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专利名称：凸块接点的电阻测量结构及包含其的封装基板的制作方法
技术领域：
本发明是关于一种凸块接点的电阻测量结构以及包含该结构的封装基板，尤指一种结合了凯文结构与花环结构的凸块接点的电阻测量结构以及包含该结构的封装基板。
背景技术：
电阻测量是电子材料检测中最基本也是最重要的一种。从测量到的电阻，可以进而推知材料的电阻系数。而应用于封装基板中，则可测试连接焊锡凸块是否有缺陷。已知测量电阻的方法中，有使用凯文结构(kevin structure，或称四点探针结构(four point probe structure))进行电阻测量。如图I所示，欲测量待测物10的电阻时,提供四根探针11，12，13，14，其中探针13，14提供电流通路而另兩根探针11，12测量电压 VI, V2。覆晶式焊锡接点中，高操作电流密度将导致电迁移(electromigration)可靠度问题。2006年，本发明的发明人之一(陈智等人)提出了一种将凯文结构加入焊锡接点的设计，并利用该结构监测电迁移期间，焊锡接点中孔洞形成的情形。当凯文结构应用于连接半导体芯片与印刷电路板的焊锡球的电阻测量时，如图2所示，欲测量焊锡凸块BI，B2的电阻时，每一焊锡凸块BI，B2的旁边须配置有一辅助凸块B1’，B2’。当欲测量焊锡凸块BI的电阻时，需提供电流线路II，并测量电压测量垫Pl，P1’各自的电压VI+，VI-，并透过以下公式计算焊锡凸块BI的电阻A Vl = V1+-V1-；Rl = AV1/I1。当欲测量焊锡凸块B2的电阻时，需提供电流线路12，并测量电压测量垫P2，P2’各自的电压V2+，V2-，并透过以下公式计算焊锡凸块B2的电阻A V2 = V2+-V2-；R2 = AV2/I20以此已知的测量方法，当欲测量n个焊锡凸块的电阻时，则必须提供n个辅助凸块、2n个电压测量垫、以及2n个电流线路。此外，该结构虽能对单一焊锡接点的变化做精确测量，但无法对整个回路上的多个焊锡接点做整体的观测，于可靠度分析上并无明显帮助。且因观测的结构局限于单一焊锡接点上，故若整体结构于他处有产生微结构的变化，该结构将无法得知。此外，因观测局限于单一接点上，若欲比较不同的测试结构，则需生产大量具不同结构的试片，此一作法将大幅增加测试与比较各结构参数所需的成本，将不利于设计层面的可靠度检验。因此，本领域亟需一种凸块接点的电阻测量结构，使可于测量总电阻的同时，观察到各分段的电阻，并可减少大量凯文结构同时存在时所需的测量用金属垫数量，大幅缩减试片面积、降低可靠度测试成本、降低缺陷分析的定位难度、降低测试试片的生产成本、与降低参数最佳化所需的时间，且可大幅提升现有封装与测试产业的可靠度分析效率。

发明内容
为达成上述目的，本发明提供了一种凸块接点的电阻测量结构，包括多个连接凸块，排列呈ー线；至少ー第一连接垫；以及至少ー第二连接垫；其中，该多个连接凸块中的第η个连接凸块与第η+1个连接凸块以该第一连接垫电性连接，该第η+1个连接凸块与第η+2个连接凸块以该第二连接垫电性连接，η为I以上的奇数(B卩，η = 1,3,5,...等)；该第一连接垫与一第一电压测量垫连接；该第二连接垫与一辅助连接垫连接，该辅助连接垫与ー辅助凸块(auxiliary bump)连接,一第二电压测量垫连接至该辅助凸块。以本发明的凸块接点的电阻测量结构测量电阻，当欲測量η个焊锡凸块的电阻时，仅需提供η/2个辅助凸块、η个电压测量垫、以及I对电流线路。相较于已知技术中(须提供η个辅助凸块、2η个电压測量垫、以及2η个电流线路)，本发明的凸块接点的电阻测量结构可降低辅助凸块的使用量(仅需已知技术中一半数量的辅助凸块)、可降低电压测量垫的使用量(仅需已知的技术中一半数量的电压测量垫)。再者，本发明的凸块接点的电阻測量结构可大幅降低可靠度测试的成本、降低缺陷分析的定位难度、降低测试试片的生产 成本、与降低參数最佳化所需的时间，于封装与测试产业将有重大帮助，且可大幅提升现有封装与测试产业的可靠度分析效率。本发明的凸块接点的电阻测量结构结合了凯文结构与花环结构。如图3所示，其为ー种花环结构的示意图，其中多个焊锡接点互相连接，測量时是測量结构的总电阻。此花环结构经常用以作为可靠度分析的工具，于测试结果中可取得大量焊锡接点可靠度的整体结果，并可了解无铅焊锡接点早期变化特性。然而，相对上，因结构回路的总电阻值(多个欧姆)远大于単一接点(多个微欧姆)，因此受限于结构回路总电阻值的噪声与误差(如下图12. 3b所示)，对于单一接点的特性与其对电阻变化的关联无法做精确观测，亦无法确认结构回路上単一接点的变化。本发明的凸块接点的电阻测量结构，结合了花环结构与凯文结构的优点，在测试结构回路的头尾两侧测量结构回路的总阻值，并于测试结构中的焊锡接点间加入測量小区域电位降的电压测量垫，藉此分析小区域电阻值变化与微观结构的关系。本发明的凸块接点的电阻测量结构中，此ー结合可同时取得巨观的统计性分析结果与微观的小区域变化。并且,将此凸块接点的电阻测量结构称之为凯文-花环复合结构(Kelvin-daisy compositestructure)，将花环结构中的电迁移测试结构体依焊锡接点的分布分段，并于各分段点加入测量电位用的导线，即可于测量总电阻的同时，观察到各分段的电阻，此分段电阻即可用于推得各焊锡接点的微结构变化，同时保留两种结构的优点，并可减少大量凯文结构同时存在时所需的測量用金属垫数量，大幅缩减试片面积、降低测试成本。本发明的凸块接点的电阻测量结构中，该连接凸块及/或辅助凸块较佳为ー焊锡凸块。本发明的凸块接点的电阻测量结构中，该第一连接垫、第一电压测量垫、及/或第ニ电压测量垫较佳为设于一印刷电路板的表面。本发明的凸块接点的电阻测量结构中，该第二连接垫较佳为设于ー芯片的表面。本发明的凸块接点的电阻测量结构，较佳可更包括ー电流导入线，与多个连接凸块一端的连接凸块连接；以及ー电流导出线，与多个连接凸块另一端的连接凸块连接。本发明的凸块接点的电阻测量结构中，该第一连接垫及该第二连接垫的材质较佳可为可导电的材质，例如铜、镍、锡等金属。本发明另提供一种封装基板，其具有ー凸块接点的电阻测量结构，该封装基板包括一印刷电路板，其表面包括有至少ー第一连接垫；ー芯片，其表面包括有至少ー第二连接垫；以及多个连接凸块，排列呈ー线；其中，该多个连接凸块中的第η个连接凸块与第η+1个连接凸块以该第一连接垫电性连接，该第η+1个连接凸块与第η+2个连接凸块以该第二连接垫电性连接，η为I以上的奇数(即，n= 1,3,5,...等)；该第二连接垫与一辅助连接垫连接，该辅助连接垫与ー辅助凸块(auxiliary bump)连接。本发明的封装基板中，其所具有的凸块接点的电阻测量结构为ー种结合了凯文结构与花环结构的凯文-花环复合结构，因此可同时取得宏观的统计性分析结果与微观的小区域变化，同时保留两种结构的优点，并可減少大量凯文结构同时存在时所需的測量用金属垫数量，大幅缩减试片面积、降低测试成本。
本发明的封装基板较佳可更包括一第一电压测量垫，该第一电压测量垫与该第一连接垫连接。本发明的封装基板较佳可更包括一第二电压测量垫，该第二电压测量垫连接至该辅助凸块。本发明的封装基板中，该连接凸块较佳为ー焊锡凸块。本发明的封装基板中，该辅助凸块较佳为ー焊锡凸块。本发明的封装基板中，该第一电压测量垫、及/或第二电压测量垫较佳是设于印刷电路板的表面。本发明的封装基板较佳可更包括ー电流导入线，与多个连接凸块的第一个连接凸块连接；以及ー电流导出线，与多个连接凸块的最后ー个连接凸块连接。本发明的封装基板中，该第一连接垫及该第二连接垫的材质较佳可为可导电的材质，例如铜、镍、锡等金属。


图I是已知四点探针结构示意图。图2是已知凯文结构应用于连接半导体芯片与印刷电路板的焊锡球的电阻测量结构示意图。图3是本发明中的花环结构示意图。图4是本发明实施例I的凸块接点的电阻测量结构的连接示意图。图5是本发明实施例2的封装基板的凸块接点的电阻测量结构的电性连接示意图。图6是图5中线X-X’之处的剖面图。
具体实施例方式[实施例I]如图4所示，为本实施例的凸块接点的电阻测量结构的连接示意图，包括有第I个至第5个焊锡凸块B1-B5，排列呈ー线；第一连接垫Cl，C3，C5 ;以及第二连接垫C2，C4，C6 ;第I个焊锡凸块BI与第2个焊锡凸块B2以该第一连接垫Cl电性连接，该第2个焊锡凸块B2与第3个焊锡凸块B3以该第二连接垫C2电性连接，第一连接垫Cl与一第一电压测量垫Pl连接；第二连接垫C2与ー辅助连接垫P2’连接，该辅助连接垫P2’与ー辅助凸块(auxiliary bump)B2’连接,一第二电压测量垫P2连接至该辅助凸块B2’。第3个焊锡凸块B3与第4个焊锡凸块B4以该第一连接垫C3电性连接，该第4个焊锡凸块B4与第5个焊锡凸块B5以该第二连接垫C4电性连接，第一连接垫C3与一第一电压测量垫P3连接；第二连接垫C4与ー辅助连接垫P4’连接，该辅助连接垫P4’与ー辅助凸块B4’连接，一第二电压测量垫P4连接至该辅助凸块B4’。电流I由结构3的左端的电流导入线导入，并由结构3右端的电流导出线导出。当欲測量第2个焊锡凸块B2的电阻R2吋，由第一电压测量垫Pl及第ニ电压测量垫P2分别测得电压值VI，V2，并通过以下公式计算电阻R2
AV2 = V2-V1 ；R2=AV2/I。另外，当欲測量第3个焊锡凸块B3的电阻R3吋，由第一电压测量垫P3及第ニ电压测量垫P2分别测得电压值V3，V2，并通过以下公式计算AV3 = V3-V2 ；R3=AV3/I。本发明的凸块接点的电阻测量结构结合了凯文结构与花环结构，藉此，可同时取得宏观的统计性分析结果与微观的小区域变化，使得大幅降低可靠度测试的成本、降低缺陷分析的定位难度、降低测试试片的生产成本、与降低參数最佳化所需的时间，于封装与测试产业将有重大帮助，且可大幅提升现有封装与测试产业的可靠度分析效率。[实施例2]如图5所示，为本实施例的封装基板的凸块接点的电阻测量结构的电性连接示意图，而图6是图5中线X-X’的剖面图。请同时參阅图5及6，本实施例中，如图5所示，辅助凸块B2’，B4’、第一电压测量垫Pl，P3、以及第ニ电压测量垫P2，P4位于第I个至第5个焊锡凸块B1-B5的同一侧。第一连接垫Cl，C3、第一电压测量垫Pl，P3、以及第ニ电压测量垫P2，P4位于印刷电路板31 (如图6所示)的表面，第二连接垫C2，C4位于半导体芯片32 (如图6所示)的表面。该些焊锡凸块B1-B5则配置于第一连接垫与第二连接垫之间。测试时，电流由焊锡凸块B1-B5左端的电流导入线33导入，并由右端的电流导出线34导出，并使用第一电压测量垫P1，P3、以及第ニ电压测量垫P2，P4測量电压，已如同实施例I的相同公式计算电阻。当测试完成后，可由切割线L处进行切割，将第一电压测量垫PL P3、以及第ニ电压测量垫P2，P4切除，减少封装基板的整体体积。本发明的凸块接点的电阻测量结构及/或封装基板结合了凯文结构与花环结构，凯文-花环复合结构的优点在于，可取得测试结构的统计性分析结果与早期变化结果，亦可针对各欲观测分段或焊锡接点做详细的电阻分析，精确定位于可靠度测试中受破坏的位置，结合參数化的结构设计，可大幅缩减可靠度测试所需的时间、縮小测试试片面积、降低测试试片生产的成本。使用本发明的凸块接点的电阻测量结构及/或封装基板，当欲測量η个焊锡凸块的电阻时，仅需提供η/2个辅助凸块、η个电压测量垫、以及I对电流线路。相较于已知技术中(须提供η个辅助凸块、2η个电压測量垫、以及2η个电流线路)，本发明的凸块接点的电阻测量结构及/或封装基板可降低辅助凸块的使用量(仅需已知技术中一半数量的辅助凸块)、可降低电压测量垫的使用量(仅需已知技术中一半数量的电压测量垫)。综上所述，本发明的凸块接点的电阻测量结构及/或封装基板可同时取得宏观的统计性分析结果与微观的小区域变化，使得大幅降低可靠度测试的成本、降低缺陷分析的定位难度、降低测试试片的生产成本、与降低參数最佳化所需的时间，于封装与测试产业将 有重大帮助，且可大幅提升现有封装与测试产业的可靠度分析效率。上述实施例仅为了方便说明而举例而已，本发明所主张的权利范围自应以权利要求范围所述为准，而非仅限于上述实施例。
权利要求
1.一种凸块接点的电阻测量结构，包括 多个连接凸块，排列呈一线； 至少一第一连接垫；以及 至少一第二连接垫； 其中，该多个连接凸块中的第n个连接凸块与第n+1个连接凸块以该第一连接垫电性连接，该第n+1个连接凸块与第n+2个连接凸块以该第二连接垫电性连接，n为I以上的奇数； 该第一连接垫与一第一电压测量垫连接； 该第二连接垫与一辅助连接垫连接，该辅助连接垫与一辅助凸块(auxiliary bump)连接，一第二电压测量垫连接至该辅助凸块。
2.如权利要求I所述的凸块接点的电阻测量结构，其中，该连接凸块为一焊锡凸块。
3.如权利要求I所述的凸块接点的电阻测量结构，其中，该辅助凸块为一焊锡凸块。
4.如权利要求I所述的凸块接点的电阻测量结构，其中，该第一连接垫设于一印刷电路板的表面。
5.如权利要求I所述的凸块接点的电阻测量结构，其中，该第二连接垫设于一芯片的表面。
6.如权利要求I所述的凸块接点的电阻测量结构，其中，该第一电压测量垫设于一印刷电路板的表面。
7.如权利要求I所述的凸块接点的电阻测量结构，其中，该第二电压测量垫设于一印刷电路板的表面。
8.如权利要求I所述的凸块接点的电阻测量结构，更包括一电流导入线，与多个连接凸块一端的连接凸块连接；以及一电流导出线，与多个连接凸块另一端的连接凸块连接。
9.如权利要求I所述的凸块接点的电阻测量结构，其中，该第一连接垫及该第二连接垫的材质是金属。
10.一种封装基板，其具有一凸块接点的电阻测量结构，该封装基板包括 一印刷电路板,其表面包括有至少一第一连接垫； 一芯片，其表面包括有至少一第二连接垫；以及 多个连接凸块，排列呈一线； 其中，该多个连接凸块中的第n个连接凸块与第n+1个连接凸块以该第一连接垫电性连接，该第n+1个连接凸块与第n+2个连接凸块以该第二连接垫电性连接，n为I以上的奇数； 该第二连接垫与一辅助连接垫连接，该辅助连接垫与一辅助凸块连接。
11.如权利要求10所述的封装基板，更包括一第一电压测量垫，该第一电压测量垫与该第一连接垫连接。
12.如权利要求10所述的封装基板，更包括一第二电压测量垫，该第二电压测量垫连接至该辅助凸块。
13.如权利要求10所述的封装基板，其中，该连接凸块为一焊锡凸块。
14.如权利要求10所述的封装基板，其中，该辅助凸块为一焊锡凸块。
15.如权利要求11所述的封装基板，其中，该第一电压测量垫设于一印刷电路板的表面。
16.如权利要求12所述的封装基板，其中，该第二电压测量垫设于一印刷电路板的表面。
17.如权利要求10所述的封装基板，更包括一电流导入线，与多个连接凸块的第一个连接凸块连接；以及一电流导出线，与多个连接凸块的最后一个连接凸块连接。
18.如权利要求10所述的封装基板，其中，该第一连接垫及该第二连接垫的材质是金属。
全文摘要
本发明公开了一种凸块接点的电阻测量结构以及包含该结构的封装基板，该电阻测量结构包括多个连接凸块，排列呈一线；至少一第一连接垫；以及至少一第二连接垫；其中，该多个连接凸块中的第n个连接凸块与第n+1个连接凸块以该第一连接垫电性连接，该第n+1个连接凸块与第n+2个连接凸块以该第二连接垫电性连接，n为1以上的奇数；该第一连接垫与一第一电压测量垫连接；该第二连接垫与一辅助连接垫连接，该辅助连接垫与一辅助凸块(auxiliary bump)连接，一第二电压测量垫连接至该辅助凸块。
文档编号G01R27/08GK102749518SQ20111020853
公开日2012年10月24日 申请日期2011年7月22日 优先权日2011年4月22日
发明者张元蔚, 陈智 申请人:财团法人交大思源基金会