专利名称：输送器以及部件检查装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及输送输送对象的输送器、以及具备该输送器的部件检查装置。
背景技术：
通常，在检查电子部件的电特性的部件检查装置中，使用在规定的托盘与检查用插口之间输送检查前、检查后的电子部件的输送器。作为这样的输送器，公知有例如专利文献I所记载的那样具备两个在将电子部件从规定的位置输送到检查用插口之后将电子部件嵌入到检查用插口的输送单元的输送器。在上述专利文献I所记载的输送器中，在一个输送单元将电子部件按压在检查用插口上并利用部件检查装置所具备的测试器进行检查的期间，另一个输送单元进行检查后的电子部件的排出和检查前的电子部件的供给，两个输送单元交替地供给电子部件以进行检查。但是，在这样的输送器中，存在如下问题由于另一个输送单元进行电子部件的排出以及供给的时间比一个输送单元供给电子部件以进行检查的时间长，所以无法高效地进行利用部件检查装置进行的电子部件的检查。因此，以往提出了例如图18所示那样的输送器。图18是示出输送器的侧面构造的侧视图，是示出把持有测试器一次能够处理的电子部件的个数的四倍的个数的电子部件的输送单元的图。如图18的(a)所示，在输送单元100中，四个能够各自独立地升降的升降机构IOOa IOOd沿一个方向排列，在四个升降机构的每一个的下端部把持有测试器一次能够处理的个数的电子部件IlOa IlOcL进而，如图18的(b)所示，首先，使四个升降机构中的、位于这些升降机构的排列方向的前端的升降机构IOOa的下端部下降，并通过按压将电子部件IlOa嵌入检查用插口 120，从而供给电子部件IlOa以进行检查。接下来，在对该电子部件I IOa的检查结束后，使把持有该电子部件I IOa的升降机构IOOa上升，如图18的(c )所示，使输送单元100整体沿水平方向移动，以便将与前端的升降机构IOOa邻接的其他升降机构IOOb配置于检查用插口 120的正上方。接着，通过使升降机构IOOb下降来供给电子部件IlOb以进行检查，然后，对其他升降机构100c、100d也重复相同的动作。由此，能够利用一个输送单元供给相互不同的多个检查单位的电子部件以进行检查，而不会使输送单元中的电子部件的排出、供给在中途停滞。进而，通过将具备多个这样的输送单元的输送器应用于部件检查装置，该部件检查装置的检查效率提高。专利文献1:日本特开2002 - 148307号公报然而，在图18所示的输送器中，需要在四个升降机构的每一个设置使升降机构的下端部在规定的范围升降的机构。此外，还需要在四个升降机构的每一个设置以将由升降机构所把持的电子部件嵌入检查用插口的程度的大小的按压力按压上述电子部件的机构。因此，升降机构的结构在升降方向整体变得复杂，无法避免输送单元的大小、重量的增加，结果，在输送电子部件时，会导致输送单元的移动速度降低，进而输送效率降低。另外，这样的问题在具备如图18所示那样的输送单元的输送器中是共通的问题，与输送单元的个数无关。
发明内容
本发明是鉴于上述的实际情况而完成的，其目的在于提供能够以简易的结构高效地输送输送对象的输送器、以及具备该输送器的部件检查装置。本发明的一个方式涉及一种输送器，该输送器具备至少一个在基台上输送输送对象的输送部，上述输送部具有多个第一升降部，该多个第一升降部与把持输送对象的多个把持部的每一个连结，并使上述多个把持部的每一个相对于上述基台升降；以及一个第二升降部，该一个第二升降部与全部的上述多个第一升降部连结，并使上述多个第一升降部整体相对于上述基台升降。根据本发明的一个方式，相对于多个第一升降部，使该多个第一升降部升降的第二升降部为一个，因此，在维持输送对象升降的范围的前提下，输送部的结构简化。并且，由于能够降低输送部的大小、重量，因此能够提高输送部在输送输送对象时的移动速度，能够高效地输送输送对象。本发明的一个方式涉及一种输送器，该输送器具备控制部，该控制部对上述输送部的输送进行控制，上述控制部驱动上述多个第一升降部中的一部分下降，并驱动其余的上述第一升降部上升。根据本发明的一个方式，与驱动其余的第一升降部下降、或不驱动其余的第一升降部升降的方式相比，多个第一升降部的每一个的位置在升降方向上相互分离。因此，即便在一个把持部下降的方向上、在基台上存在成为该一个把持部的下降的障碍的部位的情况下，能够仅驱动上述把持部上升、并且驱动其他把持部下降，以免该把持部与上述部位干涉。因而，由于也能够向发生上述那样的干涉的部位输送输送对象，因此能够在基台上扩大能够输送输送对象的范围。本发明的一个方式涉及一种输送器，该输送器具备控制部，该控制部对上述输送部的输送进行控制，上述输送部具备四个以上上述第一升降部，上述控制部以使相互邻接的上述第一升降部的升降状态相互不同的方式驱动上述多个第一升降部。根据本发明的一个方式，即便在作为输送对象的下降目的地的基台上的多个部位相互隔开间隔地配置的情况下，只要这样的间隔与一个第一升降部的宽度相当，就能够一次使输送对象下降至多个这样的作为下降目的地的部位。因此，能够高效地输送输送对象。本发明的一个方式涉及一种输送器，该输送器利用单独的马达驱动上述第一升降部以及上述第二升降部。根据本发明的一个方式，通过利用马达对第一升降部以及第二升降部进行电动驱动，在输送部的各部分的驱动中，能够进行高速驱动、弧形驱动(arch driving)。因而，能够高效地输送输送对象。本发明的一个方式涉及一种输送器，该输送器具备控制部，该控制部对上述输送部的输送进行控制；以及两个上述输送部，直到利用一个上述输送部进行的将输送对象与该输送对象的连接对象连接的连接动作结束为止，上述控制部使另一个上述输送部与上述一个输送部邻接并待机。根据本发明的一个方式，两个输送部能够连续地将输送对象与连接对象连接，从而能够高效地输送输送对象。本发明的一个方式涉及一种部件检查装置，该部件检查装置具备测试器，该测试器具有安装于基台的开口部的检查用插口 ；以及至少一个输送部，该至少一个输送部在上述基台上将电子部件朝上述检查用插口输送，上述输送部具有多个第一升降部，该多个第一升降部与把持电子部件的多个把持部的每一个连结，并使上述多个把持部的每一个相对于上述检查用插口升降；以及一个第二升降部，该一个第二升降部与全部的上述多个第一升降部连结，并使上述多个第一升降部整体相对于上述检查用插口升降。根据本发明的一个方式，对于部件检查装置所具备的输送部，相对于多个第一升降部，使多个第一升降部升降的第二升降部为一个，因此，在维持电子部件的升降的范围的前提下，输送部的结构简化。并且，由于能够降低输送部的大小、重量，因此能够提高输送部在输送电子部件时的移动速度。因而，能够高效地输送电子部件，进而，能够提高部件检查装置的检查效率。
图1是示出搭载有本发明的第一实施方式的输送器的部件检查装置的整体结构的结构图。图2是示意性地示出该实施方式的输送器的端面构造的端面图。图3是示出该实施方式的输送器的电气结构的框图。图4是该实施方式的输送器的工作方式的时序图，(a)是示出输送单元的在Y方向的位置的变化的时序图，(b)是示出第一升降机构的在Z方向的位置的变化的时序图，(C)、Cd)是示出把持部的在Z方向的位置的变化的时序图。图5是示出该实施方式的工作方式的输送单元的配置的端面图。图6是示出该实施方式的工作方式的输送单元的配置的端面图。图7是示出该实施方式的工作方式的输送单元的配置的端面图。图8是示出该实施方式的工作方式的输送单元的配置的端面图。图9是示出该实施方式的工作方式的输送单元的配置的端面图。图10是示出该实施方式的工作方式的输送单元的配置的端面图。图11是示出该实施方式的工作方式的输送单元的配置的端面图。图12是示出该实施方式的工作方式的输送单元的配置的端面图。图13是示出该实施方式的工作方式的输送单元的配置的端面图。图14是示出本发明的第二实施方式的输送器的工作方式的输送单元的配置的端面图。图15是示出该实施方式的工作方式的输送单元的配置的端面图。图16是示出该实施方式的工作方式的输送单元的配置的端面图。图17是示出该实施方式的工作方式的输送单元的配置的端面图。图18中，(a) (C)是示出现有的输送器的工作方式的输送单元的配置的端面图。
具体实施例方式第一实施方式
以下，参照图1 图13对将本发明的输送器以及部件检查装置具体化了的第一实施方式进行说明。首先，参照图1以及图2对输送器以及具备该输送器的部件检查装置的结构进行说明。输送器以及部件检查装置的结构如图1所示，在输送器10的基台11上，将搭载各种机器人的搭载面Ila设置为上表面，该搭载面Ila的大部分由盖部件12覆盖。利用从外部供给的干燥空气将由上述盖部件12和搭载面Ila围成的空间亦即输送空间的湿度和温度维持在规定的值。在基台11的搭载面11a，沿一个方向延伸的四条传送带在与这些传送带的输送方向正交的方向排列。在四条传送带中，一条供给用传送带Cl敷设在传送带的排列方向亦即X方向的一侧，三条回收用传送带C2、C3、C4敷设在X方向的另一侧。进而，在供给用传送带Cl中，从盖部件12的外侧朝内侧搬运供给用传送带托盘Cla。并且，利用回收用传送带C2、C3、C4从盖部件12的内侧朝外侧搬运回收用传送带托盘C2a、C3a、C4a。另外，在供给用传送带托盘Cla收纳有作为输送对象的、检查前的多个电子部件T，并且，在回收用传送带托盘C2a、C3a、C4a收纳有检查后的多个电子部件T。另外，在本实施方式的供给用传送带托盘Cla以及回收用传送带托盘C2a、C3a、C4a，呈矩阵状地收容有在X方向排列成三列、在Y方向排列成两列的电子部件T。在上述基台11的搭载面Ila上搭载有在X方向相互对置的供给机器人20和回收机器人40。供给机器人20配置在供给用传送带Cl的Y方向，并且，回收机器人40配置在回收用传送带C2、C3、C4的Y方向。供给机器人20具有沿Y方向延伸的、作为固定轴的供给侧固定引导件21 ;与供给侧固定引导件21连结的、作为活动轴的供给侧活动引导件22 ;以及与供给侧活动引导件22连结并且沿供给侧活动引导件22移动的供给用手单元23。供给侧活动引导件22是从供给侧固定引导件21向回收机器人40侧延伸的活动轴，并以能够沿Y方向去往移动以及返回移动的方式与供给侧固定引导件21连结。供给用手单元23是配置于供给侧活动引导件22的靠搭载面Ila侧的位置的末端执行器，并以能够沿X方向去往移动以及返回移动的方式与供给侧活动引导件22连结。并且，供给用手单元23以能够从供给侧活动引导件22朝搭载面Ila下降、并能够从搭载面Ila侧朝供给侧活动引导件22上升的方式与供给侧活动引导件22连结。进而，供给侧活动引导件22沿供给侧固定引导件21向供给用传送带Cl侧移动，并且，供给用手单元23沿供给侧活动引导件22移动至供给用传送带托盘Cla的上方。由此，将载置于供给用传送带托盘Cla的电子部件T吸附于供给用手单元23的吸盘，然后将电子部件T从供给用传送带托盘Cla拿起。并且，通过使供给侧活动引导件22从该状态开始沿供给侧固定引导件21从供给用传送带Cl上离开，吸附于供给用手单元23的电子部件T被供给至上述的输送空间内的规定的位置。另外，本实施方式的供给用手单元23同时吸附保持多个电子部件。与供给机器人20相同，回收机器人40具有沿Y方向延伸的、作为固定轴的回收侧固定引导件41 ;与回收侧固定引导件41连结的、作为活动轴的回收侧活动引导件42 ；以及与回收侧活动引导件42连结并且沿回收侧活动引导件42在X方向移动的回收用手单元43。
回收侧活动引导件42是从回收侧固定引导件41向供给机器人20侧延伸的活动轴，并以能够沿Y方向去往移动以及返回移动的方式与回收侧固定引导件41连结。回收用手单元43是配置于回收侧活动引导件42的靠搭载面Ila侧的位置的末端执行器，并以能够沿X方向去往移动以及返回移动的方式与回收侧活动引导件42连结。并且，回收用手单元43以能够从回收侧活动引导件42朝搭载面Ila下降并能够从搭载面Ila侧朝回收侧活动引导件42上升的方式与回收侧活动引导件42连结。进而，回收侧活动引导件42沿回收侧固定引导件41向回收用传送带C2、C3、C4侧移动，并且，回收用手单元43沿回收侧活动引导件42移动至回收用传送带托盘C2a、C3a、C4a的上方。由此，吸附于回收用手单元43的吸盘的电子部件T被载置于回收用传送带托盘C2a、C3a、C4a。另外，本实施方式的回收用手单元43与供给用手单元23相同，同时吸附保持多个电子部件。并且，在盖部件12的内侧面，沿Y方向延伸的输送引导件31固定在该内侧面的X方向的大致中央。在该输送引导件31的两端部的下方配设有第一往复机构32、和同样沿X方向延伸的第二往复机构35。第一往复机构32与固定设置于搭载面Ila的、沿X方向延伸的第一往复机构引导件32c连结而沿X方向去往移动以及返回移动。在第一往复机构32的靠上述供给机器人20侧的位置固定有作为第一供给托盘的供给用往复托盘32a，并且，在第一往复机构32的靠上述回收机器人40侧的位置固定有作为第一回收托盘的回收用往复托盘32b。在供给用往复托盘32a收纳有作为输送对象的、检查前的电子部件T，并且，在回收用往复托盘32b收纳有检查后的多个电子部件T。进而，第一往复机构32可以配置于如下的供给位置供给用往复托盘32a配置于供给侧活动引导件22下方、且回收用往复托盘32b配置于输送引导件31下方。并且，第一往复机构32还可以配置于如下的回收位置供给用往复托盘32a配置于输送引导件31下方、且回收用往复托盘32b配置于回收侧活动引导件42下方。进而，第一往复机构32在供给位置与回收位置之间沿X方向去往移动以及返回移动。即，第一往复机构32在能够利用供给用手单元23向供给用往复托盘32a供给电子部件T的供给位置与能够利用回收用手单元43从回收用往复托盘32b回收电子部件的回收位置之间往复移动。同样，第二往复机构35与固定设置于搭载面Ila的、沿X方向延伸的第二往复机构引导件35c连结而沿X方向去往移动以及返回移动。在第二往复机构35的靠上述供给机器人20侧的位置固定有作为第二供给托盘的供给用往复托盘35a，并且，在第二往复机构35的靠上述回收机器人40侧的位置固定有作为第二回收托盘的回收用往复托盘35b。在供给用往复托盘35a收纳有作为输送对象的、检查前的多个电子部件T，并且，在回收用往复托盘35b收纳有检查后的多个电子部件T。进而，第二往复机构35可以配置于如下的供给位置供给用往复托盘35a配置于供给侧活动引导件22下方、且回收用往复托盘35b配置于输送引导件31下方。并且，第二往复机构35还可以配置于如下的回收位置供给用往复托盘35a配置于输送引导件31下方、且回收用往复托盘35b配置于回收侧活动引导件42下方。进而，第二往复机构35在供给位置与回收位置之间沿X方向去往移动以及返回移动。即，第二往复机构35在能够利用供给用手单元23向供给用往复托盘35a供给电子部件T的供给位置与能够利用回收用手单元43从回收用往复托盘35b回收电子部件T的回收位置之间往复移动。并且，在本实施方式的供给用往复托盘32a、35a以及回收用往复托盘32b、35b呈矩阵状地收纳有在X方向排列成三列、在Y方向排列成两列的电子部件T。即，利用供给用手单元23朝供给用往复托盘32a、35a分别供给一次电子部件T，从而供给用往复托盘32a、35a装满电子部件T。并且，利用回收用手单元43从回收用往复托盘32b、35b分别回收一次电子部件T，从而回收全部的电子部件T。并且，在搭载面Ila中的、输送空间的大致中央形成有贯通搭载面Ila的矩形状的开口部45。部件检查装置所具备的测试器的测试头33安装于该开口部45。测试头33在其上表面具有供电子部件T嵌入的检查用插口，并与用于检查该电子部件T的测试器内的检查电路电连接。在安装于测试头33的上表面的检查用插口，凹陷设置有检查用凹槽33a，该检查用凹槽33a能够同时收纳在X方向排列成三列、在Y方向排列成一列的电子部件T，并且，在检查用凹槽33a的底面凹陷设置有能够与电子部件T的凸形端子嵌合的多个凹形端子。进而，通过将电子部件T所具有的凸形端子嵌入检查用凹槽33a的凹形端子，能够利用测试器检查电子部件T的电特性。测试器从输送器10接收表示检查开始的电信号而开始检查电子部件T，并将该检查结果输出至输送器10。并且,在上述输送引导件31连结有作为输送部的第一输送单兀34和作为输送部的第二输送单元36。参照图2对上述第一输送单元34以及第二输送单元36的结构进行详细说明。另夕卜，虽然第一输送单元34与第二输送单元36相对于输送引导件31的连结位置、作为移动目的地的往复机构相互不同，但是第一输送单元34与第二输送单元36均具有相互不同的两种升降部，且使电子部件T升降的方式相同，因此，以下主要对第一输送单元34的结构进行说明，并省略第二输送单元36中的、与第一输送单元34的结构相同的点的说明。并且，图2是从供给机器人20侧观察第一输送单元34的周边构造的端面图，示出第一输送单元34配置在第一往复机构32的正上方的状态。如图2所示，在输送引导件31连结有能够沿该输送引导件31去往移动以及返回移动的第二升降机构51。在该第二升降机构51的下端部形成有沿搭载面Ila扩展的板状的连结部，且在该连结部的靠搭载面Ila侧的位置以相同方式连结有两个第一升降机构52、53。在第二升降机构51的下端部亦即连结部内置有两个第一升降机构52、53的每一个的驱动源亦即第一升降马达52M、53M。进而，通过使第一升降马达52M正转或者反转，第一升降机构52的下端部相对于基台11上升或者下降，并且，通过使第一升降马达53M正转或者反转，第一升降机构53的下端部相对于基台11上升或者下降。在第二升降机构51的上部内置有第二升降机构51的驱动源亦即第二升降马达51M。进而，通过使第二升降马达51M正转或者反转，第二升降机构51的下端部相对于基台11上升或者下降。即，通过驱动第二升降马达51M，两个第一升降马达52M、53M、两个第一升降机构52、53整体上升或者下降。在两个第一升降机构52、53的下端部分别连结有例如能够通过真空吸附来吸附并把持电子部件T的、作为末端执行器的把持部52a、53a。另外，把持部52a、53a例如与喷嘴、同该喷嘴连接的吸引泵、向该喷嘴供给压缩空气的泄压阀等连接。并且，在本实施方式中，各把持部52a、53a构成为分别能够同时把持在X方向排列成三列、在Y方向排列成一列的电子部件T。S卩，第一输送单兀34具有两个把持部52a、53a,由此,能够把持测试器一次能够检查的电子部件的两倍的个数的电子部件T。另外，利用上述第二升降机构51、第二升降马达51M、第一升降机构52、53以及第一升降马达52M、53M构成第一输送部。并且，利用第二升降机构51以及第二升降马达51M构成第一输送部的第二升降部，并利用第一升降机构52、53以及第一升降马达52M、53M构成第一输送部的第一升降部。并且，利用第二输送单元的第二升降机构、第二升降马达、第一升降机构以及第一升降马达构成第二输送部。并且，利用第二输送单元的第二升降机构以及第二升降马达构成第二输送部的第二升降部，并利用第二输送单元的第一升降机构以及第一升降马达构成第二输送部的第一升降部。输送器以及部件检查装置的电气结构其次，参照图3以输送器10的电气结构为中心对输送器以及部件检查装置的电气结构进行说明。构成上述输送器10所具备的控制部的控制装置60以具有中央处理装置(CPU)、非易失性存储器(ROM)以及易失性存储器(RAM)的微型计算机为中心而构成。控制装置60基于在上述ROM以及RAM中存储的各种数据以及程序，进行与输送器10的动作相关的各种控制。在控制装置60电连接有驱动传送带马达MC旋转的传送带驱动部61。在传送带驱动部61连接有检测传送带马达MC的旋转位置的编码器EMC。传送带驱动部61基于从控制装置60输入的位置指令和从编码器EMC输入的传送带马达MC的旋转位置生成传送带马达MC的驱动电流，并将该驱动电流输出至传送带马达MC。传送带马达MC通过进行与上述驱动电流对应的旋转来驱动上述传送带Cl C4。另外,上述传送带驱动部61以及传送带马达MC针对每条传送带Cl C4设置，并且，针对各传送带马达MC设置编码器EMC。即，控制装置60以使各传送带Cl C4的动作相互独立的方式进行控制。并且，在控制装置60电连接有驱动X轴马达MX旋转的X轴引导件驱动部62。在X轴引导件驱动部62连接有检测X轴马达MX的旋转位置的编码器EMX。X轴引导件驱动部62基于从控制装置60输入的位置指令和从编码器EMX输入的旋转位置生成X轴马达MX的驱动电流，并且将该驱动电流输出至X轴马达MX。X轴马达MX进行与输入的上述驱动电流对应的旋转，由此使上述手单元23、43沿活动引导件22、42去往移动以及返回移动。另夕卜，针对供给用手单元23以及回收用手单元43的每一个均设置有上述X轴引导件驱动部62以及X轴马达MX，并且，针对各X轴马达MX设置有编码器EMX。在控制装置60连接有驱动Y轴马达MY旋转的Y轴引导驱动部63。在Y轴引导件驱动部63连接有检测Y轴马达MY的旋转位置的编码器EMY。Y轴引导件驱动部63基于从控制装置60输入的位置指令和从编码器EMY输入的旋转位置生成Y轴马达MY的驱动电流，并且将该驱动电流输出至Y轴马达MY。Y轴马达MY进行与输入的上述驱动电流对应的旋转，由此使上述活动引导件22、42沿固定引导件21、41去往移动以及返回移动。另外，针对供给侧活动引导件22以及回收侧活动引导件42的每一个均设置有上述Y轴引导件驱动部63以及Y轴马达MY，并且，针对各Y轴马达MY设置有编码器EMY。
在控制装置60连接有手单元驱动部64，该手单元驱动部64具有手马达驱动部64a和阀驱动部64b。其中，在手马达驱动部64a连接有检测手马达MZ的旋转位置的编码器EMZ。手马达驱动部64a基于从控制装置60输入的位置指令和从编码器EMZ输入的旋转位置生成手马达MZ的驱动电流，并且将该驱动电流输出至手马达MZ。手马达MZ进行与输入的上述驱动电流对应的旋转，由此使上述手单元23、43上升以及下降。在阀驱动部64b连接有设置在手单元23、43的前端的吸引阀SVl和泄压阀DVl。阀驱动部64b基于从控制装置60输入的吸引阀SVl的开闭指令生成吸引阀SVl的驱动信号，并且将该驱动信号输出至吸引阀SV1。吸引阀SVl进行与输入的上述驱动信号对应的开闭动作，由此，利用规定的吸引力吸引上述电子部件T。并且，阀驱动部64b基于从控制装置60输入的泄压阀DVl的开闭指令生成泄压阀DVl的驱动信号，并且将该驱动信号输出至泄压阀DV1。泄压阀DVl进行与输入的上述驱动信号对应的开闭动作，由此，从吸盘送出压缩空气。另外，针对供给用手单元23以及回收用手单元43的每一个均设置有上述手单元驱动部64、手马达MZ、吸引阀SVl以及泄压阀DV1，并且，针对各手马达MZ的每一个设置有编码器EMZ。S卩，控制装置60以使供给用手单元23的动作和回收用手单元43的动作相互独立的方式进行控制。并且，在控制装置60连接有驱动往复机构马达MS旋转的往复机构驱动部65。在往复机构驱动部65连接有检测往复机构马达MS的旋转位置的编码器EMS。往复机构驱动部65基于从控制装置60输入的位置指令和从编码器EMS输入的旋转位置生成往复机构马达MS的驱动电流，并且将该驱动电流输出至往复机构马达MS。往复机构马达MS进行与所输入的上述驱动电流对应的旋转，由此使往复机构32、35沿上述引导件32c、35c滑动。另夕卜，针对第一往复机构32以及第二往复机构35的每一个设置有上述往复机构驱动部65以及往复机构马达MS，并且，针对各往复机构马达MS设置有编码器EMS。S卩，控制装置60以使第一往复机构32的动作和第二往复机构35的动作相互独立的方式进行控制。并且，在控制装置60连接有输送单元驱动部66，该输送单元驱动部66具有:输送马达驱动部66a、两个第一升降马达驱动部66b、66c、第二升降马达驱动部66d以及两个阀驱动部66e、66f。在输送马达驱动部66a连接有检测输送马达MA的旋转位置的编码器EMA。输送马达驱动部66a基于从控制装置60输入的位置指令和从编码器EMA输入的旋转位置生成输送马达MA的驱动电流，并且将该驱动电流输出至输送马达MA。输送马达MA进行与所输入的上述驱动电流对应的旋转，由此使上述第二升降机构51本身沿上述输送引导件31去往移动以及返回移动。另外，针对第一输送单元34以及第二输送单元36的每一个设置有上述输送马达驱动部66a，并且，针对第一输送单元34以及第二输送单元36的每一个设置有编码器EMA。在第一升降马达驱动部66b连接有检测第一升降马达52M的旋转位置的编码器E52M。第一升降马达驱动部66b基于从控制装置60输入的位置指令和从编码器E52M输入的旋转位置生成第一升降马达52M的驱动电流，并且将该驱动电流输出至第一升降马达52M。第一升降马达52M进行与所输入的上述驱动电流对应的旋转，由此使第一升降机构52的下端部相对于基台11上升以及下降。另外，针对第一输送单元34以及第二输送单元36的每一个设置有上述第一升降马达驱动部66b，并且，针对第一输送单元34以及第二输送单兀36的每一个设置有编码器E52M。在第一升降马达驱动部66c连接有检测第一升降马达53M的旋转位置的编码器E53M。第一升降马达驱动部66c基于从控制装置60输入的位置指令和从编码器E53M输入的旋转位置生成第一升降马达53M的驱动电流，并且将该驱动电流输出至第一升降马达53M。第一升降马达53M进行与所输入的上述驱动电流对应的旋转，由此使第一升降机构53的下端部相对于基台11上升以及下降。另外，针对第一输送单元34以及第二输送单元36的每一个设置有上述第一升降马达驱动部66c，并且，针对第一输送单元34以及第二输送单兀36的每一个设置有编码器E53M。这样，控制装置60以使第一升降马达52M的驱动和第一升降马达53M的驱动相互独立的方式进行控制。在第二升降马达驱动部66d连接有检测第二升降马达51M的旋转位置的编码器E51M。第二升降马达驱动部66d基于从控制装置60输入的位置指令和从编码器E51M输入的旋转位置生成第二升降马达51M的驱动电流，并且将该驱动电流输出至第二升降马达51M。第二升降马达51M进行与所输入的上述驱动电流对应的旋转，由此使第二升降机构51的下端部相对于基台11上升以及下降。另外，针对第一输送单元34以及第二输送单元36的每一个设置有上述第二升降马达驱动部66d，并且，针对第一输送单元34以及第二输送单兀36的每一个设置有编码器E51M。在阀驱动部66e连接有设置于第一升降机构52的把持部52a的吸引阀SV2和泄压阀DV2。阀驱动部66e基于从控制装置60输入的吸引阀SV2的开闭指令生成吸引阀SV2的驱动信号，并且将该驱动信号输出至吸引阀SV2。进而，吸引阀SV2进行与所输入的上述驱动信号对应的开闭动作，由此，利用规定的吸引力吸引上述电子部件T。并且，阀驱动部66e基于从控制装置60输入的泄压阀DV2的开闭指令生成泄压阀DV2的驱动信号，并且将该驱动信号输出至泄压阀DV2。进而，泄压阀DV2进行与所输入的上述驱动信号对应的开闭动作，由此，从第一升降机构52的把持部52a送出压缩空气。另外，针对第一输送单兀34以及第二输送单元36的每一个设置有吸引阀SV2以及泄压阀DV2，并且，针对第一输送单元34以及第二输送单兀36的每一个设置有阀驱动部66e。在阀驱动部66f连接有设置于第一升降机构53的把持部53a的吸引阀SV3和泄压阀DV3。阀驱动部66f基于从控制装置60输入的吸引阀SV3的开闭指令生成吸引阀SV3的驱动信号，并且将该驱动信号输出至吸引阀SV3。进而，吸引阀SV3进行与所输入的上述驱动信号对应的开闭动作，由此，利用规定的吸引力吸引上述电子部件T。并且，阀驱动部66f基于从控制装置60输入的泄压阀DV3的开闭指令生成泄压阀DV3的驱动信号，并且将该驱动信号输出至泄压阀DV3。进而，泄压阀DV3进行与所输入的上述驱动信号对应的开闭动作，由此，从第一升降机构53的把持部53a送出压缩空气。另外，针对第一输送单兀34以及第二输送单元36的每一个设置有吸引阀SV3以及泄压阀DV3，并且，针对第一输送单元34以及第二输送单元36的每一个设置有阀驱动部66f。即，控制装置60以使第一输送单元34的动作和第二输送单元36的动作相互独立的方式进行控制。并且，在控制装置60电连接有测试器69。在利用第一输送单元34或者第二输送单元36将电子部件T配置于测试头33的检查位置后，控制装置60对测试器69输出表示开始进行检查的信号。测试器69通过接收检查开始信号而开始检查电子部件T，若检查结束则将表示检查结束的信号与该检查结果一起输出至控制装置60。输送器的工作方式其次，参照图4 图13，以第一输送单元34的工作方式为中心对上述结构的输送器10的工作方式进行说明。以下说明的动作全部基于来自控制装置60的各种指令由各驱动部进行。另外，对于第一输送单元34的工作方式，图4的(a)中示意性地示出了第一输送单元34相对于基台11的在Y方向的位置的变化，图4的(b)中示意性地示出了因第二升降马达51M的驱动而产生的、第一升降机构52、53相对于基台11的在Z方向的位置的变化。同样，图4的(c)中示意性地示出了因第一升降马达52M的驱动而产生的、把持部52a相对于基台11的在Z方向的位置的变化，图4的(d)中示意性地示出了因第一升降马达53M的驱动而产生的、把持部53a相对于基台11的在Z方向的位置的变化。并且，图5 图13中示出了图4所示的各时刻的、第一输送单元34的配置。首先，第一输送单元34将在第一往复机构32上位于供给用往复托盘32a的检查前的电子部件T 一并把持于把持部52a、53a的每一个之后，在时刻Tl沿Y方向移动至第一检查位置。该第一检查位置是第一升降机构52的把持部52a所把持的电子部件Ta配置于测试头33的检查用凹槽33a的正上方的位置(参照图5)。在该时刻Tl，第二升降机构51的下端部、即内置于该下端部的第一升降马达52M、53M配置于Z方向上的其活动范围的最上方位置。并且，第一升降机构52、53的下端部、即与该下端部连结的把持部52a、53a配置于Z方向上的其活动范围的中间位置。其次，在时刻T2，通过驱动第一升降马达52M，把持部52a下降至因该第一升降马达52M的驱动而把持部52a活动的活动范围中的最下方位置。并且，此时，通过驱动第一升降马达53M，把持部53a上升至因该第一升降马达53M的驱动而把持部53a活动的活动范围中的最上方位置(参照图6)。接着，在时刻T3，通过驱动第二升降马达51M，第二升降机构51的下端部、即内置于该下端部的第一升降马达52M、53M下降至其活动范围的最下方位置。伴随于此，把持部52a、53a也一同下降，仅由把持部52a所把持的电子部件Ta嵌入测试头33的检查用凹槽33a (参照图7)。进而，通过驱动第一升降马达52M以及第二升降马达51M来按压电子部件Ta，对电子部件Ta进行由测试器69进行的检查。此时，由于把持部53a配置于比把持部52a靠上方的位置，所以能够抑制把持部53a所把持的电子部件Tb与测试头33或其周边的各种部件发生干涉的情况。在利用测试器69对电子部件Ta进行的检查结束后，在时刻T4，通过驱动第二升降马达51M，第二升降机构51的下端部、即内置于该下端部的第一升降马达52M、53M上升(参照图8)。此时，不使第二升降机构51的下端部上升至其活动范围的最上方位置，而是使其上升至下述位置伴随第二升降机构51的下端部的上升而上升的电子部件Ta被从检查用凹槽33a拔出，并且不与测试头33或其周边的各种部件发生干涉的程度的位置。由此，能够缩短第二升降机构51的下端部移动的距离以及第二升降机构51的下端部移动的时间。其次，在时刻T5，第一输送单元34沿Y方向移动至第二检查位置。该第二检查位置是第一升降机构53的把持部53a所把持的电子部件Tb配置于测试头33的检查用凹槽33a的正上方的位置(参照图9)。接着，在时刻T6，通过驱动第一升降马达52M，把持部52a上升至由第一升降马达52M的驱动所决定的把持部52a的活动范围中的最上方位置。此时，通过驱动第一升降马达53M，把持部53a下降至因第一升降马达53M的驱动而把持部53a活动的活动范围中的最下方位置(参照图10)。其次，在时刻T7，通过驱动第二升降马达51M，第二升降机构51的下端部、即内置于该下端部的第一升降马达52M、53M下降至其活动范围的最下方位置。伴随于此，把持部52a、53a也一同下降，仅由把持部53a所把持的电子部件Tb嵌入测试头33的检查用凹槽33a (参照图11)。进而，通过驱动第一升降马达53M以及第二升降马达51M来按压电子部件Tb，对电子部件Tb进行由测试器69进行的检查。此时，由于把持部52a配置于比把持部53a靠上方的位置，所以能够抑制把持部52a所把持的电子部件Ta与测试头33或其周边的各种部件发生干涉的情况。这样，对第一输送单元34所把持的电子部件Ta、Tb依次进行由部件检查装置进行的检查。此处，对如上所述利用第一输送单元34供给电子部件T以进行检查的期间的第二输送单元36的工作方式进行说明。在利用第一输送单元34供给电子部件T以进行检查的期间，第二输送单元36向回收用往复托盘35b排出检查后的电子部件T，并从供给用往复托盘35a供给检查前的电子部件T (在图5 图11中为方便起见省略其详细的图示)。如图12所示，在电子部件T的供给完毕后，第二输送单元36在接近第一输送单元34之后，在第二输送单元36的Y方向上的活动范围中的、最靠近第一输送单元34的位置待机。接着，对第一输送单元34所把持的电子部件Ta、Tb的检查全部结束后的第一输送单元34以及第二输送单元36的工作方式进行说明。如之前的图4所示，在利用测试器69对电子部件Tb进行的检查结束后，在第一输送单元34中，通过驱动第二升降马达51M而使第二升降机构51的下端部、即内置于该下端部的第一升降马达52M、53M上升至其活动范围的最上方位置。此外，通过驱动第一升降马达52M而使把持部52a下降至之前的中间位置，并且通过驱动第一升降马达53M而使把持部53a上升至之前的中间位置。进而，在时刻T8，第一输送单元34沿Y方向移动至第一往复机构32上方。此时,与第一输送单兀34邻接并待机的第二输送单兀36与第一输送单兀34的移动同步地移动。进而，第二输送单元36移动至Y方向上的规定的位置、即第二输送单元36所把持的电子部件T中的最开始成为检查对象的电子部件T位于测试头33的检查用凹槽33a的正上方的位置(参照图13)。接着，与上述的第一输送单元34的情况相同地，利用第二输送单元36进行用于供给电子部件T以进行检查的动作，并且，在第一输送单元34中进行检查后的电子部件T的排出和检查前的电子部件T的供给。这样，反复进行如下的作业在一个输送单元供给电子部件以进行检查的期间，在另一个输送单元中进行电子部件T的排出与供给。这样，在输送单元34、36中，通过一个第二升降马达51M的驱动使全部的如下机构升降分别具有把持部52a、53a的两个第一升降机构52、53 ;以及与两个第一升降机构52、53的分别对应的两个第一升降马达52M、53M。因此，输送单元34、36的结构简化与共用一个第二升降机构51作为使第一升降机构52、53整体升降的升降机构相应的量，并且，输送单元34、36的大小、重量降低。因此，还能够实现输送电子部件T时的、输送单元34、36的移动速度的提高。并且,输送单兀34、36的每一个具备两个把持部52a、53a,在供给各把持部52a、53a所把持的电子部件T以进行检查时，把持作为检查对象的电子部件T的把持部下降，而另一个把持部上升。由此，能够利用各输送单元34、36以不会在中途停止电子部件T的排出与供给的方式多次供给电子部件T以进行检查，因此能够实现向测试头33输送电子部件T的高效化。此外，在一个输送单元供给电子部件T以进行检查的期间，另一个输送单元把持检查前的电子部件T，然后，与动作中的输送单元邻接并待机。由此也能够实现向测试头33输送电子部件T的高效化。另外，若使该待机中的输送单元在完成使把持作为最初的检查对象的电子部件T的把持部下降并使另一个把持部上升的动作之后待机，则能够进一步高效地进行电子部件T的输送。并且，在利用测试器69共计进行四次检查时，分别具有两个把持部52a、53a的两个输送单元34、36配置于测试头33的两侧。因此，与使用图18所示的、具有四个把持部的一个输送单元供给电子部件T以进行检查的结构相比，能够缩短检查所需要的每个输送单元的在Y方向的输送距离。因而，如图13所示，能够缩短第一往复机构32与第二往复机构35之间的宽度Wl，从而能够使输送器10整体小型化。附带地说，如该图13所示，两个第一升降机构52、53之间的间隔dl越�。渌偷ピ�34、36越能够小型化，并且还能够使上述宽度Wl更小。因此，在缩短输送单元34、36向测试头33输送电子部件T的输送动作中的输送单兀34、36的输送距离以及输送时间的方面，优选将上述间隔dl设定成不妨碍两个第一升降机构52、53的每一个的升降的范围内的
最小值。另外，在上述的第一输送单元34的工作方式的说明中，为了方便，对于第一输送单元34的沿Y方向的移动、第二升降机构51的下端部的沿Z方向的移动、第一升降机构52,53的下端部的沿Z方向的移动中的各移动，设定成在沿一个方向的移动结束之后，开始沿下一个方向的移动。但是，若同时进行沿相互不同的方向的移动，则能够缩短输送单元34、36的输送所耗费的时间。在该情况下，第一输送单兀34中的把持部52a、53a的移动的轨迹为弧形状。并且，虽然将两个输送单元34、36的每一个均设置为具备两个把持部52a、53a以及与两个把持部52a、53a的每一个对应的第一升降马达52M、53M，但是也可以具备三个以上的把持部以及与各把持部分别对应的第一升降马达。在该情况下，在供给各把持部所把持的电子部件T以进行检查时，以使把持作为检查对象的电子部件T的一个把持部下降，而使其余的把持部上升的方式驱动与各把持部对应的第一升降马达。进而，通过与输送单元34,36的沿Y方向的移动配合地进行这样的把持部的升降，依次供给电子部件T以进行检查。如以上说明的那样，根据本实施方式，能够得到以下列举的效果。(I)输送器10的输送单元34、36具有多个第一升降马达52M、53M，该多个第一升降马达52M、53M使把持电子部件T的多个把持部52a、53a的每一个升降；以及一个第二升降马达51M，该一个第二升降马达使上述多个第一升降马达52M、53M的整体升降。因而，由于使第一升降马达52M、53M以及第一升降机构52、53的整体升降的第二升降马达51M为一个，因此输送单元的结构变得简单。并且，由于能够降低输送单元的大小、重量，因此能够提高输送电子部件T时的输送单元的移动速度，从而能够高效地输送电子部件T。(2)借助控制装置60的控制，驱动多个第一升降马达52M、53M中的一部分下降，并驱动其余的第一升降马达上升。由此，能够利用具有多个把持部的一个输送单元以不会在中途停止电子部件T的排出与供给的方式多次供给一次能够检查的量的电子部件T以进行检查。因而，能够高效地向测试头33输送电子部件T，进而，能够提高利用部件检查装置检查电子部件T的检查效率。(3)并且，与在驱动一个第一升降机构下降时，也驱动其他第一升降机构下降、或者不驱动其他第一升降机构升降的方式相比，若为本实施方式的升降方式，则可使多个第一升降机构52、53的每一个的位置在升降方向分离。因此，即便在一个把持部下降的方向上、在基台11上存在成为该一个把持部的下降的障碍的部位的情况下，也能够仅驱动上述把持部上升而驱动其他把持部下降，以免与上述部位发生干涉。(4)借助输送马达、第一升降马达52M、53M以及第二升降马达51M，利用马达进行输送单元的沿Y方向的移动以及输送单元的各部的沿Z方向的移动。由此，对于各部的驱动而言，能够进行高速驱动、弧形驱动。因而，能够高效地输送电子部件T。(5)输送器10具有两个输送单元34、36，借助控制装置60的控制，直到利用一个输送单元将电子部件T与测试头33连接的连接动作结束为止，使另一个输送单元与上述一个输送单元邻接并待机。因而，两个输送单元34、36的每一个能够连续地高效地向测试头33输送电子部件T，进而，能够提高部件检查装置的、检查电子部件T的检查效率。第二实施方式以下，参照图14 图17对将本发明的输送器以及将部件检查装置具体化了的第二实施方式进行说明。另外，本实施方式的输送器以及部件检查装置的基本的结构也与第一实施方式相同。但是，在本实施方式中，输送器的输送单元所具有的第一升降机构的个数、第一升降马达的个数、把持部的个数及其工作方式与第一实施方式不同，因此，以下以该点为中心进行说明。输送单元的结构如图14所示，在输送引导件31，以能够沿着该输送引导件31去往移动以及返回移动的方式连结有第二升降机构71。在该第二升降机构71的下端部形成有沿着搭载面Ila扩展的板状的连结部，在该连结部的靠搭载面Ila侧的位置以相同方式连结有四个第一升降机构 72、73、74、75。在第一升降机构72 75的每一个的下端部连结有例如能够通过真空吸附吸附并把持电子部件T的、作为末端执行器的把持部72a、73a、74a、75a。另外,与第一实施方式相同，把持部72a 75a的每一个与例如喷嘴、与该喷嘴连接的吸引泵、向该喷嘴供给压缩空气的泄压阀等连接。在第二升降机构71的下端部亦即连结部内置有第一升降马达72M、73M、74M、75M。进而，通过使第一升降马达72M正转或者反转，第一升降机构72的下端部相对于基台11上升或者下降，通过使第一升降马达73M正转或者反转，第一升降机构73的下端部相对于基台11上升或者下降。同样，通过使第一升降马达74M正转或者反转，第一升降机构74的下端部相对于基台11上升或者下降，通过使第一升降马达75M正转或者反转，第一升降机构75的下端部相对于基台11上升或者下降。利用控制装置60以能够分别独立地驱动的方式控制这些第一升降马达72M 75M。并且，在第二升降机构71的上端部内置有第二升降马达71M，通过使第二升降马达71M正转或者反转，第二升降机构71的下端部相对于基台11上升或者下降。即，通过驱动第二升降马达71M，第一升降马达72M 75M、第一升降机构72 75以及把持部72a 75a的整体上升或者下降。另外，利用上述第二升降机构71、第二升降马达71M、第一升降机构72 75以及第一升降马达72M 75M构成第一输送部。并且，利用第二升降机构71、第二升降马达71M构成第一输送部中的第二升降部，并利用第一升降机构72 75以及第一升降马达72M 75M构成第一输送部中的第一升降部。并且，第二输送单元也具有相同的结构，利用第二输送单元中的第二升降机构、第二升降马达、四个第一升降机构以及四个第一升降马达构成第二输送部。并且，利用第二输送单元中的第二升降机构、第二升降马达构成第二输送部中的第二升降部，利用第一升降机构以及第一升降马达构成第二输送部中的第一升降部。进而，在本实施方式中，在安装于测试头83的上表面的检查用插口凹陷设置有检查用凹槽83a，该检查用凹槽83a能够同时收纳在X方向排列成三列、在Y方向排列成两列的电子部件T。并且，在供给用往复托盘82a、85a以及回收用往复托盘82b、85b，呈矩阵状地收纳有在X方向排列成三列、在Y方向排列成四列的电子部件T。进而,第一输送单兀70的各把持部72a 75a构成为:均能够同时把持在X方向排列成三列、在Y方向排列成一列的电子部件T。S卩，第一输送单兀70具有四个把持部72a 75a,由此,能够把持测试器69一次能够检查的电子部件的两倍的个数的电子部件T。输送器的工作方式其次，参照图14 图17以第一输送单元70的工作方式为中心对上述结构的输送器10的工作方式进行说明。以下说明的动作全部由各驱动部基于来自控制装置60的各种指令进行。首先，在将载置于第一往复机构32的供给用往复托盘82a的检查前的电子部件T一并把持于把持部72a 75a的各把持部之后,如图14所不,第一输送单兀70沿Y方向移动至第一检查位置。该第一检查位置是第一升降机构72的把持部72a所把持的电子部件Ta以及第一升降机构74的把持部74a所把持的电子部件Tc配置于测试头83的检查用凹槽83a的正上方的位置。另外，以能够实现这样的配置方式为前提，输送单元70以及测试头83的在Y方向的览度构成为如下览度。即，将把持部72a所把持的电子部件Ta与把持部74a所把持的电子部件Tc之间的间隔设定为d2，将把持部73a所把持的电子部件Tb与把持部75a所把持的电子部件Td之间的间隔设定为d2。进而，输送单元70以及测试头83构成为:使得上述间隔d2与设置于测试头83的检查用凹槽83a的在Y方向上的两列之间的间隔d3相互相等。其次，如图15所示，通过驱动两个第一升降马达72M、74M，两个把持部72a、74a下降至借助第一升降马达72M、74M活动的活动范围的最下方位置。与此相对，通过驱动其他两个第一升降马达73M、75M，把持部73a、75a上升至借助第一升降马达73M、75M活动的活动范围的最上方位置。接着，如图16所示，通过驱动第二升降马达71M，第二升降机构71的下端部、即内置于该下端部的第一升降马达72M 75M下降至其活动范围的最下方位置。伴随于此，把持部72a 75a也一同下降，仅由两个把持部72a、74a所把持的电子部件Ta、Tc嵌入测试头83的检查用凹槽83a。进而，将电子部件Ta、Tc供给至测试器69以进行检查。此时，由于其他两个把持部73a、75a配置于比之前的把持部72a、74a的位置靠上方的位置，因此能够抑制由把持部73a、75a所把持的电子部件Tb、Td与测试头83或其周边的各种部件发生干涉的情况。在利用测试器69对电子部件Ta、Tc进行的检查结束后，通过驱动第二升降马达71M，第二升降机构71的下端部、即内置于该下端部的第一升降马达72M 75M上升。此外，第一输送单元70沿Y方向移动至第二检查位置。该第二检查位置是由第一升降机构73的把持部73a所把持的电子部件Tb以及由第一升降机构75的把持部75a所把持的电子部件Td配置于测试头83的检查用凹槽83a的正上方的位置。接着，如图17所示，通过驱动两个第一升降马达72M、74M，两个把持部72a、74a上升至其活动范围的最上方位置。与此相对，通过驱动其他两个第一升降马达73M、75M，其他两个把持部73a、75a下降至其活动范围的最下方位置。进而，通过驱动第二升降马达71M，第二升降机构71的下端部、即内置于该下端部的第一升降马达72M 75M下降至其活动范围的最下方位置，将由两个把持部73a、75a所把持的电子部件Tb、Td供给至测试器69以进行检查。这样，一个输送单元70具备四个把持部72a 75a，在供给由各把持部72a 75a所把持的电子部件T以进行检查时，把持作为检查对象的电子部件T的把持部下降，其余的把持部上升，以便相互邻接的把持部的升降状态相互不同。即，以使相互邻接的第一升降机构72 75的升降状态相互不同的方式驱动各第一升降马达72M 75M。因此，即便是在作为电子部件T的下降的目的地的、基台11上的部位隔开间隔地配置的情况下，只要如上所述使这样的间隔与一个第一升降机构的宽度相当，就能够使电子部件T 一次下降至作为这样的下降目的地的多个部位。因而，能够缩小每一个输送单元的、检查所需要的输送机会、输送距离，并能够缩小第一往复机构32与第二往复机构35之间的宽度W2。因此，在输送单元70向测试头83输送电子部件T的动作中，能够缩短该动作所需要的时间。另外，在利用第一输送单元70供给电子部件T以进行检查的期间，第二输送单元在进行检查后的电子部件T的排出与检查前的电子部件T的供给之后靠近第一输送单元70，然后，在第二输送单元的沿Y方向的活动范围中的最靠近第一输送单元70的位置待机。进而，在由第一输送单元70所把持的电子部件T的检查全部结束后，第一输送单元70与第二输送单元沿Y方向同步地移动，接着进行用于供给由第二输送单元所把持的电子部件以进行检查的动作。另外，在本实施方式中，若以使输送单元的各部的移动的轨迹形成弧形状的方式使输送单元的各部同时进行沿相互不同方向移动，则能够缩短输送单元的移动所耗费的时间。另外，在本实施方式中，一个输送单兀70具备四个把持部72a 75a和与这四个把持部72a 75a分别连结的第一升降机构72 75，但是也可以具备四个以上把持部以及与各把持部对应的第一升降机构。在该情况下，若以使相互邻接的第一升降机构的升降状态相互不同的方式驱动各第一升降部，则能够缩短输送单元向测试头83输送电子部件T的动作的输送距离以及输送时间。如以上说明的那样，根据本实施方式，除了上述的第一实施方式的(I) (5)的效果之外，还能得到以下的效果。(6)输送单元具备四个第一升降马达72M 75M，借助控制装置60的控制，以使相互邻接的第一升降机构72 75的升降状态相互不同的方式驱动第一升降马达72M 75M。因而，能够缩短向测试头83输送电子部件T的动作的输送距离以及输送时间。因此，能够高效地向测试头83输送电子部件T，进而，能够提高利用部件检查装置检查电子部件T的检
查效率。另外，上述的各实施方式也能够以下述方式适当地变更来实施。 测试头33、83中的检查用凹槽的个数、排列的方式、收纳于供给用往复托盘32a、82a以及回收用往复托盘35b、85b的电子部件T的个数、排列的方式并不限定于上述的各实施方式的情况，而是任意的。.输送单元的把持部所能够把持的电子部件T的个数可以是一个也可以是多个。并且，在把持部把持多个电子部件的情况下，把持部所把持的多个电子部件的配置的方式除了可以是多个电子部件排列成一列的方式以外，还可以是多个电子部件排列成矩阵状的方式。.并且，把持部所把持的电子部件T的个数、其排列的方式不受测试头33、83中的检查用凹槽的个数、其排列的方式、收纳于供给用往复托盘32a、82a以及回收用往复托盘35b,85b的电子部件T的个数、其排列的方式的限制。总而言之，只要是利用与多个把持部的每一个对应的多个第一升降马达分别使该把持部独立地升降的结构即可，把持部所把持的电子部件T的个数、其排列的方式是任意的。.第一升降马达、第一升降机构以及把持部也可以是一个能够更换的单元。由此，能够容易地调整把持部所把持的电子部件T的个数、间隔等，因此能够提高输送器的通用性。.在上述的各实施方式中，在第一升降机构的把持部的活动范围的最上位置、中间位置、最下位置三处位置进行第一升降机构的把持部的位置控制，但也可以在最上位置和最下位置两处位置进行。在该情况下，只要使输送单元中的全部的把持部的位置处于最上位置或者最下位置来进行电子部件T的供给以及排出即可。并且，在这样在两处位置进行把持部的位置控制的情况下，还可以利用气动缸等进行输送单元中的各部的沿Z方向的移动。.在上述的各实施方式中，具备两个相互不同的输送单元，但输送单元的个数也可以为一个，还也可以为三个以上。.在上述的各实施方式中，将输送器设置于部件检查装置，但并不局限于此，也可以将输送器设置于需要在基台上进行输送输送对象的动作的各种装置等。标号说明:
T、Ta、Tb、Tc、Td…电子部件；CL...供给用传送带；C2、C3、C4…回收用传送带；Cla…供给用传送带托盘；C2a、C3a、C4a…回收用传送带托盘；MA…输送马达；MC…传送带马达;MS…往复机构马达;MX…X轴马达；MY…Y轴马达；MZ…手马达；EMA、EMC、EMS, EMX、EMY、EMZ、E51M、E52M、E53M…编码器；SV1、SV2、SV3…吸引阀；DV1、DV2、DV3…泄压阀；10...输送器；11...基台；lla…搭载面；12...盖部件；20…供给机器人；21…供给侧固定引导件；22…供给侧活动引导件；23…供给用手单元；31…输送引导件；32…第一往复机构；32a、35a、82a、85a…供给用往复托盘；32b、35b、82b、85tr..回收用往复托盘；32c…第一往复机构引导件；33、83…测试头；33a、83a…检查用凹槽;34…第一输送单兀；35…第二往复机构；35c…第二往复机构引导件;36…第二输送单兀;40…回收机器人;41…回收侧固定引导件；42...回收侧活动引导件；43...回收用手单元；45...开口部；51、71…第二升降机构；51M、71M…第二升降马达；52、53、72、73、74、75…第一升降机构；52a、53a、72a、73a、74a、75a…把持部；52M、53M、72M、73M、74M、75M…第二升降马达；60…控制装置；61…传送带驱动部；62...Χ轴引导件驱动部；63...Υ轴引导件驱动部；64…手单元驱动部；64a…手马达驱动部；64b…阀驱动部；65…往复机构驱动部；66…输送单元驱动部；66a…输送马达驱动部；66b、66c…第一升降马达驱动部；66d…第二升降马达驱动部；66e、66f…阀驱动部；69…测 试器。
权利要求
1.一种输送器，其特征在于， 该输送器具备输送部，该输送部在基台上输送输送对象， 所述输送部具有: 多个第一升降部，该多个第一升降部与把持输送对象的把持部连结，并使该把持部相对于所述基台升降；以及 第二升降部，该第二升降部使连结于该第二升降部的所述多个第一升降部一起相对于所述基台升降。
2.根据权利要求1所述的输送器，其特征在于， 所述输送器具备控制部，该控制部对所述输送部的输送进行控制，在同一时刻， 所述控制部驱动所述多个第一升降部中的一部分下降，并驱动所述多个第一升降部中的除了所述一部分之外的、其余的第一升降部上升。
3.根据权利要求1或2所述的输送器，其特征在于， 所述输送器具备控制部，该控制部对所述输送部的输送进行控制， 所述输送部具备四个以上所述第一升降部， 所述控制部以使相互邻接的所述第一升降部的升降方向相互不同的方式驱动所述多个第一升降部。
4.根据权利要求1或2所述的输送器，其特征在于， 能够使通过驱动在所述第一升降部设置的第一升降马达而使所述第一升降部移动的时刻与通过驱动在所述第二升降部设置的第二升降马达而使所述第二升降部移动的时刻不同。
5.根据权利要求3所述的输送器，其特征在于， 能够使通过驱动在所述第一升降部设置的第一升降马达而使所述第一升降部移动的时刻与通过驱动在所述第二升降部设置的第二升降马达而使所述第二升降部移动的时刻不同。
6.根据权利要求1或2所述的输送器，其特征在于， 所述输送器具备: 控制部，该控制部对所述输送部的输送进行控制；以及 两个所述输送部， 直到利用一个所述输送部进行的将输送对象与该输送对象的连接对象连接的连接动作结束为止，所述控制部使另一个所述输送部与所述一个输送部邻接并且待机。
7.根据权利要求3所述的输送器，其特征在于， 所述输送器具备: 控制部，该控制部对所述输送部的输送进行控制；以及 两个所述输送部， 直到利用一个所述输送部进行的将输送对象与该输送对象的连接对象连接的连接动作结束为止，所述控制部使另一个所述输送部与所述一个输送部邻接并待机。
8.根据权利要求4所述的输送器，其特征在于， 所述输送器具备: 控制部，该控制部对所述输送部的输送进行控制；以及两个所述输送部， 直到利用一个所述输送部进行的将输送对象与该输送对象的连接对象连接的连接动作结束为止，所述控制部使另一个所述输送部与所述一个输送部邻接并待机。
9.根据权利要求5所述的输送器，其特征在于， 所述输送器具备: 控制部，该控制部对所述 输送部的输送进行控制；以及 两个所述输送部， 直到利用一个所述输送部进行的将输送对象与该输送对象的连接对象连接的连接动作结束为止，所述控制部使另一个所述输送部与所述一个输送部邻接并待机。
10.一种部件检查装置，其特征在于， 所述部件检查装置具备: 测试器，该测试器具有安装于基台的开口部的检查用插口 ；以及 至少一个输送部，该至少一个输送部在所述基台上将电子部件朝所述检查用插口输送， 所述输送部具有: 多个第一升降部，该多个第一升降部与把持电子部件的多个把持部的每一个连结，并使所述多个把持部的每一个相对于所述检查用插口升降；以及 一个第二升降部，该一个第二升降部与全部的所述多个第一升降部连结，并使所述多个第一升降部整体相对于所述检查用插口升降。
全文摘要
本发明提供一种输送器以及部件检查装置，该输送器具备至少一个输送部，该输送部在基台上输送输送对象，该输送部具有多个第一升降部，该多个第一升降部使把持输送对象的多个把持部的每一个升降；以及一个第二升降部，该一个第二升降部使上述多个第一升降部整体升降。在将输送对象与连接对象连接时，驱动上述多个第一升降部中的一部分下降，并驱动其余的第一升降部上升。
文档编号G01R31/00GK103076511SQ20121032355
公开日2013年5月1日 申请日期2012年9月4日 优先权日2011年9月7日
发明者藤森广明, 下岛聪兴, 长谷川信夫 申请人:精工爱普生株式会社
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