专利名称：静电测试装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及测试装置，尤其涉及静电测试装置。
背景技术：
静电是半导体、液晶面板及其他精密工业生产中重要的管控因素。在液晶面板的生产过程中，玻璃基板所产生的静电会带来不利的影响，主要表现在两个方面，一方面玻璃基板的高静电会破坏玻璃基板表面的电路，另一方面带静电的玻璃基板会吸附空气中游荡的带电颗粒，造成产品不良。因此，需要对液晶面板生产过程中产生的静电进行管控，进行静电的测量和消除。传统的静电测试装置分为接触式和非接触式。对玻璃基板表面进行静电测试时， 因为玻璃基板表面有微米级别的微小电路，为防止破坏电路，不能采用接触式静电测试装置。非接触式静电测试装置，为了准确的测量静电值要求其在进行静电测试时静电测试装置的测试探头所在面需要与被测平面平行且之间保持一定的距离。传统的非接触式静电测试装置一般为光束相交式，即静电测试装置射出两束光线，射到被测平面上，待两束光线相交时认为达到了静电测试装置的工作距离，如图I所示，读取此时静电测试装置上的静电值示数。一方面，传统的非接触式静电测试装置本身存在不足，在两束光线相交时，只能说明两束光线发光点所在直线与被测平面平行，测试探头所在面与所述被测平面不一定平行且可能存在多种位置关系(即此时测试探头与被测平面的距离不确定)，导致测试探头测出的静电值存在偏差。另一方面，在传统的非接触式静电测试装置的工作过程中，静电测试装置射出的两束光线照射到物体表面上发生漫反射，光漫反射后人眼才能看到光束，从而来判断光束是否相交。在液晶面板生产中的某些工艺阶段产品为透明的玻璃基板，玻璃基板表面光滑，射出的光线不能发生漫反射；并且光束透过玻璃基板，所以人眼看不到反射的光束，不能判断光束是否相交。因此传统的静电测试装置，对于透明的玻璃基板而言，不能准确地判断测试探头与被测平面的距离，进而不能准确透明的玻璃基板所携带的静电。
实用新型内容本实用新型提供一种静电测试装置，通过测距定位�？椋沟迷诮芯驳绮馐允本驳绮馐宰爸玫牟馐蕴酵匪诿嫘枰氡徊馄矫嫫叫星抑浔３忠欢ǖ木嗬耄咕驳绮馐宰爸媚芄蛔既凡饬勘徊馄矫�(包括透明的和不透明的被测平面)的静电值。为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案一种静电测试装置，包括测试探头和至少一个测距定位模块，所述测距定位�？楹退霾馐蕴酵飞柚迷谒鼍驳绮馐宰爸玫耐桓雒妫凰鲋辽僖桓霾饩喽ㄎ荒？榘ǖ谝徊饩喽ㄎ荒？椋龅谝徊饩喽ㄎ荒？榘ǖ谝患す夥⑸渫泛偷谝患す饨邮胀罚凰龅谝患す夥⑸渫泛偷谝患す饨邮胀分涞木嗬胛�2Q ;所述第一激光发射头所发射的激光与测试探头所在面之间的夹角为α 士与α之间的关系满足下列关系式=L1=HXctga ;其中，H是静电测试装置的工作距离。[0007]优选的，所述至少一个测距定位�？榛拱ǖ诙饩喽ㄎ荒？椋凰龅诙す夥⑸渫泛偷诙す饨邮胀分涞木嗬胛�2L2 ;所述第二激光发射头所发射的激光与测试探头所在面之间的夹角为β山2与β之间的关系满足下列关系式L2=HX ctg β ο优选的，所述静电测试装置的工作距离H为O. 5厘米 5厘米。优选的，α为 30° 80° ;β 为 30。 80°。优选的，α=β。优选的，所述第一测距定位�？樗谥毕哂胨龅诙饩喽ㄎ荒？樗谥毕咧涞募薪鞘侨我饨嵌�。优选的，所述第一测距定位�？樗谥毕哂胨龅诙饩喽ㄎ荒？樗谥毕咂健ば�。优选的，所述静电测试装置的工作距离H为2. 5厘米；所述第一测距定位�？橛胨龅诙饩喽ㄎ荒？樵谕惶踔毕呱希�=β =60°。优选的，所述静电测试装置的工作距离H为2. 5厘米；所述第一测距定位�？樗谥毕哂胨龅诙饩喽ㄎ荒？樗谥毕咧涞募薪鞘�90°，α=β=60°。本实用新型的静电测试装置的有益效果如下在静电测试装置生产过程中，根据测试探头的敏感度及静电测试装置将来工作的场合和精度确定静电测试装置的工作距离
H。根据反射原理，满足上述要求的静电测试装置，在测试探头所在面与被测平面平行且之间的实际距离达到静电测试装置的工作距离时，第一激光接收头接收到由第一激光发射头发射经被测平面反射的反射线。这样，第一测距定位�？槭沟貌馐蕴酵匪诿嬗氡徊馄矫嬷渚嗬胛狧，进而使静电测试装置能够准确测量被测平面(包括透明的和不透明的被测平面)的静电值。
图I为传统的非接触式静电测试装置的正常工作时的示意图；图2为本实用新型的一个实施例的静电测试装置工作时的示意图；图3为本实用新型的另一个实施例的静电测试装置工作时的示意图；图4为图3所示的静电测试装置工作时的左视图；图5为本实用新型的又一个实施例的静电测试装置工作时的示意图；图6为图5所示的静电测试装置工作时的左视图。主要元件符号说明100第一测距定位�？椋�110第一激光发射头；120第一激光接收头；200第二测距定位�？椋�210第二激光发射头；220第二激光接收头；300测试探头。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。实施例一本实用新型的一个实施例的静电测试装置，如图2所示，包括测试探头和至少一个测距定位�？椋饩喽ㄎ荒� 块和测试探头设置在静电测试装置的同一个面；所述至少一个测距定位�？榘ǖ谝徊饩喽ㄎ荒？�100，第一测距定位�？�100包括第一激光发射头110和第一激光接收头120 ;所述第一激光发射头110和第一激光接收头120之间的距离为2Q ;所述第一激光发射头110所发射的激光与测试探头所在面之间的夹角为a !L1与α之间的关系满足下列关系式=L1=HXctga ；其中，H是静电测试装置的工作距离。在静电测试装置生产过程中，根据测试探头的敏感度及静电测试装置将来工作的场合和精度确定静电测试装置的工作距离H。在测试探头所在面与被测平面之间的实际距离达到静电测试装置的工作距离H时，静电测试装置开始测试被测平面的静电值。根据反射原理，满足上述要求的静电测试装置，在测试探头所在面与被测平面平行且之间的实际距离达到静电测试装置的工作距离时，第一激光接收头接收到由第一激光发射头发射经被测平面反射的反射线；而在测试探头所在面与被测平面不平行或平行但之间距离不是H时，第一激光接收头接收不到与第一激光发射头发射经被测平面反射的反射线。这样，第一测距定位�？槭沟貌馐蕴酵匪诿嬗氡徊馄矫嬷渚嗬胛狧，进而使静电测试装置能够准确测量被测平面的静电值。无论被测平面是透明的被测平面还是不透明的被测平面，都会对激光进行反射，激光接收头通过接收反射光，能够有效定位测试探头所在面，使得测试探头所在面和被测平面(包括透明平面和不透明平面)与测试探头所在面平行且之间的距离为H，为测试探头准确测试静电值提供了条件。静电测试装置还包括静电测试�？楹拖允灸？椤Ｔ谑褂镁驳绮馐宰爸枚酝该鞯牟ＡЩ褰芯驳绮馐允保馐蕴酵匪诿嫫叫锌拷该鞯牟ＡЩ灞砻妫舷乱贫驳绮馐宰爸�。当第一激光接收头接收到由第一激光发射头发射经被测平面反射的反射线，表明测试探头所在面与被测平面平行且之间的实际距离达到静电测试装置的工作距离，静电测试�？槎跃驳缃胁馐裕允灸？榱疗鹎蚁允揪驳缰担豢梢远寥〉鼻暗木驳缰�。当显示�？椴涣粒蛐枰绦髡馐蕴酵匪诿嬗氡徊馄矫嬷涞木嗬耄敝料允灸？榱疗�。实施例二如图3和图4所示，本实用新型的另一个实施例的静电测试装置，包括测试探头300,第一测距定位�？�100和第二测距定位�？�200 ；第一测距定位�？�100包括第一激光发射头110和第一激光接收头120,第二测距定位�？�200包括第二激光发射头210和第二激光接收头220 ；第一激光发射头110和第一激光接收头120之间的距离为2Q ;第一激光发射头110所发射的激光与测试探头所在面之间的夹角为a ;1^与a之间的关系满足下列关系式 -L1=HX ctg a ；第二激光发射头210和第二激光接收头220之间的距离为2L2 ;第二激光发射头210所发射的激光与测试探头所在面之间的夹角为β山2与β之间的关系满足下列关系式L2=HX ctg β ,[0040]其中，H是静电测试装置的工作距离。 在静电测试装置生产过程中，根据测试探头的敏感度及静电测试装置将来工作的场合和精度确定静电测试装置的工作距离H。在测试探头所在面与被测平面之间的实际距离达到静电测试装置的工作距离H时，静电测试装置开始测试被测平面的静电值。根据反射原理，满足上述要求的静电测试装置，在测试探头所在面与被测平面平行且之间的实际距离达到静电测试装置的工作距离时，第一激光接收头接收到由第一激光发射头发射经被测平面反射的反射线，同时第二激光接收头接收到由第二激光发射头发射经被测平面反射的反射线。这样，测距定位�？槭沟貌馐蕴酵匪诿嬗氡徊馄矫嬷渚嗬胛狧，进而使静电测试装置能够准确测量被测平面的静电值。第一测距定位�？�100和第二测距定位�？�200，使得本实施例的静电测试装置能够更加准确地将测试探头所在面定位，进而使静电测试装置能够准确测量被测平面的静电值。作为一种可选的方式，如图3和图4所示，静电测试装置的工作距离H为2. 5厘米；第一测距定位�？�100与第二测距定位�？�200在同一条直线上，α=β=60°。在静电测试装置生产过程中，根据测试探头的敏感度及静电测试装置将来工作的场合和精度确定静电测试装置的工作距离H ;之后，结合静电测试装置的尺寸，确定LdPL2 ；这样α和β也就随之确定。在确定L1和L2时，也要来考虑α和β，避免α和β过大或过�。员Ｖさ谝患す饨邮胀泛偷诙す饨邮胀纺芙邮盏阶愎磺慷鹊姆瓷湎�。作为一种可选的方式，如图5和图6所示，静电测试装置的工作距离H为2. 5厘米；第一测距定位�？�100所在直线与第二测距定位�？�200所在直线之间的夹角是90°，
α = β =60° ο作为一种可选的方式，静电测试装置的工作距离H为O. 5厘米 5厘米。根据静电测试装置将来工作的场合和精度确定静电测试装置的工作距离H。作为一种可选的方式，α为30。 80。；β为30。 80。。α和β在此范围内，能够保证第一激光接收头和第二激光接收头能接收到足够强度的反射线。作为一种可选的方式，α=β。这样，可以简化静电测试装置生产的复杂程度。作为一种可选的方式，第一测距定位模块所在直线与第二测距定位�？樗谥毕咂叫�。根据静电测试装置的尺寸和布置，设置述第一测距定位�？樗谥毕哂氲诙饩喽ㄎ荒？樗谥毕咧涞奈恢霉叵�。作为一种可选的方式，第一测距定位�？樗谥毕哂氲诙饩喽ㄎ荒？樗谥毕咧涞募薪鞘侨我饨嵌取８菥驳绮馐宰爸玫某叽绾筒贾茫柚檬龅谝徊饩喽ㄎ荒？樗谥毕哂氲诙饩喽ㄎ荒？樗谥毕咧涞募薪�。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种静电测试装置，包括测试探头，其特征在于，还包括至少一个测距定位�？椋霾饩喽ㄎ荒？楹退霾馐蕴酵飞柚迷谒鼍驳绮馐宰爸玫耐桓雒妫� 所述至少一个测距定位�？榘ǖ谝徊饩喽ㄎ荒？椋龅谝徊饩喽ㄎ荒？榘ǖ谝患す夥⑸渫泛偷谝患す饨邮胀罚凰龅谝患す夥⑸渫泛偷谝患す饨邮胀分涞木嗬胛�2U ；所述第一激光发射头所发射的激光与测试探头所在面之间的夹角为α ;1^与α之间的关系满足下列关系式L1=HXctga ； 其中，H是静电测试装置的工作距离。
2.如权利要求I所述的静电测试装置，其特征在于，所述至少一个测距定位�？榛拱ǖ诙饩喽ㄎ荒？椋� 所述第二激光发射头和第二激光接收头之间的距离为2L2 ;所述第二激光发射头所发射的激光与测试探头所在面之间的夹角为β山2与β之间的关系满足下列关系式L2=HX ctg β ο
3.如权利要求2所述的静电测试装置，其特征在于，所述静电测试装置的工作距离H为O.5厘米 5厘米。
4.如权利要求2所述的静电测试装置，其特征在于，a为30° 80°;β为30° 80。。
5.如权利要求2或3或4所述的静电测试装置，其特征在于，α=β。
6.如权利要求2或3或4所述的静电测试装置，其特征在于，所述第一测距定位模块所在直线与所述第二测距定位�？樗谥毕咧涞募薪鞘侨我饨嵌�。
7.如权利要求2或3或4所述的静电测试装置，其特征在于，所述第一测距定位�？樗谥毕哂胨龅诙饩喽ㄎ荒？樗谥毕咂叫�。
8.如权利要求2所述的静电测试装置，其特征在于，所述静电测试装置的工作距离H为2. 5厘米；所述第一测距定位�？橛胨龅诙饩喽ㄎ荒？樵谕惶踔毕呱希琣 = β =60° 。
9.如权利要求2所述的静电测试装置，其特征在于，所述静电测试装置的工作距离H为.2.5厘米；所述第一测距定位�？樗谥毕哂胨龅诙饩喽ㄎ荒？樗谥毕咧涞募薪鞘� 90。，α=β=60。。
专利摘要本实用新型公开了一种静电测试装置，包括测试探头和至少一个测距定位�？椋饩喽ㄎ荒？楹退霾馐蕴酵飞柚迷诰驳绮馐宰爸玫耐桓雒妫恢辽僖桓霾饩喽ㄎ荒？榘ǖ谝徊饩喽ㄎ荒？椋龅谝徊饩喽ㄎ荒？榘ǖ谝患す夥⑸渫泛偷谝患す饨邮胀罚凰龅谝患す夥⑸渫泛偷谝患す饨邮胀分涞木嗬胛�2L1；第一激光发射头所发射的激光与测试探头所在面之间的夹角为α；L1与α之间的关系满足下列关系式L1=H×ctgα；其中，H是静电测试装置的工作距离。在测试探头所在面与被测平面平行且之间的实际距离达到静电测试装置的工作距离时，第一激光接收头接收到由第一激光发射头发射经被测平面反射的反射线，进而使静电测试装置能够准确测量被测平面的静电值。
文档编号G01R31/00GK202710683SQ201220367079
公开日2013年1月30日 申请日期2012年7月26日 优先权日2012年7月26日
发明者王全军, 李丽, 李政良 申请人:北京京东方光电科技有限公司
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
