专利名称：一种用于双臂传输机器人装配调整/模拟工位传输的试验台的制作方法
技术领域：
本发明涉及在半导体设备制造领域内，一种用于双臂传输机器人的装配调整/模拟工位传输的试验台。双臂传输机器人装配后，经过试验台的调整，当T轴处于零位时，可使双臂机器人FORK的圆心在R轴各自的旋转平面内上下重合，从而为双臂机器人FORK中心的运动轨迹提供了原始定位基准。基准确定后，还可以在试验台上进行模拟的硅片工位间传输。
背景技术：
从理论和设计的观点上讲，当双臂传输机器人的T轴处于零位，双臂向前平伸，左右机械臂FORK的圆心是重合的。但由于制造误差的装配误差的存在，实际上双臂传输机器人的左右机械臂FORK的圆心是不重合的。为了使左右机械臂FORK的圆心不重合程度小于规定的指标，需要双臂传输机器人在装配调试时，有一个确定左右机械臂FORK圆心的基准；当左右机械臂FORK圆心依此基准进行调试合格后，还要依据双臂传输机器人确定的工作流程，规划工作路径，在工位间进行硅片的传输实验，以验证双臂传输机器人的功能指标。
发明内容
本发明的目的在于提供一种结构合理，能够方便、可靠地调整左右机械臂FORK中点重合的试验台，通过试验台提供确定双臂FORK中点的基准。当双臂FORK依此基准进行调试合格后，在试验台上拆除安装在T轴零位的基准/夹紧模块，在原位置安装模拟工位， 并依据双臂传输机器人确定的工作流程来规划工作路径，在工位间进行硅片的传输实验， 以检验双臂传输机器人的各项功能指标及长期运转的可靠性。本发明的发明目的是这样实现的一种用于双臂传输机器人的装配调整/模拟工位传输的试验台，包括模拟ι工位1、主机支撑板2、模拟2工位支撑板3、模拟2工位4、框架组合5、模拟1片盒6、模拟2片盒7、模拟片盒支撑板8、基准/夹紧模块9、安装螺钉10、 调节装置底板11、左小臂定位活动夹板12、左臂橡胶接触板13、左小臂固定夹板14、小臂中间定位板15、右臂橡胶接触板16、右小臂定位活动夹板17、右小臂固定夹板18、中心定位块 19。用工业铝型材组装的试验台框架组合5的上面，装有主机支撑板2、模拟2工位支撑板3、模拟片盒支撑板8 ；主机支撑板2上开有主机安装孔内，安装双臂传输机器人的主机，T轴的零位位置根据使用功能不同，可安装基准/夹紧模块9或模拟1工位1 ；、模拟2 工位支撑板3上装有模拟2工位4 ；模拟片盒支撑板8上装有模拟1片盒6和模拟2片盒 7。当进行双臂传输机器人左右机械臂FORK圆心基准调试时，将基准/夹紧�？�9安装在主机支撑板2的T轴零位位置，并以安装螺钉10紧固。将双臂传输机器人主机放入试
3验台内并以惟一位置固定，然后将T轴调至零位；调正零位后，将左右两臂的小臂紧靠在基准/夹紧�？�9的小臂中间定位板15上，并以左小臂固定夹板14、左小臂定位活动夹板12 夹紧左小臂；以右小臂固定夹板18、右小臂定位活动夹板17夹紧右小臂。此时，两臂的大臂和小臂均已固定，只有取片臂能够活动。将两个取片臂及FORK组合的联接螺钉拧松，前后左右的转动或平移上下取片臂， 使FORK组合的圆心与中心定位块19的圆心完全吻合后，再将所有松开的螺钉紧固到位。保持现有紧固状态，将两个小臂的同步带与带轮安装啮合，调整同步带预紧机构，保持足够的预紧力，并检查双臂的传动机构，确保没有无约束的自由转动或移动。然后按规定步骤拆除基准/夹紧�？�9。当在工位间进行硅片的传输实验时，将模拟1工位1安装在主机支撑板2的T轴零位位置，然后依据双臂传输机器人确定的工作流程来规划工作路径，在工位间进行硅片的传输实验，以检验双臂传输机器人的各项功能指标及长期运转的可靠性。本发明一种用于双臂传输机器人的装配调整/模拟工位传输的试验台，具有如下优点1、在本发明中，左右机械臂FORK圆心重合的调整过程使用同一基准的中心定位块19，因此定位精度较高，重复精度好。2、在完成左右机械臂FORK圆心重合的调整后，无需搬运主机，只要拆除基准/夹紧�？�9、将模拟1工位1安装在主机支撑板2的T轴零位位置，即可进行硅片的传输试验。 因此本发明可以减少工位试验的系统误差，提高硅片传输精度。3、本发明之装配调整/模拟工位传输试验台，结构简单、作用可靠、操作简便、可有效降低双臂传输机器人的调试成本。
图1为本发明一种用于双臂传输机器人的装配调整/模拟工位传输的试验台俯视图，此时试验台由于安装了模拟1工位1，处于硅片的传输实验状态。在图1中，具体数字表示1-模拟1工位、2-主机支撑板、3-模拟2工位支撑板、 4-模拟2工位、5-框架组合、6-模拟1片盒、7-模拟2片盒、8-模拟片盒支撑板。图2为本发明一种用于双臂传输机器人的装配调整/模拟工位传输的试验台俯视图，此时试验台由于安装了基准/夹紧模块9，处于左右机械臂FORK圆心基准调试状态。在图2中，具体数字表示9-基准/夹紧�？橥�3为基准/夹紧�？�9的三维立体图。在图3中，具体数字表示10-安装螺钉、11-调节装置底板、12-左小臂定位活动夹板、13-左臂橡胶接触板、14-左小臂固定夹板、15-小臂中间定位板、16-右臂橡胶接触板、17-右小臂定位活动夹板、18-右小臂固定夹板、19-中心定位块。
具体实施例方式结合附图对本发明作进一步说明参照附图所示，一种用于双臂传输机器人的装配调整/模拟工位传输的试验台， 包括模拟1工位1、主机支撑板2、模拟2工位支撑板3、模拟2工位4、框架组合5、模拟1片盒6、模拟2片盒7、模拟片盒支撑板8、基准/夹紧�？�9、安装螺钉10、调节装置底板11、 左小臂定位活动夹板12、左臂橡胶接触板13、左小臂固定夹板14、小臂中间定位板15、右臂橡胶接触板16、右小臂定位活动夹板17、右小臂固定夹板18、中心定位块19。所述一种用于双传输臂机器人的装配调整/模拟工位传输的试验台，其特征为 用工业铝型材组装的试验台框架组合5的上面，装有主机支撑板2、模拟2工位支撑板3、模拟片盒支撑板8 ；主机支撑板2上开有主机安装孔内，以安装双臂传输机器人的主机，T轴的零位位置根据使用功能不同，可安装基准/夹紧�？�9或模拟1工位1 ；、模拟2工位支撑板3上装有模拟2工位4 ；模拟片盒支撑板8上装有模拟1片盒6和模拟2片盒7。所述一种用于双臂传输机器人的装配调整/模拟工位传输的试验台，进行双臂传输机器人左右机械臂FORK圆心基准调试时，将基准/夹紧�？�9安装在主机支撑板2的T 轴零位位置，并以安装螺钉10紧固。将双臂传输机器人主机放入试验台内并以惟一安装位置固定，然后将T轴调至零位后，把左右两臂的小臂紧靠在基准/夹紧�？�9的小臂中间定位板15上，并以左小臂固定夹板14、左小臂定位活动夹板12夹紧左小臂；以右小臂固定夹板18、右小臂定位活动夹板17夹紧右小臂。此时，两臂的大臂和小臂均以固定，只有取片臂能够活动。将两个取片臂及FORK组合的联接螺钉拧松，前后左右的转动或平移上下取片臂，使FORK组合的圆心与中心定位块19的圆心完全吻合后，再将所有松开的螺钉紧固到位。保持现有紧固状态，将两个小臂的同步带与带轮安装啮合，调整同步带预紧机构，保持足够的预紧力，并检查双臂的传动机构，确保没有无约束的自由转动或移动。然后按规定步骤拆除基准/夹紧�？�9。所述一种用于双传输臂机器人的装配调整/模拟工位传输的试验台，当在工位间进行硅片的传输实验时，拆除基准/夹紧�？�9，将模拟1工位1安装在主机支撑板2的T 轴零位位置，然后依据双臂传输机器人确定的工作流程来规划工作路径，在各个工位间进行硅片的传输实验，以检验双臂传输机器人的各项功能指标及长期运转的可靠性。
权利要求
1.一种用于双臂传输机器人的装配调整/模拟工位传输的试验台，包括模拟1工位 (1)、主机支撑板( 、模拟2工位支撑板C3)、模拟2工位(4)、框架组合( 、模拟1片盒 (6)、模拟2片盒(7)、模拟片盒支撑板(8)、基准/夹紧�？�(9)、安装螺钉(10)、调节装置底板(11)、左小臂定位活动夹板(12)、左臂橡胶接触板(13)、左小臂固定夹板(14)、小臂中间定位板(15)、右臂橡胶接触板(16)、右小臂定位活动夹板(17)、右小臂固定夹板(18)、中心定位块(19)；其特征在于所述装配调整/模拟工位传输试验台，用工业铝型材组装的试验台框架组合( 的上面，装有主机支撑板O)、模拟2工位支撑板(3)、模拟片盒支撑板(8)； 所述主机支撑板(2)上开有主机安装孔内，以安装双臂传输机器人的主机；T轴的零位位置根据使用功能不同，可安装基准/夹紧�？�(9)或模拟1工位(1)；所述模拟2工位支撑板 (3)上，装有模拟2工位；所述模拟片盒支撑板(8)上，装有模拟1片盒(6)和模拟2片盒⑵。
2.根据权利要求1所述的一种用于双臂传输机器人的装配调整/模拟工位传输的试验台，其特征在于所述装配调整/模拟工位传输试验台，在进行双臂传输机器人左右机械臂 FORK圆心基准调试时，将基准/夹紧�？�(9)安装在主机支撑板O)的T轴零位位置，并以安装螺钉(10)紧固；将双臂传输机器人主机放入试验台主机支撑板(2)的安装孔内并以惟一安装位置固定，然后将T轴调至零位后，把左右两臂的小臂紧靠在基准/夹紧模块(9) 的小臂中间定位板(15)上，并以左小臂固定夹板(14)、左小臂定位活动夹板(12)夹紧左小臂；以右小臂固定夹板(18)、右小臂定位活动夹板(17)夹紧右小臂；此时，两臂的大臂和小臂均以固定，只有取片臂能够活动，将两个取片臂及FORK组合的联接螺钉拧松，前后左右的转动或平移上下取片臂，使FORK组合的圆心与中心定位块(19)的圆心完全吻合后，再将所有松开的螺钉紧固到位。保持现有紧固状态，将两个小臂的同步带与带轮安装啮合，调整同步带预紧机构，保持足够的预紧力，并检查双臂的传动机构，确保没有无约束的自由转动或移动。然后按规定步骤拆除基准/夹紧�？�(9)；所述装配调整/模拟工位传输试验台， 在工位间进行硅片的传输实验时，拆除基准/夹紧�？�(9)，将模拟1工位(1)安装在主机支撑板( 的T轴零位位置，然后依据双臂传输机器人确定的工作流程来规划工作路径，在各个工位间进行硅片的传输实验，以检验双臂传输机器人的各项功能指标及长期运转的可靠性。
全文摘要
一种用于双臂传输机器人的装配调整/模拟工位传输的试验台。双臂机器人装配后，经过本发明试验台的调整，当T轴处于零位时，可使双臂传输机器人左右两臂FORK的圆心在R轴各自的旋转平面内上下重合，从而为双臂机器人FORK圆心的运动轨迹提供了原始定位基准。基准确定后，还可以在本发明试验台上进行模拟的硅片工位间传输实验，以验证双臂传输机器人的功能指标。
文档编号G01M99/00GK102156053SQ201110062769
公开日2011年8月17日 申请日期2011年3月16日 优先权日2011年3月16日
发明者刘延杰, 吴明月, 孙立宁, 荣伟彬 申请人:哈尔滨工业大学
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
