基板吸附台(26)。藉此，能得到用更简易的结构来对基板进行保持的基板保持装置和应用该基板保持装置的缺陷修正装置。
文档编号G01N21/956GK102201355SQ20111005077
公开日2011年9月28日 申请日期2011年2月24日 优先权日2010年2月25日
发明者藤田康之, 大庭博明, 井上达司, 山中昭浩 申请人:Ntn株式会社