专利名称：基板检查装置、基板检查方法和存储介质的制作方法
技术领域：
本发明涉及例如对半导体晶片或LCD基板(液晶显示器用玻璃基板)等的基板进行摄像、进行检查的基板检查装置、基板检查方法和存储介质。
背景技术：
在半导体器件的制造中的光蚀刻法エ序中，例如依次进行在半导体晶片(以下称为晶片)上涂敷抗蚀剂形成抗蚀剂膜的抗蚀剂涂敷处理、在该抗蚀剂膜上曝光规定的图案的曝光处理、和对已曝光的抗蚀剂膜进行显影的显影处理等，在晶片上形成规定的抗蚀剂图案。而且，对于进行了一系列的光蚀刻法的晶片，例如搬入在进行上述抗蚀剂涂敷处理和显影处理的涂敷、显影装置内设置的检查装置，并通过设置于检查装置内的照相机对 其表面进行摄像。该被摄像的晶片的图像显示于输出画面，并基于该显示检查是否在晶片的表面形成有规定的抗蚀剂膜，另外是否在其表面有伤、异物的附着等。在该摄像时，晶片被设置于检查装置的照明部照射，但该照明部的照度因时效劣化而逐渐降低，若在照度降低了的环境下进行摄像，则检查的精度降低。因此，作为检查装置的定期维护，有时将在其表面未形成有抗蚀剂膜等各种膜的调整用晶片输送到该检查装置，根据对该调整用晶片进行摄像获得的图像来确认照明部的明亮度。而且，在根据上述图像判定照明部的照度比基准降低的情况下，进行照明部的更换和/或图像的亮度的放大率的调整。此外，以后为了与调整用晶片区別，単独记载为晶片时，表示用于制造半导体的晶片。使用涂敷、显影装置的输送机构，将调整用晶片从输送到涂敷、显影装置的装载ロ的专用的载体输送到检查装置。这样，将专用的载体输送到装载ロ需要劳カ和时间，而且在该载体和检查装置之间输送调整用晶片的期间，必须使上述输送机构的晶片的输送停止，所以在这样的检查中，不能在涂敷、显影装置进行晶片的处理。所以，通过进行这样的维护，具有呑吐量的降低变大的问题。另外，由于这样进行维护需要劳カ和时间，因此具有若抑制进行维护的次数，则即使照明部的照度比基准高也更换该照明部，或在与基准相比照明部的照度比基准低的状态下也继续检查的问题。在专利文献I中虽然记载有对于从灯(lamp)放射的光的发光强度、光谱分布等，与目标值进行比较，基于其结果报知是否需要进行该灯的更换的照明装置，但关于对上述的晶片进行摄像时的问题并未记载，不能解决该问题。现有技术文献专利文献I :日本特开2001-201431 (段落0041等)
发明内容
发明要解决的问题本发明是在这样的情况下完成的，其目的是提供不向装置输送调整用基板、能够防止产生由照明部的照度的降低引起的基板的检查的不顺利的技术。用于解决问题的方法本发明的基板检查装置，从照明部对载置于设置在机箱内的载置台的基板照射光，通过包括摄像元件的摄像部进行摄像，基于其摄像结果进行基板的检查，所述基板检查装置的特征在于，包括模式选择部，用于在检查模式和维护模式之间选择模式，所述检查模式以载置于上述载置台的基板为被摄体进行摄像来进行检查，所述维护模式用于确认照明部的照度；导光部件，设置于上述机箱内，用于将上述照明部的光导向上述摄像元件；判定部，对在维护模式执行时经由上述导光部件通过摄像元件取得的照明部的光的亮度是否在预先设定的容许范围内进行判定；和
报知部，用于当由上述判定部判定为上述亮度在上述容许范围外时，报知需要进行照明部的更换。本发明的其它的基板检查装置，从照明部对载置于设置在机箱内的载置台的基板照射光，通过包括摄像元件的摄像部进行摄像，基于其摄像结果进行基板的检查，所述基板检查装置的特征在于，包括模式选择部，用于在检查模式和维护模式之间选择模式，所述检查模式以载置于上述载置台的基板为被摄体进行摄像来进行检查，所述维护模式用于确认照明部的照度；导光部件，设置于上述机箱内，用于在上述维护模式执行时将上述照明部的光导向上述摄像元件；放大部，为了即使在上述照明部的照度降低时也使检查结果稳定，对从摄像元件输出的亮度信号进行放大，并且其放大率可变；和放大率调整部，在维护模式执行时，基于经由上述导光部件、摄像元件和上述放大部取得的照明部的光的亮度和预先设定的亮度，对所述放大率进行调整。本发明的具体的方式，例如如下所述。(I)具有判定部，对上述放大率是否超过预先设定的容许值进行判定；和报知部，用于当由上述判定部判定为放大率超过上述容许值时，报知需要进行照明部的更换。(2)具有存储部，存储上述已被调整的放大率和从更换上述照明部到决定上述放大率的期间；和显示部，相关联地显示存储于上述存储部的放大率和上述期间。(3)导光部件，在上述维护模式执行时将照明部的光导向上述摄像元件，在检查模式执行时不将照明部的光导向摄像元件。(4)在维护模式执行时，用于当在载置台未载置基板时进行通过导光部件向摄像元件的导光的光路，在检查模式执行时被载置于载置台的基板遮断。(5)设置有驱动机构，使导光部件相对于上述照明部在用来将来自该照明部的光导向摄像元件的第一位置和不将来自该照明部的光导向摄像元件导光的第二位置之间相对移动。(6)导光部件由用于反射照明部的光将其照射到摄像元件的反射部件构成。(7)上述维护模式，在基板未位于上述照明部的光的照射区域时执行。本发明的基板检查方法，其特征在于，包括从照明部对载置于设置在机箱内的载置台的基板照射光，通过包括摄像元件的摄像部进行摄像，基于其摄像结果进行基板的检查的工序；通过设置于上述机箱内的导光部件，为了确认照明部的照度而将上述照明部的光导向上述摄像元件的工序；对经由上述导光部件被摄像元件取得的照明部的光的亮度是否在预先设定的容许范围内的工序；和在由上述判定部判定上述亮度在上述容许范围外时，通过报知部报知需要进行照明部的更换的工序。本发明的其它的基板检查方法，其特征在于，包括从照明部对载置于设置于机箱内的载置台的基板照射光，通过包括摄像元件的摄像部进行摄像，基于其摄像结果进行基板的检查的工序；通过设置于上述机箱内的导光部件，为了确认照明部的照度而将上述照明部的光 导向上述摄像元件的工序；通过以其放大率能够变化的方式构成的放大部，为了即使在来自上述照明部的光的亮度降低时也使检查结果稳定，对从摄像元件输出的亮度信号进行放大的工序；和基于经由上述导光部件、摄像元件和上述放大部取得的照明部的光的亮度和预先设定的亮度，通过放大率调整部对上述放大率进行调整的工序。本发明的存储介质，存储有在检查基板的检查装置中使用的计算机程序，上述存储介质的特征在于上述计算机程序用于实施上述的基板检查方法。发明效果根据本发明，对在通过设置于机箱内的导光部件将照明部的光导向摄像元件的状态下取得的照明部的光的亮度是否在预先设定的容许范围内进行判定，根据该判定结果能够报知需要进行上述照明部的更换，因此不将照度调整用的基板搬入检查装置，就能够防止产生由照明的照度的降低引起的检查的不顺利。作为结果，能够抑制确认该照明的照度的维护所需要的劳力和时间。另外，在其它的发明中，设置有放大部，其基于在从上述导光部件向摄像元件导光的状态下取得的上述照明部的光的亮度和预先设定的亮度，对从摄像元件输出的亮度信号进行放大。因而，不将调整用的基板搬入检查装置就能够防止产生由照明的照度的降低引起的检查的不顺利。作为结果，能够抑制调整图像的亮度的放大率的维护所需要的时间。
图I是本发明的基板检查装置的纵截面侧视图。图2是上述基板检查装置的横截面俯视图。图3是上述基板检查装置的控制部和摄像照相机的块图。图4是表不指不值和补正值的相关关系的一个例子的图表。图5是表示补正图像的工序的说明图。图6是表示通过反射板导光到上述摄像照相机的样子的说明图。图7是表不显不部的增益(gain)和照明使用期间的关系的图表。图8是维护模式的流程图。图9是另外的基板检查装置的纵截面侧视图。
图10是上述基板检查装置的反射板的侧视图。图11是另外的反射板的侧视图。图12是上述反射板的侧视图。图13是上述反射板的侧视图。图14是另外的反射板的侧视图。图15是上述反射板的侧视图。图16是另外的基板检查装置的横截面俯视图。图17是另外的基板检查装置的横截面俯视图。
符号说明W 晶片I 基板检查装置10 机箱11 载置台22 照明部30 摄像元件31 摄像照相机35 输出补正部4 控制部51 检查模式执行用程序52 维护模式执行用程序
具体实施例方式对本发明的基板检查装置I进行说明。图I、图2分别表示基板检查装置I的纵截面、横截面。基板检查装置I具有载置台11，所述载置台11在该机箱10内吸附晶片W的背面侧中央部，并水平保持晶片W。图中12是用于向机箱10内搬入晶片W和从机箱10内搬出晶片W的输送口。该晶片W进行光蚀刻，在其表面的抗蚀剂膜形成有规定的图案。载置台11被水平驱动部13支承。若在机箱10内以输送口 12开口的一侧为跟前一侧，则在基板检查装置I的地面(底面)从跟前一侧朝向里侧地敷设有导轨14，水平驱动部13沿该导轨14自由地水平移动。以从该水平驱动部13向机箱10的里侧延伸的方式设置有覆盖导轨14的上侧的覆盖件15。该覆盖件15具有防止在进行晶片W的摄像时由导轨14引起的光的反射、并防止该光朝向摄像照相机31的作用。在覆盖件15的表面设置有反射板16，随着水平驱动部13的移动与载置台11 一起在机箱10内的跟前一侧和里侧之间移动。图中16a是反射板的反射面。关于该反射板16在后文进一步述说。在导轨14上设置有在机箱10的左右延伸的横宽的半透半反镜21，该半透半反镜21设置为相对该导轨14的伸长方向倾斜。另外，在半透半反镜21的上方设置有隔着该半透半反镜21向下方照射光的照明部22。该照明部22例如由发光二极管构成，可自由更换。在半透半反镜21的里侧设置有摄像照相机31。该摄像照相机31具有透镜32和映现在透镜32的像进行成像的摄像元件群33。摄像元件群33由在横向排列为一列的例如2048个作为CXD元件(像素)的摄像元件30构成。摄像照相机31以当晶片W移动时能够对该晶片W整体进行摄像的方式安装。还边参照图3的块图边进行说明。在该图3中，为了容易理解图，对摄像元件30添加I 2048的号码。摄像元件30与A/D (模拟/数字)转换器34连接，在A/D转换器34的后级连接成为放大部的输出补正部35，在其后级连接信号处理部36。入射到摄像元件群33的光，被该摄像元件群33光电转换成为模拟信号，来自各摄像元件30的模拟信号以规定的顺序输出到A/D转换器34，在该A/D转换器34转换为与O 255的数值对应的数字信号，输出到输出补正部35。该O 255的数值表示入射到摄像元件30的光量即被摄像的被摄体的亮度。在此，亮度是二次光源、即从晶片W和反射板16朝向摄像照相机31发出的光的强度，是以图像的明亮度(灰度级)表现的无单位的值。然后，在输出补正部35中，对来自各摄像元件30的表示上述亮度的数值乘以预先设定的补正值，作为与O 255的数值对应的数字信号被输出。即，该输出补正部35具有以相同的补正值对从各摄像元件30输出的图像的亮度同样地进行补正来调整摄像照相机31的感度的作用，补正值越大被补正后的图像越具有高的亮度。在信号处理部36中，对从输出补正部35输出的信号按以下顺序进行图像斑点调 整(shading補正)、Y补正。通过该图像斑点调整，来自各摄像元件30的亮度按各摄像元件30以预先设定的放大率分别地被放大。而且，通过Y补正，来自各摄像元件30的图像的亮度以用预先设定的值同样地进行增加的方式被补正，作为与O 255的数值对应的数字信号被输出。在该摄像照相机31设置有转换部37，输出用于如上述方式在输出补正部35进行补正的补正值。为了补正图像的亮度，从后述的控制部4向该转换部37发送指示值，但在转换部37中具有例如存储图4所示那样的上述指示值和上述补正值的对应关系的存储部，根据上述指示值和该对应关系由该转换部37决定补正值，该补正值输出到输出补正部35。这样在转换部37进行从指示值向补正值的转换，是因为在通过摄像照相机31的方法按每个摄像照相机31从A/D转换器34的输出产生偏差时，能够抑制从输出补正部35的输出的偏差。即，上述相关关系按每个摄像照相机31设定。而且，由于来自A/D转换器34的数字(digital)值通常是比较低的值，因此以作为上述补正值关于I以上的值也被输出的方式设定上述相关关系。图5是表示这种亮度被放大且图像被补正的样子的图。在图5的上层表示摄入有被摄体的像的摄像元件群33，在各摄像元件30之上表示被A/D转换而获得的亮度。而且，图5中层表示从图5上层的各摄像元件30被输出补正部35放大生成的图像，图中的数值表示其亮度。在该例中，利用补正值将各摄像元件30的亮度放大至10倍。图5下层表示进行图像斑点调整并且来自规定的摄像元件30的亮度被进行加10的加法计算地补正而获得的图像。此后进行Y补正，从各摄像元件30获得的图像存储于控制部4。 返回图I的说明。来自照明部22的照明通过半透半反镜21，到达在图中用r所示的半透半反镜21的下方的照射区域。然后，该照射区域r中的物体的反射光被半透半反镜21反射，被摄像照相机31获取。即摄像照相机31能够对位于照射区域r的物体进行摄像。而且，在晶片W沿导轨14在半透半反镜21的下方从跟前一侧朝向里侧移动时，摄像照相机31按照控制部4的控制信号间歇性地进行摄像，晶片W的表面整体被摄像。该基板检查装置1，选择以下的模式执行如上述方式对晶片W进行摄像用于进行其表面的检查的检查模式；和确认在该装置I未搬入晶片W的状态下是否需要由摄像照相机31获得的图像的亮度的调整和照明部22的更换的维护模式。具体来讲，在维护模式中，根据对反射板16进行摄像获得的图像的亮度，设定输出补正部35的信号的放大率、即上述补正值和与该补正值对应的指示值，将图像的亮度控制为适合的值。而且，当指示值超过容许值时，为了防止信号中的噪音(干扰noise)被放大而导致的图像的劣化，向用户报知进行照明部22的更换。在此，关于反射板16进一步详细说明。反射板16在执行上述维护模式时使用，当位于照射区域r时如图6所示对照明部22的光进行反射。在反射板16反射的光如图中箭头所示被半透半反镜21反射，照射到摄像照相机31的摄像元件群33。在检查模式执行时，如图I所示反射板16位于载置于载置台11的晶片W的下方。因而，图6中箭头所示的反射板16和摄像元件群33之间的光路被该晶片W遮断，反射板16不被摄像照相机31摄像。 在这样的位置设置反射板16，是为了防止当检查模式执行时来自反射板16的光被供给到摄像照相机31引起光饱和，即在摄像元件群33产生的电荷饱和，取得的晶片W的图像变得不清楚。接着，参照图3对由计算机构成的控制部4进行说明。控制部4具有总线41，在总线41连接有进行各种计算的CPU42、程序收纳部43、存储器44、显示部45和输入部46连接。在程序收纳部43收纳有检查模式执行用的程序51和维护模式执行用的程序52。程序51、52从控制部4向基板检查装置I的各部发送控制信号，以使后述的各模式的处理进行的方式编入有命令(各步骤)。程序收纳部43由计算机存储介质例如软盘、光盘、硬盘、MO(光磁盘)等构成。存储器44具有补正值设定用数据存储区域53，其存储用于设定输出补正部35的补正值的各种数据；图像数据存储区域54，其存储从摄像照相机31取得的图像的亮度；指示值存储区域55，其存储设定的指示值；和基准数据存储区域56，其用于在检查模式下进行晶片W的适当与否的判定。对存储器44的各区域进一步详细说明，在补正值设定用数据存储区域53存储有在执行维护模式时，反射板16被摄像时存储于图像数据存储区域54的亮度的目标值；从其目标值偏离的容许范围；和指示值的上限值。上述容许范围是上述目标值以下且比目标值低若干的值以上的范围。在图像数据存储区域54，通过从构成上述摄像元件群33的各摄像元件30依次输出模拟信号，从各摄像元件30输出的图像的亮度被收纳于各个规定的地址。执行维护模式时决定的指示值和决定该指示值的日期和时间相互关联地存储在指示值存储区域55。该指示值和日期时间每次进行指示值的变更时被存储。另外，在该指示值存储領域55存储有更换照明部22的日期时间。该日期时间通过用户从输入部46进行规定的设定而被存储。在基准数据存储区域56存储有无缺陷的晶片(基准晶片)的图像，相互比较该基准晶片的图像的亮度和检查模式执行时存储于图像数据存储区域54的晶片W的图像的亮度，对晶片W的缺陷的有无进行判定。接着，对构成报知部的显示部45进行说明。显示部45具有晶片显示区域61、指示值显示区域62和警报显示区域63。晶片显示区域61是显示存储于图像数据存储区域54的图像数据的区域。即，在检查模式执行时，在该晶片显示区域61显示从摄像照相机31取得的晶片W的图像。指示值显示区域62基于存储于存储器44的指示值存储区域55的数据，表示更换照明部22后的指示值的时效变化。图7是表示该指示值显示区域62的显示的一个例子的图表。图表的横轴是从更换照明部22后的经过期间(单位时间)，这是存储于指示值存储区域55的照明更换日期时间和各指示.值的设定日期时间的差分。图中的纵轴表示决定的指示值。存储于指示值存储区域55的指示值，根据其设定日期时间绘图于图表中。图表中也显示存储于补正值设定用数据存储区域53的指示值的上限值。图表中的上限值到达预测时间是设最新设定的指示值为α 、设刚在其之前设定的指示值为β、设指示值α的被设定的日期时间为tl、设指示值β的被设定的日期时间为t2，并且在设定了指示值α后设指示值的上升率为(α_β)/ (tl_t2)地来计算直到上限值的到达时间所显示的时间。而且，作为指示值显示区域62的显示并不限于这样的显示，例如也可以显示从更换照明至设定各指示值的时间和设定的各指示值相关联的表。也可以代替指示值显示补正值。警报显示区域63是用于显示基于设定的指示值是否需要进行照明的更换并向用户报知的区域。另外，在该警报显示区域63也显示是否进行了指示值的变更。而且，作为用于报知用户需要照明的更换和指示值被变更了的警报，并不限于这样进行画面显示，也可以通过发出警告音进行。输入部46例如由多个按钮等构成。如已述方式，用户在从输入部46更换了照明部22时进行规定的操作。另外，通过从该输入部46进行操作，能够切换在维护模式和检查模式之间执行的模式。接着，说明以维护模式、检查模式的顺序进行各模式的步骤。图8的流程图表示维护模式的流程，也参照该流程进行说明。(维护模式)用户从输入部46进行规定的操作时，在进行了照明部22的光照射的状态下，通过水平驱动部13载置台11从用于接收机箱10的跟前一侧的晶片W的接收位置前进，反射板16随其前进，如图6所示，位于照明部22的照射区域r。由此，照明部22的光被反射板16反射，经由半透半反镜21被导向摄像照相机31。摄像照相机31的未图示的快门打开，来自上述反射板16的光入射到透镜32，在摄像元件群33成像(步骤SI)。如已述那样，从摄像元件群33的各摄像元件30，以与各摄像元件受光的光量对应的输出产生模拟信号，该模拟信号在A/D转换器34被转换为数字信号。从控制部4向摄像照相机31输出最新存储于指示值存储区域55的指示值(设为a)，从转换部37输出与该指示值a对应的补正值，在输出补正部35对来自A/D转换器34的数字值和该补正值进行乘法计算，输出O 255的亮度的数字值。而且，如上述方式通过信号处理部36进一步补正该亮度，每个来自各摄像元件30的输出都存储于存储器44的图像数据存储区域54的不同的地址。接着，对于存储于该图像数据存储区域54的亮度的数据之中、来自从上述反射板16来的光射入的多个摄像元件30的亮度，计算平均值，判定该亮度的平均值是否包含于来自存储于补正值设定用数据存储区域53的目标值的容许范围(步骤S2)。预先设定根据从哪个摄像元件30输出的亮度算出平均。
在步骤S2判定为亮度的平均值包含于容许范围的情况下，在显示部45的警报显示区域63显示不需要进行照明更换的意思的记号(sign)和没有进行指示值的变更的意思的记号。在步骤S2中判定为亮度的平均值在容许范围外的情况下，指示值设定为a+Ι (步骤S3)，再次与步骤SI同样地对反射板16进行摄像(步骤S4)。以与指示值a+Ι对应的补正值进行输出补正部35的放大，来自各摄像元件30的图像的亮度存储于图像数据存储区域54。然后，与步骤S2同样地计算多个摄像元件30的亮度的平均值，并判定是否为存储于补正值设定用数据存储区域53的目标值以上(步骤S5)。然后，在步骤S5中判定为不是目标值以上的情况下，将指示值设定为a+2，再次进行反射板16的摄像、亮度是否为目标值以上的判定。在该判定结果为不是目标值以上的情况下，将指示值设定为a+3，再次进行反射板16的摄像、亮度是否为目标值以上的判定。也就是，反复执行步骤S3 S5，每次在步骤S5中判定为亮度不为目标值以上时，在步骤S3中每次都使指示值+1地进行设定。在步骤S5中判定为是目标值以上的情况下，判定设定的指示值是否比存储于补正值设定用数据存储区域53的指示值的上限值高(步骤S6)。在步骤S6中判定为不比上限 值高的情况下，将这样进行判定的日期时间和设定的指示值相关联地存储于指示值存储区域55 (步骤S7)，在警报显示区域63显示指示值已被变更的意思的记号。而且，更新指示值显示区域62的图表，在新存储的指示值和与其设定日期时间相关联的地方追加图表，划图表线。另外，计算上限值到达预测时间，更新图表内的显示。在判定为比上限值高的情况下，在警报显示区域63输出需要进行照明更换的意思的警报(步骤S8)。上述的流程通过成为判定部和放大率调整部的维护模式用程序52执行。当这样输出警报时，用户进入基板检查装置I更换照明部22，在更换结束后从输入部46进行规定的操作。由此，存储于指示值存储区域55的数据被复位(重置)，由此显示部45的指示值显示区域62的图表也被复位。作为照明部22的更换日期时间重新存储进行输入部46的上述操作的日期时间。而且，这样进行照明部22的更换时例如使用预先设定的指示值(初始值)，进行上述的维护模式，重新设定指示值。(检查模式)在维护模式结束后，从输入部46进行规定的操作时检查模式开始。晶片W通过未图示的输送机构被输送至基板检查装置1，其背面一侧中央部被位于图I中用实线所示的接收位置的载置台11保持。然后，该载置台11在保持有晶片W的状态下向机箱10的里侧(摄像照相机31 —侧)前进。当位于照明部22的下方的照射区域r时，通过摄像照相机31进行摄像。如已述方式，晶片W边前进边间歇地被摄像，由此对晶片W整体进行摄像。此时，从控制部4向摄像照相机31输出最新设定的指示值，利用与其指示值对应的补正值对来自A/D转换器34的输出进行补正，放大图像的亮度。而且，与在执行维护模式时同样地，图像的亮度在信号处理部36被补正后，存储于存储器44的图像数据存储区域54。基于所存储的亮度，在显示部45的晶片显示区域61显示晶片W的图像，并且将该图像与基准晶片的图像进行比较，来对被摄像的晶片W的缺陷的有无进行判定。上述的一系列的处理通过检查模式用程序51来执行。采用该基板检查装置1，摄像照相机31摄像被反射板16反射的照明部22的光，基于被摄像的图像数据的亮度，判定是否需要照明的更换。因而，因为不需要向该基板检查装置I输送用于确认照明部22的照度的夹具(调整用晶片)，所以能够通过该照度的确认来抑制晶片W的吞吐量降低。另外，在该基板检查装置I中，摄像照相机31摄像被上述反射板16反射的照明部22的光，使补正值增加使得被摄像的图像的亮度成为目标值以上。因而，不需要为了设定该补正值向该基板检查装置I输送夹具，所以能够抑制每当设定该补正值时晶片W的处理的吞吐量降低。另外，通过这样使补正值上升，能够抑制照明部22的更换的频率，因此能够进一步可靠地抑制吞吐量的降低。另外，采用该基板检查装置1，将从更换照明部22至指示值被变更的各时间和被变更的各指示值相关联地显示。由此，用户根据指示值的时效变化把握照明部22的照度的降低程度，能够预测照明部22的照度降低到规定的基准以下的时刻。因而，能够防止在未从照明部22照射充足的光的状态下检查晶片W而不能检出存在的缺陷的问题，并且能够抑制与从照明部22获得充足的照度无关浪费地执行维护模式而吞吐量降低的问题，能够防止更换新的照明部22的问题。而且，该基板检查装置I以在检查模式执行时来自反射板16的光被晶片W遮蔽的方式设置有该反射板16。因而，在进行晶片W的检查时，从晶片W反射的光和从反射板16 反射的光一起供给到摄像照相机31，从摄像元件群33产生的电荷饱和，成为所谓光饱和的状态，能够防止不能获得适合的图像数据。由此，能够高精度地进行晶片W的检查。但是，实际上基板检查装置I的照明部22的照度被设定为多个等级，亮度的下限值和目标值按其等级设定。在照明部22的更换时进行该照度的设定，在维护模式执行时读出与该照度对应的上述亮度的目标值和容许范围，执行上述各步骤S。在上述的实施方式中，也可以不将指示值转换为补正值地输出，而从控制部4直接输出补正值，并乘以从A/D转换器34输出的数字值使其放大。另外，也可以替代这样在A/D转换器34的后级进行信号的放大，而使用补正值对从各摄像元件30输出的模拟信号进行放大，然后进行A/D转换。另外，在上述的各实施方式中，也可以用户监视指示值显示于显示部45的指示值，并且该用户基于该显示判定照明部22的更换的时刻。另外，在上述的实施方式中，每当以维护模式设定补正值时，使指示值每次增加1，但并不限于这样设定。例如为了使图像数据增加规定的值例如5，求出需要的指示值的增加量C。然后，在维护模式执行时，在亮度的目标值为200、测定的亮度为180时，计算(200-180)/5Xc，将该计算值加到指示值，再次测定亮度。而且，也可以按照以下方式来调整亮度若测定的亮度比作为目标值的200�。蛴肷鲜龅氖凳┓绞酵厥怪甘局得看卧黾覫直到成为目标值，相反若测定的亮度比作为目标值的200大，则使指示值每次降低I直到成为目标值。另外，替代将在上述的步骤S2、S5中从各摄像元件30获得的亮度的平均与亮度的容许范围进行比较，也可以将从多个摄像元件30获得的亮度分别地与亮度的容许范围进行比较，在规定的个数的摄像元件30的亮度从容许范围偏离时，进行步骤S3的补正值的上升。接着，对另外的基板检查装置的实施方式进行说明。图9是基板检查装置8，与基板检查装置I大致相同地构成。对与基板检查装置I不同的点进行说明，在该基板检查装置8中，反射板16以在半透半反镜21的跟前一侧立起的状态设置于机箱10的顶部，反射面16a朝向机箱10的里侧。图中71是用于使反射板16升降的升降机构。在检查模式执行时，反射板16退避至图9所示的摄像照相机31进行摄像的摄像区域rl的外侧的退避位置。在维护模式执行时，如图10所示反射板16通过升降机构71下降，位于上述摄像区域rl内。此时，如图中虚线所示，从照明部22被反射板16反射的光入射到摄像照相机31的摄像元件群33。即，摄像反射板16。通过采用这样的结构，能够与基板检查装置I同样地防止在检查模式执行时对摄像元件群33照射过剩的光引起光饱和的问题。而且，也可以通过利用升降机构71使照明部22和半透半反镜21相对反射板16升降，来切换向摄像兀件群33的导光状态和非导光状态。这样，为了不引起光饱和，也可以如图11所示的方式构成反射板16。在该图11中，在半透半反镜21的跟前一侧(输送口一侧)设置有支承板72，支承板72通过设置于机箱10的侧壁的转动机构73如图12、图13所示围绕水平轴转动。在支承板72设置有反射板16。于是，在检查模式执行时，如图11所示通过反射板16朝向跟前一侧，照明部22的光 不反射，反射板16不被摄像照相机31摄像。而且，在维护模式执行时，反射面16a朝向里侦牝能够与基板检查装置7的反射板16同样地位于摄像照相机31的摄像区域rl。图14表示用于防止光饱和的又另外的反射板的结构例。在该例中，反射板16以反射面16a朝向里侧(摄像照相机31 —侧)的方式设置于半透半反镜21的跟前一侧，以与反射面16a重合的方式设置有调光玻璃74。该调光玻璃74,通过在面方向上夹持于由液晶构成的板状体成对的透明的导电膜，还从外侧在面方向上通过成对的板玻璃夹持该导电膜构成。在该调光玻璃74中，在未对导电膜施加电压时构成上述液晶的分子不规则地配列，因此透明度低，照明部22的光不被反射板16反射。在对导电膜施加有电压时，上述分子的配列变得规则，由此调光玻璃74的透明度变高，照明部22的光透过。由此，如图15所示，反射板16反射照明部22的光，该光入射到摄像照相机31的摄像元件群33。而且，也可以构成为在载置台11的表面设置反射板16，在维护模式的执行时该载置台11移动到照明部22的光的照射区域r。这样，反射板16通过升降机构71和转动机构73移动、或者设置有调光玻璃74的情况，在维护模式执行时，为了防止来自反射板的光和从晶片W反射的光入射到摄像元件群33，优选在晶片W未被输送到机箱10内的状态下进行。但是，也可以在晶片W位于机箱10内从照明部22的照射区域!■偏离的位置的状态下进行维护模式。设置有反射板16的位置并不限于这些例子，例如如图16所示，也可以以不妨碍由水平驱动部13引起的载置台11的移动的方式设置在照明部22的下方的地面(底面)。但是，在该情况下例如设置为相对水平面倾斜若干，使得在检查模式执行时，反射板16的光反射到晶片W，并不入射到摄像照相机31的摄像元件群33。图17是基板检查装置I的另外的变形例，在该例中在覆盖件15设置有横宽的反射板16，来自反射板16的光照射到摄像元件群33的横向配列的全部的摄像元件30。在该基板检查装置9中，与基板检查装置I相比对从更多的各种位置的摄像元件30获得的亮度进行采样求出平均值，由于能够与容许范围比较或者单独地与容许范围比较，因此即使在照明部22的照度的降低情况在照明部22的长度方向产生偏差时，也能够更加可靠地抑制图像的亮度变得比容许值低。在上述的各实施方式中，还可以在维护模式执行时，在图像的亮度变得比下限值低时不变更补正值，输出警报。也就是，也可以在上述的流程中执行完步骤S2后，不进行步骤S3 S6而进行步骤S8。另外，作为将照明部22的光导向摄像元件群33的导光部件，并不限于反射板，例如也可以在照明部22的下方，将光纤的一端配置于照明部22的下方，将另一端朝向摄像照相机31地配置，照明部22的光被导向摄像元件群33。另外，对存储于补正值设定用数据存储区域53的亮度的目标值的设定方法进行说明。将未预先在表面形成抗蚀剂等膜的晶片输送到装置，由摄像照相机31进行摄像。用户边参照在显示部45显示的晶片的图像，边通过输入部46手动使输出补正部35的指示值变化，特别指定能得到适合的亮度的图像的指示值。然后，快速将上述晶片从基板检查装置I搬出，对反射板16进行摄像。然后，以与特别指定的指示值对应的补正值对亮度进行放大，以从上述反射板16的光入射的摄像元件30输出到控制部4的亮度为目标值。在上述的各实施方式中，维护模式也可以例如在从基板检查装置I的上游侧的装置输送来的一批(lot)晶片W和后续一批晶片W的间隔隔开较大的情况下，如上述方式用 户从输入部46进行操作来执行。 另外，从控制各晶片W的输送的上位计算机向控制部4发送一批和下一批被输送到基板检查装置I的预测时刻。在控制部4的存储器44存储有阈值，在一批和下一批的输送的间隔比该阈值长的情况下，也可以组合各程序51、52，使得在一批的检查结束后，自动进行维护模式，在维护模式结束后，自动返回检查模式，对下一批进行检查。而且，本发明也能够适用于晶片以外的LCD基板等基板的检查。
权利要求
1.一种基板检查装置，从照明部对载置于设置在机箱内的载置台的基板照射光，通过包括摄像元件的摄像部进行摄像，基于其摄像结果进行基板的检查，所述基板检查装置的特征在于，包括 模式选择部，用于在检查模式和维护模式之间选择模式，所述检查模式以载置于所述载置台的基板为被摄体进行摄像来进行检查，所述维护模式用于确认照明部的照度； 导光部件，设置于所述机箱内，用于将所述照明部的光导向所述摄像元件； 判定部，对在维护模式执行时经由所述导光部件通过摄像元件取得的照明部的光的亮度是否在预先设定的容许范围内进行判定；和 报知部，用于当由所述判定部判定为所述亮度在所述容许范围外时，报知需要进行照明部的更换。
2.一种基板检查装置，从照明部对载置于设置在机箱内的载置台的基板照射光，通过包括摄像元件的摄像部进行摄像，基于其摄像结果进行基板的检查，所述基板检查装置的特征在于，包括 模式选择部，用于在检查模式和维护模式之间选择模式，所述检查模式以载置于所述载置台的基板为被摄体进行摄像来进行检查，所述维护模式用于确认照明部的照度；； 导光部件，设置于所述机箱内，用于在所述维护模式执行时将所述照明部的光导向所述摄像元件； 放大部，为了即使在所述照明部的照度降低时也使检查结果稳定，对从摄像元件输出的亮度信号进行放大，并且其放大率可变；和 放大率调整部，在维护模式执行时，基于经由所述导光部件、摄像元件和所述放大部取得的照明部的光的亮度和预先设定的亮度，对所述放大率进行调整。
3.如权利要求2所述的基板检查装置，其特征在于，具有 判定部，对所述放大率是否超过预先设定的容许值进行判定；和 报知部，用于当由所述判定部判定为放大率超过所述容许值时，报知需要进行照明部的更换。
4.如权利要求2或3所述的基板检查装置，其特征在于，具有 存储部，存储所述已被调整的放大率和从更换所述照明部到决定所述放大率的期间；和 显示部，相关联地显示存储于所述存储部的放大率和所述期间。
5.如权利要求I 4中任一项所述的基板检查装置，其特征在于 导光部件，在所述维护模式执行时将照明部的光导向所述摄像元件，在检查模式执行时不将照明部的光导向摄像元件。
6.如权利要求5所述的基板检查装置，其特征在于 用于在维护模式执行时在载置台未载置基板时，进行通过导光部件向摄像元件的导光的光路，在检查模式执行时被载置于载置台的基板遮断。
7.如权利要求5所述的基板检查装置，其特征在于 设置有驱动机构，其使导光部件相对于所述照明部在用于将来自该照明部的光导向摄像元件的第一位置和不将来自该照明部的光导向摄像元件的第二位置之间相对移动。
8.如权利要求I 7中任一项所述的基板检查装置，其特征在于所述导光部件由用于反射照明部的光将其照射到摄像元件的反射部件构成。
9.如权利要求I 8中任一项所述的基板检查装置，其特征在于 所述维护模式在基板未位于所述照明部的光的照射区域时执行。
10.一种基板检查方法，其特征在于，包括 从照明部对载置于设置在机箱内的载置台的基板照射光，通过包括摄像元件的摄像部进行摄像，基于其摄像结果进行基板的检查的工序； 通过设置于所述机箱内的导光部件，为了确认照明部的照度而将所述照明部的光导向所述摄像元件的工序； 对经由所述导光部件被摄像元件取得的照明部的光的亮度是否在预先设定的容许范围内进行判定的工序；和 当由所述判定部判定为所述亮度在所述容许范围外时，由报知部报知需要进行照明部的更换的工序。
11.一种基板检查方法，其特征在于，包括 从照明部对载置于设置在机箱内的载置台的基板照射光，通过包括摄像元件的摄像部进行摄像，基于其摄像结果进行基板的检查的工序； 通过设置于所述机箱内的导光部件，为了确认照明部的照度而将所述照明部的光导向所述摄像元件的工序； 利用以其放大率能够变化的方式构成的放大部，为了即使在所述照明部的照度的降低时也使检查结果稳定，对从摄像元件输出的亮度信号进行放大的工序；和 基于经由所述导光部件、摄像元件和所述放大部取得的照明部的光的亮度和预先设定的亮度，通过放大率调整部对所述放大率进行调整的工序。
12.如权利要求11所述的基板检查方法，其特征在于，包括 通过判定部对所述放大率是否超过预先设定的容许值进行判定的工序；和 在判定为所述放大率超过所述容许值时，利用报知部报知需要进行照明部的更换的工序。
13.如权利要求12或13所述的基板检查方法，其特征在于 包括将所述已被调整的放大率和从更换所述照明部到决定所述放大率的期间相关联地在显示部显示的工序。
14.如权利要求11 13中任一项所述的基板检查方法，其特征在于 所述导光部件，在从照明部对基板照射光并通过摄像部进行摄像时，不将照明部的光导向摄像元件。
15.一种存储介质，其存储有在检查基板的检查装置中使用的计算机程序，所述存储介质的特征在于 所述计算机程序用于实施权利要求10 14中任一项所述的基板检查方法。
全文摘要
本发明提供不使用检查用基板、能够防止产生由照明部的照度的降低引起的检查的不顺利的问题的技术。本发明的基板检查装置，具有模式选择部，用于在检查模式和维护模式之间选择模式，所述检查模式以载置于设置在机箱内的载置台的基板为被摄体进行摄像来进行检查，所述维护模式用于确认照明部的照度；导光部件，设置于上述机箱内，用于将上述照明部的光导向摄像部的摄像元件；判定部，对在维护模式执行时经由上述导光部件被摄像元件取得的照明部的光的亮度是否在预先设定的容许范围内进行判定；和报知部，当由上述判定部判定为上述亮度在上述容许范围外时，用于报知需要进行照明部的更换。
文档编号G01N21/956GK102809570SQ20121013546
公开日2012年12月5日 申请日期2012年5月3日 优先权日2011年5月30日
发明者久野和哉, 富田浩, 古闲法久, 西山直, 早川诚 申请人:东京毅力科创株式会社
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