专利名称：基板两面自动检查机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及检查印刷电路板等基板的外观的基板两面自动检查机。
背景技术：
以往，利用拍摄印刷电路板等基板的外观图像并通过图像解析来判别基板的良莠的基板的外观自动检查装置。作为这样的外观自动检查装置，提出了如下的方法一边输送检查对象基板一边从分别不同的方向用多个摄像机拍摄两个面的方法，或者通过在输送过程中翻转检查对象基板，从而从相同的方向用多个摄像机拍摄两个面的方法等。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2007-67102号公报专利文献2 :日本特开2004-361178号公报但是，在一边输送基板一边拍摄基板两面的方法中，基板的移动距离长，其结果，存在导致外观自动检查装置大型化的问题。此外，作为谋求外观自动检查装置小型化的方法，也考虑不输送基板而是当场对每张基板的每个面进行拍摄从而进行检查的方法。但是，在该情况下，由于对每个面进行拍摄，因此在进行基板两面的检查时，需要翻转基板来进行拍摄，由于对每张基板进行该操作，因此拍摄耗费时间，结果，整体的处理时间变长。此外，虽然也考虑不进行翻转而当场用多个摄像机从基板两侧对两面同时进行拍摄，但该情况下，虽能谋求所需时间的缩短，但比较有限，期待进一步缩短处理时间。
实用新型内容因此，本实用新型是着眼于上述问题点而做成的，其目的在于提供一种能够谋求基板两面自动检查机的小型化并谋求整体处理时间的缩短的基板两面自动检查机。本实用新型的一个技术方案是基板两面自动检查机，其特征在于，该基板两面自动检查机包括用于载置基板的第一检查台和第二检查台；用于对载置在所述第一检查台上的基板和载置在所述第二检查台上的基板进行拍摄的拍摄部(例如对应于图1的摄像机14a、14b);用于将检查对象基板逐张地载置在所述第一检查台上的基板载置部(例如对应于图1的加载器11);将载置在所述第一检查台上的基板翻转移动到所述第二检查台上的翻转移动部(例如对应于图1的第一检查台12a和转动电机12c);将载置在所述第二检查台上的基板从所述第二检查台去除的基板去除部(例如对应于图1的卸载器13);控制所述基板载置部、所述翻转移动部以及所述基板去除部而控制所述基板的移动定时、并且控制所述拍摄部的拍摄定时的控制部(例如对应于图1的驱动控制部15a);以及基于由所述拍摄部拍摄的所述检查对象基板的图像的信息对该基板进行检查的基板检查部(例如对应于图1的检查部15b)。[0012]所述控制部也可以重复执行如下处理将所述第二检查台上的基板去除之后，将所述第一检查台上的基板翻转移动到所述第二检查台上，在将作为检查对象的下一个基板载置到所述第一检查台上之后，启动所述拍摄部。该基板两面自动检查机也可以包括临时存储所述拍摄部所拍摄的图像的信息的暂存存储器，所述基板检查部将存储在所述暂存存储器中的、一个拍摄定时的与所述第二检查台上的基板相对应的图像信息和在所述一个拍摄定时之前一个拍摄定时拍摄的与所述第一检查台上的基板相对应的图像的信息作为对应于同一基板的图像信息来对该基板进行两面检查。根据本实用新型，由于采用将第一检查台上的基板翻转移动到第二检查台上的结构，因此能够缩短基板的伴随检查而进行的移动范围，因此能够谋求基板两面自动检查机整体的小型化。由于采用同时对第一检查台12a和第二检查台12b上的两个基板的基板面进行拍摄的结构，因此能够缩短对检查对象基板整体进行拍摄所需要的所需时间。
图1是示意地表示本实用新型的一个实施方式的基板两面自动检查机的一例的结构图。图2是用于本实用新型的动作说明的说明图。图3是表示驱动控制部的处理步骤的一例的流程图。图4的(a) 图4的(e)是用于本实用新型的动作说明的工序图的一例。图5的(a) 图5的(e)是图4的接续。图6的(a) 图6的(d)是图5的接续。
具体实施方式
以下，参照附图说明本实用新型的实施方式。在以下的说明所参照的各图中，通过同一符号表示与其他图同等的部分。图1是示意地表示本实施方式的基板两面自动检查机I的一例的结构图。如图1所示，基板两面自动检查机I包括加载器11、翻转吸附摄像台12、卸载器
13、例如由线传感器摄像机构成的摄像机14a和14b、控制这些各个设备的控制装置15。加载器11例如由吸盘等构成，包括用于保持基板的基板保持部11a、用于支承该基板保持部Ila并使该基板保持部Ila向X轴方向以及与X轴垂直的Z轴方向移动的移动支承部lib。移动支承部Ilb使基板保持部Ila沿着在Z轴方向上延伸的引导件IlZ在Z轴方向上移动，同时使引导件IlZ沿着在X轴方向上延伸的引导件IlX移动，从而在由引导件IlX和IlZ确定的平面内进行基板保持部Ila的定位。然后，通过进行基板保持部Ila对基板的保持和非保持的控制、以及移动支承部Ilb对基板保持部Ila的位置控制，将被载置在设于翻转吸附摄像台12的第一检查台12a侧的肋部的检查前基板的载置区域中的基板逐张地向翻转吸附摄像台12的第一检查台12a上移动。同样，卸载器13例如由吸盘等构成，包括用于保持基板的基板保持部13a、用于支承该基板保持部13a并使该基板保持部13a向X轴方向以及与X轴垂直的Z轴方向移动的移动支承部13b。移动支承部13b使基板保持部13a沿着在Z轴方向上延伸的引导件13Z移动，同时使引导件13Z沿着在X轴方向上延伸的引导件13X移动，从而在由引导件13X和13Z确定的平面内进行基板保持部13a的定位。然后，通过进行基板保持部13a对基板的保持和非保持的控制，以及移动支承部13b对基板保持部13a的位置控制，将载置在翻转吸附摄像台12的第二检查台12b上的基板逐张地向设置在翻转吸附摄像台12的第二检查台12b侧的肋部的检查结束基板的载置区域中移动。此外，在翻转吸附摄像台12上方的、检查前基板的载置区域和检查后基板的载置区域之间，配置用于照射被载置在第一检查台12a和第二检查台12b上的基板的、在X轴方向上延伸的一对照明122。照明122隔开规定间隔而并行配置，摄像机14a、14b从这一对照明122之间拍摄基板。翻转吸附摄像台12包括用于载置检查前的基板的第一检查台12a和用于载置单面检查结束后的基板的第二检查台12b、转动电机12c而构成。第一检查台12a和第二检查台12b由未图示的支承机构水平支承，并且，第一检查台12a被支承成利用转动电机12c能够以支承轴121为轴自由转动。而且，通过以在与所述X轴以及Z轴正交的Y轴方向延伸的引导件12d作为引导来移动将所述支承机构，从而第一检查台12a、第二检查台12b、转动电机12c以及支承轴121在Y轴方向上一体移动。第一检查台12a以及第二检查台12b具有大致同一形状，具有长方形或正方形。第一检查台12a具有空气吸引机构，通过吸引空气而对载置在第一检查台12a上的基板进行吸附保持。该第一检查台12a的一边安装在支承轴121上，利用转动电机12c而使第一检查台12a以支承轴121为轴进行转动，从而将第一检查台12a翻转180度，与第二检查台12b重叠。然后，使空气吸引机构动作，以吸附保持被载置在第一检查台12a上的基板的状态使第一检查台12a转动而与第二检查台12b重合，在该状态下解除第一检查台12a上的吸引，从而在将载置于第一检查台12a上的检查对象基板翻转的状态下，使基板移动到第二检查台12b。此外，通过以引导件12d作为引导而移动支承机构，从而使第一检查台12a和第二检查台12b在Y轴方向上移动，由摄像机14a、14b对被载置在第一检查台12a和第二检查台12b上的基板表面进行拍摄，在拍摄结束后，使第一检查台12a和第二检查台12b返回到预先设定的Y轴方向的基准位置。这样，通过将第一检查台12a和第二检查台12b返回到预先设定的Y轴方向的基准位置，加载器11的基板保持部Ila和卸载器13的基板保持部13a以及第一检查台12a和第二检查台12b的位置关系恒定，能够将基板可靠地载置于第一检查台12a和第二检查台12b上的规定区域内。控制装置15包括驱动控制部15a、检查部15b、用于临时存储摄像机14a、14b的拍摄图像的暂存存储器15c、显示检查部15b中的检查结果的显示部15d。暂存存储器15c能够存储与至少三个基板面相应的图像信息。驱动控制部15a控制加载器11、翻转吸附摄像台12以及卸载器13的各部分，将检查对象基板移动到第一检查台12a和第二检查台12b上。此外，使第一检查台12a和第二检查台12b在Y轴方向上移动，同时调整摄像机14a、14b的拍摄定时，得到由摄像机14a、14b拍摄的第一检查台12a和第二检查台12b上的基板的图像的信息。另外，摄像机14a对载置于第一检查台12a上的基板进行拍摄，摄像机14b对载置于第二检查台12b上的基板进行拍摄。[0034]检查部15b输入被存储于暂存存储器15c中的摄像机14a、14b的图像信息，通过图像解析等，进行基板两面的检查从而判别基板的良莠，并将判别结果显示在显示部15d上。图2是用于说明基板向第一检查台12a和第二检查台12b上移动的移动定时和检查定时的图。首先，将基板“I”载置于第一检查台12a。这里，将载置于第一检查台12a的基板的上表面侧设为基板面A。另外，图2的符号例如“1A”中的数字“I”表示识别基板的编号，“A”表示基板的一个面，另一个面表示为“B”。如图2所示，将基板“I”载置于第一检查台12a上时，在该时刻tl，由摄像机14a拍摄基板面1A。在该时刻tl，不对基板面IA进行检查。接着，将载置于第一检查台12a的基板“I”翻转移动到第二检查台12b上，将下一基板“2”载置在第一检查台12a上。然后，在第一检查台12a和第二检查台12b上都载置了基板的时刻t2,通过摄像机14a、14b对第一检查台12a和第二检查台12b上的基板进行拍摄。由此，拍摄基板面2A和IB0然后，由于在该时刻t2得到与基板“I”的两个基板面IA和IB相对应的图像信息，因此在时刻t2对基板“I”进行两面检查。接着，从第二检查台12b去除基板“1”，将第一检查台12a的基板“2”翻转移动到第二检查台12b上。然后，将下一基板“3”载置在第一检查台12a上。在该时刻t3，拍摄基板“3”和基板“2”，得到与基板面3A和2B相对应的图像信息。然后，在时刻t3得到基板“2”的两个基板面2A和2B的图像信息，因此对基板“2”进行两
面检查。接着，从第二检查台12b去除基板“2”，将第一检查台12a的基板“3”翻转移动到第二检查台12b上，并将下一基板“4”载置在第一检查台12a上。在该时刻t4，对被载置于第一检查台12a和第二检查台12b的基板“4”和基板“3”进行拍摄，对得到两个基板面3A和3B的图像信息的基板“3”进行两面检查。接着，从第二检查台12b去除基板“3”，将第一检查台12a的基板“4”翻转移动到第二检查台12b上。然后，由于没有下一检查对象的基板，因此在该时刻t5，仅利用摄像机14b对第二检查台12b的基板“4”进行拍摄。由此，由于得到基板“4”的两个基板面4A和4B的图像，因此对基板“4”进行两面检查。换言之，同时对两张基板进行拍摄，在得到一个基板的两个基板面的图像信息时，对该基板进行两面检查。控制装置15控制各部分按照图2所示的顺序进行动作。图3是表示控制装置15的驱动控制部15a中的处理顺序的一例的流程图。驱动控制部15a控制加载器11、翻转吸附摄像台12、卸载器13、摄像机14a、14b,利用摄像机14a、14b得到检查对象基板的两面的图像信息。在驱动控制部15a中，首先,控制加载器11，将第一张基板载置于第一检查台12a(步骤SI)，以引导件12d作为引导而使支承机构在Y轴方向上移动，从而使第一检查台12a、第二检查台12b在Y轴方向上移动，利用摄像机14a扫描第一检查台12a上的基板面，拍摄第一张基板的单面(步骤S2)。由摄像机14a获得的第一检查台12a上的基板面的图像信息被存储在暂存存储器15c中。然后，使第一检查台12a、第二检查台12b返回到基准位置。接着，将第一检查台12a上的基板翻转移动到第二检查台12b上(步骤S3)，将下一基板载置在第一检查台12a上(步骤S4)。然后，使第一检查台12a、第二检查台12b在Y轴方向上移动，从而利用摄像机14a、14b对第一检查台12a和第二检查台12b上的基板进行拍摄(步骤S5)。由摄像机14a、14b得到的第一检查台12a和第二检查台12b上的基板的图像信息存储在暂存存储器15c中。接着，转移到步骤S6，在对检查部15b指示了实施检查之后，转移到步骤S7，在该步骤S7中，在去除了第二检查台12b上的基板之后，将第一检查台12a上的基板翻转移动到第二检查台12b上。接着，转移到步骤S8，判定是否存在下一检查对象基板，如果存在检查对象基板，则返回步骤S4，将下一检查对象基板载置于第一检查台12a上。重复进行上述处理，在步骤S 8中判断为没有下一检查对象基板时，转移到步骤S9，进行第二检查台12b上的基板的拍摄，仅将由摄像机14b得到的基板的图像信息存储在暂存存储器15c中之后，转移到步骤S10，对检查部15b进行检查指示。然后，结束处理。另一方面，在检查部15b中，在从驱动控制部15a输入了检查指示时，基于存储在暂存存储器15c中的每个基板的图像信息进行基板的两面检查。这里，驱动控制部15a例如在将图像信息存储在暂存存储器15c中时，将表示是来自摄像机14a和14b的哪一个的图像信息的识别信息和用于确定拍摄定时的定时信息附加于图像信息中并进行存储。此外，如前所述，能够在暂存存储器15c中存储与至少三个基板面相对应的图像信息。在暂存存储器15c的存储容量较少的情况下，在检查部15b中，从暂存存储器15c中读出，关于结束了基板的两面检查的使用完毕的图像信息，从暂存存储器15c中删除。换言之，在暂存存储器15c中，存储至少最新的拍摄定时的由摄像机14a和摄像机4b得到的图像信息和前一个拍摄定时的由摄像机14a得到的图像信息这三个基板面的图像信息。在检查部15b中，若从驱动控制部15a输入检查指示，则读出拍摄定时为当前时刻即最新的摄像机14b的图像信息、和拍摄定时为前一个时刻的摄像机14a的图像信息，并将其作为同一基板的两个基板面的图像信息来进行基板的两面检查。换言之，如图2所示，基板“I”的基板面1A、1B的图像信息由于是在时刻tl拍摄基板面1A，在时刻t2拍摄基板面1B，因此在时刻t2得到基板“I”的两个基板面1A、1B的图像信息。同样，基板“2”由于是在时刻t2拍摄基板面2A，在时刻t3拍摄基板面2B，因此在时刻t3得到基板“2”的两个基板面2A、2B的图像信息。从而,拍摄定时为当前时刻即最新的摄像机14b的图像信息、和拍摄定时为前一个时刻的摄像机14a的图像信息对应于同一基板的各基板面的图像信息。接着，说明上述实施方式的动作。图4 图6是用于说明对基板进行两面检查时的动作顺序的工序图。在初始状态下，如图4的(a)所示，检查前基板载置于翻转吸附摄像台12的第一检查台12a侧的肋部的检查前基板的载置区域中。[0064]如图4的(b)所示，从该状态起，驱动加载器11，从检查前基板的载置区域取一张基板，载置于第一检查台12a上。接着，如图4的(C)所示，以引导件12d作为引导而使支承结构移动，使第一检查台12a和第二检查台12b在Y轴方向上移动，从而拍摄第一检查台12a上的基板。摄像机14a的图像信息被附加用于表示拍摄定时的信息和表示是摄像机14a的图像信息的信息而存储在暂存存储器15c中。拍摄后，检查台12a和12b被返回到Y轴方向的基准位置。在该时刻，不进行基于图像信息的基板检查。接着，如图4的(d)所示，在第一检查台12a上的基板被吸附保持的状态下，第一检查台12a被转动180度，在成为与第二检查台12b重叠的状态的时刻，第一检查台12a的吸附被解除，第一检查台12a上的基板被翻转移动到第二检查台12b上。接着，第一检查台12a被反向转动180度，返回到第一检查台12a和第二检查台12b隔着支承轴121而维持水平的状态。接着，如图4的(e)所示，通过与上述同样的顺序，下一基板被载置于第一检查台12a上，如图5的(a)所示，第一检查台12a和第二检查台12b在Y轴方向上被定位，这些第一检查台12a和第二检查台12b上的基板被摄像机14a、14b拍摄之后，这些检查台12a、12b被返回到基准位置。摄像机14a、14b的图像彳目息被附加用于表不拍摄定时的彳目息和表不是摄像机14a和14b的哪一个的图像信息的信息而存储在暂存存储器15c。在该时刻，由检查部15b从暂存存储器15c中读出摄像机14b的当前时刻即最新的图像信息和摄像机14a的当前时刻前一个时刻的图像信息，将这些图像信息作为第一张检查对象基板的两个基板面的图像信息而进行基板的两面检查，其检查结果被显示在显示部15d中。另一方面，在翻转吸附摄像台12上，如图5的(b)所示，与上述同样，第二检查台12b上的基板被移动到检查后基板的载置区域，接着第一检查台12a上的基板被翻转移动到第二检查台12b (图5的(c))，下一基板被载置在第一检查台12a上(图5的(d))。换言之，为了下一基板面的拍摄，与进行第一检查台12a和第二检查台12b上的基板的移动并行地对取得了两个基板面的图像信息的第一张基板进行基板的两面检查。接着，如果在第一检查台12a上载置了下一个检查对象基板，则如图5的(d)所示，进行第一检查台12a和第二检查台12b的Y轴方向的定位，并进行这些检查台12a、12b上的基板的拍摄，对图像信息附加用于表示拍摄定时以及是那个摄像机的图像信息的信息后存储在暂存存储器15c中(图5的(e))。在该时刻，从暂存存储器15c读出与第二张基板的两个基板面对应的图像信息，对第二张基板进行基板的两面检查，并显示其结果。如图6的(a)、图6的(b)所示，为了下一拍摄，与该处理并行地进行基板的移动。在存在检查对象基板的期间重复进行以上的处理，并对各基板依次进行基板的两面检查。然后，去除第二检查台12b上的基板，第一检查台12a上的基板被翻转移动到第二检查台12b上之后(图6的(b))，在不存在下一检查对象的基板的情况下，仅利用摄像机14b对第二检查台12b上的基板进行拍摄(图6的(c))，摄像机14b的图像信息被存储在暂存存储器15c。[0076]然后，基于暂存存储器15c的图像信息，对最后的基板进行基板的两面检查，同时去除第二检查台12b上的基板(图6的(d))。由此，一系列的基板的两面检查结束。这样，在本实施方式中，采用设置第一检查台12a和第二检查台12b、并同时对第一检查台12a和第二检查台12b上的两个基板的基板面进行拍摄的结构，并且采用将第一检查台12a上的基板翻转移动到第二检查台12b上的结构。因此，将检查对象基板仅在设置在翻转吸附摄像台12的两肋的检查前基板的载置区域到检查后基板的载置区域之间移动即可，而且在翻转吸附摄像台12上，仅在第一检查台12a和第二检查台12b之间移动即可，因此与输送检查对象基板的以往的方法相比，能够大幅度地减少检查对象基板的伴随基板检查的移动范围。其结果，可以使基板两面自动检查机I整体小型化。此外，由于对第一检查台12a和第二检查台12b上的两个基板同时进行拍摄，因此与一张一张地拍摄的情况相比，能够缩短对检查对象的基板整体进行拍摄所需要的所需时间。而且，因为采用了在使检查对象基板移动到第一检查台12a和第二检查台12b上的期间、与之并行地从能够取得两个基板面的图像信息的基板起依次进行基板的两面检查的结构，因此能够缩短对检查对象基板整体进行两面检查所需要的所需时间。另外，在上述实施方式中，说明了仅在X轴方向上使基板从加载器11移动到翻转吸附摄像台12和卸载器13的情况，但不限定于此。例如，也可以相对于翻转吸附摄像台12，不是将加载器11和卸载器11配置在X轴方向的位置上，而是配置在Y轴方向的位置上，在进行相对于翻转吸附摄像台12的基板的载置和去除时，使基板在Y轴方向上移动，在翻转吸附摄像台12上，使基板在X轴方向上移动。此外，在翻转吸附摄像台12中，也可以不是将第一检查台12a和第二检查台12b排列配置在X轴方向上，而是排列配置在Y轴方向上，在翻转吸附摄像台12上，使基板在Y轴方向上移动。此外，在上述实施方式中，作为摄像机14a、14b，说明了使用线传感器摄像机的情况，但即使是区域摄像机也可以应用，只要是能够拍摄基板表面，则可以是任何的摄像机。此外，说明了设置两个摄像机14a和14b并对第一检查台12a和第二检查台12b上的基板分别单独进行拍摄的情况，但不限定于此。例如，也可以设置一台可拍摄第一检查台12a和第二检查台12b上的基板这双方的摄像机，利用这一台摄像机同时拍摄第一检查台12a和第二检查台12b上的两个基板。在该情况下，在图像处理中，分别提取第一检查台12a上的基板的图像信息和第二检查台12b上的基板的图像信息即可。此外，在上述实施方式中，说明了在得到一个基板的两面的图像信息的时刻对该基板进行基板检查的情况，但不限定于此，也可以在得到第一检查台12a和第二检查台12b上的各个基板的一个基板面的图像信息的时刻，对于各个基板，对一个基板面进行基板检查，将其检查结果存储在暂存存储器15c中，从对基板两面的检查结束的基板起依次作为基板检查结果而显示在显示部15d中。此外，也可以设置具有对于检查对象的所有基板能够存储其两面的图像信息的容量的暂存存储器15c，在对检查对象的全部基板进行了拍摄之后，从暂存存储器15c中读出图像信息，将一个拍摄定时的由摄像机14b得到的第二检查台12b上的基板的图像信息、和一个拍摄定时的前一个拍摄定时的由摄像机14b得到的第一检查台12a上的基板的图像信息作为同一基板的两个基板面的图像信息，并基于此进行基板的检查。另外，本实用新型的范围不限定于图示记载的例示的实施方式，也包含与本实用新型的目的带来均等效果的所有实施方式。进而，本实用新型的范围由所有公开的各个特征中特定的特征的所有希望的组合划定。附图标记翻译1、基板两面自动检查机；11、加载器；lla、基板保持部；12、翻转吸附摄像台；12a、第一检查台；12b、第二检查台；13、卸载器；13a、基板保持部；14a、14b、摄像机。
权利要求1.一种基板两面自动检查机，其特征在于， 该基板两面自动检查机包括: 用于载置基板的第一检查台和第二检查台； 用于对载置在所述第一检查台上的基板和载置在所述第二检查台上的基板进行拍摄的拍摄部; 用于将检查对象基板逐张地载置在所述第一检查台上的基板载置部； 用于将载置在所述第一检查台上的基板翻转移动到所述第二检查台上的翻转移动部; 用于将载置在所述第二检查台上的基板从所述第二检查台去除的基板去除部； 用于控制所述基板载置部、所述翻转移动部以及所述基板去除部而控制所述基板的移动定时、并且控制所述拍摄部的拍摄定时的控制部； 用于基于由所述拍摄部拍摄的所述检查对象基板的图像的信息进行该基板的检查的基板检查部。
2.如权利要求1所述的基板两面自动检查机，其特征在于，该基板两面自动检查机包括临时存储所述拍摄部所拍摄的图像的信息的暂存存储器，所述基板检查部将存储在所述暂存存储器中的、一个拍摄定时的与所述第二检查台上的基板相对应的图像信息和在所述一个拍摄定时之前一个拍摄定时拍摄的与所述第一检查台上的基板相对应的图像的信息作为对应于同一基板的图像信息来对该基板进行两面检查。
专利摘要本实用新型提供一种基板两面自动检查机，谋求基板表面自动检查机的小型化并谋求处理时间的缩短。将加载器、翻转吸附摄像台、卸载器沿着X轴方向配置成一列，并利用它们使检查对象基板在X轴方向上依次移动。翻转吸附摄像台将第一检查台上的基板翻转移动到第二检查台上，在基板被载置到第一检查台上的定时，对第一检查台和第二检查台上的基板同时进行拍摄，在去除了第二检查台上的基板之后，将第一检查台上的基板翻转移动到第二检查台上，在将下一个基板载置到第一检查台上的时刻同时进行拍摄。图像信息预先存储在暂存存储器中，在得到基板两面的图像信息的时刻，对该基板进行两面检查，并将其结果显示于显示部。
文档编号G01N21/88GK202916209SQ20122046525
公开日2013年5月1日 申请日期2012年9月12日 优先权日2012年9月12日
发明者铃木真也, 中谷胜 申请人:白井电子工业股份有限公司
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
