专利名称：绝缘测定用探针单元以及绝缘测定装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种测定太阳能电池板等的基板的周边部的绝缘状态的绝缘测定用探针单元以及绝缘测定装置。
背景技术：
太阳能电池板等的基板中，出于安装支承框的目的等，在其周边部设有绝缘区域。对于太阳能电池板，在基板的上侧面层叠太阳能电池膜，在太阳能电池膜的上侧面介由胶带层叠背板。然后，去除周边部的太阳能电池膜等，设置绝缘区域。专利文献I是这样的太阳能电池板的实例。该专利文献I的太阳能电池板按如下方式制造。
首先，在基板的主面整体形成太阳能电池用膜。接着，通过激光划片机将形成的膜切成长方形形状。通过重复这样的操作，制作成串联连接的太阳能电池�？�。接着，去除主面上周边部的太阳能电池用膜，露出基板。具体来说，通过采用激光的清边装置，去除周边部的太阳能电池用膜，或者，通过旋转的磨石的研磨、喷砂等的喷砂的研磨，去除周边部的太阳能电池用膜。然后，配置胶带和背板，通过真空层压法等接合。这种情况下，若基板周边部的太阳能电池用膜没有被完全去除还有残留，则不能充分得到与胶带的紧贴性和接合力，可能会产生间隙。若产生间隙的话，该间隙中浸入水分，则可能会引起太阳能电池的绝缘性下降或太阳能电池用膜的劣化。进一步地，还有残膜的话，绝缘耐压下降，与太阳能电池板取付構造体之间可能产生接地故障。为了消除这些问题，需要确实地去除基板周边部的太阳能电池用膜。于是，为了确实地去除残膜，或者提高上述清边装置的激光的输出，或者上述喷砂研磨中采用产生细粒粉尘的微型喷砂装置进行清边，但都各有优缺点，难以完全去除残膜。为此，需要确认是否没有太阳能电池用膜的残膜。为此，在去除太阳能电池用膜之后，进行检查。具体来说，通过目视、电阻测试仪进行抽样检查。又，作为太阳能电池的制造方法也有专利文献2所记载那样的。该太阳能电池的制造方法包含如下步骤而构成串形成工序，将多个在透光性绝缘基板的表面依次层叠第I电极层、光电转换层和第2电极层形成薄膜光电转换兀件形成相互电气串联连接的串；膜去除工序，通过激光去除在透光性绝缘基板的表面的外周部形成的薄膜光电转换元件部分、以在整周形成非导电性表面区域；清净化工序，去除在膜去除工序中产生的、在非导电性表面区域附着的导电性附着物。这种情况与前面一样形成周边部，需要确认该周边部是否没有太阳能电池用膜的残膜，这一点与专利文献I的情况时一样的。又，并不限于太阳能电池，对于其它的面板等，对于需要设置周边部的面板等都是一样的。即、需要确认该周边部是否没有太阳能电池用膜的残膜，这一点与专利文献I的情况时一样的。现有技术文献
专利文献专利文献I日本特开2003- 142717号公报专利文献2日本特开2009- 206279号公报
发明内容
发明要解决的技术问题然而，上述各现有技术中进行抽样检查时，不进行全数检查，因此难以进行严密的检查。目视的情况也是一样，难以进行严密的检查。另一方面，全数检查的话，花费时间，难以进行迅速地检查。于是，抽样检查中漏掉的、有残膜的太阳能电池板中，有该残膜部分成为漏电电流的发生源的情况，也有从残膜的部分层压密闭发生剥离、并浸水从而导致面板整体不良的 情况。由此可见，残膜即使仅有一点，也会成为引起问题的原因，因此要求严密的检查。因此，期望一种在短时间能够容易且高精度地检查残膜的装置。本发明正是鉴于上述的问题而提出的，其目的在于提供一种在短时间能够容易且高精度地检查残膜的绝缘测定用探针单元以及绝缘测定装置。解决问题的技术手段本发明的绝缘测定用探针单元，其是用于测定基板表面的内侧部和周边部之间的绝缘状态的绝缘测定用探针单元，所述绝缘测定用探针单元包括面探针，其形成为与上述基板表面的周边部相同的形状，与周边部整体面状地接触以整个面导通；接点探针，其与上述基板表面的内侧部接触，所述绝缘测定用探针单元测定与上述面探针接触的上述基板表面的周边部、和与上述接点探针接触的上述基板表面的内侧部之间的绝缘状态。本发明的绝缘测定装置，包括如下机构而构成绝缘测定用探针单元，其用于测定基板表面的内侧部和周边部之间的绝缘状态；输送机构，其将测定对象的基板输送到该绝缘测定用探针单元的下侧；检查平台，其支承由该输送机构输送来的基板以检查该基板；测定电路单元，其连接于上述绝缘测定用探针单元，测定上述基板表面的内侧部和周边部之间的绝缘状态；升降机构，其使上述检查平台上升或者使上述绝缘测定用探针单元下降，以使该绝缘测定用探针单元与上述基板表面接触。发明的效果根据上述构成，上述面探针与上述基板表面的周边部整体面状地接触以整面导通的同时，接点探针与上述基板表面的内侧部接触，以测定上述基板表面的周边部和内侧部之间的绝缘状态，因此，可以在短时间能够容易且高精度地进行周边部的残膜的检查。
图I是示出去除周边部的膜之前的太阳能电池板的俯视图。图2是示出去除周边部的膜之后的太阳能电池板的俯视图。图3是示出本发明的实施方式的绝缘测定装置的主视图。图4是示出本发明的实施方式的绝缘测定装置的俯视图。图5是示出本发明的实施方式的绝缘测定用探针单元的俯视图。
图6是图5的A— A线的箭头方向的截面图。图7是图6的B — B线的箭头方向的截面图。图8是示出本发明的实施方式的绝缘测定用探针单元以及测定电路单元的概略构成图。图9是示出本发明的实施方式的绝缘测定装置的检查平台的主视图。图10是示出本发明的实施方式的绝缘测定装置的动作的流程图。图11是示出本发明的变形例的概略构成图。
具体实施例方式以下，参照附图对本发明实施方式的绝缘测定用探针单元以及绝缘测定装置进行 说明。本发明的绝缘测定用探针单元以及绝缘测定装置是用于测定太阳能电池板等的基板的表面的内侧部与周边部之间的绝缘状态的装置。作为测定对象基板，以在基板表面的周边部具有去除了电极等的绝缘区域的全部基板为对象。该周边部是为了确保与相邻的其它的基板(太阳能电池单元等)之间的电气绝缘、或是为了保持绝缘地安装框架等而保留的区域。以下，采用太阳能电池板作为测定对象基板来进行说明。太阳能电池板I的情况下，如图I所示，在制造工序中，在基板2的主面整体形成太阳能电池用膜，通过激光划片机将形成的膜切成长方形形状。通过重复这样的操作，切分成多个太阳能电池单元3A。接着，如图2所示，去除基板2的表面的周边的太阳能电池膜3，以制作周边部(清边部)4。由此，在基板2的表面中，以周边部4围在内侧的区域成为内侧部5。于是，基板2的周边部4有残膜的话，如上所述，存在漏电电流等问题，需要正确测定是否有残膜。因此，通过残膜测定装置，进行周边部4和内侧部5之间的绝缘测定。以下，对具有绝缘测定用探针单元的绝缘测定装置进行说明。绝缘测定装置7是用于测定基板2的表面的内侧部5和周边部4之间的绝缘状态的装置。绝缘测定装置7如图3、4所示，包括绝缘测定用探针单元8、输送机构9、检查平台10、测定电路单元11、升降机构12。绝缘测定用探针单元8是为了测定基板2的表面的内侧部5与周边部4之间的绝缘状态而与它们接触的装置。绝缘测定用探针单元8如图5 7所示，由面探针14、接点探针15、固定栏16、探针基板21构成。面探针14形成为与上述基板2的表面的周边部4相同的形状、是用于与周边部4整体面状地接触的探针。该面探针14与周边部4的整个面导通，即使周边部4仅由残留的一点残膜覆盖，也能够确实地与面探针14接触。面探针14构成为在具有弹性的同时、至少与上述基板表面的周边部4整体接触的面具有导电性。面探针14由各向异性导电橡胶构成，或者由弹性构件和导电性构件构成。面探针14由各向异性导电橡胶构成时，该各向异性导电橡胶形成为与基板2的表面的周边部4的形状配合的环状。这里，基板2是四边形，周边部4是环状的四边形，因此，各向异性导电橡胶是截面为四边形的棒状，将该棒状材料形成环状的四边形以构成面探针14。弹性构件的尺寸被设定为与周边部4的尺寸配合。即、弹性构件被设定为覆盖周边部4的整个面、且不与内侧部5接触的尺寸。在面探针14的内侧面(位于环状的四边形的面探针14的内侧的壁面)设有绝缘部17，以使得面探针14的内侧面不与基板2的表面的内侧部5电接触。该绝缘部17由贴在面探针14的内侧面的绝缘膜等构成。面探针14由弹性构件和导电性构件构成时为如下这样。弹性构件是作为面探针14的芯材的构件、形成为与面探针14大致相同的形状。导电性构件是在弹性构件的表面卷绕的薄膜状或网状的构件。弹性构件形成为与周边部4的形状配合的环状。具体来说，弹性构件是形成截面为四边形的棒状材料、再将该棒状材料形成为环状的四边形而构成。弹性构件的尺寸被设定为与周边部4的尺寸配合。即、弹性构件设定为覆盖周边部4的整个面、且不与内侧部5接触的尺寸。弹性构件由发泡聚氨酯等具有弹性的合成树脂或橡胶等材料构成。无论有没有导电性都可以。又，弹性构件由橡胶管等构成，利用空气压、以可以柔性地配合对周边部4的微小的凹凸。导电性构件形成为薄膜状或网状，通过卷绕在弹性构件的周围，通过弹性构件的 弹性确实地与周边部4接触。即、导电性构件通过构成为薄膜状或网状并卷绕在弹性构件上，通过弹性构件的弹性挠性弯曲，而与周边部4的表面紧贴。导电性构件形成为网状的情况下，是将导电性的丝(导电性橡胶、炭纤维、金属丝等)构成为网状，再卷绕在弹性构件的周围。该导电性的丝具有弹性的情况下，仅卷绕在弹性构件的周围即可。导电性的丝没有弹性的情况下，或者通过粘接剂将该丝形成的网固定在弹性构件的周围，或者通过熔融接合。薄膜的情况下，通过粘结剂或熔融贴在弹性构件的周围。由此，导电性构件借助弹性构件的弹性、挠性弯曲地紧贴在周边部4的表面，以与周边部4残存的残膜确实地接触。在面探针14的内侧面(为环状四边形的面探针14的内侧的壁面)上，与上文同样设有绝缘部17，以不与基板2的表面的内侧部5电气的接触。该绝缘部17由贴在面探针14的内侧面的绝缘膜等构成。接点探针15是用于与基板2的表面的内侧部5接触的探针。接点探针15由弹性地伸缩的能够伸缩的弹簧探针构成。由此，接点探针15与基板2抵接时，收缩的同时确实地与基板2的表面电气的接触。如图7、8所示,接点探针15与基板2的太阳能电池单元3A配合地配置。具体来说，在长方形的太阳能电池单元3A的长度方向的两端位置各配设一个接点探针15。进一步地，在多个并列配设的太阳能电池单元3A中的两端的太阳能电池单元3A的表面，在该表面的等间隔的多处位置配设接点探针15。对于太阳能电池单元3A中的两端的太阳能电池单元3A，在图8中，为了说明方便，在7处配设接点探针15，例如在1.4mXlm的面板上，配设了约35处。进一步地，图8中，为了方便分割成13个太阳能电池单元3A，例如I. 4mX Im的面板，被分割成约100个太阳能电池单元3A。由此，图8中，在整周36处位置配设有36根接点探针15。在I. 4mX Im的面板上，在270处的位置配设有270根接点探针15。各接点探针15被分成两个系统。具体来说，位于太阳能电池单元3A的长度方向的一端(图8中的上端)的接点探针15、和位于多个并列配设的太阳能电池单元3A中的一方(图8中的右方)的端部的太阳能电池单元3A的多根(图8中的7根)接点探针15属于一个系统。对于这些接点探针15分别设有电流计19。又，位于一方的端部的太阳能电池单元3A的多根接点探针15电连接，并设有一个电流计19，通过该电流计19对端部的太阳能电池单元3A中任意位置的短路进行检测。此时，由于不能确定短路之处，因此，该端部的太阳能电池单元3A的部分的周边部4全部作为处理对象。各接点探针15的另一个系统在与上述系统相对的位置，具有与该系统同样的构成。各接点探针15在基板2表面的内侧部5的每个测定对象部位分别配设，并在此状态下由固定栏16 —体地支承。该固定栏16，如图6所示，固定于探针基板21。面探针14也是一样，固定于探针基板21。由此，面探针14和接点探针15 —体地被支承。进一步地，接点探针15的顶端部(下端部)被设为比面探针14的接触面(下端面)更靠近基板2的表面侧(下侧)。由此，接点探针15先与基板2的表面接触，然后面探针14再与基板2的表面接触。
输送机构9是用于将测定对象的基板2输送到绝缘测定用探针单元8的下侧的装置。输送机构9如图3、4所示，由多个并列配设的输送辊子25、旋转驱动各输送辊子25的驱动部(未图示)构成。各输送辊子25配合基板2的输送方向、并列配设在框架(作为绝缘测定装置7的骨格的框架)26的上侧面。各输送辊子25连接于驱动部、以一体地旋转。进一步地，绝缘测定装置7被组装到生产线时，各输送辊子25配合生产线的输送装置而配设，以使得基板2可以从该生产线的输送装置连续地输送到绝缘测定装置7。检查平台10是为了对由输送机构9输送的基板2进行检查而进行支承的平台。检查平台10，如图3、9所示，包括搭载由上述输送机构9输送的基板2的基板搭载部28、和对搭载于该基板搭载部28的基板2进行定位的基板定位机构29而构成。基板搭载部28包括多个支承辊子30，该多个支承辊子30承接由上述输送机构9输送的基板2、并在基板2能够移动的状态下对其支承。各支承辊子30连接于驱动部(未图示)、一体地被旋转驱动。由此，各支承辊子30被驱动部驱动，使基板2移动到绝缘测定用探针单元8的正下方位置并对其支承。基板定位机构29由定位片32和移动装置33构成。定位片32从多个支承辊子30之间延伸出来、与基板2的边缘抵接，是用于定位该基板2的构件。定位片32由进出机构(未图示)支承。进出机构由直线运动机构构成。由此，进出机构通过支承定位片32使其进出，以适当地切换位于支承辊子30的下部的待机状态、和向上方延伸与基板2的边缘抵接的动作状态。定位片32设为两个，以从两侧夹住基板2。移动装置33是用于使定位片32移动的装置。移动装置33由配设在定位片32移动的方向的螺杆34、被旋入该螺杆34并随着该螺杆34的旋转而滑动的滑片35、连接于螺杆34以旋转驱动该螺杆34的驱动马达36。移动装置33与定位片32配合地设有两个。定位片32安装于滑片35。由此，由两个移动装置33使各定位片32向相互接近的方向移动，从两侧夹着基板2、对准设定位置而固定。基板搭载部28和基板定位机构29 —体地设于升降框架37。该升降框架37支承于升降机构12。测定电路单元11分别连接于绝缘测定用探针单元8的面探针14以及各接点探针15，是用于测定基板2的表面的内侧部5和周边部4之间的绝缘状态的装置。测定电路单元11,如图3、6、8所示,包括电源38、电流计19、处理部(未图示)等而构成。电源38连接于各电流计19和面探针14，在内侧部5和周边部4之间施加电压。进一步地，面探针14被接地。处理部分别连接于各电流计19。电流计19是用于测定由绝缘状态的差异而发生变化的电流的计测器。由此，根据哪个电流计19流过多少电流测定绝缘状态，并确定流过该电流的接点探针15的位置近旁发生了短路。又，作为测定器，并不限定于电流计19，也可以是测定电压、电阻等其它电气数值的仪器。只要是测定伴随着短路发生变化的电气的数值的测定器即可。升降机构12是使检查平台10上升、以使绝缘测定用探针单元8与基板2的表面接触的装置。升降机构12，如图3所示，由在上下方向配设的螺杆40、被旋入该螺杆40以随着该螺杆40的旋转上下升降的升降片41、连接于螺杆40以旋转驱动该螺杆40的驱动马达42构成。升降片41固定于检查平台10的升降框架37。由此，随着由驱动马达42驱动的螺杆40的旋转，检查平台10进行升降。
然后，基于图10的流程图，对上述结构的绝缘测定装置7的动作进行说明。首先，设定菜单(步骤SI)。设定关于基板2和绝缘测定装置7的各条件。然后，将基板2设置于绝缘测定装置7 (步骤S2)。具体来说，从生产线的输送装置等将基板2输送到输送机构9。由此，输送辊子25承接基板2并将其移送至绝缘测定用探针单元8的正下方。接着，由进出机构使定位片32从位于支承辊子30下部的待机状态变换为向上方延伸的动作状态。接着，由驱动马达36旋转驱动移动装置33的螺杆34，使定位片32与滑片35 —起移动以相互接近。由此，两个定位片32从两侧夹着基板2，以对其定位支承。接着，进行一个系统的测定(步骤S3)。具体来说，使图8的右上侧的测定系统动作以进行测定。此时，首先，升降机构12的驱动马达42动作以使螺杆40旋转，升降片41随着螺杆40的旋转上升。由此，检查平台10上升，绝缘测定用探针单元8的接点探针15与太阳能电池单元3A接触。具体来说，各接点探针15与基板2的内侧部5的各太阳能电池单元3A接触。接触后检查平台10仍然上升，使各接点探针15被压收缩的同时，面探针14与周边部4接触。由此，面探针14被压收缩而紧贴。在此状态下，对面探针14和各接点探针15之间施加电压，由各电流计19测定电流。接着，进行另一系统的测定(步骤S4)。具体来说，使图8的左下侧的测定系统动作，以进行测定。具体来说，与上述系统的测定一样。接着，判断每个系统是否有低电阻处(步骤S5)。具体来说，判断各电流计19的数值是否有闻的。存在低电阻处的情况下，确定该低电阻处(步骤S6)。具体来说，确定由于电阻低而电流值高的电流计19的接点探针15。此时，连接于短路的太阳能电池单元3A的两端的各系统的电流计19的电流值变高，按下述方法确定。即、将长条的太阳能电池单元3A自身的电阻值考虑到计算中，比较两个电流计19的电流值，仅高出上述电阻值部分的电流值的接点探针15的近旁确定为存在残膜的区域。没有低电阻之处的情况下，进入到步骤S7。步骤S7中，将上述结果记录到数据库中(步骤S7)。
接着,在操作者近旁的显示部(未图示)显示上述结果(步骤S8)。进一步地，将上述结果发送至上位通信(步骤S9)。向该上位通信发送信息是根据需要来进行的。例如，存在一并管理多个装置的控制部的情况下，将该数据发送至该控制部。检查一旦结束，即使检查平台10下降、搬出基板2，并设置下一个基板2，重复上述处理。对于发现残膜的基板2，另外实施周边部4的膜去除加工。由此，可以在短时间容易地进行基板2的残膜检查。进一步地，可以确实地使面探针14、接点探针15与周边部4、内侧部5接触，可以高精度地进行周边部的残膜的检查。由此，可以确实地防止残膜不良品的流出。 [变形例]上述实施方式中，各接点探针15分别设有电流计19，但也可以如图11所示，设有切换开关43，电流计19仅设置一个即可。即、电源38上连接一个电流计19，介由切换开关43使电流计19连接到各接点探针15。由此，切换开关43依次切换，使各接点探针15逐个连接到电流计19，以检测电流值。这种情况下，可以起到与上述实施方式同样的作用、达到同样的效果。上述实施方式中，升降机构12使检查平台10上升，但也可以使绝缘测定用探针单元8下降，以使该绝缘测定用探针单元8与基板2的表面接触。这种情况下，可以起到与上述实施方式同样的作用、达到同样的效果。又，基板定位机构29在基板2的两侧设有两个，也可以在基板2的4边设有四个。又，上述测定结果也可以对清边的加工机的菜单进行反馈。上述实施方式中，对在太阳能电池板I设置周边部4的实例进行说明，但并不限定于太阳能电池板1，其它的面板等也可以适用本申请发明。即、对于需要设有周边部的面板等、只要是需要确认该周边部是否没有残膜的所有的面板等，都可以适用本申请发明。符号说明I :太阳能电池板、2 :基板、3 :太阳能电池膜、3A :太阳能电池单元、4 :周边部、5 内侧部、7 :绝缘测定装置、8 :绝缘测定用探针单元、9 :输送机构、10 :检查平台、11 :测定电路单元、12 :升降机构、14 :面探针、15 :接点探针、16 :固定栏、17 :绝缘部、19 :电流计、21 探针基板、25 :输送辊子、26 :框架、28 :基板搭载部、29 :基板定位机构、30 :支承辊子、32 定位片、33 :移动装置、34 :螺杆、35 :滑片、36 :驱动马达、37 :升降框架、38 :电源、40 :螺杆、
41:升降片、42 :驱动马达、43 :切换开关。
权利要求
1.一种绝缘测定用探针单元，其是用于测定基板表面的内侧部和周边部之间的绝缘状态的绝缘测定用探针单元，其特征在于， 所述绝缘测定用探针单元包括面探针，其形成为与上述基板表面的周边部相同的形状，与周边部整体面状地接触以整个面导通； 接点探针，其与上述基板表面的内侧部接触， 所述绝缘测定用探针单元测定与上述面探针接触的上述基板表面的周边部、和与上述接点探针接触的上述基板表面的内侧部之间的绝缘状态。
2.如权利要求I所述的绝缘测定用探针单元，其特征在于， 上述面探针具有弹性，且至少与上述基板表面的周边部整体接触的面具有导电性。
3.如权利要求I所述的绝缘测定用探针单元，其特征在于， 上述面探针由与上述基板表面的周边部的形状配合的环状的弹性构件、和卷绕在该弹性构件的周围的导电性构件构成。
4.如权利要求I所述的绝缘测定用探针单元，其特征在于， 上述面探针由与上述基板表面的周边部的形状配合的环状的各向异性导电橡胶构成。
5.如权利要求I所述的绝缘测定用探针单元，其特征在于， 在上述面探针的内侧面设有绝缘部。
6.如权利要求I所述的绝缘测定用探针单元，其特征在于， 上述接点探针分别设在上述基板表面的内侧部的每个测定对象部位，各接点探针由固定栏一体地被支承。
7.如权利要求I所述的绝缘测定用探针单元，其特征在于， 上述接点探针由能够伸缩的弹簧探针构成。
8.如权利要求7所述的绝缘测定用探针单元，其特征在于， 上述面探针与接点探针一体地被支承的同时，上述接点探针的顶端部相对于上述面探针的接触面被设为更靠近上述基板表面侧，上述接点探针先与上述基板表面接触，然后上述面探针与上述基板表面接触。
9.一种绝缘测定装置，其特征在于，包括如下机构而构成 绝缘测定用探针单元，其用于测定基板表面的内侧部和周边部之间的绝缘状态； 输送机构，其将测定对象的基板输送到该绝缘测定用探针单元的下侧； 检查平台，其支承由该输送机构输送来的基板以检查该基板； 测定电路单元，其连接于上述绝缘测定用探针单元，测定上述基板表面的内侧部和周边部之间的绝缘状态； 升降机构，其使上述检查平台上升或者使上述绝缘测定用探针单元下降，以使该绝缘测定用探针单元与上述基板表面接触。
10.如权利要求9所述的绝缘测定装置，其特征在于， 采用权利要求I至8中的任意一项所述的绝缘测定用探针单元，作为所述绝缘测定用探针单元。
11.如权利要求9所述的绝缘测定装置，其特征在于， 上述检查平台包括搭载上述输送机构所输送来的基板的基板搭载部、对搭载于该基板搭载部的基板进行定位的基板定位机构，上述基板搭载部包括承接由上述输送机构输送来的基板、并使其能够移动地进行支承的多个辊子， 上述基板定位机构包括从上述多个辊子之间延伸出来而抵接于上述基板的边缘、对该基板进行定位的定位片。
12.如权利要求9所述的绝缘测定装置，其特征在于， 上述测定电路单元包括电源、和测定电气数值的测定器， 上述基板表面的内侧部的、并列的、多个被分割而成的各单元的长度方向的两端分别与接点探针接触，且并列的、多个单元中的最外侧的单元等间隔地分别与多个接点探针接触， 与上述基板表面的周边部接触的面探针和上述各接点探针之间连接有上述电源，且上述各接点探针分别连接有上述测定器，从而测定上述基板表面的内侧部和周边部之间的绝缘状态。
13.如权利要求12所述的绝缘测定装置，其特征在于， 该绝缘测定装置由两个系统的测定电路构成， 分别与各单元的长度方向的一方端部接触的接点探针、与并列的多个单元中一方最外侧的单元等间隔地接触的多个接点探针作为一个系统， 分别与各单元的长度方向的另一方端部接触的接点探针、与并列的多个单元中另一方最外侧的单元等间隔地接触的多个接点探针作为一个系统。
14.如权利要求9所述的绝缘测定装置，其特征在于， 上述基板为太阳能电池板。
全文摘要
本发明涉及一种绝缘测定用探针单元以及绝缘测定装置，可以在短时间容易地且高精度地检查基板的周边部的残膜。绝缘测定用探针单元测定基板表面的内侧部和周边部之间的绝缘状态。该绝缘测定用探针单元包括面探针，其形成为与上述基板表面的周边部相同的形状，与周边部整体面状地接触以整个面导通；接点探针，其与上述基板表面的内侧部接触，所述绝缘测定用探针单元测定与上述面探针接触的上述基板表面的周边部、和与上述接点探针接触的上述基板表面的内侧部之间的绝缘状态。包括输送机构、检查平台、测定电路单元、升降机构等的绝缘测定装置上组装有上述绝缘测定用探针单元。
文档编号G01R1/073GK102778594SQ20121014081
公开日2012年11月14日 申请日期2012年5月8日 优先权日2011年5月10日
发明者前川贵史, 大地隆广, 宇田隆 申请人:日本麦可罗尼克斯股份有限公司
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