专利名称：高效过滤器扫描试验台的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种髙效过滤器扫描试验台。
背景技术：
随着科技的进步，尤其是电子技术的进步发展，对厂房的洁净等级提出 了越来越髙的要求。空气过滤器的性能直接影响着室内空气的洁净程度，如 果过滤器中含有漏点，则会影响过滤效果。因此需要对过滤器进行扫描检漏， 找到漏点位置。扫描检漏是将含有测试气溶胶的空气经过被测过滤器，由于 过滤器的过滤作用，会将空气中含有的大部分气溶胶过滤掉，扫描探头就检 测不到扫描区域的气溶胶颗粒，如果扫描结果表明存在大量颗粒，则说明过 滤器在该部分存在漏点。现在一般使用的过滤器检测试验台为钠盐台，随着 科技和生产的发展，日益暴露它的不足和局限性，例如①使用的气溶胶为 钠离子，被半导体行业使用的过滤器拒之门外；②不能扫描检漏。
发明内容
本实用新型目的是提供一种髙效过滤器扫描试验台，其以液态气溶胶 (DEHS)为尘源，采用粒子计数，并可以根据效率的检测对过滤器进行标 准化分级；同时其能在确定的风量条件下试验过滤器的效率和阻力并借助扫 描的方法确定过滤器不漏或漏。
本实用新型的技术方案是 一种髙效过滤器扫描试验台，包括空气预处 理装置、气溶胶发生装置、分别与空气预处理装置和气溶胶发生装置输出端 相连的混合装置、与混合装置通过输送管道相连的均流静压装置、设于被测 过滤器上、下游的采样计数装置以及与采样计数装置相连的控制处理装置， 所述气溶胶发生装置包括气溶胶发生泵和气溶胶发生泵下游的雾化器，所述 雾化器包括均压室和设有雾化喷嘴的雾化室、将雾化室输出的雾化气流加热 的加热装置、对加热后的雾化气流进行冷却的冷却装置以及对冷却后的雾化 气流进行整流的整流装置。
本实用新型进一步的技术方案是 一种髙效过滤器扫描试验台，包括空 气预处理装置、气溶胶发生装置、分别与空气预处理装置和气溶胶发生装置 输出端相连的混合装置、与混合装置通过输送管道相连的均流静压装置、设 于被测过滤器上、下游的采样计数装置以及与釆样计数装置相连的控制处理装置，所述气溶胶发生装置包括气溶胶发生泵和气溶胶发生泵下游的雾化 器，所述雾化器包括设有雾化喷嘴的均压室、雾化室、雾化气流的加热装置、 对加热后的雾化气流进行冷却的冷却装置以及对冷却后的雾化气流进行整 流的整流装置。
所述空气预处理装置包括预过滤器、预过滤器下游风机。风机输出连接 大风量髙效过滤器以及混合装置。
所述试验台还包括风量调节装置，所述风量调节装置包括与风机相连的 变频器和连接于变频器和采样计数装置之间的风量调节器。
所述试验台还包括风量处理装置，所述风量处理装置包括与输送管道相 连的风量检测器、设于均流静压装置内的阻力采样探头、分别与风量检测器 和阻力采样探头相连的阻力风量处理器，所述阻力风量处理器与控制处理装 置相连。
所述采样计数装置包括分别位于被测过滤器上游和下游的上游采样计 数装置和下游采样计数装置。
本实用新型更为详细的技术方案是 一种髙效过滤器扫描试验台，包括 空气预处理装置、气溶胶发生装置、分别与空气预处理装置和气溶胶发生装 置输出端相连的混合装置、与混合装置通过输送管道相连的均流静压装置、 设于被测过滤器上、下游的采样计数装置以及与采样计数装置相连的控制处 理装置，所述气溶胶发生装置包括气溶胶发生泵和气溶胶发生泵下游的雾化 器，所述雾化器包括均压室和设有雾化喷嘴的雾化室、将雾化室输出的雾化 气流加热的加热装置、对加热后的雾化气流进行冷却的冷却装置以及对冷却 后的雾化气流进行整流的整流装置。
所述雾化室设有复数根雾化喷嘴；所述加热装置还包括指示并控制加热 温度的温度指示控制器；所述冷却装置为自来水冷却装置；所述整流装置为 整流板，所述整流板的孔径范围为1.0~1.5mm,开孔率70%。
所述空气预处理装置包括预过滤器、预过滤器下游风机，风机输出端连 接大风量髙效过滤器。
所述试验台还包括风量调节装置，所述风量调节装置包括与风机相连的 变频器和连接于变频器和采样计数装置之间的风量调节器。
所述试验台还包括风量处理装置，所述风量处理装置包括与输送管道相连的风量检测器、设于均流静压装置内的阻力采样探头、分别与风量监测器 和阻力采样探头相连的阻力风量处理器，所述阻力风量处理器与控制处理装 置相连。
所述采样计数装置包括分别位于被测过滤器上游和下游的上游采样计 数装置和下游釆样计数装置。
所述上游采样计数装置包括依次连接的上游采样探头、颗粒稀释器以及 上游尘埃粒子计数器，所述上游采样探头位于均流静压装置内，所述上游尘 埃粒子计数器与控制处理装置相连。
所述下游采样计数装置设有若干组，每组下游采样计数装置包括依次相 连的下游采样探头和下游尘埃粒子计数器，所述下游采样探头设于被测过滤 器下游一侧，所述下游尘埃粒子计数器与控制处理装置相连。
所述下游采样探头组在被测过滤器下游作覆盖整个出风面的往复逐行 平移运动；所述下游采样探头组换行移动的距离小于下游采样探头于换行方 向的宽度。
本实用新型优点是
1. 本实用新型试验台采用的气溶胶为油性的液体粒子(即DEHS)，对 过滤器及生产环境均无伤害。性能类似DOP,并采用加热气雾法、得到0.3 um的准单分散粒子、使检测更精确。
2. 本实用新型过滤器的检测模仿实际使用工况(即垂直送风，以上到 下垂直穿透的方向)使检测结果更接近实际，真实可靠。
3. 本实用新型被测过滤器采用气动系统安装、操作简便、推力大、密 封性好。
4. 本实用新型把扫描检漏与性能检测结合在一起、多探头采样一气呵 成，解决了用户担心的检测速度，提髙了检测效率。普通试验台扫描检测一 台484X484过滤器需约5分钟，本试验台只需36秒。
5. 本实用新型用现代计算机技术实现系统控制和数据处理、结果用屏 幕图表化直接显示打�。允局惫矍冶阌谟没Ч芾�。
图1为本实用新型具体实施例的结构示意框图2为本实用新型具体实施例雾化器的结构示意图；图3为本实用新型具体实施例下游采样探头扫描示意图。 其中l空气预处理装置；ll过滤器；12风机；13大风量髙效过滤器； 14变频器；15风量调节器；2气溶胶发生装置；21气溶胶发生泵；22雾化 器；221均压室；222雾化室；223加热装置；2231温度指示控制器；224 冷却装置；225整流装置；3混合装置；4被测过滤器；5均流静压装置；6 采样计数装置；61上游采样计数装置；611上游采样探头；612颗粒稀释器； 613上游尘埃粒子计数器；62下游釆样计数装置；621下游采样探头；622 下游尘埃粒子计数器；7控制处理装置；8输送管道；9风量处理装置；91 风量检测器；92阻力采样探头；93阻力风量处理器。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述
实施例如图l和图2所示， 一种高效过滤器扫描试验台，包括空气预 处理装置1、气溶胶发生装置2、分别与空气预处理装置1和气溶胶发生装 置2输出端相连的混合装置3、与混合装置3通过输送管道8相连的均流静 压装置5、设于被测过滤器4上、下游的采样计数装置6以及与采样计数装 置6相连的控制处理装置7即计算机，混合后的空气在均流静压装置5中均 流后输送到被测过滤器4上游进风面上，其均匀性达到15%以内，所述气溶 胶发生装置2包括气溶胶发生泵21和气溶胶发生泵21下游的雾化器22， 所述雾化器22包括均压室221，和设有雾化喷嘴的雾化室222、将雾化室 221输出的雾化气流加热的加热装置223、对加热后的雾化气流进行冷却的 冷却装置224以及对冷却后的雾化气流进行整流的整流装置225。
所述雾化室222设有复数根雾化喷嘴；所述加热装置223还包括指示并 控制加热温度的温度指示控制器2231，所述加热装置223为电热器；所述 冷却装置224为自来水冷却装置；所述整流装置225为整流板，所述整流板 的孔径范围为1.0 1.5mm。本实施例用6根拉斯金喷嘴雾化DEHS油性液体； 然后用2kW电热器加热雾化气流，按图2所示安装温度指示控制器2231， 温度指示控制器2231控制加热温度在200'C土20'C范围内，并保持；接着加 热的气溶胶热蒸汽用自来水进行冷却，冷却温度50'C以下；最后冷却气流 经整流板，整流板孔径1.0 1.5mm，开孔率70%。通过上述控制加热温度 等操作可得到准单分散的0.3U m粒子，保证了气溶胶的单一性及高浓度雾化，可以满足试验台要求，进而保证检测精度。如果气溶胶为多分散的，对 粒径分布处理比较难，会产生不必要的效率误差。
所述空气预处理装置1包括预过滤器11、预过滤器11下游的风机12 以及大风量髙效过滤器13。所述试验台还包括风量调节装置，所述风量调 节装置包括与风机12相连的变频器14和连接于变频器14和采样计数装置 6之间的风量调节器15。空气先后经过预过滤器11风机12再经大风量髙效 过滤器13，过滤后进入混合装置3中与气溶胶粒子混合。风量调节器15可 以通过变频器14来调整风机12的运行速度，以适应不同风量需求。
所述试验台还包括风量处理装置9，所述风量处理装置9包括与输送管 道8相连的风量检测器91、设于均流静压装置5内的阻力采样探头92、分 别与风量监测器91和阻力采样探头92相连的阻力风量处理器93，所述阻 力风量处理器93与控制处理装置7相连。风量检测器91可以检测输送管道 8内的风量，阻力采样探头92得到均流静压装置5内压差，将二者反馈到 阻力风量处理器93后再传递给计算机，操作者可以根据计算机的显示来调 节风量调节器15，进而改变风量大小。
所述采样计数装置6包括分别位于被测过滤器4上游和下游的上游采样 计数装置61和下游采样计数装置62。
所述上游采样计数装置61包括依次连接的上游采样探头611、颗粒稀 释器612以及上游尘埃粒子计数器613,所述上游采样探头611位于均流静 压装置5内，所述上游尘埃粒子计数器613与控制处理装置7相连。
所述下游采样计数装置62设有若干组，每组下游采样计数装置62包括 依次相连的下游采样探头621和下游尘埃粒子计数器622,所述下游采样探 头621设于被测过滤器4下游一侧，所述下游尘埃粒子计数器622与控制处 理装置7相连。为了保证不同组下游采样探头621和下游尘埃粒子计数器 622之间的采样灵敏度一致，需要多次校正下游尘埃粒子计数器622,控制 不一致性在5%以内。下游采样计数装置62的组数可以根据被测过滤器4 的规格来确定，如320mmx320mm的被测过滤器4选用两组下游采样计数装 置62: 484mmx484mm的被测过滤器4选用三组下游采样计数装置62;大 于，等于600mmx600mm的被测过滤器4选用四组下游采样计数装置62。
上、下游尘埃粒子计数器613、 622会将探头采样的粒子数计数，并将该数据传递给计算机，操作者可以很直观的在计算机显示屏幕上根据粒子数 判断过滤器的工作效率，并根据标准来判断被测过滤器是否有漏点。如果出 现漏点就会产生信号，这种信号与不漏时的颗粒信号是有区别的，本实用新 型可以采用电脑软件技术处理，并在屏幕上显示，可以解决漏点复核问题。
所述下游采样探头621组在被测过滤器4下游作覆盖整个出风面的往复 逐行平移运动；所述下游采样探头621组换行移动的距离小于下游采样探头 621于换行方向的宽度。
如图3所示为320mmx320mm的被测过滤器4采用两组下游采样计数 装置62的情况。其中两组下游采样探头Al和A2的探头尺寸为90mmX 10mm， Al、 A2先在被测过滤器4出风面向右扫描采样，到过滤器右边框时， 探头由气缸向下平移0.9个探头尺寸，艮卩90mmX0.9-81mm，然后向左扫描 到过滤器左边框时，气缸向上平移回到原始位置，这样一来一回就完成了被 测过滤器4出风面100%的采样。
本实用新型以液态气溶胶为尘源，采用粒子计数，并可以根据效率的检 测对过滤器进行标准化分级；同时其能在确定的风量条件下试验过滤器的效 率和阻力并借助扫描的方法确定过滤器不漏或漏。
权利要求1. 一种高效过滤器扫描试验台，包括空气预处理装置(1)、气溶胶发生装置(2)、分别与空气预处理装置(1)和气溶胶发生装置(2)输出端相连的混合装置(3)、与混合装置(3)通过输送管道(8)相连的均流静压装置(5)、设于被测过滤器(4)上、下游的采样计数装置(6)以及与采样计数装置(6)相连的控制处理装置(7)，其特征在于所述气溶胶发生装置(2)包括气溶胶发生泵(21)和气溶胶发生泵(21)下游的雾化器(22)，所述雾化器(22)包括均压室(221)和设有雾化喷嘴的雾化室(222)、将雾化室(222)输出的雾化气流加热的加热装置(223)、对加热后的雾化气流进行冷却的冷却装置(224)以及对冷却后的雾化气流进行整流的整流装置(225)。
2. 根据权利要求1所述的髙效过滤器扫描试验台，其特征在于所述 雾化室(222)设有复数根雾化喷嘴；所述加热装置(223)还包括指示并控 制加热温度的温度指示控制器(2231);所述冷却装置(224)为自来水冷却 装置；所述整流装置(225)为整流板，所述整流板的孔径范围为1.0~1.5mm。
3. 根据权利要求1所述的髙效过滤器扫描试验台，其特征在于所述 空气预处理装置(1)包括预过滤器(11)、预过滤器(11)下游的风机(12) 以及大风量高效过滤器(13)。
4. 根据权利要求3所述的髙效过滤器扫描试验台，其特征在于所述 试验台还包括风量调节装置，所述风量调节装置包括与风机(12)相连的变 频器(14)和连接于变频器(14)和采样计数装置(6)之间的风量调节器(15)。
5. 根据权利要求1所述的高效过滤器扫描试验台，其特征在于所述 试验台还包括风量处理装置(9),所述风量处理装置(9)包括与输送管道(8)相连的风量检测器(91)、设于均流静压装置(5)内的阻力釆样探头 (92)、分别与风量监测器(91)和阻力采样探头(92)相连的阻力风量处 理器(93)，所述阻力风量处理器(93)与控制处理装置(7)相连。
6. 根据权利要求1所述的髙效过滤器扫描试验台，其特征在于所述 采样计数装置(6)包括分别位于被测过滤器(4)上游和下游的上游采样计 数装置(61)和下游采样计数装置(62)。
7. 根据权利要求6所述的髙效过滤器扫描试验台，其特征在于所述上游采样计数装置(61)包括依次连接的上游采样探头(611)、颗粒稀释器 (612)以及上游尘埃粒子计数器(613)，所述上游采样探头(611)位于均 流静压装置(5)内，所述上游尘埃粒子计数器(613)与控制处理装置(7) 相连。
8.根据权利要求6所述的髙效过滤器扫描试验台，其特征在于所述 下游采样计数装置(62)设有若干组，每组下游采样计数装置(62)包括依 次相连的下游采样探头(621)和下游尘埃粒子计数器(622),所述下游采 样探头(621)设于被测过滤器(4)下游一侧，所述下游尘埃粒子计数器(622) 与控制处理装置(7)相连。
9.根据权利要求8所述的髙效过滤器扫描试验台，其特征在于所述下 游采样探头(621)组在被测过滤器(4)下游作覆盖整个出风面的往复逐行 平移运动；所述下游采样探头(621)组换行移动的距离小于下游采样探头 (621)于换行方向的宽度。
专利摘要本实用新型公开了一种高效过滤器扫描试验台，包括空气预处理装置、气溶胶发生装置、分别与空气预处理装置和气溶胶发生装置输出端相连的混合装置、与混合装置通过输送管道相连的均流静压装置、设于被测过滤器上、下游的采样计数装置以及与采样计数装置相连的控制处理装置，所述气溶胶发生装置包括气溶胶发生泵和气溶胶发生泵下游的雾化器，所述雾化器包括均压室和设有雾化喷嘴的雾化室、将雾化室输出的雾化气流加热的加热装置、对加热后的雾化气流进行冷却的冷却装置以及对冷却后的雾化气流进行整流的整流装置。本实用新型以液态气溶胶为尘源，采用粒子计数，并可以根据效率的检测对过滤器进行标准化分级；同时借助扫描的方法确定过滤器不漏或漏。
文档编号G01M3/20GK201269796SQ20082018617
公开日2009年7月8日 申请日期2008年10月14日 优先权日2008年10月14日
发明者惠旅锋 申请人:苏州市苏信净化设备厂
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
