专利名称：用于检测产品总漏率的氦质谱检漏仪的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种产品总漏率氦质谱检漏仪，属于分析仪器领域，主要适用于产品在经过 局部的焊缝检漏合格后，对整体的泄漏情况进行动态跟踪测量。实现密封容器泄漏漏率微小 变化的精确测定。适用于体积大、结构复杂、密封性要求高的产品的检漏。目前主要用于对 卫星、宇航员返回仓等产品的整体泄漏的检测。
背景技术：
氦质谱检漏仪作为常规的检漏设备，国内外有不少厂家生产，但还没有厂家生产能 用于大型产品总漏率检测的氦质谱检漏仪。
发明内容
为此，本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种能够检测大型产品总漏率的氦质 谱检漏仪。
为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的
一种用于检测产品总漏率的氦质谱检漏仪，包括质谱室、分子泵、机械泵、电磁阀、 微孔片、电器控制系统；机械泵通过真空管路一路接到检漏阀、检漏阔和分子泵出气口相 连、分子泵进气口和质谱室相连；另一路接到微孔片；微孔片与检漏阀、分子泵、质谱室 连接，构成气流恒定的通路。
上述氦质谱检漏仪中，所述微孔片为直径小于等于35微米，在厚度小于等于0.5毫米 的进口不锈钢片上加工而成。
上述氦质谱检漏仪中，所述质谱室由质谱室壳体内装的离子源和放大器，外套磁分析 器组成，磁分析器为90度磁场。
上述氦质谱检漏仪中，面板上设置标底键，将小数点后的漏率值放大十倍后显示。 上述氦质谱检漏仪中，设置两路校准，可使用标准漏孔或使用标气。 用氦质谱检漏的方法实现大型产品的总体泄漏，设计方案分二个部分真空质谱系统、电器 控制系统。真空质谱系统包括质谱室l、分子泵2、机械泵5、阀、真空管道等。质谱室装在 分子泵2的进气口，分子泵的出气口接检漏阀4，机械泵5接在检漏阀的另一端和预抽阀6 上，在预抽阀的另一端接微孔片14，微孔片的另一端接标气阀13和样气阀8。所述质谱室由 质谱室壳体内装离子源和放大器，外套磁分析器组成，磁分析器为90度磁场。所述微孔片为进口不锈钢片上打几十微米的小孔。 使用本发明有以下优点
1、 设置检漏口、标气口、样气口三个气路进口，保留普通检漏仪的功能的同时，可实现 产品总漏率检测。
2、 由于使用微孔片，在检漏阀、预抽阀打开的状态下，随意切换标气阀和样气阀，使分 子泵前级的压强稳定在0到15Pa之间的一个固定值；保证了漏率值数据准确，精度高、重复 性好。
3、 设置标底键，可将小数点后的漏率值放大十倍。可直接感知漏率的微小变化。
4、 具有标准漏孔校准和标气校准两种方法。
5、 可在检漏仪本机操作、也可PC机远程控制检漏仪操作。使操作者能避开危险的检漏 环境。
6、 液晶和数码双重显示漏率值。
7、 存储72小时的漏率值，动态记录产品总体泄漏的情况。
8、 打印样气、标气值在不同的时间段的测试值所形成的检测报告。
图l为结构示意图； 图2为阀体装配示意图。
图中1、质谱室；2、分子泵；3、热偶；4、检漏阀；f 8、样气阀；9、样气出口； 10、样气入口； 11、标气出口 微孔片；15、检漏口； 16、热偶；17、组合阀体。
具体实施方式
如图l，本实施例包括质谱室l、分子泵2、机械泵5;微孔片14;各功能阀、真空管道 以及电气控制系统。质谱室l装在分子泵的进气口，分子泵2的出气口接检漏阀4，机械泵5 接在检漏阀和预抽阀6上，在预抽阀的另一端接微孔片14，微孔片的另一端接标气阀13和 样气阀8。
给整个系统通电，进入正常工作状态后，电控系统给检漏信号，预抽阔6打开，机械泵 5对真空管道抽真空，热偶16测试管道的真空度到达15Pa时，检漏阀4打开。此时打开标 气阀13标气经过微孔片14限流，使真空管道的真空度保持在40Pa以下，标气中的氦分子经 预抽阀6、检漏阀4、分子泵2逆扩散到质谱室1，经离子源电离得到离子流，电器控制控系
;、机械泵；6、预抽阀；7、放气阀; ;12、标气入口； 13、标气阀；14、统进行放大，得到漏率值。此时由于微孔片的限流作用，可以随时切换标气阀13和样气阀8 ， 持续得到标气和样气的漏率值。
所述电器控制系统由微机控制�？椤⒌缭茨？�、显示模块、键盘控制�？樽槌�。由键盘 板给出操作指令，微机控制�？榈玫街噶詈罂及丛ど璧牧鞒滩僮鳎刂聘鞲龇У目簟Ｎ� 机控制�？榕溆�232接口，连接到PC后，也可由PC机直接发出操作指令，微机�？橹葱小� 电源�？樘峁├胱釉吹缭匆约爸绷�5V、 12V、 24V。电源显示�？樘峁┦胂允竞鸵壕允�。
如图2所示，微孔片14装在标气阀13和样气阀8中间，和检漏口 15相通；标气进口和 标气出口 11相通，并通过标气阀13的开启来接通微孔片14;样气进口和样气出口 9相通， 并通过样气阔8的开启来接通微孔片14;检漏阀4、预抽阀6、放气阀7通过阀的开启来接 通前后通路。
权利要求1、一种用于检测产品总漏率的氦质谱检漏仪，包括质谱室、分子泵、机械泵、电磁阀、微孔片、电器控制系统；机械泵通过真空管路一路接到检漏阀、检漏阀和分子泵出气口相连、分子泵进气口和质谱室相连；另一路接到微孔片；其特征在于微孔片与检漏阀、分子泵、质谱室连接，构成气流恒定的通路。
2、 根据权利要求1所述的产品总漏率氦质谱检漏仪，其特征在于所述微孔片为直径小于等于 35微米，在厚度小于等于0.5毫米的进口不锈钢片上加工而成。
3、 根据权利要求1所述的产品总漏率氦质谱检漏仪，其特征在于所述质谱室由质谱室壳体内 装的离子源和放大器，外套磁分析器组成，磁分析器为90度磁场。
4、 根据权利要求1所述的产品总漏率氦质谱检漏仪，其特征在于面板上设置标底键，将小数 点后的漏率值放大十倍后显示。
5、 根据权利要求1所述的产品总漏率氦质谱检漏仪，其特征在于设置两路校准，可使用标准 漏孔或使用标气。
专利摘要一种产品总漏率氦质谱检漏仪，包括质谱室、分子泵、机械泵、电磁阀、微孔、电器控制系统。机械泵通过真空管路一路接到检漏阀、检漏阀和分子泵出气口相连、分子泵进气口和质谱室相连；另一路接到微孔。其特征在于微孔与检漏阀、分子泵、质谱室连接，构成气流稳定(恒定)的通路。
文档编号G01M3/02GK201318980SQ20082017712
公开日2009年9月30日 申请日期2008年11月5日 优先权日2008年11月5日
发明者朱国精, 王东升 申请人:北京中科科仪技术发展有限责任公司
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