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专利名称：一种防潮湿污染的流量传感器组件及气体质量流量计的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种流量传感器组件及气体质量流量计及其使用，特别是涉及ー种防潮湿污染的流量传感器组件，属于流量计量仪器领域。
背景技术：
热式气体质量流量计是ー种测量通过气体质量流量的热导式仪表，广泛应用于各个エ业生产及科学实验的领域。气体质量流量计工作原理是采用热扩散原理(金式定律)，即流过热源的流体分子多少与热量散失的多少成正比，当气体流经仪表气道时，在气道上游加热、下游吸热，引起气道内温度场变异，进而导致反映温度变化的微电子机械系统(MEMS)将温度场变异引起的不平衡电压讯号放大或者转换成电流讯号并得以检测。专利号为ZL200620034748. 4，授权公告号为CN200975902，名称为“ー种气体质量 流量计”的中国实用新型专利公开了ー种气体质量流量计。该流量计包括检测控制器、由MEMS传感器检测�？榈囊淮我潜砗陀晌⒋�理器构成的二次仪表，二次仪表主要由微控制器�？�、输出�？�、电源模块、存储�？�、信号处理模块和时钟�？楣钩伞８弥柿苛髁渴遣捎肕EMS热式质量流量传感技术制造的气体质量流量计。这类检测仪器在含有水份物质的气体流量检测中使用时，水份物质将附着在MEMS流量传感元件表面会使MEMS流量传感元件的热场和温度传感器无法稳定可靠工作，由此导致仪器测量的流量误差很大甚至无流量信号输出。

实用新型内容本实用新型的目的就是针对现有技术的不足，提供一种能够防止周围潮湿环境或者潮湿物质污染的气体质量流量计，其关键是提供ー种具有防治潮湿污染功能的流量传感器组件。为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下一种防潮湿污染的流量传感器组件，包括流量传感元件，其特征在干还包括安装在流量传感元件上的控温加热组件。上述防潮湿污染的流量传感器组件通过在流量传感元件上加装控温加热组件，利用控温加热组件对流量传感元件加热使其保持在工作条件温度范围内的某ー恒定温度内。当环境中的水汽、水雾以及病患口中带出的如唾沫、痰星等含水分的液态物质凝结在流量传感元件表面时能够迅速气化,从而保持流量传感元件表面的灵敏度，保证流量测量的精度和可靠性。在优化条件下，上述防潮湿污染的流量传感器组件中的控温加热组件采用电加热技术，包括加热片与必要的加热电路。特别是可以采用MEMS加热芯片，以保证产品结构小巧、性能精良。以上述防潮湿污染的流量传感器组件为基�。�本实用新型还提供一种气体质量流量计，该产品采用防潮湿污染的流量传感器组件，具体技术方案如下[0010]一种安装有上述防潮湿污染的流量传感器组件的气体质量流量计，包括气道，其特征在于所述气道开有检测ロ，所述流量传感元件敏感面经检测ロ暴露在气道中，或者所述流量传感元件穿过检测ロ，流量传感元件敏感面暴露在气道中。通常，流量传感元件敏感面与气道轴向平行。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是(I)流量传感器组件通过加装控温加热组件使流量传感元件能够防止潮湿污染，保证了传感元件的灵敏度与准确性；(2)流量传感器组件结构简单、小巧，加工方便，应用范围广；(3)产品造价经济，耗能量低；(4)安装了本流量传感器组件的气体质量流量计检测状态好，适用性強。

图I是流量传感器组件基本结构示意简图。图2是流量传感器组件结构示意图。 图3是实施例ニ气体质量流量计中流量传感器组件安装结构示意图。图4是图3的A局部放大示意图。图5是实施例三气体质量流量计中流量传感器组件安装结构示意图。图6是图5的A-A剖面示意图。图7是图6的B局部放大示意图。图中标号如下I流量传感元件2控温加热组件21加热片22PCB电路板23电信号引脚 24灌封腔3气道
具体实施方式
以下结合附图，对本实用新型的优选实施例作进ー步的描述。实施例一如图I、图2所示，制得一种防潮湿污染的流量传感器组件。图I是流量传感器组件基本结构示意简图。防潮湿污染的流量传感器组件包括流量传感元件I，还包括安装在流量传感元件I上的控温加热组件2。图2是流量传感器组件结构示意图。控温加热组件2包括加热片21与必要的加热电路。其中加热片21 —侧面固定连接流量传感元件I非敏感面，加热片21另ー侧面连接加热电路。加热电路采用PCB电路板22及必要的电信号引脚23，两者通过灌封腔24固定连接。加热片21采用MEMS加热芯片以减小体积增强灵敏度与稳定性。实施例ニ如图3、图4所示。制得ー种气体质量流量计,该气体质量流量计安装有实施例一所示的防潮湿污染的流量传感器组件。本实施例中与实施例一相同之处不再重复叙述，不同之处在于图3是气体质量流量计中流量传感器组件安装结构示意图；图4是图3的A局部放大示意图。气体质量流量计包括气道3,气道3开有检测ロ，流量传感元件I敏感面经检测ロ暴露在气道3中。具体是控温加热组件2与流量传感元件I镶嵌在气道3上壁，流量传感元件I敏感面经检测ロ暴露在气道3中。流量传感元件I敏感面与气道3轴向平行。实施例三如图5 图I所示。制得ー种气体质量流量计，该气体质量流量计安装有实施例一所示的防潮湿污染的流量传感器组件。本实施例中与实施例一相同之处不再重复叙述，不同之处在于图5是气体质量流量计中流量传感器组件安装结构示意图；图6是图5的A-A剖面示意图；图7是图6的B局部放大示意图。气体质量流量计包括气道3，气道3开有检测ロ，流量传感元件I穿过检测ロ，流量传感元件I敏感面暴露在气道3中。具体是控温加热组件2与流量传感元件I穿过检测ロ伸入气道3中。流量传感元件I敏感面与气道3轴向平行。*
权利要求1.一种防潮湿污染的流量传感器组件，包括流量传感元件(I)，其特征在于还包括安装在流量传感元件(I)上的控温加热组件(2 )。
2.根据权利要求I所述的流量传感器组件，其特征在于所述控温加热组件(2)包括加热片(21)与必要的加热电路。
3.根据权利要求2所述的流量传感器组件，其特征在于所述加热片(21)—侧面固定连接流量传感元件(I)非敏感面，加热片(21)另ー侧面连接加热电路。
4.根据权利要求3所述的流量传感器组件，其特征在于所述加热电路是PCB电路板(22)及必要的电信号引脚(23)。
5.根据权利要求2 4任一所述的流量传感器组件，其特征在于所述加热片(21)是MEMS加热芯片。
6.一种安装有权利要求I 4任一所述的防潮湿污染的流量传感器组件的气体质量流量计，包括气道(3),其特征在于所述气道(3)开有检测ロ，所述流量传感元件(I)敏感面经检测ロ暴露在气道(3)中。
7.一种安装有权利要求5所述的防潮湿污染的流量传感器组件的气体质量流量计，包括气道(3 )，其特征在于所述气道(3 )开有检测ロ，所述流量传感元件(I)敏感面经检测ロ暴露在气道(3)中。
8.根据权利要求6所述的气体质量流量计，其特征在于所述防潮湿污染的流量传感器组件的安装方式为如下ニ种方式之一 一、控温加热组件(2)与流量传感元件(I)镶嵌在气道(3)上壁,流量传感元件(I)敏感面通过检测ロ暴露在气道(3)中； ニ、控温加热组件(2)与流量传感元件(I)穿过检测ロ伸入气道(3)中。
9.根据权利要求7所述的气体质量流量计，其特征在于所述防潮湿污染的流量传感器组件的安装方式为如下ニ种方式之一 一、控温加热组件(2)与流量传感元件(I)镶嵌在气道(3)上壁,流量传感元件(I)敏感面通过检测ロ暴露在气道(3)中； ニ、控温加热组件(2)与流量传感元件(I)穿过检测ロ伸入气道(3)中。
10.根据权利要求8或9所述的气体质量流量计，其特征在于所述流量传感元件(I)敏感面与气道(3)轴向平行。
专利摘要本实用新型公开了一种流量传感器组件及气体质量流量计。针对现有技术中热式流量传感器组件存在易受潮湿污染而影响检测性能的缺陷，本实用新型提供了一种具有防治潮湿污染功能的流量传感器组件。本流量传感器组件包括流量传感元件与安装在流量传感元件上的控温加热组件，利用控温加热组件对流量传感元件加热，使其保持在工作条件温度范围内的某一恒定温度内，能够迅速气化凝结在流量传感元件表面的液态物质，保持流量传感元件表面的灵敏度。本实用新型还提供一种安装有该流量传感器组件的气体质量流量计。本流量传感器组件原理可靠，结构简单、小巧，加工方便，应用范围广，气体质量流量计检测状态好，适用性强。
文档编号G01F1/76GK202433045SQ20112055317
公开日2012年9月12日 申请日期2011年12月27日 优先权日2011年12月27日
发明者刘烨楠, 廖晓平, 彭凯, 邓文红, 阮继亮 申请人:矽翔微机电系统(上海)有限公司成都分公司