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专利名称：气体泄漏检测器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种气体泄漏检测器，该气体泄漏检测器适用于检测例如气相色谱仪(以下，简称为GC)的载气的泄漏，在该气体泄漏检测器中，小型化的吸气泵和气体检测传感器构成一体，实现小型轻量化和操作的简便化，同时，导入抽吸气体的单元内容量紧凑化，使气体检测传感器准确并且迅速地感应，提高了气体泄漏检测灵敏度，而且降低了吸气泵的脉动，获得稳定的检测动作，还能够降低制作成本。
背景技术：
一般情况下，GC在氦气等载气的管路上连接试样导入部和分离色谱柱，由试样导入部注入的试样通过载气被送入到分离色谱柱中，在分离色谱柱中分离试样成分,所分离的试样成分由检测器检测。此时，在从载气供给管路到检测器的流路中，如果载气存在泄漏，则对分析精度带来不良的影响，如果从泄漏部位向所述流路中混入空气，则会加快分离色谱柱的劣化，所以载气的泄漏检查需要随时进行，该泄漏检查使用气体泄漏检测器。作为现有的所述气体泄漏检测器，配置有作为采样气体的检测气体和参考气体的吸入部、与各吸入部连通的配管、抽吸所述气体的泵、以及检测所述气体的气体热传导式气体传感器，所述气体传感器是将白金线圈构成在电桥电路中，在测定泄漏气体时，抽吸空气等参考气体和检测气体，使所述传感器感应这些气体，将所述气体的热传导率的差所引起的传感器的温度变化作为传感器的电阻值的变化，利用电桥电路进行电流检测(例如，参照专利文献I以及2)。但是，所述气体泄漏检测器由于使用白金线圈作为传感器元件，所以收纳该线圈的单元内容量大，导致单元块大型化和重量化，同时，由于所述泵体型大并且抽吸量大，所以检测灵敏度的提高有限， 而且，由于脉动大、噪声大，所以检测动作不稳定，此外，由于泵和收纳传感器的单元分开配置，所以还存在装置大型化和重量化等问题。作为这种问题的一种解决方法，有如下方案该方案提供了由微加热器构成的芯片传感器，并将其用作气体传感器。芯片传感器能够使传感器小型化，在其上能够使用硅微机械加工技术，能够加热几10 μ m见方的微小区域(例如，参照专利文献3)。作为所述问题的另一种解决方法，可以使泵小型化、降低抽吸量以及使动作稳定。由此，有如下的气体泄漏检测器利用直流电动机使膜振动，通过其泵作用，抽吸采样气体和参考气体。但是，所述泵依然体型大并且抽吸量大，所以检测灵敏度的提高有限。另外脉动变大、噪声变大，检测动作不稳定。而且由于所述泵和单元分开配置，所以需要它们的配置空间，导致装置大型化和重量化，进而在检测的开始和结束部分会引起迟后和拖尾，存在花费很长的检测时间和重复的等待时间等问题。作为解决这种泵的问题的方法，提出了微小的压电微型气泵或压电膜泵。其中，膜的一侧配置有压电元件，该压电元件上连接有振荡电路等驱动装置，驱动该驱动装置，将恒定频率的脉冲电压施加给压电元件，使膜谐振驱动。在膜与间隔板之间设置有能够进行泵作用的气泵室，在该气泵室中连通两个流路，从所述流路供给/排出各流体(例如，参照专利文献4以及5)。但是，虽然通过所述微加热器或压电微型气泵能够实现传感器和泵的小型化和轻量化、抽吸气体量的降低、单元内容量的降低，但是如果不把这些部件相互连接起来，很难获得预期的效果。例如，即使使所述传感器小型化、使泵的抽吸量降低，但是当导入气体的单元内容量相对过大时，所述气体在单元内扩散而使浓度下降，也无法获得所需的检测灵敏度，并且存在检测的响应时间变长等问题。另一方面，作为设置在色谱柱的下游测的、通过热传导率来检测在色谱柱中分离出的采样气体的成分的检测器，在微小厚度的薄片体上设置有左右一对的异形孔，在该薄片体的两侧配置有板状的检测器体，通过螺丝固定把它们连接起来。与所述异形孔连通的气体流入孔和气体流出孔配置在其中一个检测器体的两侧，其中间位置设有检测器安装孔，该安装孔中收纳有微小芯片传感器。一个气体流入孔被导入从分离色谱柱送出的采样气体，另一个气体流入孔被导入载气作为参考气体，将这些气体导入到各芯片传感器，测定各气体成分的热传导率并且进行比较，在检测出各气体成分和浓度之后，将各气体从气体流出孔排出(例如，参照专利文献6参照)。但是，所述检测器需要薄片体，该薄片体上分开地形成有作为各气体的通路的一对异形孔，各孔中设置有气体流出孔，并且其中间部设置有大孔径的检测器安装孔，所以存在如下的问题很难获得微小并且均匀的孔，薄片体或检测器体的结构复杂并且大型化，而且孔的容量或者其死体积变大，导入气体成分会扩散，导致芯片传感器的检测精度降低，无法获得预期的检测灵敏度和检测精度。
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现有技术文献专利文献专利文献I日本特开平9- 292302号公报专利文献2日本实用新型登记第3127573号公报专利文献3日本特开2000- 258376号公报专利文献4日本特开2009- 97393号公报专利文献5日本特开2005- 307858号公报专利文献6日本实开平3- 60060号公报

发明内容
(发明要解决的问题)本发明的目的在于提供一种解决上述问题的气体泄漏检测器，该气体泄漏检测器适用于检测例如GC的载气的泄漏，在该气体泄漏检测器中，小型化的吸气泵和气体检测传感器构成为一体，实现了小型轻量化和操作的简便化，同时，导入抽吸气体的单元内容量的紧凑化，使气体检测传感器准确并且迅速地感应，提高了气体泄漏检测灵敏度，而且降低吸气泵的脉动，获得稳定的检测动作，还能够降低制作成本。(解决技术问题的技术方案)
在本发明的第一方面中，气体泄漏检测器具备吸气泵，抽吸从被检测对象泄漏的采样气体和作为测定基准的参考气体；热传导型的气体检测传感器，能够测定基于所述抽吸气体的热传导率的电阻值的变化；以及单元块，内部具有能够导入所述抽吸气体的单元；所述单元开口有抽吸气体导入路径和气体排出路径，通过所述气体检测传感器的输出能够检测泄漏气体，所述气体泄漏检测器的特征在于所述单元是能够导入两种抽吸气体的单一空间，该单元的相对的一个对向侧面分别开口有两个抽吸气体导入路径和单一的气体排出路径，该气体排出路径的开口部配置在所述两个抽吸气体导入路径的开口部之间，同时，两个所述气体检测传感器配置在与单元的另一个对向侧面同一平面上，并且配置在各抽吸气体导入路径的开口部与气体排出路径的开口部之间，所述单元块中配置有与气体排出路径的开口部连通的吸气泵，在单一的单元中设有两个抽吸气体导入路径和单一的气体排出路径，实现了单元构造的简洁化和制作的简单化，同时，还实现了单元的小型化和单元内容量或其死体积的降低，防止了单元内的抽吸气体的扩散，实现了测定灵敏度的提高，同时，将收纳有气体检测传感器的单元块与吸气泵构成为一体，与以往的分开设置吸气泵和单元的情况相比，实现了小型化和轻量化。在本发明的第二方面中，单元块的内部形成有相互连通的切割槽和凹槽，在能够卡合在所述切割槽中的传感器基板上连接有传感器芯片，该传感器芯片收纳在所述凹槽中，所述单元被划分形成在该传感器芯片与所述凹槽之间，在组装的过程中不需要特殊的加工就能够简单并且均匀地制作微小的单元。在本发明的第三方面中，所述单元形成为俯视矩形，与以往的异形单元相比，能够简单并且廉价地制作。在本发明的第四方面中，单元内的两个抽吸气体导入路径的开口部配置在与所述气体排出路径的开口部等距离的位置上，从而单元的结构变得简洁，既能够简单地制作出单元，又能够实现抽吸气体从抽吸气体导入路径向气体排出路径的均一并且稳定的移动。在本发明的第五方面中，各气体能够从两个抽吸气体导入路径的开口部向所述气体检测传感器或气体排出路径的开口部移动，通过在气体排出路径中抽吸汇合后的两种抽吸气体，使所述抽吸气体的移动可靠并且稳定。在本发明的第六方面中，两个气体检测传感器在所述抽吸气体导入路径的开口部与气体排出路径的开口部之间，被设置在与该两个抽吸气体导入路径的开口部分别等距离的位置上，这样能够防止两种抽吸气体的移动速度的不同而导致的混入，准确并且稳定地进行各气体的检测，同时，能够使气体检测传感器对移动气体的感应精度稳定并且均一，从而准确地进行抽吸气体的检测。在本发明的第七方面中，两个抽吸气体导入路径的开口部、两个气体检测传感器以及气体排出路径的开口部成俯视V字形的设置，通过对它们进行规整的设置，实现了单元空间的合理利用和制作的简单化。在本发明的第八方面中，所述气体泄漏检测器设置有单元薄片，该单元薄片形成有与两个抽吸气体导入路径的开口部连通的两个通孔、与所述气体排出路径的开口部连通的通孔、以及与各通孔连通的单元通路，该单元薄片被密封配置在所述单元中，利用单元薄片使单元的结构合理化，能够以低成本简单地制作该单元，同时，实现了单元内容量或死体积的降低，防止了单元内的抽吸气体的扩散，实现了测定灵敏度的提高。
在本发明的第九方面中，所述单元薄片的与所述抽吸气体导入路径的开口部连通的两个通孔以与所述气体排出路径的开口部连通的通孔为中心配置在对称位置上，使单元薄片的结构简洁化，能够简单地制作单元薄片，同时，实现了抽吸气体从两个通孔向与气体排出路径连通的通孔的均一并且稳定的移动。在本发明的第十方面中，单元通路形成为俯视V字形，实现了单元通路的紧凑化，同时，沿着单元通路能够合理并且整齐地设置与抽吸气体导入路径连通的两个通孔和与气体排出路径连通的通孔。在本发明的第十一方面中，两个气体检测传感器面对所述单元薄片的与抽吸气体导入路径的开口部连通的两个通孔和与所述气体排出路径的开口部连通的通孔之间的单元通路而配置，通过将这些气体检测传感器设置在抽吸气体从抽吸气体导入路径向气体排出路径移动的移动路径中，气体检测传感器能够合理并且可靠地进行气体检测。在本发明的第十二方面中，气体检测传感器由微加热器构成，与以往的电阻丝或热敏电阻相比，能够实现气体检测传感器的小型化和量产化。在本发明的第十三方面中，吸气泵由压电膜驱动型的微泵构成，该膜能够高频振动，实现了吸气泵的小型化，同时，降低了脉动导致的噪声的影响，实现了稳定的动作和测定灵敏度的提闻。在本发明的第十四方面中，所述气体泄漏检测器能够增减对气体检测传感器的外加电流，使气体检测传感器的检测灵敏度可变，从而能够对应多种测定。(发明的效果)根据本发明的第一方面，由于单元是能够导入两种抽吸气体的单一空间，该单元的相对的一个对向侧面分别开口有两个抽吸气体导入路径和单一的气体排出路径，该气体排出路径的开口部配置在所述两个抽吸气体导入路径的开口部之间，同时，两个所述气体检测传感器配置在与单元的另一个对向侧面同一平面上，并且配置在各抽吸气体导入路径的开口部与气体排出路径的开口部之间，所述单元块中配置有与气体排出路径的开口部连通的吸气泵，在单一的单元中设有两个抽吸气体导入路径和单一的气体排出部，所以实现了单元构造的简洁化和制作的简单化，同时，实现了单元的小型化和单元内容量或其死体积的降低，防止了单元内的抽吸气体的扩散，实现了测定灵敏度的提高，同时，将收纳有气体检测传感器的单元块与吸气泵构成为一体，与以往的分开设置吸气泵和单元的情况相t匕，能够实现小型化和轻量化。根据本发明的第二方面，由于单元块的内部形成有相互连通的切割槽和凹槽，在能够卡合在所述切割槽中的传感器基板上连接有传感器芯片，该传感器芯片收纳在所述凹槽中，所述单元被划分形成在该传感器芯片与所述凹槽之间，在组装的过程中不需要特殊的加工就能够简单并且均匀地制作微小的单元。根据本发明的第三方面，由于单元形成为俯视矩形，所以与以往的异形单元相比，能够简单并且低价地制作。根据本发明的第四方面，由于单元内的两个抽吸气体导入路径的开口部配置在与所述气体排出路径的开口部等距离的位置上，所以单元的结构变得简洁，能够简单地制作出单元，同时，能够实现抽吸气体从抽吸气体导入路径向气体排出路径的均一并且稳定的移动。
根据本发明的第五方面，由于各气体能够从两个抽吸气体导入路径的开口部向所述气体检测传感器或气体排出路径的开口部移动，所以通过在气体排出路径中抽吸汇合后的两种抽吸气体能够可靠并且稳定地移动。根据本发明的第六方面，由于两个气体检测传感器在所述抽吸气体导入路径的开口部与气体排出路径的开口部之间，而且分别被设置在与该两个抽吸气体导入路径的开口部等距离的位置上，所以能够防止两种抽吸气体的移动速度的不同而导致的混入，准确并且稳定地进行各气体的检测，同时,能够使气体检测传感器对移动气体的感应达到稳定并且一致，从而准确地进行抽吸气体的检测。根据本发明的第七方面，由于两个抽吸气体导入路径的开口部、两个气体检测传感器以及气体排出路径的开口部配置成俯视V字形，所以通过对它们进行规整设置，实现了单元空间的合理利用和制作的简单化。根据本发明的第八方面，由于所述气体泄漏检测器设置有单元薄片，该单元薄片形成有与两个抽吸气体导入路径的开口部连通的两个通孔、与所述气体排出路径的开口部连通的通孔、以及与各通孔连通的单元通路，该单元薄片被密封配置在所述单元中，所以利用单元薄片使单元的结构合理化，能够以低价简单地制作该单元，同时，实现了单元内容量或死体积的降低，防止了单元内的抽吸气体的扩散，实现了测定灵敏度的提高。根据本发明的第九方面，由于所述单元薄片的与抽吸气体导入路径的开口部连通的两个通孔以与所述气体排出路径的开口部连通的通孔为中心配置在对称位置上，所以使单元薄片的结构简洁化，能够简单地制作单元薄片，同时，能够实现抽吸气体从两个通孔向与气体排出路径连通的通孔的均一并且稳定的移动。根据本发明的第十方面，由于单元通路形成为俯视V字形，所以能够实现单元通路的紧凑化，同时，沿着单元通路能够合理并且整齐地设置与抽吸气体导入路径连通的两个通孔和与气体排出路径连通的通孔。根据本发明的第十一方面，由于两个气体检测传感器面对所述单元薄片的与抽吸气体导入路径的开口部连通的两个通孔和与所述气体排出路径的开口部连通的通孔之间的单元通路而配置，所以通过将这些气体检测传感器设置在抽吸气体从抽吸气体导入路径向气体排出路径移动的移动路径中，气体检测传感器能够合理并且可靠地进行气体检测。根据本发明的第十二方面，由于气体检测传感器由微加热器构成，所以与以往的电阻丝或热敏电阻相比，能够实现气体检测传感器的小型化和量产化。根据本发明的第十三方面，由于吸气泵由压电膜驱动型的微泵构成，该膜能够高频振动，所以能够实现吸气泵的小型化，同时，降低脉动导致的噪声的影响，能够实现稳定的动作和测定灵敏度的提高。根据本发明的第十四方面，由于所述气体泄漏检测器能够增减对气体检测传感器的外加电流，所以使气体检测传感器的检测灵敏度可变，从而具有能够对应多种测定的效
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图1为本发明所应用的气体泄漏检测器的立体图。图2为本发明的主要部分的立体分解图。
图3为本发明所应用的单元块的剖视图。图4为本发明所应用的单元块的下部的剖视放大图，图示传感器基板与传感器芯片的组装状况。图5为图4的A—A线的剖面放大图。图6为本发明所应用的单元块与吸气泵的组装状况的剖视图，图示吸气泵的驱动前的状态。图7为本发明所应用的吸气泵的驱动状态的剖视图，图示膜向下方弯曲位移时的状况。图8为本发明所应用的吸气泵的驱动状态的剖视图，图示膜向上方弯曲位移时的状况。图9为本发明的另一个实施方式的主要部分的剖视放大图。图10为图9的B— B线的剖面图。图11为所述另一个实施方式所应用的单元薄片的俯视放大图。图12为图11的C—C线的剖面放大图。符号说明21 :单元块；28 :单元；32、33 :抽吸气体导入路径；34 :气体排出路径；40:吸气泵；30,31 :气体检测传感器；73 :单元薄片；74 76 :通孔；77 :单元通路。
具体实施例方式以下，具体说明本发明被应用于GC的载气(在实施方式中为氦气(He))的图示的实施方式。在图1至图8中，I是纵长矩形的大致盒形的能够携带的检测器主体，将合成树脂制的主体壳2和主体罩3的接合边缘2a、3a相互嵌合后，将其以螺丝固定而组装成盒形。实施方式的检测器主体I的长度、宽度、厚度、重量分别为100mm50mm、20mm、105g，其形状大致与手机相同。在所述主体壳2的接合边缘2a的一侧，一体地形成有相互靠近的吸入管4和插入管5，该吸入管4能够吸入空气等参考气体，该插入管5能够插入后述的采样气体导入管，该吸入管4和插入管5的一端向外侧开口，从吸入管4的吸入口 4a能够吸入作为参考气体的空气。连接管6的一端插入到所述插入管5的开口部5a中，其另一端向外侧突出，该突出端部连接长尺寸的抽吸管7的一端。所述抽吸管7的另一端与连接管8连接，该连接管8经由过滤器(省略图示)连接管状的采样探针9，从该探针9的端部的吸入口 9a能够抽吸米样气体。
所述吸入管4和插入管5的另一端向所述接合边缘2a的内侧突出，其中，吸入管4的内部安装有过滤器(省略图示)，其前端形成小口径，连通管10的一端与该小口径部连接，其另一端与后述的单元块连接。并且，连接管6的另一端插入到所述插入管5的另一端中，连通管11的一端与该管6的突出端部连接，其另一端与后述的单元块连接。实施方式的连通管10、11使用外径为O. 6mm、内径为O. 33mm的PTFE(聚四氟乙烯)(Teflon (注册商标))套管，其长度为IOOmm左右，其容量被抑制为大约8. 5 μ L，以防止抽吸气体在移动到后述的单元之前产生扩散而对其浓度造成影响。图中，12是收纳在主体壳2的底面凹部(省略图示)中的矩形板状的电池，在该电池12的下侧安装可滑动的电池盖板13，通过螺丝将该盖板13固定在主体壳2的下表面。14是形成在所述接合边缘2a的一侧的多个排气口，能够将后述的泵所排出的气体排出到外部，15是突设在主体壳2的底面的多个卡止销，该卡止销15上卡入有多个切割部16来支撑基板17。所述基板17由纵长矩形的绝缘板构成，其规定位置印刷有布线图案(省略图示)，该布线图案上设置有矩形的LCD (液晶显示器)显示器18，能够显示规定的文字或者图形。图中，19是设置在IXD显示器18两侧的多个用于照明的LED，用作后述的显示部的背光灯。在基板17上，与所述IXD显示器18相反的一侧形成有大的切割部20，单元块21面对该切割部20通过螺丝固定在主体 壳2的底面，其上表面与所述基板17的上表面大致为同一高度。所述单元块21通过牢固的合成树脂制造的工程塑料或聚碳酸酯形成为大致盒形，该单元块21的下表面形成有平面矩形的切割槽22，传感器基板23被收纳在该切割槽22中。所述传感器基板23由矩形的绝缘板构成，其一个侧面设有两个螺丝孔24，螺丝25从下方插入到该螺丝孔24中，将该螺丝25拧入到设置在单元块21内的后述的螺钉孔中，固定传感器基板23。所述传感器基板23的一个侧面突设有传感器芯片26，该传感器芯片26的上表面形成为平滑并且平坦的面，该传感器芯片26被收纳在形成于切割槽22的上表面的平面矩形的凹槽27中。所述传感器芯片26与凹槽27之间形成有为微小的长方体状空间的单元(七>)28，该单元28中可导入微量的采样气体和参考气体，这些气体被后述的气体检测传感器检测后，能够被送到后述的泵中。实施方式的单元28通过将传感器芯片26插入到凹槽27中而简单地形成，其高度为O. 05 O. 15mm的微小空间，如图5所示其平面形状为与传感器芯片26相同形状的矩形，构成其单元内容量为O. 05 O. 5 μ L的空腔。实施方式的单元28的单元内容量大约为以往的1/600，实现了所述泵的气体抽吸量的微量化，与其对应地还实现了单元内容量的微量化。通过对它们进行整合或调整，使其最优化，从而降低了采样气体和参考气体的抽吸量，使这些气体的浓度维持相同，防止在单元28中扩散，得以提高检测灵敏度。
所述传感器基板23的内部设置有由所述电池12供电从而控制所述传感器的动作的恒流电路基板(省略图示)，通过该基板的恒流控制，与以往的恒压控制相比，实现了省电化，并且能够防止电源电压的降低所导致的变动。所述传感器基板23的另一侧端部设有连接端子(省略图示)，该连接端子通过引线(省略图示)与所述恒流电路基板连接。所述传感器芯片26由矩形的绝缘板构成，其中间部分开地嵌入有由微加热器构成的微小的气体检测传感器30、31，它们的上表面形成为平坦面，并且与传感器芯片26的上表面的高度相同。在实施方式中，将气体检测传感器30、31设置在单元28的作为另一个对向侧面的下部、同时还设置在气体导入路径32、33的送出口和气体排出路径34的连线上的中间位置，将其位置以气体排出路径34为中心对称配置。该状况如图5所示。所述气体检测传感器30、31具有以微机械加工技术加工而成的中空支撑构造的微小构造体的微电桥，该微电桥内设有加热部，使该加热部感应作为被检测对象的所述导入气体，能够改变电阻等电特性。所述气体检测传感器30、31被连接在惠斯通电桥电路上，如果存在于所述传感器30、31周围的两种气体成分发生变化，则所述气体的热传导率发生变化，进而所述传感器30,31的温度发生变化，将该温度变化作为电阻值的变化，以电信号从所述电桥电路输出，从而定量地检测采样气体的混入量、即泄漏量。所述气体检测传感器30、31能够通过所述恒流电路基板选择外加电流，通过增加外加电流，能够将检测灵敏度切换为与以往相同的标准灵敏度、以及大约为以往20倍的高
灵敏度。实施方式的标准灵敏度能够检测最小O. OlmL/min的氦气，在高灵敏度下，能够检测最小O. 0005mL/min的氦气。所述单元块21的内部大致水平地形成有微小的气体导入路径32、33，其送出口在单元28的相对的一个对向侧面(在实施方式中为上部侧面)的两侧分开开口，被抽吸到该气体导入路径32内的参考气体能够导入到单元28中。在实施方式中，气体导入路径32、33的口径与所述连通管10、11的内径相同，为O. 33_。在后述的吸气泵的抽吸能力的范围内，尽可能地采用小口径，并将其最佳化。该情况下，在实施方式中，如图4和图5所示，在单元块21内，将气体导入路径32、33设置在一条直线上或同一平面上。但不限于此，也可以分别将气体导入路径32、33设置在一条斜线上，或者设置在不同的平面上。另一方面，所述单元块21的厚度方向上形成有气体排出路径34，该排出路径34的起点在单元28的所述一个对向侧面的中间位置开口，其终点与后述的吸气泵的吸入侧连通，能够将导入到单元28中的气体排出到所述泵侧。所述气体导入路径32、33的送出口和气体排出路径34的起点的设置状况如图5所示。气体导入路径32、33的送出口设置在以气体排出路径34的起点为中心的线对称位置上，各气体导入路径32、33的送出口和气体排出路径34的起点的中间位置设有所述传感器30、31，并且这些传感器30、31被设置在以气体排出路径34的起点为中心的线对称位置上。
该情况下，根据导入气体的流量和移动速度、以及所述传感器30、31的检测速度和气体排出路径34的吸入速度，气体检测传感器30、31与气体导入路径32、33的送出口的距离被设定为传感器30、31能够充分检测到导入气体的距离。另外，在实施方式中，气体导入路径32、33的送出口、气体排出路径34的起点、以及气体检测传感器30、31在单元28上设置成大致V字形状。但不限于该例，例如，气体导入路径32、33的送出口和气体排出路径34也可以设置在一条直线上，在该线上还可以配置传感器30、31。图中，35、36是在单元块21的侧面突设的连接管，其外端部连接所述连通管10、11，内侧与所述气体导入路径32、33连通。所述单元块21的上表面形成有大致矩形的大的凹部37，该凹部37的底面形成有圆形的凹孔38，所述气体排出路径34在该凹孔38的底面中央开口，该开口部的两侧形成有能够拧入所述螺丝25的螺钉孔39。所述凹部37中收纳有小型的并且能够以低流量进行高频动作的吸气泵40，该泵40形成为扁平的盒形，设置在其四角的螺丝孔41中插入有螺丝42，将螺丝拧入到形成于所述凹部37的底部的螺钉孔(省略图示)中而固定。实施方式的吸气泵40使用压电膜泵，通过压电元件使膜高频振动，使泵室进行泵作用，供给/排出参考气体和采样气体，该气体的抽吸量被设定成3. 5±0. 5mL/min，大约是以往的1/10。所述压电膜泵由基框43、支撑在该基框43上的膜单元44、以及设置在该膜单元44上的泵主体45构成。其中，基框43由矩形板构成，其形状比所述凹孔38大，其内侧形成有大口径的中空室46，该中空室46能够连通地设置在凹孔38的正上方。图中，47是形成在基框43内部的一对贯通孔，能够与所述凹孔38连通。所述膜单元44由薄的金属制的膜48、粘接在该膜48的中央部的下表面的圆形中间板49、以及粘接在该中间板49的下表面的圆板状的压电元件50构成，该压电元件50由压电陶瓷或PZT类材料构成。所述膜48设置在基框43上，中间板49与压电元件50能够位移地设置在中空室46中，压电元件50上连接有具备振荡电路基板的高频驱动装置51，通过该高频驱动装置51使压电元件50在平面方向上伸缩，不伸缩的膜48和中间板49能够在板厚方向上高频振动。图中，52是形成在膜48的两端部的一对通孔，能够与所述贯通孔47连通。所述泵主体45由在内侧形成有大口径的连通孔53的隔板54、在中央形成有连通孔55的间隔板56、在内侧形成有直线状的流路57的流路形成板58、以及在中央形成有排出口 59的罩板60构成。所述隔板54设置在膜48上，其两端部形成有能够与所述通孔52连通的一对通孔61，所述间隔板56设置在隔板54上，通过该间隔板56、膜48、以及隔板54形成泵室62。 所述泵室62通过膜48的高频振动使容积增减变动，通过其泵作用，能够将参考气体和采样气体吸入到气体导入路径32、33，并且能够从排出口 59排出导入气体。所述间隔板56的两端部形成有能够与所述通孔61连通的一对透孔63，所述流路57与所述连通孔55和排出口 59连通。所述单元块21的上端面设置有多个螺钉孔(省略图示)，该上端面设有内侧被挖空的五边形的密封垫64，在该密封垫64上设置有五边形的单元块罩65。所述密封垫64和单元块罩65的四角形成有螺丝孔(省略图示)，螺丝(省略图示)从单元块罩65的外侧插入到这些螺丝孔中，将螺丝拧入到所述螺钉孔中来封闭单元块21的上部。图中，66是形成于单元块罩65的中央的排气孔，与所述排出口 59连通。所述主体罩3的一侧设置有透明的横长矩形的显示部67，该显示部67设置在所述IXD显示器18的正上方,能够视觉辨认该显示器18的显示。所述显示部67的两侧设置有黑色等半透明的遮挡部68，该遮挡部68设置在所述LED 19的正上方，始终遮挡LED 19，LED 19在测定环境较暗的场所点亮时，能够抑制LED19的亮度，发挥显示部67的背光灯的作用。所述显示部67和遮挡部68由横长矩形的合成树脂板构成，将该合成树脂板热粘在主体罩3的一侧的开口部周缘，将它们的表面构成为相同的高度。所述主体罩3的中间部设置有呈大致三角形的薄片状部(省略图示)，该薄片状部的表面粘接有膜状的贴膜69，在该贴膜69上设置有薄片状的两个操作开关70、71，所述两个开关70、71能够被按压操作。所述操作开关70、71的正下方设置有两个接点(省略图示)，该接点以能够与电池12、IXD显示器18、LED 19、气体检测传感器30、31的恒流电路基板等电性导通的方式设置。其中，操作开关70能够选择并设定电池12的接通/断开、以及各种功能的设定，例如测定精度为高灵敏度还是标准灵敏度，气体泄漏检测时显示部67显示泄漏标记还是浓度的数值，或者当气体泄漏量或浓度在一定程度以上的情况下，利用警报器报警等。并且，操作开关71能够作为测定前准备时的显示部67中的零点显示、以及所述功能设定时的选择确定键而发挥作用。图中，72是USB缆线连接部，能够对个人计算机(省略图示)进行USB缆线连接和充电。这种结构的本发明的气体泄漏检测器的主要部分的检测器主体I大致由主体壳2、主体罩3、基板17、单元块21、传感器芯片26、吸气泵40构成。其中，主体壳2是树脂成形的纵长矩形的大致盘状，在其周围突设有接合边缘2a，该接合边缘2a的上部一体化地形成有吸入管4和插入管5，其抽吸口 4a和插入口向外部开口，接合边缘2a的侧部形成有多个排气口 14。并且，主体壳2的下表面形成有凹部(省略图示)，其上安装有电池盖板13，能够进行螺丝固定。所述主体罩3是树脂成形的与主体壳2相同形状的纵长矩形的大致盘状，在其周围突设有能够与所述接合边缘2a嵌合的接合边缘3a。并且，在主体罩3的上部形成有横长矩形的显示窗，在其口缘部热粘有横长矩形的树脂板，该横长矩形的树脂板配置有透明的显示部67以及在其两侧配置的黑色的遮挡部68。所述主体罩3的中间部设置有大致呈三角形的薄的薄片状部，该薄片状部上粘接有显示了两个薄片状的操作开关70、71的贴膜69，所述操作开关70、71的正下方设置有两个接点(省略图示)，该接点能够与电池12、IXD显示器18、LED 19、传感器30、31的恒流电路基板等电性连接。所述基板17由纵长矩形的绝缘板构成，在其规定位置印刷有布线图案(省略图示)，在该布线图案上配置有矩形的IXD显示器18，在该显示器18的两侧配置有多个LED19，同时，在与所述IXD显示器18相反侧的基板17上形成有大的切割部20。所述单元块21是树脂成形的大致盒形，其底部成形有相互连通的切割槽22和凹槽27，单元块21的内部成形有小口径的气体导入路径32、33，它们的送出口在凹槽27的上表面的两端部开口。并且，在单元块21的上表面成形有大的凹部37，在该凹部37的底面成形有圆形的凹孔38，在该凹孔38的中心垂直地成形有与气体导入路径32、33相同直径的气体排出路径34，其两侧形成有一对螺钉孔39。并且，所述气体排出路径34的一端在所述凹槽27的上表面并且在与气体导入路径32、33相反侧的中间位置开口，以该气体排出路径34为中心，气体导入路径32、33在凹槽27的上表面配置在对称位置 。在实施方式中，气体导入路径32、33和气体排出路径34以气体排出路径34为中心配置成V字形。该状况如图5所示。并且，所述传感器芯片26由矩形的绝缘板构成，其中间部分开地嵌入有由微加热器构成的微小的气体检测传感器30、31，它们的上表面形成为平坦的面，并且与传感器芯片26的上表面的高度相同。实施方式的气体检测传感器30、31设置在气体导入路径32、33与气体排出路径34的连线上的中间位置，其位置以气体排出路径34为中心对称配置。所述气体检测传感器30、31具有微电桥，该微电桥是中空支撑构造的微小构造体，该微电桥内设置有加热部，使该加热部感应作为被检测对象的所述导入气体，能够改变电阻等电特性。并且，所述气体检测传感器30、31连接在惠斯通电桥电路上，将存在于所述传感器30、31的周围的两种导入气体成分的变化、即所述气体的热传导率的变化所导致的所述传感器30、31的温度变化作为电阻值的变化，从所述电桥电路作为电信号输出，能够定量地检测采样气体的混入量、即泄漏气体量。实施方式的气体检测传感器30、31能够经由恒流电路基板选择外加电流，通过增加外加电流，能够将检测灵敏度切换为标准灵敏度、高灵敏度。另一方面，所述吸气泵40使用压电膜泵，其由基框43、膜单元44以及泵主体45构成。S卩，在基框43上依次地重叠连接有膜48、隔板54、间隔板56、流路形成板58、罩板60，它们的贯通孔47、通孔52、通孔61、透孔63、流路57、排出口 59相连通。并且，通过膜48、隔板54、间隔板56形成泵室62，膜48的下表面隔着中间板49粘接压电元件50，该压电元件50连接有高频驱动装置51。在使用这样制作出的主要部件来组装气体泄漏检测器的情况下，嵌设有恒流电路(省略图示)的传感器基板23的一侧粘接有所述传感器芯片26，将该传感器芯片组装体插入到单元块21的下部的切割槽22中，将传感器芯片26插入到凹槽27中。然后，将螺丝25插入到螺丝孔24中，将其拧入到单元块21上部的螺钉孔39中，使所述组装体固定在单元块21的下部。
所述组装状况如图3至图5所示，在切割槽22中卡合传感器基板23，在凹槽27中卡合传感器芯片26,在传感器芯片26的上表面与凹槽27的上表面之间形成单一微小空间的长方体状的单元28，面对该单元空间设置有气体检测传感器30、31。这样，本发明的单元28在组装单元块21与传感器基板23或传感器芯片26的过程中自然地形成，不像以往那样需要复杂的薄片体的制作、和在凹槽27的上表面的复杂的成形和加工。S卩，单元28由与传感器芯片26相同形状的单一空间构成，不像以往那样需要分开设置多个异形的单元，其结构简洁、小型并且能够简单地制作。而且，在面对单元28的凹槽27的上表面、即作为单元28的一个对向侧面的上部侧面将各个气体导入路径32、33开口，在它们的中间部形成有作为单一的排出路径34的起点的抽吸口，所以与以往的需要在面对单元的检测器体中对应于两个单元而将气体流入口和气体流出口开口，并且还需要在它们的中间部形成有大口径的传感器安装孔的复杂加工的情况相比，既能够减小单元容量或者其死体积，又能够简单并且均匀地制造单元。该情况下，在实施方式中，在单元28的一个对向侧面将气体导入路径32、33开口，在另一个对向侧面设有气体检测传感器30、31，但是也可以将它们分别设置在其相反侧，进而，单元28的相对的对向面还·可以采用相对的两侧侧面来代替上部侧面以及下部侧面。在实施方式中，如图5所示，所述气体导入路径32、33的送出口和排出路径34的起点在凹槽27的上表面配置成俯视V字状，它们以排出路径34的起点为中心配置在对称位置上，既实现了结构的简洁化和制作的简单化，又合理地设定了从各气体导入路径32、33到排出路径34的距离，从而防止了各气体混入而在所述传感器30、31上移动从而被检测到的情况。并且，在气体导入路径32、33的送出口和排出路径34的起点的中间位置设置有气体检测传感器30、31，将其表面设置在与传感器芯片26的上表面相同的高度上，并且将所述传感器30、31以排出路径34的起点为中心配置在对称位置上。然后，在单元块21上部的凹部37中收纳吸气泵40，在其四角的螺丝孔中插入螺丝(都省略图示)，将螺丝拧入到凹部37上的螺钉孔(省略图示)中来固定吸气泵40。在固定所述吸气泵40后，在单元块21的上端面设置密封垫64，在该垫64上收纳罩板65，在它们的螺丝孔中插入螺丝(都省略图示)，将螺丝拧入到螺钉孔中来封闭单元块21的上端面。这样，在将吸气泵40组装到单元块21内，并将该单元块21装配到主体壳2内的下部后，连通管10的一端通过过滤器(省略图示)与主体壳2内的吸入管4连接，并且连通管11的一端与插入管5的内端部连接，它们的另一端与所述连接管35、36连接。接着，在主体壳2内设置基板17，将其切割部16卡合支撑在卡止销15上之后，将粘接有贴膜69的主体罩3覆盖在主体壳2上，将它们的接合边缘3a、2a嵌合后，通过螺丝固定将它们连接起来。然后，连接管6的一端插入到所述插入管5中，其另一端向外侧突出，该突出端部连接长尺寸的抽吸管7的一端。并且，将连接管8与所述抽吸管7的另一端连接，将采样探针9通过过滤器(省略图示)与该连接管8连接，则一连串的组装完成。这样，本发明的气体泄漏检测器代替以往的白金线圈或热敏电阻、电阻丝，将气体检测传感器30、31变为具有微电桥的微加热器，从而实现了小型化及其量产化，降低了所述传感器30、31的制作成本，同时，实现了安装所述传感器30、31的传感器基板23或传感器芯片26的小型化。另外，将吸气泵40从以往的直流电动机驱动式的膜泵变为压电驱动式的膜泵，实现了所述泵40的小型化和轻量化，同时，将所述泵40收纳在单元块21中，还实现了单元块21的小型化和轻量化。进而，将气体检测传感器30、31和传感器基板23收纳在单元块21内的下部，将吸气泵40收纳在单元块21内的上部，将它们一体并接近配置，所以与分开配置所述传感器和泵的以往的情况相比，实现了小型化和轻量化。在实施方式中，所述检测器主体I形成为长100mm、宽度50mm、厚度20mm的与手机大致相同的形状，其容积大约为以往的1/3以下，并且其重量大约为以往的2/3 (约为105g)，实现了小型化和轻量化，使得不使用时的保管以及使用时的移动和操作都变得非常方便。在使用这样组装的气体泄漏检测器来检测气体泄漏的情况下，在检查前进行准备工作时，当接通操作开关70，向压电元件50施加高频的脉冲电压，使膜48在板厚方向上交替地高频振动，使泵室62进行泵作用来驱动 吸气泵40时，与泵室62连通的流路57和中空室46交替地产生负压和正压。即，当膜48向下方弯曲位移时，泵室62的容积增加而形成负压，流路57内的导入气体从连通孔55流入到泵室62内。并且，通过膜48的所述位移，中空室46内的导入气体向流路57的方向压出，并且，伴随着所述气体的移动，凹孔38内的导入气体被吸引而朝相同方向而移动，导致所述导入气体的移动。该状况如图7所示。另一方面，伴随着凹孔38内的导入气体的移动，从气体排出路径34抽吸导入气体，促进了经由单元28从气体导入路径32、33抽吸导入气体，因此参考气体经由连接管10从吸入管4被抽吸，并且采样气体经由连接管11从采样探针9被抽吸。然后，当膜48向上方弯曲位移时，泵室62的容积减小而形成正压，泵室62的导入气体从连通孔55被压出到流路57，之后，从排出口 59排出到检测器主体I内，最后，从排气口 14排出到外部。并且，随着导入气体从所述排出口 59流出，流路57内的导入气体被引入其中，向流路57的中心方向移动，促进了与所述流路57连通的中空室46和凹孔38内的导入气体的移动。另一方面，通过膜48的所述位移，中空室46内的容积增加而形成负压，从与中空室46连通的气体排出路径34抽吸导入气体，促进了经由单元28从气体导入路径32、33吸入导入气体，因此参考气体经由连接管10从吸入管4被抽吸，并且采样气体经由连接管11从采样探针9被抽吸。该状况如图8所示。另一方面，当接通操作开关74时，经由恒流电路基板(省略图示)向气体检测传感器30、31传输与检测灵敏度对应的电流，该传感器30、31发热，开始检测动作。S卩，气体检测传感器30、31的温度根据移动的导入气体的热传导率的变化而变化，将该温度变化作为电阻值的变化，从电桥电路输出电信号。
该情况下，在上述的准备时，抽吸同一气体，气体成分或热传导率不变，所以电桥处于平衡状态，无异种成分气体混入，即检测不出有气体泄漏。另外，在准备时，显示部67显示有气体泄漏的情况相当于误动作，因此需要对操作开关71进行操作来校正气体泄漏显示的零点。在所述准备结束、确认/调整气体泄漏检测器的正常动作之后，在实际检测GC的载气的气体泄漏的情况下，在载气供给时的GC的分析动作时，保持气体泄漏检测器，将采样探针9的吸入口 8a靠近GC的载气的管路、试样导入部、分离色谱柱等检查部位，抽吸该部周边的气体作为采样气体。并且，与所述采样气体的抽吸并行，将远离所述检查部位的场所的空气作为参考气体，从吸入管4的吸入口 4a吸入。所述抽吸的采样气体和参考气体与上述同样，经由连通管10、11、气体导入路径32,33被导入到单元28中，在气体检测传感器30、31上移动而从其送出口被抽吸到气体排出路径34中，并移动到中空室46侦U。此时，气体排出路径34位于与采样气体和参考气体的送出口等距离的位置，在气体排出路径34与两个送出口之间等距离的位置上设置有气体检测传感器30、31，所以各导入气体在各传感器30、31上移动时不会相互汇合，各传感器30、31感应纯粹的导入气体而发生温度变化，输出精密并且稳定的电信号，提高检测精度的可靠性。并且，当采样气体中混入作为载气的氦气时，其气体成分变化，因此该气体的热传导率变化，进而气体检测传感器30、31的温度产生变化。所述温度变化作为电阻值的变化而从电桥电路作为电信号输出，能够定量地检测泄漏的气体的混入量，该气体泄漏量的多少能够显示在显示部67上，在气体泄漏量或浓度在一定程度以上的情况下，警报器会发出警报。该情况下，在本发明中，将采样气体和参考气体都减量为以往的大约1/10，来减少吸气泵40的抽吸量，从而提高采样浓度，并且通过压电元件50进行高频动作，降低了脉动的影响，使吸气泵40稳定，实现了检测灵敏度的提高和稳定化。并且，根据吸气泵40的抽吸量，可减小从抽吸所述抽吸气体起直到单元28为止的导入路径的采样探针9、抽吸管7、连接管6、连通管10、11和气体导入路径32、33的各内径，抑制气体导入路径的内容积，防止移动时的导入气体的扩散和响应延迟，实现了检测灵敏度的提闻和稳定化。此外，使单元28的容积、即单元内容量适合于气体检测传感器30、31的形状和感应特性，将采样气体和参考气体都减量为以往的1/600左右，防止在所述单元28中发生扩散而造成影响，所以不降低泄漏气体的浓度，能够获得预期的灵敏度，而且能够缩短感知前的响应时间。这样，本发明通过合理地减少吸气泵40的抽吸量、和调整与其相称的气体的导入路径以及单元容量，使它们最优化，以获得小型轻量、高灵敏度并且稳定的检测特性。在实施方式中，能够检测以往的大约1/20的氦气的泄漏量，获得较高的检测灵敏度。图9至图12示出本发明的另一个实施方式，与上述结构对应的部分使用同一符号。
上述实施方式在传感器芯片26和凹槽27之间形成单元28，并在该单元28内对从各导入气体的送出口到气体排出路径34的流路给予自由度。而在本实施方式中，单元28中设置与其相同形状并且相同厚度的单元薄片73，将该片73密封设置在所述单元28中。所述单元薄片73由与单元28相同形状的矩形或长方体形状的合成树脂板构成，其板面的所述气体导入路径32、33的送出口和气体排出路径34的起点的对应位置上相称有多个通孔74 76。所述通孔74 76如图10、11所示，在单元薄片73上配置成大致V字形，并且通孔74、75以通孔76为中心设置在对称位置上，单元通路77沿着这些通孔74 76形成为大致V字形。所述单元通路77形成在单元薄片73的下侧面，在该单元通路77的上表面将所述通孔74 76开口，在该单元通路77的正下方配置有所述气体检测传感器30、31。所述气体检测传感器30、31设置在通孔75、76以及通孔76、74的各中间部，并且以通孔80为中心配置在对称位置上。由于能够通过树脂成形在所述单元薄片73上简单并且均匀地成形通孔74 76和单元通路77，所以与例如在传感器芯片26的上表面形成通孔74 76和单元通路77的情况相比，能够简单并且低成本地制作。并且，与前述的单元28相比，由于仅将与单元容量相当的单元通路77形成为小容量的气体流路，所以能够防止导入气体在单元通路77中的扩散和浓度降低，从而促进了高灵敏度的测定。而且，通过单元通路77限制了导入气体的移动，使导入气体能够直接并且迅速地移动到气体检测传感器30、31，所以气体检测传感器30、31能够精密地感应导入气体，获得准确并且稳定的测定精度。因此，与将板体冲压而分开形成两个异形单元的现有薄片体相比，结构简洁并且容易制作，同时，由于将单元通路77形成为单元薄片73的板厚的大致一半以下，所以能够实现单元内容量或者死体积的降低，能够抑制气体成分的扩散，提高检测灵敏度。在使用所述单元薄片73时，将单元薄片73按压在凹槽27的上部从而密封性地安装，将其通孔74 76定位于气体导入路径32、33的送出口和气体排出路径34的起点，并且将单元通路77设置在气体检测传感器30、31的正上方。在安装有这种单元薄片73的单元块21中，当导入采样气体和参考气体时，所述气体从连通孔75、74流入到单元通路77中，该气体被导入单元通路77后，迅速地在气体检测传感器30、31的正上方移动，该传感器30、31感应各气体，可靠并且准确地检测各气体的气体成分及其热传导率的变化，高灵敏度并且迅速地检测泄漏气体。(产业上的可利用性)本发明的气体泄漏检测器将吸气泵和气体检测传感器的小型化，将它们构成为一体，实现了小型轻量化和操作简便化，同时，导入抽吸气体的单元内容量紧凑化，气体检测传感器准确并且迅速地进行感应，提高了气体泄漏检测灵敏度，而且降低了吸气泵的脉动，获得了稳定的检测动作，还能够降低制作成本，因此例如适用于检测气相色谱仪的载气的泄漏的气体泄漏检测器。
权利要求
1.ー种气体泄漏检测器，具备吸气泵，抽吸从被检测对象泄漏的采样气体和作为测定基准的參考气体；热传导型的气体检测传感器，能够测定基于所述抽吸气体的热传导率的电阻值的变化；以及单元块，内部具有能够导入所述抽吸气体的単元；所述单元开ロ有抽吸气体导入路径和气体排出路径，通过所述气体检测传感器的输出能够检测泄漏气体，所述气体泄漏检测器的特征在于 所述单元是能够导入两种抽吸气体的单一空间，该单元的相対的ー个对向侧面分别开ロ有两个抽吸气体导入路径和単一的气体排出路径，该气体排出路径的开ロ部配置在所述两个抽吸气体导入路径的开ロ部之间，同时，两个所述气体检测传感器配置在与単元的另ー个对向侧面同一平面上，并且配置在各抽吸气体导入路径的开ロ部与气体排出路径的开ロ部之间，所述单元块中配置有与气体排出路径的开ロ部连通的吸气泵。
2.根据权利要求1所述的气体泄漏检测器，其特征在干， 所述单元块的内部形成有相互连通的切割槽和凹槽，在能够卡合在所述切割槽中的传感器基板上连接有传感器芯片，该传感器芯片收纳在所述凹槽中，所述单元被划分形成在该传感器芯片与所述凹槽之间。
3.根据权利要求1所述的气体泄漏检测器，其特征在干， 所述单元形成为俯视矩形。
4.根据权利要求1所述的气体泄漏检测器，其特征在干， 所述单元内的两个抽吸气体导入路径的开ロ部配置在与所述气体排出路径的开ロ部等距离的位置上。
5.根据权利要求1所述的气体泄漏检测器，其特征在干， 各气体能够从所述两个抽吸气体导入路径的开ロ部向所述气体检测传感器或气体排出路径的开ロ部移动。
6.根据权利要求4所述的气体泄漏检测器，其特征在干， 所述两个气体检测传感器在所述抽吸气体导入路径的开ロ部与气体排出路径的开ロ部之间，被配置在与该两个抽吸气体导入路径的开ロ部分别等距离的位置上。
7.根据权利要求1所述的气体泄漏检测器，其特征在干， 所述两个抽吸气体导入路径的开ロ部、两个气体检测传感器以及气体排出路径的开ロ部配置成俯视V字形。
8.根据权利要求1所述的气体泄漏检测器，其特征在干， 所述气体泄漏检测器设置有単元薄片，该单元薄片形成有与所述两个抽吸气体导入路径的开ロ部连通的两个通孔、与所述气体排出路径的开ロ部连通的通孔、以及与各通孔连通的単元通路，该单元薄片被密封配置在所述单元中。
9.根据权利要求8所述的气体泄漏检测器，其特征在干， 所述单元薄片的与所述抽吸气体导入路径的开ロ部连通的两个通孔以与所述气体排出路径的开ロ部连通的通孔为中心配置在对称位置上。
10.根据权利要求8所述的气体泄漏检测器，其特征在干， 所述单元通路形成为俯视V字形。
11.根据权利要求8所述的气体泄漏检测器，其特征在干， 所述两个气体检测传感器面对所述単元薄片的与所述抽吸气体导入路径的开ロ部连通的两个通孔和与所述气体排出路径的开口部连通的通孔之间的单元通路而配置。
12.根据权利要求1所述的气体泄漏检测器，其特征在于，所述气体检测传感器由微加热器构成。
13.根据权利要求1所述的气体泄漏检测器，其特征在于，所述吸气泵由压电膜驱动型的微泵构成，该膜能够高频振动。
14.根据权利要求1所述的气体泄漏检测器，其特征在于，所述气体泄漏检测器能够增减对所述气体检测传感器的外加电流。
全文摘要
一种气体泄漏检测器，具备吸气泵，抽吸从被检测对象泄漏的采样气体和作为测定基准的参考气体；气体检测传感器，测定基于抽吸气体的热传导率的电阻值的变化；单元块，内部具有导入抽吸气体的单元；单元开口有抽吸气体导入路径和气体排出路径，通过气体检测传感器的输出检测泄漏气体。单元是导入两种抽吸气体的单一空间。单元的相对的一个对向侧面分别开口有两个抽吸气体导入路径和单一的气体排出路径。气体排出路径的开口部设在两个抽吸气体导入路径的开口部之间。两个气体检测传感器设在与单元的另一个对向侧面同一平面上并设在各抽吸气体导入路径的开口部与气体排出路径的开口部之间。单元块中设有与气体排出路径的开口部连通的吸气泵。
文档编号G01M3/40GK103048101SQ20121038136
公开日2013年4月17日 申请日期2012年10月10日 优先权日2011年10月11日
发明者高野善彦, 周小靖, 横须贺宪善 申请人:技迩科学株式会社