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专利名称：振动试验装置的制作方法
振动试验装置
技术区域
本发明涉及一种振动试验装置。
背景技术：
通常，机械产品、机械部件在运送以及使用时受到反复载荷的作用。有时受到反复载荷作用的物体会因疲劳而发生破损，或使形状、特性发生变化。为此，在开发机械产品和机械部件时，最好对试样(试验片)施加反复载荷来观察试样的表现。
为了达到这样的目的，使用了振动试验装置。振动试验装
置例如像日本特开2000 - 338010号公报中所述的装置那样，将工件(试验片)固定在工作台上，通过外部的驱动器(actuator )使该工作台沿l个轴，3个轴或6个轴方向进行振动。
在上述公报中公开了 一种将工作台叠加为三层且将工件固定于上层的工作台上的结构(第l结构)。在第l结构中，使下层的工作台沿上下方向进行振动，中层的工作台相对于下层的工作台沿左右方向进行振动，且上层的工作台相对于中层的工作台沿前后方向进行振动。在本结构中，当下层的工作台进行振动时，用于使中层和上层的工作台发生振动的驱动器也进行位移；当中层的工作台发生振动时，用于使上层的工作台振动的驱动器也进行位移。因此，能够不使多个驱动器间发生干涉地，使上层的工作台及固定于其上的试验片沿3个轴方向进行振动。
另外，在上述公报中，公开了振动试验装置的另一结构，即将多个驱动器安装到 一 个工作台上并能够使其沿6个轴方向进行振动(第2结构)。在第2结构中，通过使各驱动器可以某种程度的自由度进行位移(驱动器能够围绕某一轴进行转动),从而驱动器可以某种程度随着工作台的位移而联动。由此，能够不会使多个驱动器间发生干涉地，使工作台及安装于其上的试验片沿6个轴方向进行振动。
在上述第l结构中，由于用于使下层的工作台振动的驱动
器需要具有能够使3个工作台和其他2个驱动器也发生振动的动力(power ),因此存在需要使振动装置变得非常大型的问题。另外，构成为将用于使上层和中层的工作台发生振动的驱动器分别固定于中层以及下层的工作台上，且与工作台一起进行振动。因此，驱动器自身成为施加于工作台上的不平衡载荷，可能会使施加给工件的振动中含有由该不平衡载荷引起的误差成分。
另外，在第2结构中，当使各驱动器的摆动角度范围变大而超出几度左右时，会使驱动器之间发生干涉。因此，为了使工作台振动的振幅变大，需要使驱动器的驱动轴长度充分大，这将出现使装置大型化的问题。另外，因为驱动器自身也要进行转动，所以难以将使用了大重量伺服电动机的滚珠丝杠机构用作驱动器，可用的驱动器实际上只能限于液压驱动器和压电驱动器。另外，当驱动某一驱动器而使工作台进行位移时，会改变其他驱动器的驱动轴的方向(即坐标系发生变化)。因此，为了获得所期望的振动状态，必须考虑坐标系的变化来计算赋予各驱动器的参数。因此，在如第2结构那样的振动装置中，使用了用于高速运算赋予各驱动器的参数的处理器等，这样使装置的控制系统变得复杂。

发明内容
本发明是为解决上述问题而做成的。即，本发明目的在于提供一种能够无需使装置大型化、复杂化就能够使工作台以较 大的振幅进行振动的振动装置。
根据本发明的实施方式，提供一种振动试验装置，其具有 第l及第2驱动器，其能够使工作台分别沿相互正交的第l及第2 方向进行振动；第1连结部件，其能够使工作台相对于第l驱动 器沿第2方向滑动；第2连结部件，其能够使工作台相对于第2 驱动器沿第l方向滑动。
这样，在本发明的实施方式的振动试验装置中，各驱动器 可相对于工作台沿与该驱动器的振动方向正交的方向滑动。由 此，即使某一驱动器使工作台振动，工作台也会相对于其他驱 动器滑动，因此，其他驱动器也不发生位移，其他驱动器的振 动方向也不会发生变化。因此，在本发明中，各驱动器只要具 有能够使工作台和工件发生振动的动力即可。另外，根据本发 明，能够在不使驱动器发生转动的情况下使工作台进行振动， 因而即4吏驱动器的驱动轴4^交短也可4吏工作台以车交长的行程进4亍 振动。而且，某个驱动器不会影响其他驱动器的动作，因此， 无需使驱动器的控制系统复杂化就能够使工作台以所期望的振 幅、频率进行振动。因此，根据本发明，无需使装置大型化、 复杂化就能够使工作台以较大的振幅进行振动。
另外，本发明的实施方式的振动试验装置还具有第3驱 动器，其能够使工作台沿与第l及第2方向垂直的第3方向进行 振动；第3连结部件，其以使工作台可相对于第3驱动器沿第1 及第2方向滑动的方式将工作台与第3驱动器相连结；第l及第2 连结部件构成为以能够使上述工作台相对于第l及第2驱动器 分别沿第3方向滑动的方式将工作台与第l及第2驱动器相连 结，而实现能够沿三个轴方向进行振动的振动试验装置。
ii


图l是本发明的实施方式的振动试验装置的俯视图。
图2是从Y轴方向观察本发明的实施方式的第l驱动器的侧视图。
图3是本发明的实施方式的第l驱动器的俯视图。
图4是从X轴方向观察本发明的实施方式的工作台和第3驱动器的侧视图。
图5是从Y轴方向观察本发明的实施方式的工作台和第3驱动器的侧视图。
图6是本发明的实施方式的振动试验装置中的控制系统的方框图。
图7是本发明的实施方式的半刚性联轴器(semirigidcoupling )的剖视图。
图8是沿与导轨的长轴方向垂直的 一 平面来切断本发明的实施方式的滑块(runner block )以及导轨而形成的剖视图。
图9是图8的I - I的剖视图。
附图标记i兌明
1、振动试验装置；2、装置基座；100、工作台；200、第l驱动器；210、驱动才几构；212、伺ll电动机；216、轴承部；218、滚珠丝杠；219、滚珠形螺母；230、连结机构；231、中间台；231a、 Y轴滑块；231b、 Z轴滑块；232、螺母导向件；234、 Y轴导轨；235、 Z轴导轨；250、位置检测部件；260、联轴器；300、第2驱动器；400、第3驱动器；410、驱动机构；412、祠服电动机；416、轴承部；418、滚J朱丝杠；419、滚珠形螺母；430、连结机构；431、中间台；431a、 X轴滑块；431b、 Y轴滑块；432、可动框架；433、 Z轴滑块；434、 X轴导轨；435、 Y轴导轨；437、 Z轴导轨；460、联轴器；A、调节器
具体实施例方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。图l是本 发明的实施方式的振动试验装置的俯视图。本实施方式的振动
试验装置l将作为振动试验对象的工件固定于工作台ioo上，使 用第l、第2、第3驱动器200、 300、 400来使工作台IOO以及置 于其上的工件沿相互正交的3个轴方向进朽4展动。另外，在以 下的说明中，将由第1驱动器200使工作台100振动的方向(图l 中的上下方向)定义为X轴方向，将由第2驱动器300使工作台 IOO振动的方向(图l中的左右方向)定义为Y轴方向，且将由 第3驱动器400使工作台振动的方向即铅直方向(图l中与纸面 垂直的方向)定义为Z轴方向。
图6是本发明的实施方式的振动试验装置的控制系统的方 框图。在第l、第2、第3驱动器200、 300、 400中分别设有振 动传感器220、 320、 420。根据这些振动传感器的输出，控制 部件10对第1、第2、第3驱动器200、 300、 400 (具体是伺服 电动机212、 312、 412)进行反馈控制，能够使工作台100及 安装于其上的工件以所期望的振幅以及频率(通常将这些参数 作为时间函数进行设定)进行振动。
第l、第2、第3驱动器200、 300、 400通过将电动机、动 力传递构件等分别安装到基板202、 302、 402上而构成。该基 板202、 302、 402借助未图示的螺栓固定于装置基座2上。
另外，在装置基座2上，在接近基板202、 302、 402的多个 位置上配置有调节器A。调节器A具有由螺栓AB固定于装置 基座2上的内螺紋部A1、和螺合到该内螺紋部A1上的外螺紋部 A 2 。外螺紋部A 2是在圆筒面上形成有螺紋牙的圆柱状的构件， 将外螺紋部A 2卡合到形成于内螺紋部A1上的螺紋孔中并使其进行转动，由此能够使外螺紋部A2相对于对应的基板进退。外
螺紋部A2的一端(离所对应的基板近的一侧)形成为大致的滚
珠面状且与对应于该突出部的基板的侧面4氐4妄，由此能够对基
板的位置进行微调。另外，在外螺紋部A2的另 一端(离所对应的基板远的 一侧)，形成有未图示的六角扳手用的六角孑L 。另夕卜，一旦将基板202、 302、 402固定后，随即将螺母A3安装到外螺紋部A2上，以便使外螺紋部A2不会因振动试验而从基板传递到调节器A的振动等而发生松动。螺母A3以其一端面与内螺紋部Al抵接的方式来进行安装，从该状态将螺母A3拧进而将内螺紋部A1推入，使外螺紋部A2和内螺紋部A1受到轴向力的作用，利用该轴向力而在外螺紋部A2与内螺紋部Al间的螺紋牙产生摩擦力，借助该摩擦力使内螺紋部A1不会从外螺紋部A2松动。
接着，对第l驱动器200的构成进行说明。图2是从Y轴方向(从图l中的右侧向左侧)观察本发明的实施方式的第l驱动器200的侧一见图。该侧视图为显示内部构造而进行了局部剖。另外，图3表示将第l驱动器200的俯视图中的局部剖切后的内部构造。另外，在如下的说明中，将沿自第1驱动器200向工作台IOO的X轴的方向定义为"X轴正方向"，且将沿自工作台100向第l驱动器的X轴的方向定义为"X轴负方向"。
如图2所示，通过焊接，将由相互被焊接起来的多条梁222a和顶板222b构成的框架222固定在在基板202上。另外，借助未图示的螺栓，将用于使工作台IOO (图l)发生振动的驱动机构210、和用于支承连结机构230的支承机构240的底板242固定到框架222的顶板222b上，所述连结机构230用于将由驱动机构210产生的"^展动运动传递到工作台上。
驱动机构210具有伺服电动机212、联轴器260、轴承部216、滚珠丝杠218以及滚珠形螺母219。联轴器260将伺服电动机212的驱动轴212a与滚珠丝杠218连结起来。另外，轴承部 216由轴承支承板244进行支承，且轴承部216以可转动的方式 支承滚珠丝杠218,该轴承支承板244通过焊接而垂直地固定于 支承机构240的底板242上。滚珠形螺母219由轴承支承板244 以使滚珠形螺母219不绕其轴移动的方式支承，同时还与滚珠 丝杠218卡合。因此，当驱动伺服电动机212时，使滚珠丝杠旋 转，使滚珠形螺母219沿其轴向(即X轴方向)进退。借助连结 机构2 3 0将该滚珠形螺母219的运动传递到工作台10 0上，由此 工作台IOO沿X轴方向被驱动。并且，通过以较短的周期对伺服 电动机212的旋转方向进行切换来控制伺服电动机212，能够使 工作台IOO以所期望的振幅以及周期沿X轴方向进行振动。
在支承机构240的底板242的上表面上，以与底板242垂直 的方式焊接有电动机支承板246。在电动机支承板246的 一 个面 (X轴负方向侧的面)上，以驱动轴212a与电动机支承板246 相垂直的方式悬臂支承有伺服电动机212 。在电动机支承板2 4 6 上设置有开口部246a,使伺服电动机212的驱动轴212a穿过该 开口部246a,且在电动机支承板246的另 一面侧与滚珠丝杠218 连结。
另外，伺服电动机212被悬臂支承在电动机支承板246上， 因此在电动机支承板246上，特别是在其与底板242间的焊接部 施加有大的弯曲应力。为了緩冲该弯曲应力，在底板242与电 动机支承板246之间设置有肋248。
轴承部216具有以正面组合来组合的 一 对推力角接触滚珠 轴承216a、 216b ( 216a位于X轴负方向侧，216b位于X轴正方 向侧)。将推力角接触滚珠轴承216a、 216b收纳于轴承支承板 244的空心部之中。在推力角接触滚珠轴承216b的一面(X轴 正方向侧的一面)上设置有轴承压板216c,使用螺栓216d将该轴承压板216c固定于轴承支承板244上，由此将推力角接触滚 珠轴承216b向X轴负方向推。另外，在滚珠丝杠218中，在与 轴承部216的X轴负方向侧相邻的圆筒面上形成有螺紋部 218a。在该螺紋部218上安装了内周形成有内螺紋的轴环217。 通过使轴环217相对于滚珠丝杠218转动且沿X轴正方向移动， 将推力角接触滚珠轴承216a向X轴的正方向推。这样，将推力 角接触滚珠轴承216a和216b向相互靠近的方向推，因此，使两 者相互靠紧并将最适合的预加载荷施加于轴承216a、 216b。
接着，对连结部230的结构进行说明。连结部230具有螺 母导向件232、一对Y轴导轨234、一对Z轴导轨235、中间台231、 一对X轴导轨237、 一对X轴滑块233以及滑块安装构件238。
将螺母导向件232固定于滚珠形螺母219上。另外， 一对Y 轴导轨234是一起向Y轴方向延伸的导轨，且沿上下方向并列固 定于螺母导向件232的X轴正方向侧的端部。另外， 一对Z轴导 轨235是一起向Z轴方向延伸的导轨，且沿Y轴方向并列固定于 工作台IOO的X轴负方向侧的端部。中间台231是块状物，在其 X轴负方向侧的 一 面设置有与所述各Y轴导轨234卡合的Y轴滑 块231a、且在其X轴正方向侧的一面设置有与各Z轴导轨235卡 合的Z轴滑块231b,另外中间台231构成为能够在Y轴导轨234 和Z轴导轨235这两导轨上滑动。
即，中间台231可相对于工作台IOO沿Z轴方向滑动，并且 可相对于螺母导向件232沿Y轴方向滑动。因此，螺母导向件231 可相对于工作台IOO沿Y轴方向和Z轴方向滑动。因此，即使利 用其他的驱动器300及/或400使工作台IOO沿Y轴方向及/或Z轴 方向进行振动，也不会由此使螺母导向件232发生位移。即， 不会使因工作台100沿Y轴方向及/或Z轴方向进行位移而产生 的弯曲应力施加到滚^朱丝杠218、轴承216和联轴器260等上。一对X轴导轨2 3 7是 一 起向X轴方向延伸的导轨，且沿Y轴 方向并列固定于支承机构240的底板242上。X轴滑块233与所 述各X轴导轨237卡合，且能够沿X轴导轨237进行滑动。滑块 安装构件238是以向Y轴方向两侧延伸出的方式固定于螺母导 向件232的底面的构件，X轴滑块233固定在滑块安装构件238 的底部。这样，借助滑块安装构件238和X轴滑块233，将螺母 导向件232引导到X轴导轨237上，由此，使螺母导向件232可 只沿X轴方向进行移动。
这样，螺母导向件232的移动方向被限制在X轴方向，因此， 当驱动伺服电动机212来使滚珠丝杠218转动时，使螺母导向件 232及与该螺母导向件232卡合的工作台IOO沿X轴方向进行进 退。
在滑块安装构件238的Y轴方向侧的 一侧面(图2中跟前侧， 图3中右侧)238a上配置有位置检测部件250。位置检测部件 250具有沿X轴方向以 一 定间隔并列的3个接近传感器251 、 设置于滑块安装构件238的侧面238a上的检测用板252、以及用 于支承接近传感器251的传感器支承板253。接近传感器251是 可检测出是否有什么物体靠近各接近传感器的跟前(例如l毫 米以内)的元件。因为滑块安装构件238的侧面238a与接近传 感器251充分地离开，所以接近传感器251能检测出检测用板 252是否位于各接近传感器25l之前。振动试验装置1的控制部 件IO可利用例如接近传感器251的检测结果来对伺服电动机 212进行反馈控制(图6)。
另外，在支承机构240的底板242上，设置有以从X轴方向 两侧来夹持X轴滑块233的方式而配置的限制块236。该限制块 236用于限制螺母导向件232的移动范围。即，驱动伺服电动机 212来使螺母导向件232持续向X轴正方向移动时，最终，使配
17置于X轴正方向侧的限制块236与滑块安装构件238接触，使螺 母导向件232无法再向X轴正方向移动。在螺母导向件232持续 向X轴负方向移动的情况下，也同样使配置于X轴负方向侧的限 制块236与滑块安装构件238接触，由此使螺母导向件232无法 再向X轴负方向移动。
如上说明的第l驱动器200与第2驱动器300除了设置方向 不同(X轴与Y轴对调)这点之外具有相同的构造。因此，省略 了对第2驱动器300的详细说明。
接着，对本发明的实施方式的第3驱动器400的结构进行"i兌 明。图4是从X轴方向(从图l的下方向上方)观察工作台100 以及第3驱动器400的侧视图。该侧视图也是为显示内部构造而 进行了局部剖。另外，图5是从Y轴方向(从图l的左侧向右侧) 观察本发明的实施方式的工作台IOO和第3驱动器400的侧视 图。图5也是为显示内部构造而进行了局部剖。另外，在以下 的说明中，将沿自第2驱动器300向工作台IOO的Y轴的方向定 义为Y轴正方向，将沿自工作台100向第2驱动器300的Y轴的方 向定义为Y轴负方向。
如图4以及5所示，在基板402上设置有由沿铅直方向延伸 的多条梁422a 、和配置成从上方覆盖该多条梁422a的顶板 422b构成的框架422。各梁422a的下端焊接于基板402的上表 面上，各梁422a的上端焊接于顶板422b的下表面上。另外，借 助未图示的螺栓，将支承机构4 4 0的轴承支承板4 4 2固定在框架 422的顶板422b上。该轴承支承板442是用于分别支承驱动机构 410和连结机构430的构件，所述驱动机构410用于使工作台 IOO(图I)沿上下方向振动，所述连结机构430用于将由驱动 机构410驱动的振动运动传递到工作台上。
驱动机构410具有伺服电动机412、联轴器460、轴承部416、滚珠丝杠418以及滚珠形螺母419。联轴器460用于将伺 服电动机412的驱动轴412a与滚珠丝杠418连结起来。另外，轴 承部416纟皮固定于上述轴承支承板442上，且以可转动的方式来 支承滚珠丝杠418。滚珠形螺母419以不使其可绕其轴移动的方 式由轴承支承板442进行支承，同时与滚珠丝杠418卡合。因此， 当驱动伺服电动才几412时，4吏滚珠丝杠旋转，^f吏滚珠形螺母419 沿其轴向(即Z轴方向)进退。借助连结机构430,将该滚珠形 螺母419的运动传递到工作台IOO上，由此工作台IOO被沿Z轴 方向驱动。并且，通过以较短的周期对伺服电动机412的转动 方向进行切换来控制伺服电动机412,能够使工作台10 0以所期 望的振幅和周期沿Z轴方向(上下方向)进行振动。
借助2块连结板443,从支承机构440的轴承支承板442的下 面来固定沿水平方向(XY平面)扩展的电动机支承板446。在 电动机支承板446的下表面悬吊固定有伺服电动机412。在电动 机支承板446上设置有开口部446a，伺服电动机212的驱动轴 412a穿过该开口部446a，且在电动机支承板446的上表面侧与 滚珠丝杠418相连结。
另外，在本实施方式中，伺服电动机412的轴向(上下方 向，Z轴方向)的尺寸大于框架422的高度，因此使伺服电动机 412的大部分配置于低于基板402的位置上。因此，在装置基座 2，设置有用于收纳伺服电动机412的空洞部2a。另外，在基板 402上设置有用于伺服电动机412穿过的开口 402a。
轴承部416贯穿轴承支承板442地设置。另外，轴承部416 的构造与第1驱动器200中的轴承部216 (图2、图3)同样，因 此，省i咯了详细的i兌明。
接着，对连结部430的结构进行说明。连结部430具有可 动框架432、 一对X轴导轨434、 一对Y轴导轨435、多个中间台
19431、 二对Z轴导轨437以及二对Z轴滑块433。
可动框架4 3 2具有被固定于滚珠形螺母419的框部4 3 2 a 、 被固定于框部432a上端的顶板432b、以及以自顶板432b的X轴 方向两缘向下方延伸的方式固定的侧壁432c。 一对Y轴导轨435 是一起向Y轴方向延伸的导轨，且沿X轴方向并列固定于可动框 架432的顶板432b的上表面上。另外， 一对X轴导轨434是一起 向X轴方向延伸的导轨，且沿Y轴方向并列固定于工作台IOO的 下表面。中间台431是块状物，在上部设置有与X轴导轨434卡 合的X轴滑块431a,在下部设置有将与各Y轴导轨435卡合的Y 轴滑块431b，并且构成为能够在X轴导轨434和Y轴导轨435这 两导轨上滑动。另外，在X轴导轨434与Y轴导轨435相交叉的 每个位置上各设置一个中间台431。 X轴导轨434和Y轴导轨435 各设置有2条，因此，X轴导轨434与Y轴导轨435有4处交叉。 因而在本实施方式中，使用4个中间台431。
这样，各中间台431可相对于工作台100沿X轴方向滑动， 并且还可相对于可动框架432沿Y轴方向滑动。即，可动框架432 可相对于工作台IOO沿X轴方向和Y轴方向滑动。因此，即使由 其他驱动器200及/或300使工作台100沿X轴方向及/或Y轴方向 进行振动，由此也不会使可动框架432发生位移。即，因工作 台IOO沿X轴方向及/或Y轴方向进行位移而产生的弯曲应力不 会施加到滚珠丝杠418或轴承416、联轴器460等上。
另外，在本实施方式中，由于在可动框架432上支承有重 量较大的工作台IOO和工件，因此将X轴导轨434以及Y轴导轨 435的间隔设定得比第1驱动器200的Y轴导轨234和Z轴导轨 235更宽。因此，当与第l驱动器200同样构成为只由一个中间 台将工作台IOO与可动框架432连结起来时，会使中间台大型 化，且使施加于可动框架432上的载荷增大。因此，在本实施方式中，构成为在X轴导轨434与Y轴导轨435交叉的每个部分 配置小型中间台431,能够将施加于可动框架432上的载荷大小 抑制为必需的最低限度。
二对Z轴导轨437是向Z轴方向延伸的导轨，在可动框架432 的各侧壁432c上分别沿Y轴方向并列固定各一对。Z轴滑块433 与各该Z轴导轨437分别卡合，且能够沿Z轴导轨437滑动。借助 滑块安装构件438,将Z轴滑块433固定于冲匡架422的顶4反422b 的上表面上。滑块安装构件438整体形成为L字截面形状，其具 有与可动框架432的侧壁432c大致平行配置的侧板438a、和 固定于该侧板438a下端的底板438b。另外，在本实施方式中， 特别在将重心高且重量大的工件固定于工作台100上时，容易 将绕X轴及/或Y轴转动的大的力矩施加到可动框架432上。为 此，使用肋条来加固滑块安装构件438，以使其能承受该转动 力矩。具体来说，在由滑块安装构件438的Y轴方向两端的侧板 438a与底板438b形成的拐角处设置一对第l肋条438c,还设置 有搭在该一对第l肋条438c之间的第2肋条438d。
这样，Z轴滑块433被固定在框架422上，并且能够在Z轴导 轨437上进行滑动。因此，可动框架432能够沿上下方向滑动， 并且限制可动框架432向除上下方向以外的方向移动。这样， 将可动框架4 3 2的移动方向被限制仅为上下方向，因此，当驱 动伺服电动机412而使滚珠丝杠418转动时，则使可动框架432 以及与该可动框架4 3 2卡合的工作台10 0沿上下方向进退。
另外，在第3驱动器400中也设置有与第l驱动器200的位置 检测部件250(图2、 3)同样的位置检测部件(未图示)。根据 该位置检测部件的检测结果，振动试验装置1的控制部件10能 够将可动框架432的高度控制在规定的范围内(图6)。
如上所述，在本实施方式中，在驱动轴相互正交的各驱动器与工作台100之间设置有二对导轨和构成为能够在该导轨上 滑动的中间台。由此，相对于各驱动器，工作台100能够在与 其驱动器的驱动方向垂直的平面上的任意方向滑动。因此，即
使由某一驱动器使工作台IOO进行位移，也不会将因该位移产
生的载荷、力矩施加到其他驱动器上，并且借助中间台将其他
驱动器与工作台IOO保持为相互卡合的状态。即，即使工作台
在任意的位置进行位移，也能够将各驱动器保持为使工作台发
生位移的状态。因此，在本实施方式中，能够同时驱动3个驱 动器200、 300、 400来使工作台100和固定于其上的工件沿3个 轴方向进4于一展动。
接着，对联轴器260、 360以及460的构造进行说明。联轴 器260、 360具有与联轴器460同样的构造，在如下的说明中， 只对联轴器460进行说明，而省略了对联轴器260、 360的说明。 图7是表示联轴器460以及借助该联轴器460来相互连结的AC 祠月l电动才几412的马区动轴412 a和it玉朱丝4工418的轴部的》文大剖 视图。
如图7所示，联轴器460是由尼龙制的内环461、 一对杜拉 铝制的夕卜环462、 463以及将上述轮子连结起来的多个(在本实 施方式中设为6个)的螺栓464构成的半刚性联轴器。在内环461 的中央，将内部相互连通的圆孔461a、 461b设置在同轴上。将 圆孑L461a的内径i殳为可无间隙地插入AC伺月l电动才凡412的驱 动轴412a那样的大�。�将圆孔461b的内径设为可无间隙地插入 滚珠丝杠418的轴部那样的大小。另外，在本实施方式中，滚 珠丝杠418的轴部直径小于AC伺服电动机412的驱动轴412a， 因而圓孑L461b的夕卜径小于圆孔461a的夕卜径。
凸缘部4 61 c的两个面内侧分别形成有向轴方向延伸的锥部。各
22锥部的外侧面461d、 461e为越靠近轴方向顶端而外径越小的圆 锥状锥面。另外，在夹着内环461的一对外环462、 463的内侧， 分别形成有具有圆锥形状的内侧面462a、 463a的通孑L。夕卜环 462、 463以分另'H吏内侧面462a、 463a的锥面展开的方向朝向 内环侧的方式来进行配置。外环462、 463的锥形状的内侧面 462a、 463a分另ll具有与内环461的夕卜侧面461d、 461e相同的4焦 角。并且，以1"吏夕卜环462的内烦'J面462a与内3不461的夕卜，'J面461d 重合且夕卜J不463^j内烦'J面463a与内多不4616勺夕卜4则面461e重合6勺 方式，将形成于内环461的两端的锥部插入到外环462、 463的 通孑L中。
另外，在外环463的通孔的周围，使内螺紋463b等间隔地 形成于以通孔的轴线为中心的圆周上，所述内螺紋463b与形成 于螺栓464的顶端部的外螺紋卡合。另夕卜，在夕卜环462和内环461 的凸缘部461c上，在与外环463的内螺紋463b相对应的位置分 别形成有螺栓孔(圆孔)462b、 461f。 6条螺栓464 (图7中只 图示2条)穿过夕卜环462的螺栓孑L462b和内环461的螺栓孔461f 与夕卜环340的内螺紋464b进行卡合。
在将AC伺服电动机412的驱动轴412a的顶端a从下方插入 到内环461的圆孑L461a中、且将滚珠丝杠418的轴部的顶端从上 方插入到圆孔461b中之后，将螺栓464插入到螺栓孑L462b、 461f中，进而拧入到内螺紋464b中；贝'J由夕卜环462和夕卜环463 从两侧强力地夹着内环461,且使内环461的2个锥部分别4艮深 地嵌入到外环462、 4623的通孔中。因此，根据榫接的原理， 使较强的侧压分另'J从内环461的圆孑L 461 a、 46lb施力口到AC伺服 电动机412的驱动轴412a和滚珠丝杠418的轴部上。因此，在圓 孑L461a、 461b与马区^力寿由412a、 5哀J朱丝4工418之间分另ll产生非常 强的摩擦力，借助内环461使驱动轴412a与滚珠丝杠418连结成一体。
如图7所示，外环452与外环463之间只由作为粘弹性体的 尼龙树脂形成的内环461进行支承。另外，如图7所示，在联轴 器460中，使AC伺服电动机412的驱动轴412a的顶端与滚珠丝 杠418的轴部的顶端隔开微小(例如大约l毫米)的间隔进行连 结。因此，在受到来自电动机的使轴压缩的方向的作用力的情 况下，会使内环发生弹性变形，并使该驱动轴412a与滚珠丝杠 418的间隔变窄，由此将轴向的作用力吸收到联轴器460内，能 够使传递到滚珠丝杠侧的轴向的作用力大幅衰减。在本实施方 式中，在振动试验中的测定频率区域内进行比较时，内环461 的振动衰减率在驱动轴412a的固有振动频率下大致最大。据 此，有效地J吏驱动轴412a的轴向或轴的径向上的才展动衰减。另 外，驱动轴412a的固有振动频率的内环461的振动衰减率不必 在测定频率区域中大致最大，但优选至少大于测定频率区域中 的频率平均值。
另一方面，如上所述，4吏AC伺月良电动才几412的驱动轴412a 的顶端与滚珠丝杠418的轴部的顶端的间隔较小为l毫米左右， 而且使各轴的顶端的整个圆周与内环成一体化。因此，在扭转 方向上进行充分的刚性连结，能无间隙(backlash)地将AC 伺月良电动机412的驱动轴412a的旋转驱动准确地传递到滚珠丝 杠418上。
在本实施方式中，如上所述，在驱动器200、 300、 400与 工作台IOO之间，设置有具有将导轨与滑块组合起来的导向机 构的连结部。另外，在驱动器200、 300、 400中设置有同样的 导向机构，该导向机构用于引导各驱动器的滚珠丝杠机构的螺 母。使用附图，对这些导向机构的结构进行详细说明。另外， 虽然以下的说明是针对由第3驱动器400的Z轴滑块433和Z轴导轨437构成的导向机构(图5)，但是其他导向机构也具有同 样的结构。
图8是沿与导轨437的长轴方向垂直的一平面将滑块433以 及导轨437截断的剖视图，图9是图8的I - I的剖视图。如图8 以及图9所示，在滑块433上形成有围着导轨437的凹部，在该 凹部中形成有沿导轨435的轴向延伸的4条槽433a、 433a'。在 该槽433a、 433a'中收纳有多个不锈钢制的滚珠433b。在导轨 437上，在与滑块433的槽433a、 433a'相对的位置上分别设置 有槽437a、 437a',滚珠433b被夹在槽433a与槽437a之间或槽 433a'与槽437a'之间。槽433a、 433a', 437a、 437a'的截面形 状为圆弧状，其曲率半径与滚珠433b的半径大致相等。因此， 使滚珠433b以几乎无游隙的状态与槽433a、433a',437a、437a' 紧密接触。
在滑块433的内部，分别设置有4条与各槽433a大致平行的 滚珠退避路径433c。如图8所示，槽433a与退避路径433c在各 自的两端借助U字路径433d而相互连接起来，槽433a、槽437a、
环路径。退避路径433c和槽433a'、 437a'也形成有同样的循环路径。
因此，当滑块433在导轨437上进行移动时，使多个滚珠 433b在槽433a、 433a'， 437a、 437a'上进行滚动，同时在循环 路径上进行循环。因此，即使向导轨轴向以外的方向施加大的 载荷，也可由多个滚珠来支承滑块，并且使滚珠433b滚动，由 此将导轨轴方向的阻力保持为较�。�因此，能够使滑块433顺 利在导轨437上移动。另外，退避路径433c和U字路径433d的 内径稍大于滚珠433b的直径，退避路径433c以及U字路径433d 与滚珠433b之间产生的摩擦力极�。�因而不会对滚珠433b的循
25环造成妨碍。
如图8所示，被夹在槽433a与槽437a之间的二歹'J滚珠433b 的列形成接触角大致为45。的正面组合型的推力角接触滚珠轴 承。此时的接触角是指将槽4 3 3 a以及槽4 3 7 a与滚珠4 3 3 b相接 触的接触点彼此连结起来的连线、与线性导向件的径向(从滑 块向导轨的方向)形成的夹角。这样形成的推力角接触滚珠轴 承能够支承径向相反的方向(从导轨向滑块的方向)和横向(与 径向和滑块的进退方向这两方向同时正交的方向，即图中的左 右方向)的载荷。
同才羊， 一皮夹在冲曹433a'与冲曹437a'之间的二歹'J ;^表J朱433b的歹'J 形成有接触角(将槽433a'以及槽437a'与滚珠433b接触的接触 点彼此连结起来的连线与线性导向件的径向相反方向形成的夹 角)为45。的正面组合型的推力角接触滚珠轴承。该推力角接触 滚珠轴承能够支承径向和横向的载荷。
另外，分另'H皮夹在槽433a和槽437a当中的一条槽(图中左 侧)与槽433a'和槽437a'当中的一条槽(图中左侧)之间的二 列滚珠4 3 3b的列也形成有正面组合型的推力角接触滚珠轴承。 同样分别被夹在槽433a和槽437a当中的另一条槽(图中左侧) 与槽433a'和槽437a'当中的另一条槽(图中左侧)之间的二列 滚珠433b的列也还形成有正面组合型的推力角接触滚珠轴承。
这样，在本实施方式的导向机构中，由正面组合型的推力 角接触滚珠轴承对分别作用于径向、径向相反方向、横向的载 荷进行支承，从而能够对作用于导轨轴向以外的方向上的大载 荷进行充分的支承。
如上所述，本实施方式的振动试验装置具有能够使工作 台分别沿相互正交的第1及第2方向(X轴及Y轴方向)进行振动 的第l及第2驱动器、能够使工作台相对于第l驱动器沿第2方向进行滑动的第l连结部件、以及能够使工作台相对于第2驱动器 而沿第l方向进行滑动的第2连结部件。
在上述振动试验装置中，各驱动器可相对于工作台沿与其 驱动器的振动方向正交的方向进行滑动。由此，即使由某一驱 动器使工作台发生振动，工作台也可相对于其他驱动器而滑动， 因此，既不会使其他驱动器发生位移，也不会使其他驱动器的 振动方向发生变化。因此，在本发明中，只要各驱动器具有能 够使工作台和工件发生振动的动力即可。另外，根据本发明， 能够不使驱动器发生转动地使工作台进行振动，因而即使驱动 器的驱动轴较短也可使工作台以较长的行程进行振动。另外， 因为某 一驱动器不会影响其他驱动器的动作，所以不使驱动器 的控制系统复杂化就能够使工作台以所期望的振幅和频率进行 振动。因此，根据本发明，无需使装置大型化、复杂化就能够 使工作台以较大的振幅进行振动。
另外，在本实施方式的构成中，如上所述不会使驱动器发 生位移和转动，因此，驱动器容易采用以伺服电动机驱动的滚 珠丝杠机构。滚珠丝杠机构在液压驱动器中不会发生成为问题 的漏油现象，而且能够使工作台以远远大于压电驱动器的行程 进行振动。
用于将伺服电动机的转轴与上述滚珠丝杠 一几构的滚珠丝杠 连结起来的联轴器还优选这样的结构的半刚性联轴器，即构成 为无间隙、沿弯曲方向具有挠性且能够阻碍电动机的驱动轴的 延长方向上的振动传递。根据该结构，具有高响应性地驱动进 给螺杆，并且即使多少存在轴偏移也不会产生极大的内部应变 而能够顺利地进行驱动，进而能够阻断电动机的驱动轴方向上 的振动。
半刚性联轴器优选具有由树脂或橡胶制成的粘弹性构件。另外，半刚性联轴器构成为，伺服电动机的驱动轴的振动的衰 减率在驱动轴的固有振动频率下最大。根据这样的构成，利用 半刚性联轴器内的粘弹性构件能够有效地使来自电动机的借助 驱动轴传递的轴向或轴的径向上的振动衰减，且使这样的振动 几乎不传递到输出侧。
另外，优选半刚性联轴器具有作为刚体构件的一对外环、
和配置于该一对外环之间的包括弹性部件或粘弹性构件的内
环。在外环的中心形成有锥孔，内环的中心形成有供与该内环
连结的轴穿通的圆柱状通孔。另外，在内环外周的轴向的两端
形成有能够分别与一对外环的锥孔的内周配合的锥面。将进给 螺杆和伺服电动机的驱动轴分别插入到内环的通孔中，使一对
外环的锥孔的内周与内环的锥面抵接，并使用螺栓将该一对外 环相互固定起来，由此借助内环连结轴。根据这样的构成，能 以极其简单的结构来实现如下的半刚性联轴器能以高响应性 来传递轴输出，并且能够吸收轴向的振动。
另外，以使滚珠丝杠机构的螺母只能够沿滚珠丝杠的轴向 移动的方式来引导螺母的导向机构具有固定于振动试验装置 的框架上的第l部分、和固定于螺母上的第2部分，第l部分和 第2部分当中的一方具有导轨，而另一方具有与导轨卡合且能 够沿该导轨移动的滑块，优选滑块具有如下的结构凹部，其 围着导轨；槽，其在凹部内沿滑块的移动方向形成；退避路径， 其形成于滑块的内部，且以与槽形成闭合回路的方式与槽的移 动方向两端相连；多个滚珠，其在闭合回路中进行循环，且在 位于槽中时与导轨进行抵接。并且，在滑块中形成有4条上述 闭合回路，优选具有如下的结构使分别配置于该4条闭合回 路中的2条闭合回路的槽内的滚珠具有与线性导向件的径向形 成大致土45度的接触角，分别配置于另外2条闭合回路的槽内的滚珠具有与导向机构的径向相反方向形成大致± 45度的接触角。
这样构成的导向才几构即使在其径向、径向相反方向以及才黄 向上分别施加了第载荷，也可使滑块沿导轨顺利地进行移动。 并且，可利用这样的导向机构对螺母进行引导，因此，即使在 振动装置的工作台上安装有重量大的工件来进行振动的情况 下，也不会使进给螺杆机构的螺母发生松动，且能够顺利地沿 导轨进行移动。
另外，优选第l及第2连结部件分別具有配置在对应于工作 台的驱动器之间的中间台；第l连结部件的中间台可只沿与第1 方向垂直的一个方向相对于工作台滑动，并且还可只沿与该一 个方向和第1方向这两方向均垂直的方向相对于第l驱动器滑 动；第2连结部件的中间台可只沿与第2方向垂直的 一 个方向相 对于工作台滑动，并且还可只沿与该 一 个方向和第2方向这两 方向均垂直的方向相对于上迷第2驱动器滑动。
在此，例如第l连结部件的中间台可相对于上述工作台和 第l驱动器滑动当中的两滑动方向的 一 方向为第2方向，第2连 结部件的中间台能够进行相对于工作台和第2驱动器滑动的两 滑动方向的一方向为第l方向。
另外，为了使中间台可相对于工作台滑动，例如，优选在 工作台和中间台中的一个台上设置有沿中间台可相对于工作台 滑动的方向延伸的至少l条导轨，并且在工作台和中间台当中 的另一个台上设置有与导轨卡合的滑块。另外，为了使中间台 可相对于驱动器滑动，例如，优选在中间台和所对应的驱动器 当中的一个上设置有沿中间台可相对于所对应的驱动器滑动的 方向延伸的至少l条导轨；并且在中间台和所对应的驱动器当 中的另 一个上设置有与导轨卡合的滑块。另外，工作台与中间台、及/或中间台与驱动器也可以构成 为由相互平行配置的多条导轨和滑块连结起来。根据这样的构 成，当驱动器使工作台产生振动时，在工作台与中间台之间、 以及中间台与驱动器之间几乎不会产生绕着振动方向的旋转力 矩。结果容易获得所期望的振动状态。
另外，滑块也可以具有如下的构件凹部，其围着导轨； 槽，其在凹部内沿滑块的移动方向而形成；退避路径，其形成 于滑块的内部，且以与槽形成闭合回路的方式与槽的移动方向 两端相连；多个滚珠，其在闭合回路中进行循环，且在位于槽 中时与导轨进行抵接。另外，在滑块中形成4条所述的闭合回 路，优选具有如下的构成使分别配置于该4条闭合回路当中 的2条闭合回路的槽内的滚珠具有与设有导轨和滑块的导向机 构的径向形成大致± 45度的接触角，分别配置于另外2条闭合 回^各的槽内的滚J朱具有与导向才几构的径向相反方向形成大致± 45度的接触角。
这冲羊构成的导向片几构即《吏在其径向、径向相反方向以及片黄 向施加有第载荷，也可使滑块沿导轨顺利地进行移动。并且， 利用这样的导向机构来引导中间台，因此即使在振动装置的工 作台上安装有重量大的工件来进行振动的情况下，也可使中间 台不发生松动地沿导轨顺利地进行移动。
另外，本实施方式的振动试验装置具有使工作台沿与第 l及第2方向两方向垂直的第3方向(Z轴方向)进行振动的第3 驱动器、和使工作台相对于第3驱动器沿第l及第2方向滑动地 连结的第3连结部件；第l及第2连结部件构成为能够分别使上 述工作台相对于第l及第2驱动器沿第3方向滑动地连结。根据 该构成，能够实现可沿三个轴方向振动的振动试验装置。
权利要求
1.一种振动试验装置，包括工作台，其用于安装工件；第1驱动器，其能够使上述工作台沿第1方向进行振动；第2驱动器，其能够使上述工作台沿与上述第1方向正交的第2方向进行振动；第1连结部件，其以能够使上述工作台相对于上述第1驱动器沿第2方向滑动的方式将上述工作台与上述第1驱动器相连结；第2连结部件，其以能够使上述工作台相对于上述第2驱动器沿第1方向滑动的方式将上述工作台与上述第2驱动器相连结。
2. 根据权利要求l所述的振动试验装置，其特征在于，上 述第l及第2驱动器分别具有伺服电动机、和将上述伺服电动机的旋转运动转换为沿第l或第2方向 的平移运动的滚J朱丝4工4几构。
3. 根据权利要求2所述的振动试验装置，其特征在于， 该振动试验装置还具有将上述伺服电动机的转轴与上述滚珠丝杠机构的滚珠丝杠连结起来的联轴器，上述联轴器构成为无间隙且沿转轴的弯曲方向具有挠性， 并能够阻碍上述电动机的驱动轴方向的振动的传递。
4. 根据权利要求3所述的振动试验装置，其特征在于，上 述半刚性联轴器包括粘弹性构件。
5. 根据权利要求4所述的振动试验装置，其特征在于，上 述粘弹性构件的至少 一部分由树脂形成。
6. 根据权利要求4所述的振动试验装置，其特征在于，上 述粘弹性构件的至少 一部分由橡胶形成。
7. 根据权利要求3所述的振动试验装置，其特征在于，上 述半刚性联轴器构成为上述伺服电动机的驱动轴方向的振动的 衰减率在该驱动轴的固有振动频率下大致最大。
8. 根据权利要求3所述的振动试验装置，其特征在于，上 述半刚性联轴器具有一对外环，其是在中心贯穿形成有锥孔的刚体构件； 内环，其由弹性构件或粘弹性构件构成，被配置于上述一 对外环之间，在中心形成有供与该内环连结的轴穿过的圆柱状 通孔，在外周的轴方向两端形成有能够分别与上述一对外环的 锥孔的内周配合的锥面；将上述滚珠丝杠和上述伺服电动机的驱动轴插入到上述内 环的通孔中，j吏上述一对外环的锥孔的内周与上述内环的锥面 抵接，通过使用螺栓将上述一对外环相互固定而借助内环连结 轴。
9. 根据权利要求2所述的振动试验装置，其特征在于，以使上述滚珠丝杠机构的螺母只能够沿上述滚珠丝杠的轴 向移动的方式来引导该螺母的导向机构具有被固定于上述振 动试验装置的框架上的第l部分、和被固定于该螺母的第2部 分，上述第1部分和第2部分中的一方具有导轨，并且另一方具 有能够与上述导轨卡合而沿该导轨移动的滑块， 上述滑块具有 凹部，其围着上述导轨；槽，其在上述凹部中沿上述滑块的移动方向形成； 退避路径，其形成于上述滑块的内部，且以与上述槽形成 闭合回3各的方式与上述槽的上述移动方向两端相连；多个滚珠，其在上述闭合回路中进行循环，并且在位于上述槽中时与上述导轨抵接。
10. 根据权利要求9所述的振动试验装置，其特征在于，上述滑块形成有4条上述闭合回3各，滚珠具有与导向机构的径向形成大致土45度的接触角，分别配 置于其他2条闭合回路的槽中的滚珠具有与上述导向机构的径 向相反方向形成大致± 45度的接触角。
11. 根据权利要求l所述的振动试验装置，其特征在于， 上述第l及第2连结部件分别具有配置于上述第l及第2驱动器与上述工作台之间的中间台，上述第l连结部件的中间台可只沿与该第1方向垂直的一 个方向相对于上述工作台滑动，并且可只沿与该一个方向和该 第1方向这两方向垂直的方向相对于上述第1驱动器滑动，上述第2连结部件的中间台可只沿与该第2方向垂直的一 个方向相对于上述工作台滑动，并且可只沿与该一个方向和该 第2方向这两方向垂直的方向相对于上述第2驱动器滑动。
12. 根据权利要求ll所述的振动试验装置，其特征在于， 上述第l连结部件的中间台可相对于上述工作台和上述第l驱动器滑动的两滑动方向的 一 方向为第2方向，上述第2连结部件的中间台可相对于上述工作台和上述第 2驱动器滑动的两滑动方向的 一方向为第l方向。
13. 根据权利要求ll所述的振动试验装置，其特征在于， 在上述工作台和上述中间台中的一个台上设置有沿中间台可相 对于上述工作台滑动的方向延伸的至少l条导轨，并且在上述 工作台和上述中间台中的另 一个台上设置有与上述导轨卡合的 滑块。
14. 根据权利要求13所述的振动试验装置，其特征在于，借助相互平行配置的多条导轨和与上述多条导轨分別卡合 的多个滑块，将上述工作台与上述中间台以能够滑动的方式连 结起来。
15. 根据权利要求13所述的振动试验装置，其特征在于， 上述滑块具有凹部，其围着上述导轨；槽，其在上述凹部中沿上述滑块的移动方向形成； 退避路径，其形成于上述滑块的内部，且以与上述槽形成 闭合回3各的方式与上述槽的上述移动方向两端相连；多个滚珠，其在上述闭合回路中进行循环，且在位于上述槽中时与上述导轨抵接。
16. 根据权利要求15所述的振动试验装置，其特征在于， 在上述滑块中形成4条上述闭合回路，滚珠具有与设有上述导轨和上述滑块的导向机构的径向形成大 致土45度的接触角，分别配置于另外2条闭合回路的槽内的滚 珠具有与上述导向机构的径向相反方向形成大致± 45度的接触角。
17. 根据权利要求ll所述的振动试验装置，其特征在于， 在上述中间台和所对应的驱动器中的一方上设置有沿上述中间台可相对于上述对应的驱动器滑动的方向延伸的至少l条 导轨，在上述中间台和所对应的驱动器当中的另一方上设置有与 上述导轨卡合的滑块。
18. 根据权利要求17所述的振动试验装置，其特征在于， 借助相互平行配置的多条导轨和分别与上述多条导轨卡合的多 个滑块，将上述中间台与所对应的驱动器以能够滑动的方式连结起来。
19.根据权利要求17所述的振动试验装置，其特征在于，上述滑块具有凹部，其围着上述导轨；槽，其在上述凹部中沿上述滑块的移动方向形成； 退避路径，其形成于上述滑块的内部，且以与上述槽形成闭合回的方式与上述槽的上述移动方向两端相连；多个滚珠，其在上述闭合回路中进行循环，且在位于上述槽中时与上述导轨抵接。
20. 根据权利要求19所述的振动试验装置，其特征在于， 在上述滑块中形成4条上述闭合回路，滚珠具有与设有上述导轨和上述滑块的导向机构的径向形成大 致± 45度的接触角，分别配置于另外2条闭合回路的槽内的滚 珠具有与上述导向机构的径向相反方向形成大致± 45度的接触角。
21. 根据权利要求l所述的振动试验装置，其特征在于， 该振动试验装置具有能够使上述工作台沿与第l及第2方向两方向垂直的第3方 向进行振动的第3驱动器、和以能够使上述工作台相对于上述第3驱动器沿第1及第2 方向滑动的方式来将上述工作台与上述第3驱动器相连结的第 3连结部件，第l及第2连结部件以能够使上述工作台相对于第l及第2 驱动器而沿第3方向滑动的方式来分別将上述工作台与第l及 第2驱动器相连结。
22. 根据权利要求21所述的振动试验装置，其特征在于，上述第3驱动器利用伺服电动机驱动滚珠丝杠机构来使上述工 作台进行振动。
23. 根据权利要求21所述的振动试验装置，其特征在于， 上述第3连结部件具有配置于上述第3驱动器与上述工作台之间的中间台，上述第3连结部件的中间台可只沿与该第3方向垂直的一 个方向相对于上述工作台滑动，并且可只沿与该一个方向和该 第3方向这两方向垂直的方向相对于上述第1驱动器滑动。
24. 根据权利要求23所述的振动试验装置，其特征在于， 上述第3连结部件的中间台可相对于上述工作台以及上述第l驱动器滑动的两滑动方向是所述的第l及第2方向。
25. 根据权利要求23所述的振动试验装置，其特征在于， 在上述工作台和上述中间台当中的一方上设置有沿上述中间台可相对于上述工作台滑动的方向延伸的至少l条导轨，在上述工作台和上述中间台当中的另一方上设置有与上述 导轨卡合的滑块。
26. 根据权利要求25所述的振动试验装置，其特征在于， 借助相互平行配置的多条导轨和分别与上述多条导轨卡合的多 个滑块，将上述工作台与上述中间台以能够滑动的方式连结起 来。
27. 根据权利要求23所述的振动试验装置，其特征在于， 在上述中间台和所对应的驱动器当中的一方上设置有沿上述中间台可相对于上述对应的驱动器滑动的方向延伸的至少1 条导轨，在上述中间台和所对应的驱动器当中的另 一方上设置有与 上述导轨卡合的滑块。
28. 根据权利要求27所述的振动试验装置，其特征在于，借助相互平行配置的多条导轨和分别与上述多条导轨卡合的多 个滑块，将上述中间台与所对应的驱动器以能够滑动的方式连 结起来。
29.根据权利要求23所述的振动试验装置，其特征在于， 上述第3方向为铅直方向，上述第3驱动器具有多个中间台。
全文摘要
本发明提供一种用于使固定有试验片的工作台进行振动的振动试验装置，其具有第1及第2驱动器，其能够使工作台分别沿相互垂直的第1及第2方向进行振动；第1连结部件，其能够使工作台相对于第1驱动器沿第2方向滑动；第2连结部件，其能够使工作台相对于第2驱动器沿第1方向滑动。振动试验装置优选具有能够使工作台沿与第1及第2方向两方向垂直的第3方向进行振动的第3驱动器、和以能够使工作台相对于第3驱动器沿第1及第2方向滑动的方式来将工作台和第3驱动器连结的第3连结部件，第1及第2连结部件以能够使上述工作台相对于第1及第2驱动器沿第3方向滑动的方式来分别将工作台和第1及第2驱动器相连结。
文档编号G01M7/02GK101542260SQ20088000028
公开日2009年9月23日 申请日期2008年7月18日 优先权日2007年7月19日
发明者宫下博至, 村内一宏, 松本繁, 长谷川正伸 申请人:国际计测器株式会社