专利名称：一种提高电阻测试精度的方法
技术领域：
本发明涉及一种电阻量测的方法，尤其涉及一种提高电阻测试精度的方法。
技术背景
目前晶圆级分析测试仪中使用的数字电压表四端法阻值量测方法，如图1中所示，对待测电阻1施加一个电流I，通过数字电压表量出此时电阻1两端的电压V，由阻值 R=v/I，实现对电阻1的量测。但此方法对同一片晶圆上的同一个电阻1进行两次量测时， 所测得的电阻1值存在差异。特别是随着制程越来越先进，越来越多的小电阻量测，这个差异更加突出，严重影响到测试的准确性、数据的可信度。造成此现象的一个重要原因是测试系统自身引入的噪音。如附图2中所示，由于测试系统4测试过程中的充放电，使得系统中会存在残留电荷，即使对待测电阻1不施加电流时，电阻1两端仍然存在电压差。此电压差对于大电阻1量测影响较�。杂谛〉缱枇坎庥跋炀秃芡怀觯匦爰右孕拚�。发明内容
发明公开了一种提高电阻测试精度的方法。用以解决现有技术中由于测试电压值的时间点不同，对应的系统噪音不同，所以造成不同时间测试后得出的电压值有差异影响之后测量阻值精度的问题。
为实现上述目的，发明采用的技术方案是一种提高电阻测试精度的方法，其中，测试方法的步骤如下步骤一，将导线连接待测电阻两端并通过数字电压表进行对电阻两端的第一次测量并测量出第一电压值V;步骤二，对导线连接的所述电阻施加一个电流I ；步骤三，通过所述数字电压表进行对电阻两端的第二次测量并测出第二电压值V’ ； 步骤四，将所述第二电压值V’减去第一电压值V之后所得的电压值再除以所述电流I， 最后得到所述电阻的阻值。
上述的提高电阻测试精度的方法，其中，所述第一电压值V与第二电压值V’均在同一片晶圆的同一个所述电阻上进行的。
上述的提高电阻测试精度的方法，其中，所述导线与所述电阻为串联连接。
上述的提高电阻测试精度的方法，其中，所述测试精度的方法是用于消除测试系统自身引入的噪音对待测电阻的阻值测试精度所造成的偏差。
上述的提高电阻测试精度的方法，其中，测量出第一电压值V是在所述待测电阻不施加电流时对应的电压。
本发明中一种提高电阻测试精度的方法，采用了如上方案具有以下效果1、有效地消除由于系统噪音造成的电阻测试值的偏差；2、同时能够适用于四端法电阻量测，对其他类似电阻量测方法提高精确度同样适用。
通过阅读参照如下附图对非限制性实施例所作的详细描述，发明的其它特征，目的和优点将会变得更明显。图1为常规情况下测量阻值的示意图； 图2为测试系统影响测量阻值的示意图3为提高电阻测试精度的方法的步骤示意图。图4为背景技术中测试阻值与本发明测试阻值的对比示意图。
具体实施例方式为了使发明实现的技术手段、创造特征、达成目的和功效易于明白了解，下结合具体图示，进一步阐述本发明。图3为提高电阻测试精度的方法的步骤示意图，如图3所示，测试方法的具体步骤如下
步骤一，将导线2连接待测电阻1两端并通过数字电压表进行对电阻1两端的第一次测量并测量出第一电压值V，在此的第一电压值V是在受到测试系统噪音且未接入电流I (3)所测得;
步骤二，对导线2连接的待电阻1施加一个电流I (3);
步骤三，通过数字电压表进行对电阻1两端的第二次测量并测出第二电压值V’，在此的第二电压值V’是在受到测试系统噪音并以接入电流I (3)所测得；
步骤四，将第二电压值V’减去第一电压值V之后所得的电压值再除以电流1(3)，最后得到电阻1的阻值，进一步的，将第二电压值V’减去第一电压值V是为了消除由于系统噪音影响下测得电压值所产生的误差以保证最后得到电阻1阻值的精确性。进一步的，第一电压值V与第二电压值V’均在同一片晶圆的同一个电阻1上进行的，使所测得的第一电压值V与第二电压值V’的精确性提高。进一步的，导线2与电阻1为串联连接，方便直接将数字电压表接在电阻1两端进行测量。进一步的，本测试精度的方法是为了消除测试系统自身引入的噪音对阻值测试精度造成影响的方法。进一步的，测量出第一电压值V是在待测电阻不施加电流时对应的电压。在本发明的具体实施例中，在背景技术由于使用了额外的测试系统，而测试系统在应用过程中会自身会引入的噪音，所引入的噪音会对待测电阻的阻值测试精度造成不利影响，所以本发明摒弃测试系统而采用本发明所提供的测试法加以取代，如图4所示，为背景技术与本发明测试待测电阻阻值差异的比较图，在图中左边偏差范围在-25至-10的为背景技术中的测试值，在图右边的为本发明的测试范围，如图所示，明显看到使用本发明的电阻测试精度的方法使所测量的阻值偏差大大缩小。在本发明的具体实施例中，在每次量测前先用数字电压表量测未接入电流时电阻 1两端的电压以得到第一电压值V并记录。再对电阻1接入电流I (3)，量测电压以得到第二电压值r并记录。将第二次测得的第二电压值ν’减去第一电压值ν之后所得的电压值再除以电流I (3)，最后得到电阻1的阻值，公式为R= (V’ -ν)/Ι。以此可以明显消除由于系统噪音造成的电阻1测试值的误差。综上所述，发明一种提高电阻测试精度的方法，有效地消除由于系统噪音造成的电阻测试值的误差；同时能够适用于四端法电阻量测，对其他类似电阻量测方法提高精确度同样适用。以上对发明的具体实施例进行了描述。需要理解的是，发明并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施; 本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变形或修改，这并不影响发明的实质内容。
权利要求
1.一种提高电阻测试精度的方法，其特征在于，测试方法的步骤如下步骤一，将导线连接待测电阻两端并通过数字电压表进行对电阻两端的第一次测量并测量出第一电压值V;步骤二，对导线连接的所述电阻施加一个电流I ；步骤三，通过所述数字电压表进行对电阻两端的第二次测量并测出第二电压值V’ ；步骤四，将所述第二电压值V’减去第一电压值V之后所得的电压值再除以所述电流I，最后得到所述电阻的阻值。
2.根据权利要求1所述的测试精度的方法，其特征在于，所述第一电压值V与第二电压值V’均在同一片晶圆的同一个所述电阻上进行的。
3.根据权利要求1所述的测试精度的方法，其特征在于，所述导线与所述电阻为串联连接。
4.根据权利要求1所述的测试精度的方法，其特征在于，所述测试精度的方法是用于消除测试系统自身引入的噪音对待测电阻的阻值测试精度所造成的偏差。
5.根据权利要求1所述的测试精度的方法，其特征在于，测量出第一电压值V是在所述待测电阻不施加电流时对应的电压。
全文摘要
本发明一种提高电阻测试精度的方法，其中，测试的步骤如下步骤一，将导线连接待测电阻两端并通过数字电压表进行对电阻两端的第一次测量并测量出第一电压值V；步骤二，对导线连接的待电阻施加一个电流I；步骤三，通过数字电压表进行对电阻两端的第二次测量并测出第二电压值V’；步骤四，将第二电压值V’减去第一电压值V之后所得的电压值再除以电流I，最后得到电阻的阻值。通过发明一种提高电阻测试精度的方法，有效地消除由于系统噪音造成的电阻测试值的误差；同时能够适用于四端法电阻量测，对其他类似电阻量测方法提高精确度同样适用。
文档编号G01R27/14GK102565538SQ20121004738
公开日2012年7月11日 申请日期2012年2月28日 优先权日2012年2月28日
发明者周柯, 尹彬锋, 赵敏 申请人:上海华力微电子有限公司
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