专利名称：平板显示器用基板污染物及缺陷快速检查装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种快速检测装置，具体的说是一种平板显示器用基板污染物及缺陷快速检测装置。
背景技术：
OLED(Organic Light Emitting Display),即有机电致发光显示器，是一种通过载流子注入和复合导致有机材料发光的显示器件。与其他平板显示器相比，OLED具有成本低、全固态、主动发光、亮度高、对比度高、视角宽、响应速度快、厚度薄、低电压直流驱动、功耗低、工作温度范围宽、可现实柔性显示等特点，因此有人称它为“梦幻显示器”。OLED制程的前段工序中包括光刻、蒸镀、封装等过程。其中作为第一道主工序的光刻工序尤为重要，通常光刻工序的洁净度必须要达到100 1000级洁净度要求(涂布区 域)。主要原因是光刻过程中外界所带来的污染源会给产品带来致命的不良。因此在生产过程中为保证进入下一道工序的产品未被污染，专门建立管控点，对加工后产品的表面进行检查。在普通光源光下人的眼睛能够看到的污染物质及缺陷非常有限，因此通常会应用到一些检查装置。在平板显示器制造行业检查基板的污染物及缺陷时通常会用到带有特殊照明的检查装置。此类装置相对于高倍率的放大镜检查台价格便宜、体积较小、检查时间较短，而且能够检查出污染物及缺陷的大致种类，便于进行分析。目前业内用到的检查装置可以分为两类。第一种是固定在检查台上使用的照明检查装置。第二种是手持式照明检查装置。但这两种在应用中都存在一些缺陷。第一种照明装置光源比较单一，通常一个检查台只带有一种光源的照明装置。但对产品产生污染的种类较多，单种光源无法应对所有污染物质。这样一来，所需要的检查空间就会变得更大，每次检查都需要在各种照明装置之间来回走动，不仅繁琐还会产生更多的污染。第二种照明装置虽然携带方便、也可以实现多光源转换。但一次性检查面积较�。医洗蟮幕寮觳樾枰蝗艘陨系娜嗽毙趴梢酝瓿�。同时目前的检查装置大多是沿用传统的检查LCD污染及缺陷的检查装置，并不太适于与OLED检查用，因为OLED对污染及缺陷的要求更高。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题，就是提供一种专门针对OLED用污染物及缺陷检查装置，通过集成多种光源，实现快速方便以及全面的检查。本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案是平板显示器用基板污染物及缺陷快速检查装置，包括支架、检查平台和顶板，所述顶板设置在支架顶端，所述检查平台设置在顶板的下方，其特征在于，还包括光源，所述光源设置在顶板的下方。本实用新型总的技术方案，优点在于将多种检查光源集中在一起，可实现用一台设备检查多种类型的污染物及缺陷，从而提高检查效率。具体的，所述光源为长条形。本方案的优点在于,长条形光源相对于传统的圆形光源在一条线上的发光强度较均匀，因此便于在均匀的光强下检查污染物及缺陷，且能够观察的面积较宽，可以利用在面积较大的基板的检查上，能有效提高检查的可靠性。具体的，还包括光源控制箱，所述光源控制箱设置在检查平台的下方。本方案的优点在于，将有色光源的控制箱也设置在检查装置上，进一步方便检查过程中切换使用不同的光源，提高检查效率。更具体的，所述光源控制箱的外侧面设置有控制�？�。本方案的优点在于，设置控制�？橐允凳笨刂乒庠矗辜觳椴僮鞲富行Ы档臀蟛僮鳎岣呒觳樽既范�。进一步的，所述光源包括绿色检查光源、紫色检查光源和强光检查光源，所述绿色 检查光源、紫色检查光源和强光检查光源并行排列在顶板的下方。本方案所提出的检查光源，是目前较常用的三种检查光源，可实现大部分的污染物及缺陷检查功能。更具体的，所述控制�？榘躺庠纯刂瓢磁ァ⒆仙庠纯刂瓢磁�、强光光源控制按钮和光强旋转按钮。本方案为对前一方案的进一步优化，优点在于不仅通过三个按钮分别控制三个不同的检查光源，同时还设置了调节光强度的按钮，可实现采用不同光强度检查的需要。本实用新型的有益效果为，实现了利用一台检查装置集成多种检查光源，有效的避免了使用多种照明装置所带来的繁琐感，同时集成光源控制箱，使检查操作更简单方便，能够提高检查效率。
图I为本实用新型的剖面图；图2为本实用新型的主视图。
具体实施方式
以下结合附图及实施例，详细描述本实用新型的技术方案如图I所示，平板显示器用基板污染物及缺陷快速检查装置，主要包括支架I、检查平台2、顶板3和光源4，其中，光源4设置在顶板的下方，为了提高检查的准确度以及满足较大基板的检查需要，光源4选用长条形的光源。实施例如图2所述，为一种具体的平板显示器用基板污染物及缺陷快速检查装置实现方案，主要包括支架I、检查平台2、顶板3、绿色检查光源5、紫色检查光源6、强光检查光源7和光源控制箱8，其中绿色检查光源5、紫色检查光源6和强光检查光源7并行排列在顶板3的下表面，光源控制箱8设置在检查平台2的下方，在光源控制箱8的外侧面设置有绿色光源控制按钮9、紫色光源控制按钮10、强光光源控制按钮11和光强旋转按钮12，其中绿色光源控制按钮9、紫色光源控制按钮10和强光光源控制按钮11分别控制绿色检查光源5、紫色检查光源6和强光检查光源7打开和关闭，光强旋转按钮12主要在绿色检查光源5、紫色检查光源6和强光检查光源7打开时用来调节它们的光照强度。本例的主要工作流程为将完成光刻工序的基板拿到检查台的检查空间后，先打开三种检查光源中的一种对基板进行检查，确认该检查光源的光源下能够看到的所有污染内容；之后关闭此检查光源，打开第二种检查光源进行观察，确认污染内容；再关闭第二种检查光源，打开第三种检查 单进行污染内容的确认。在三种检查光源下均可通过旋转光强旋转按钮12来调整光强从而确认不同程度的污染内容。整个操作过程非常简单方便，并且具有检查范围广、细致和全面的优点。
权利要求1.平板显示器用基板污染物及缺陷快速检查装置，包括支架(I)、检查平台(2)和顶板(3)，所述顶板(3)设置在支架(I)顶端，所述检查平台(2)设置在顶板(3)的下方，其特征在于，还包括光源(4)，所述光源(4)设置在顶板(3)的下方。
2.根据权利要求I所述的平板显示器用基板污染物及缺陷快速检查装置，其特征在于，所述光源(4)为长条形。
3.根据权利要求I所述的平板显示器用基板污染物及缺陷快速检查装置，其特征在于，还包括光源控制箱(8)，所述光源控制箱(8)设置在检查平台(2)的下方。
4.根据权利要求3所述的平板显示器用基板污染物及缺陷快速检查装置，其特征在于，所述光源控制箱(8)的外侧面设置有控制�？�。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的平板显示器用基板污染物及缺陷快速检查装置，其特征在于，所述光源包括绿色检查光源(5)、紫色检查光源(6)和强光检查光源(7)，所述绿色检查光源(5)、紫色检查光源(6)和强光检查光源(7)并行排列在顶板(3)的下方。
6.根据权利要求5所述的平板显示器用基板污染物及缺陷快速检查装置，其特征在于，所述控制�？榘躺庠纯刂瓢磁�(9)、紫色光源控制按钮(10)、强光光源控制按钮(11)和光强旋转按钮(12)。
专利摘要本实用新型涉及一种快速检测装置，具体的说是一种平板显示器用基板污染物及缺陷快速检测装置。该检查装置，包括支架、检查平台和顶板，所述顶板设置在支架顶端，所述检查平台设置在顶板的下方，其特征在于，还包括光源，所述光源设置在顶板的下方。本实用新型实现了利用一台检查装置集成多种检查光源，有效的避免了使用多种照明检查光源所带来的繁琐感，同时集成光源控制箱，使检查操作更简单方便，能够提高检查效率。本实用新型尤其适用于OLED显示器基板污染物及缺陷快速检查装置。
文档编号G01N21/94GK202453304SQ20122007660
公开日2012年9月26日 申请日期2012年3月2日 优先权日2012年3月2日
发明者任海, 张光浩, 朴正勋, 潘剑白 申请人:四川虹视显示技术有限公司
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