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专利名称：一种主动测试电压对比度失效定位的方法
技术领域：
本发明涉及一种测试方法，尤其涉及一种主动测试电压对比度失效定位方法。
背景技术：
目前，对被动电压对比定位(passive voltabe contrast,简称PVC)的测试方法已经广泛的应用在半导体的分析故障中，在电压对比定位方法中通常是使用扫描电子显微镜(scanning electron microscopy,简称SEM)对样品电压对比进行测试的,在测试的过程中是通过聚焦离子束(focused ion beam,简称FIB)轰击样品表面,并观察聚焦离子束反射的形态图像亮度来确定样品中电压对比是否有故障的。 如图I所示，在测试锁链式样品中间连线发生断裂的时候，聚焦离子束轰击在样品表面具有不同的形态，具体的为当聚焦离子束轰击在样品具有连接线断裂部分的上表面时，聚焦离子束的反射呈弯曲状为不发光；当聚焦离子束轰击在样品具有连接线未断裂部分的上表面时，聚焦离子束的反射呈直线为发光，以此来判定并分析样品中的故障存在于
哪一点。但是PVC仍然有局限性，如图2所示，在测试并联锁链式样品时，由于基体金属泄漏电流的缘故，聚焦离子束轰击在样品上反射的射线始终呈直线并发光，由此无法测试分析出样品在泄漏电源时中间的断裂处。在扫描电子显微镜和纳米探针系统的配合的使用下可以克服这一缺陷能够测试，但是纳米探针系统是一个高成本的解决方法，并且对于操作
者需要一定经验。

发明内容
发明公开了一种主动测试电压对比度失效定位方法。用以解决现有技术中，在对并联锁链式样品测试时使用纳米探针系统的高成本以及操作复杂的问题。为实现上述目的，发明采用的技术方案是
一种主动测试电压对比度失效定位方法，其中，包括以下工艺步骤
步骤一，将所要测试的样品通过导电双面胶带黏贴在支撑盘上；
步骤二，在支撑盘上黏贴单面隔离胶带，并使单面隔离胶带的两端接近被测样品；步骤三，在单面隔离胶带上设有多个电池，并在每两个电池之间设有垫片连接，之后在首端电池的顶面设有一单面导电胶带并黏贴在单面隔离胶带上，在末端电池的底面设有一双面导电胶带并黏贴在单面隔离胶带上；
步骤四，利用引线将单面隔离胶带上的单面导电胶带与双面导电胶带远离电池的一端与被测样品的压点连接；
步骤五，对被测样品进行测试。上述的主动测试电压对比度失效定位方法，其中，所述电池为纽扣电池。上述的主动测试电压对比度失效定位方法，其中，所述引线为金、铝或铜导线。上述的主动测试电压对比度失效定位方法，其中，所述单面导电胶带与双面导电胶带的材料为铝材料上述的主动测试电压对比度失效定位方法，其中，所述单面导电胶带与双面导电胶带的材料为铜材料。上述的主动测试电压对比度失效定位方法，其中，所述电池、单面导电胶带、双面导电胶带、引线与被测样品串联连接。本发明中一种主动测试电压对比度失效定位方法，采用了如上方案具有以下效果:
1、能够有效地使操作检测方式变得简易，不需要操作者对其有很丰富的操作经验，使用操作成本低廉；
2、同时能够灵活性的对测试样品进行测试。


通过阅读参照如下附图对非限制性实施例所作的详细描述，发明的其它特征，目的和优点将会变得更明显。图I为常规情况下聚焦离子束轰击在样品表面具有不同的形态示意 图2为测试并联锁链式样品的情况下聚焦离子束轰击在样品表面具有相同形态的示意 图3为一种主动测试电压对比度失效定位方法的实施示意 参考图序样品I、支撑盘2、导电双面胶带3、单面隔离胶带4、单面导电胶带5、双面导电胶带6、垫片7、引线8、压点9、电池10。
具体实施例方式为了使发明实现的技术手段、创造特征、达成目的和功效易于明白了解，下结合具体图示，进一步阐述本发明。如图3所示，一种主动测试电压对比度失效定位方法，其中，包括以下工艺步骤 步骤一，将所要测试的样品I通过导电双面胶带3黏贴在支撑盘2上，进一步的该支撑
盘2为扫描电子显微镜内的支撑盘2 ；
步骤二，在支撑盘2上黏贴单面隔离胶带4，并使单面隔离胶带4的两端接近被测样
品;
步骤三，在单面隔离胶带4上设有多个电池10，并在每两个电池10之间设有垫片7作为两个电池10的连接，进一步的，为了启到电池10的延展性，之后在首端电池10的顶面设有一单面导电胶带5并黏贴在单面隔离胶带4上，在末端电池10的底面设有一双面导电胶带6并黏贴在单面隔离胶带4上；
步骤四，利用引线8将单面隔离胶带4上的单面导电胶带5与双面导电胶带6远离电池的一端与被测样品I的压点9连接；
步骤五，对被测样品I进行测试。上述的主动测试电压对比度失效定位方法，其中，所述电池10为纽扣电池，进一步的，为了减小在扫描电子显微镜内的空间。上述的主动测试电压对比度失效定位方法，其中，所述引线8为金、铝或铜导线。
上述的主动测试电压对比度失效定位方法，其中，所述单面导电胶带5与双面导电胶带6的材料为铝材料。上述的主动测试电压对比度失效定位方法，其中，所述单面导电胶带5与双面导电胶带6的材料为铜材料。上述的主动测试电压对比度失效定位方法，其中，所述电池10、单面导电胶带5、双面导电胶带6、引线8与被测样品I串联连接。综上所述，发明一种主动测试电压对比度失效定位方法，能够有效地使操作检测方式变得简易，不需要操作者对其有很丰富的操作经验，使用操作成本低廉，同时能够灵活性的对测试样品进行测试。
以上对发明的具体实施例进行了描述。需要理解的是，发明并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变形或修改，这并不影响发明的实质内容。
权利要求
1.一种主动测试电压对比度失效定位方法，其特征在于，包括以下工艺步骤 步骤一，将所要测试的样品通过导电双面胶带黏贴在支撑盘上； 步骤二，在支撑盘上黏贴单面隔离胶带，并使单面隔离胶带的两端接近被测样品； 步骤三，在单面隔离胶带上设有多个电池，并在每两个电池之间设有垫片连接，之后在首端电池的顶面设有一单面导电胶带并黏贴在单面隔离胶带上，在末端电池的底面设有一双面导电胶带并黏贴在单面隔离胶带上； 步骤四，利用引线将单面隔离胶带上的单面导电胶带与双面导电胶带远离电池的一端与被测样品的压点连接； 步骤五，对被测样品进行测试。
2.根据权利要求I所述的主动测试电压对比度失效定位方法，其特征在于，所述电池为纽扣电池。
3.根据权利要求I所述的主动测试电压对比度失效定位方法，其特征在于，所述引线为金、铝或铜导线。
4.根据权利要求I所述的主动测试电压对比度失效定位方法，其特征在于，所述单面导电胶带与双面导电胶带的材料为铝材料。
5.根据权利要求I所述的主动测试电压对比度失效定位方法，其特征在于，所述单面导电胶带与双面导电胶带的材料为铜材料。
6.根据权利要求I所述的主动测试电压对比度失效定位方法，其特征在于，所述电池、单面导电胶带、双面导电胶带、引线与被测样品串联连接。
全文摘要
本发明一种主动测试电压对比度失效定位方法，其中，包括以下工艺步骤步骤一，将所要测试的样品通过导电双面胶带黏贴在支撑盘上；步骤二，在支撑盘上黏贴单面隔离胶带，并使单面隔离胶带的两端接近被测样品；步骤三，在单面隔离胶带上设有多个电池，并在每两个电池之间设有垫片连接，之后在首端电池的顶面设有一单面导电胶带并黏贴在单面隔离胶带上，在末端电池的底面设有一双面导电胶带并黏贴在单面隔离胶带上；步骤四，利用引线将单面隔离胶带上的单面导电胶带与双面导电胶带远离电池的一端与被测样品的压点连接；步骤五，对被测样品进行测试。通过本发明一种主动测试电压对比度失效定位方法，能够有效地使操作检测方式变得简易，不需要操作者对其有很丰富的操作经验，使用操作成本低廉，同时能够灵活性的对测试样品进行测试。
文档编号G01R31/02GK102621437SQ201210066520
公开日2012年8月1日 申请日期2012年3月14日 优先权日2012年3月14日
发明者陈强 申请人:上海华力微电子有限公司