专利名称：一种探针框架装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及基板检测领域，尤其涉及一种探针框架装置。
背景技术：
按TFT-LCD (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display,薄膜场效应晶体管-液晶显示器)的基本结构，TFT-1XD的制备过程主要包含下述工艺流程1、彩色滤光片制备工艺，主要是在玻璃基板上通过溅射成膜、光刻、喷墨打印、印制等方式形成红、绿、蓝三基色图形，以及起遮光作用的黑矩阵图形等。2、阵列基板制造工艺，又称阵列或Array工艺，主要是在玻璃基板上通过成膜技术、光刻技术、刻蚀技术等半导体工艺技术形成薄膜晶体管(Thin Film Transistor, TFT)阵列图形，同时会在周边区域形成引线和测试点，便于对TFT阵列图形进行电学测试。3、液晶盒制备工艺，又称成盒工艺或Cell工艺，主要是把制备好的彩色滤光片和阵列基板以单元像素为单位精确对准后，利用封框胶密封，并在中间灌注液晶材料，同时切割成最终所需要的显示屏尺寸的过程。4、�？樽樽肮ひ眨殖芃odule工艺，为液晶显示屏安装背光源、偏振片以及周边电路，形成完整的TFT-1XD显示�？�。其中，在Array工艺中，一般需要对阵列基板的TFT阵列图形进行电学测试，目前常用的阵列基板测试(Array Test)技术是通过探针框架的探针接触阵列基板上的测试点将信号加载到阵列图形中来实现检测。图1为现有技术中探针框架装置的结构示意图，如图1所示，现有技术的探针框架装置中，探针与支架为一体化结构，即探针的位置、间距、数量是固定的，不能进行改动，但是，由于不同阵列图形设计的测试点位置、间距会有所不同，所以，每增加一款产品，都需要对应地增加一款探针框架来对所述产品的阵列基板进行测试。当一款产品不再生产时，对应的探针框架也就随之丢弃掉，造成很大的浪费。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种探针框架装置，能够提高探针框架装置利用率，节省成本。为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的一种探针框架装置，包括探针支架和可沿所述探针支架各边移动的至少一个探针丰吴块。所述探针框架装置还包括驱动探针�？檠靥秸胫Ъ芨鞅叻⑸贫那？�。所述驱动模块通过伺服驱动的方式实现。所述探针框架装置还包括在探针�？橐贫皆ど栉恢煤螅鎏秸肽？楣潭ㄔ谔秸胫Ъ苌系墓潭？�。所述固定模块为定位螺丝。[0016]所述探针框架装置还包括用于将各探针�？榱又列藕旁吹囊�。所述探针框架装置还包括用于将各探针�？榱又列藕旁吹囊�。所述探针支架内环和/或外环为凹槽结构。本实用新型所述的探针框架装置，探针框架装置包括探针支架和可沿所述探针支架各边移动的至少一个探针�？�。本实用新型将探针支架和探针�？榻蟹掷耄毙枰馐粤硗庖豢畈肥保恍璧髡秸肽？榈奈恢没蚋患鄹竦土奶秸肽？椋鄹癜汗蟮奶秸胫Ъ芸梢缘玫皆倮茫佣苊馓秸肟蚣苡捎诟禄淮斐傻睦朔眩岣吡颂秸肟蚣茏爸美寐剩疑臀蕹杀窘系�。
图1为现有技术中探针框架装置的结构示意图；图2为本实用新型实施例一种探针框架装置结构示意图；图3为本实用新型实施例一种伺服驱动原理示意图；图4为图2中附图标记2所示结构的局部放大图。
具体实施方式
本实用新型实施例的探针框架装置包括探针支架和可沿所述探针支架各边移动的至少一个探针�？�。本实用新型的第一个技术方案，一种探针框架装置，所述探针框架装置包括探针支架和可沿所述探针支架各边移动的至少一个探针�？�。本实用新型的第二个技术方案，在第一个技术方案的基础上，所述探针框架装置还包括驱动探针�？檠靥秸胫Ъ芨鞅叻⑸贫那？�。本实用新型的第三个技术方案，在第二个技术方案的基础上，所述驱动�？橥ü欧姆绞绞迪�。本实用新型的第四个技术方案，在上述任一技术方案的基础上，所述探针框架装置还包括在探针�？橐贫皆ど栉恢煤螅鎏秸肽？楣潭ㄔ谔秸胫Ъ苌系墓潭？�。本实用新型的第五个技术方案，在第四个技术方案的基础上，所述固定�？槲ㄎ宦菟�。本实用新型的第六个技术方案，在上述任一技术方案的基础上，所述探针框架装置还包括用于将各探针�？榱又列藕旁吹囊�。本实用新型的第七个技术方案，在上述任一技术方案的基础上，所述探针支架内环和/或外环为凹槽结构。下述结合附图对本实用新型的实施例进行说明图2为本实用新型实施例一种探针框架装置结构示意图，如图2所示，所述探针框架装置包括探针支架I和可沿所述探针支架各边移动的至少一个探针�？�2。本实施例中所述的探针支架I为一矩形支架，即探针模块2可沿图中所示的X和Y两个方向发生移动。另外，需要说明的是，为了控制探针框架装置的整体厚度，探针支架I的内环和/或外环可以设计为凹槽结构，探针�？�2基于所述凹槽结构进行移动，图2所示即是在探针支架I的内环设计凹槽结构的情况。在本实用新型另一实施例中，所述探针框架装置还包括驱动模块，所述驱动�？榍秸肽？檠靥秸胫Ъ芨鞅叻⑸贫�。可选的，驱动�？橥ü欧姆绞嚼词迪郑�3为本实用新型实施例一种伺服驱动原理示意图，具体为通过外部(控制装置)输入的脉冲的频率来确定伺服电机转动速度的大�。ü龀宓母鍪慈范ㄗ慕嵌龋欧缁估词迪挚刂莆恢玫哪康�。伺服电机内部的转子是永磁铁，驱动器控制的υ/v/w三相电形成电磁�。釉诖舜懦〉淖饔孟伦钡缁源谋嗦肫鞣蠢⌒藕鸥鳎鞲莘蠢≈涤肽勘曛到斜冉希髡幼慕嵌龋� 终达到控制探针�？槲恢镁返哪康�。需要说明的是，探针框架装置未设置驱动�？槭保话阌扇斯た刂铺秸肽？檠靥秸胫Ъ芨鞅呓幸贫�。在本实用新型另一实施例中，所述探针框架装置还包括在探针模块移动到预设位置后，将所述探针�？楣潭ㄔ谔秸胫Ъ苌系墓潭？�。例如，固定模块可以采用定位螺丝。在本实用新型另一实施例中，所述探针框架装置还包括用于将各探针�？榱又列藕旁吹囊�。图4所示为图2中探针模块2的结构示意图，如图4所示，所述探针�？�2至少包括探针头3、定位螺丝4和引线5。本实用新型将需要变动的探针与支架部分进行分离，并将探针进行�？榛纬商秸肽？椋毙枰馐圆煌肥保恍璧髡秸肽？榈奈恢没蚋患鄹竦土奶秸肽？椴糠郑鄹癜汗蟮闹Ъ懿糠挚梢缘玫皆倮�。从而解决探针框架损坏造成的高额维修费用，以及测试产品更新换代时，由于探针框架不通用造成的丢弃浪费的问题，从而大大降低成本。以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种探针框架装置，其特征在于，所述探针框架装置包括探针支架和可沿所述探针支架各边移动的至少一个探针�？�。
2.根据权利要求1所述的探针框架装置，其特征在于，所述探针框架装置还包括驱动探针模块沿探针支架各边发生移动的驱动�？�。
3.根据权利要求2所述的探针框架装置，其特征在于，所述驱动�？橥ü欧姆绞绞迪�。
4.根据权利要求1-3任一所述的探针框架装置，其特征在于，所述探针框架装置还包括在探针�？橐贫皆ど栉恢煤螅鎏秸肽？楣潭ㄔ谔秸胫Ъ苌系墓潭？�。
5.根据权利要求4所述的探针框架装置，其特征在于，所述固定�？槲ㄎ宦菟俊�
6.根据权利要求1-3任一所述的探针框架装置，其特征在于，所述探针框架装置还包括用于将各探针�？榱又列藕旁吹囊摺�
7.根据权利要求4所述的探针框架装置，其特征在于，所述探针框架装置还包括用于将各探针�？榱又列藕旁吹囊摺�
8.根据权利要求1-3任一所述的探针框架装置，其特征在于，所述探针支架内环和/或外环为凹槽结构。
9.根据权利要求4所述的探针框架装置，其特征在于，所述探针支架内环和/或外环为凹槽结构。
10.根据权利要求6所述的探针框架装置，其特征在于，所述探针支架内环和/或外环为凹槽结构。
专利摘要本实用新型公开了一种探针框架装置，包括探针支架和可沿所述探针支架各边移动的至少一个探针�？�。本实用新型将探针支架和探针�？榻蟹掷耄毙枰馐粤硗庖豢畈肥保恍璧髡秸肽？榈奈恢没蚋患鄹竦土奶秸肽？椋鄹癜汗蟮奶秸胫Ъ芸梢缘玫皆倮茫佣苊馓秸肟蚣苡捎诟禄淮斐傻睦朔眩岣吡颂秸肟蚣茏爸美寐剩疑臀蕹杀窘系�。
文档编号G01R1/067GK202837350SQ20122044635
公开日2013年3月27日 申请日期2012年9月3日 优先权日2012年9月3日
发明者邓朝阳, 林子锦, 裴晓光, 赵海生 申请人:北京京东方光电科技有限公司
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