亚星游戏官网-www.yaxin868.com

专利名称：高精度蓝宝石卧式粘料定向仪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及的是根据X射线衍射原理，用X射线测定蓝宝石晶棒材料的集合表面与内部晶面间的角度，保证晶棒粘结精度的光机电一体化的精密测量仪器。
背景技术：
测定晶棒几何表面与其内部晶面角，并按测定角度值将晶棒粘结在料板上，是进行下一步晶棒念料精度的高低，直接影响晶体切片质量好坏和经济效益。现行的晶棒测角和粘料君采用如下方式在普通精度的X射线定想仪上以晶棒的面为测试面，测定其角度值，再将该测定值一一标记在晶棒表面上，再通过机械校角仪将晶棒粘结在料板上。该晶棒粘料操作方法之所以选用普通精度的X射线定向仪，而非高精度X射线定向仪，其原因在于晶棒面的X射线反射能力非常弱，具有单色器的高精度X射线定向仪根本无法实现其测量任务。根据X射线晶体学原理，普通精度的X射线定向仪的应用决定了其测角精度只能在±45" - ±1'之间，利用精度仅为±15"的机械校角仪实现晶棒校角及粘料工作，更难以保证晶棒粘结的精度。所以晶棒粘结精度通常也只能达到±1,左右，严重影响了切片精度，导致晶体切片制品的不合格品比例很大，而合格的晶体切片产品中，高精度切片更是凤毛麟角，造成人力、物力的大量浪费。

实用新型内容为了突破晶体切片质量的瓶颈，改变目如晶棒粘料精度低的现状，提闻晶棒粘结精度，本实用新型提供一种高精度蓝宝石卧式粘料定向仪。采用技术方案是高精度蓝宝石卧式粘料定向仪，包括X射线管、测晶平台、计数器、放大器、数显器、测量光路及粘料机构，其特征在于所述的测量光路为由X射线管发出的X射线经单色器、被测晶棒至计数器构成，所述的粘料机构包括平台上的托板、滑板，托板上固定没有横跨滑板之上的横粱，横梁上设有晶棒C面的定位顶针和微调晶棒角的微调器，滑板与托板之间设有精密导轨，滑板上设有紧固复位装置。本技术方案中，避开了现有X射线定向经Z面来测定晶棒面角的测量光路结构形式，以反射能力很强的面作为测量光路中的检测构件，解决了现有晶棒粘料技术中无法应用高精度X射线定向仪、直接影响测量精度的现实矛盾。本技术的应用不仅可以师晶棒粘料精度能够达到±15"档次，而且本技术中采用了显示计数器输出值并记忆锁定峰值的数字/模拟率表，改变了在一定范围中盲目寻找峰值的测量现状，使测量精度达到±15"档次得到保证，还因采用了高分辨率的编码器和数显器，使最小读数达I"，共同为进行高质量、高精度晶体切片打下了坚实的基础。另外，本技术中料板的锁定采用了电磁铁结构，使之符合了锁定时锁紧力尽可能大而牢固、取下时锁紧力尽可能小而轻便的使用要求，确保滑板基准侧准确性的长久性，加之采用丁高精密导轨，从结构上完善了晶棒粘料操作质量，确保了晶棒粘料的闻精度要求。综上所述，本技术具有晶棒粘料精度闻、便于操作、测量工作效率高的优点，并可使操作误差降至最低。
图1为本实用新型的结构示意图。具体实旋方式高精度蓝宝石卧式粘料定向仪，包括X射线管1、测晶平台7、计数器4、数显器5及粘料机构，其中由X射线管I发出的射线经单色器2、顶针6和微调器12调整晶体棒角度位置，晶棒3至计数器4构成测量光路，其中的顶针6和微调器12设置在与粘料机构中的托板9固定连接、横跨料板8之上的横梁11上，顶针6顶触在晶棒大C面上，其微调器12从晶棒侧面来细微调整晶棒3的角度位置，以使入射至人C面的X射线在符合布拉格产生衍射线，由计数器4接收，通过数字/模拟率表5显示结果，调整至最佳衍射状态后，将品棒粘结在料板8上。粘料机构包括托板9、滑板10，滑动机构的设计为粘结若干晶棒提供了方便，滑板10按大C面的晶面角与X射线管I所在的作标线倾斜设置。
权利要求1.高精度蓝宝石卧式粘料定向仪，包括X射线管(I)、测晶平台(7)、计数器(4)、数显器(5)、测量光路及粘料机构，其特征在于所述的测量光路为由X射线管(I)发出的X射线经单色器(2)、被测晶棒(3)至计数器(4)构成，所述的粘料机构包括平台上的托板(9)、滑板(10)，托板(9)上固定有横跨滑板(10)之上的横粱(11)，横梁(11)上设有晶棒C面的定位顶针(6)和微调晶棒角的微调器(12)。
专利摘要高精度蓝宝石卧式粘料定向仪，包括X射线管、测晶平台、计数器、放大器、数显器、测量光路和设置于测晶平台上用于粘结晶棒的粘料机构，其测量光路为X射线管发出的X射线经单色器、以晶棒C面为检测面的被测晶棒至计数器构成，粘料机构包括平台上的托板、滑板和滑板上的料板定位机构，滑板与托板之间通过精密导轨滑动配合，精板的料板定位机构中设有电磁铁。本技术具有晶棒粘板精度高、便于操作、测量工作效率高的优点，并可使操作误差降至最低。
文档编号G01N23/207GK202870003SQ20122026537
公开日2013年4月10日 申请日期2012年6月7日 优先权日2012年6月7日
发明者甄伟, 赵松彬, 高宇辉 申请人:丹东新东方晶体仪器有限公司