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专利名称：表面波传感器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种可无线应答的表面波传感器。
背景技术：
可无线应答的表面波传感器(OFW传感器)目前在许多领域中得到了应用，因为这种传感器无需自身供给能量就能实现无线的测量数据获取。因此长久以来这种传感器就被应用在压力测量、加速度测量、表面电压测量以及对于化学特性的测量中。由于这种表面波传感器的测量结果与温度有关，在获取测量结果时必须进行温度补偿，以能够得到实际的测量值。在EP-0619906B1中描述了一种这样的表面波传感器。同时该文献提供了一种方法，可以由发送回的无线信号获得传感器的当前温度。借助于该温度信息可以对测量结果中的温度影响进行校正。该文献的问题在于，在所述的方法中需要多个OFW传感器。
发明目的本发明的目的在于提供一种表面波传感器，利用该传感器可以通过最简单的方法来获取温度或实现温度补偿。

发明内容
上述任务通过权利要求1的特征部分所述技术特征来解决。
本发明的核心在于，利用了芯片表面的边缘区域来产生温度差信号，所述边缘区域在机械负荷下既不会受到挤压也不会被拉长。为此目的，在OFW传感器的这种稳定的边缘区域中以很短的间隔设置了两个反射器。由于这两个反射器与传感器的机械负荷无关地相互始终具有相同的间隔，可以由这两个反射器的差信号直接得到芯片的温度。通过这种简单的措施，只需要分析这两个信号之间的时间间隔。这个时间间隔与OFW传感器的当前温度成正比。
对附图的详细说明

图1中示出了一个表面波传感器1的俯视图。该表面波传感器通过粘合剂设置到要测量的部位的表面上。粘合剂2将所要测量的部位的长度变化以有弹性的方式传递到表面波传感器上。在该传感器上简要地示出了天线3，通过所述天线3使电磁脉冲到达OFW传感器，并再次被发射回去。这种电磁波由换能器4转换成机械波，所述机械波在OFW传感器上运行。根据所要测量的任务，反射器5a，5b被设置在表面波传感器上。在传感器的测量任务中受到机械拉伸和挤压的区域用附图标记7来表示。表面波传感器的两个边缘区域8由于粘合剂和载体材料的机械特性而不会受到拉伸或挤压。
在边沿区域8中设置了反射器6a和6b。反射器6a和6b之间的间隔与外部负荷无关地在最大程度上始终保持近乎恒定。在实际的试验中发现，所述稳定的区域8大约为OFW传感器的载体材料厚度的3倍。将稳定的边缘区域8扩大的可能性在于，使表面波传感器设置在载体材料上的粘合剂2在边缘区域8内可以有目的地去除。在没有粘合剂的区域10中将不受力。
在图2中示出了粘合在载体材料上的表面波传感器的测量结果，所述载体材料为了试验的目的而被拉长了。在该图的横坐标中绘出了沿着表面波传感器的测量点。在该图的纵坐标中示出了表面波传感器的拉伸。两个稳定的边缘区域8(在该区域内传感器在负荷作用下未受到拉伸)用水平线来表示。在其之间是区域7，它与要测量的材料的拉伸成正比关系。在所述边缘区域8的该区域内设置了附加的反射器。
附图标记清单1 表面波传感器2 粘合剂3 天线4 换能器5 用于任务的反射器5a，5b6 用于温度补偿的反射器6a，6b7 OFW传感器的受到拉伸的区域8 OFW传感器的稳定的边缘区域9 OFW传感器的载体材料的厚度10 没有粘合剂的区域(可选)
权利要求
1.表面波传感器(1)，包括天线(3)、换能器(4)和反射器(5a和5b)，其特征在于，在所述表面波传感器(1)上的稳定的边缘区域(8)内设置附加的反射器(6a，6b)，以反射用于分析当前温度的信号。
2.如权利要求1所述的表面波传感器，特征在于，所述稳定的边缘区域(8)大约为载体材料(9)的厚度的3倍。
3.如权利要求1所述的表面波传感器，特征在于，所述表面波传感器借助于粘合剂(2)固定在要测量的载体材料上。
4.如权利要求1所述的表面波传感器，特征在于，通过粘合表面(2)或没有粘合剂的区域(10)来扩大所述稳定的边缘区域(8)。
全文摘要
本发明涉及一种表面波传感器(1)，包括天线(3)、换能器(4)和反射器(5a和5b)，其中在所述表面波传感器(1)上的一个稳定的边缘区域(8)内设置附加的反射器(6a，6b)，以反射用于分析当前温度的信号。
文档编号G01L1/00GK1685205SQ03806045
公开日2005年10月19日 申请日期2003年3月12日 优先权日2002年3月14日
发明者亨利范德·诺科 申请人:法格库格尔菲舍尔无限责任公司