专利名称：具有基于直线光栅尺反馈控制装置的振动台系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种具有基于直线光栅尺反馈控制装置的振动台系统。 技术背景随着科学技术的发展，人们对测振传感器的测量范围不断提出新的要求。在航空航天、武器制导、地震预报、超精加工、石油勘探等领域，下限频率低于0. 05Hz的测振传感器已经开始应用，这些传感器的出现对超低频计量校准系统提出了更高的要求。按国家计量检定规程(JJG 134-2003，JJG 233-2008)的规定，振动传感器在出厂或使用一段周期后(一般为一年)，均需经过计量部门的正式校准。振动传感器一般是用标准振动装置进行校准，它是通过标准振动台产生标准的水平向或垂直向正弦振动，用“绝对法”或“相对法”标定传感器的各项性能指标。标准振动台输出波形的精度将决定传感器的校准水平。在低频段，尤其是超低频段，振动台输出的速度、加速度信号幅值很�。旁氡群懿睿以诘鹊缪故淙肭榭鱿拢穸ㄔ诘推刀伪硐殖鑫灰铺匦裕话愠Ｓ梦灰拼衅髯魑推刀味哉穸ǖ牟饬亢头蠢】刂频钠骷Ｈ欢话愕奈灰拼衅骶冉系停饬烤冉细叩慕哟ナ轿灰拼衅鞫哉穸ㄔ硕Σ燎＠皇屎嫌糜诩屏坑帽曜颊穸ǹ刂�。
实用新型内容为克服现有技术的位移传感器精度低或位移传感器对振动台产生摩擦牵拉造成振动台运行精度低的缺点，本实用新型提供了一种运行精度高的具有基于直线光栅尺反馈控制装置的振动台系统。具有基于直线光栅尺反馈控制装置的振动台系统，包括振动台，信号发生器和功率放大器；其特征在于所述的振动台系统还包括将振动台运动部件的位移转换为相位差为 90°的A/B脉冲信号的直线光栅尺，将光栅尺输出的脉冲信号转换为具有标准形状和电平的标准脉冲信号的滤波整形电平转换�？椋曜悸龀逍藕畔阜�、并判断被测量系统的运动方向的细分辨向�？椋阜趾蟮穆龀逍藕抛晃缪褂氲鼻拔灰瞥烧鹊哪Ｄ庑藕诺哪Ｄ庾荒？椋凰龅男藕欧⑸魇涑龅谋曜夹藕庞肽Ｄ庾荒？槭涑龅哪Ｄ庑藕啪淙胍患醴ㄆ髦校龅谋曜夹藕抛魑患跏龅哪Ｄ庑藕抛魑跏凰龅募醴ㄆ鞯氖涑鲂藕攀淙胨龅墓β史糯笃髦校龅墓β史糯笃魇涑龅那藕攀淙胨龅恼穸ㄖ�。进一步，所述的减法器与所述的功率放大器之间设有PID控制器，所述的模拟转换模块与所述的减法器之间设有比例放大器。进一步，所述的细分辨向�？榕卸媳徊饬肯低车脑硕较虻姆椒ㄎ盇相超前B 相时，则认为振动台运动部件沿正向运行；当B相超前A相时，则认为振动台运动部件沿反向运行。进一步，对于振动台运动部件沿运动方向尺寸大于振动台行程的短行程振动台， 光栅尺标尺安装于所述的振动台的运动部件上，光栅尺读数头安装于所述的振动台的固定部件上。对于振动台运动部件沿运动方向尺寸小于振动台行程的长行程振动台，光栅尺标尺安装于所述的振动台的固定部件上，光栅尺读数头安装于所述的振动台的运动部件上。进一步，所述的光栅尺标尺的一侧设有为振动台位移检测提供测量基准的零位块。进一步，所述的光栅尺标尺的另一侧设有保证振动台不会超出安全行程的第一、 第二限位块。本实用新型技术构思的工作原理是直线光栅尺输出信号为相位差为90°的A/ B脉冲，先对直线光栅尺输出A/B脉冲进行滤波整形和电平转换，使其转换为具有标准形状和电平的脉冲信号，接着对该标准脉冲信号进行四倍频和辨向，然后通过脉冲可逆计数加 D/A转换法等方法转化为模拟信号，该模拟信号的电压值和测量的位移成正比。模拟信号经比例放大器放大后，与信号发生器输出的标准信号进行求差运算得到偏差，再经PID控制器，输出控制信号注入功率放大器，从而驱动振动台进行纠偏运动，实现振动台位移对输入信号源的跟踪。当信号发生器输出具有极小失真度的正弦信号时，振动台也将输出具有极小失真度的位移信号，从而达到提高振动台输出波形精度的目的。本实用新型充分利用直线光栅尺测量精度高、无接触测量、输出信号处理方法灵活多样等优点，通过将直线光栅尺输出的α/Β脉冲信号转化为反映振动台位移变化的模拟信号，将直线光栅尺用于振动台的反馈控制系统中，使振动台的运动波形得到极大改善，尤其在低频段效果显著。本实用新型充分利用直线光栅尺测量精度高、非接触测量等优点，通过对直线光栅尺输出信号进行处理，使其用于振动台反馈控制系统，提高振动台的运行精度，且具有所用技术成熟，可行性强；所用直线光栅尺便于安装等优点。
图1为基于直线光栅尺的振动台反馈控制装置组成框图。图2为光栅尺脉冲信号模拟转换�？樽槌煽蛲肌Ｍ�3为长行程水平振动台动读数头式光栅尺安装结构图。图4为图3光栅尺安装结构局部放大图。图5为短行程垂直振动台动标尺式光栅尺安装结构图。图6为图5光栅尺安装结构局部剖视放大图。
具体实施方式
实施例一参照图1-4具有基于直线光栅尺反馈控制装置的振动台系统，包括振动台，信号发生器和功率放大器；[0028]所述的振动台系统还包括将振动台运动部件的位移转换为相位差为90°的A/B 脉冲信号的直线光栅尺，将光栅尺输出的脉冲信号转换为具有标准形状和电平的标准脉冲信号的滤波整形电平转换�？椋曜悸龀逍藕畔阜�、并判断被测量系统的运动方向的细分辨向�？椋徒阜趾蟮穆龀逍藕抛晃缪褂氲鼻拔灰瞥烧鹊哪Ｄ庑藕诺哪Ｄ庾荒？椋凰龅男藕欧⑸魇涑龅谋曜夹藕庞肽Ｄ庾荒？槭涑龅哪Ｄ庑藕啪淙胍患醴ㄆ髦校龅谋曜夹藕抛魑患跏龅哪Ｄ庑藕抛魑跏凰龅募醴ㄆ鞯氖涑鲂藕攀淙胨龅墓β史糯笃髦校龅墓β史糯笃魇涑龅那藕攀淙胨龅恼穸ㄖ�。所述的减法器与所述的功率放大器之间设有PID控制器，所述的模拟转换�？橛胨龅募醴ㄆ髦渖栌斜壤糯笃�。所述的细分辨向模块判断被测量系统的运动方向的方法为当A相超前B相时，则认为振动台运动部件正向运行；当B相超前A相时，则认为振动台运动部件反向运行；对于振动台运动部件沿运动方向尺寸小于振动台行程的长行程振动台，光栅尺标尺安装于所述的振动台的固定部件上，光栅尺读数头安装于所述的振动台的运动部件上。所述的光栅尺标尺的一侧设有为振动台位移检测提供测量基准的零位块。所述的光栅尺标尺的另一侧设有保证振动台不会超出安全行程的第一限位块和第二限位块。本实用新型的工作过程如如图1所示。直线光栅尺输出信号为相位差为90°的 A/B脉冲，首先经滤波整形和电平转换�？椋晃哂斜曜夹巫春偷缙降穆龀逍藕牛幼哦愿帽曜悸龀逍藕沤兴谋镀岛捅嫦颍缓缶Ｄ庾荒？樽Ｄ庑藕牛媚Ｄ庑藕诺牡缪怪岛筒饬康奈灰瞥烧取ＤＤ庑藕啪壤糯笃鞣糯蠛螅胄藕欧⑸魇涑龅谋曜夹藕沤星蟛钤怂愕玫狡睿倬璓ID控制器，输出控制信号注入功率放大器，从而驱动振动台进行纠偏运动，实现振动台位移对输入信号源的跟踪。当信号发生器输出具有极小失真度的正弦信号时，振动台也将输出具有极小失真度的位移信号，从而达到提高振动台输出波形精度的目的。本实用新型将直线光栅尺输出的A/B脉冲信号转化为反映振动台位移变化的模拟信号，将直线光栅尺用于振动台位移反馈控制系统中，提高振动台的运行精度。本实用新型的工作原理是振动台运动时，光栅尺产生相位差为90°的A/B脉冲信号，该信号经滤波整形、电平转换后转换为标准脉冲信号，接着进入细分辨向�？榈盇 相超前B相时，表示振动台运动部件正向运行，辨向信号为高电平；反之，当A相落后B相时，表示振动台运动部件反向运行，辨向信号为低电平；同时，A/B信号相位差90°，可对其进行四倍频，进一步提高光栅尺信号的分辨率。辨向信号和倍频后信号输出给后续可逆计数器，再经后续数模转换�？樽晃Ｄ庑藕牛咛骞涛缤�2所示，首先在光栅尺的零位处，启动16位可逆计数器复位，复位后的输出数字量保证通过后续16位D/A转换�？楹笫涑鑫�0V，本实施例中的D/A转换�？槭淙隖FFF (十六进制)，对应模拟信号10V，而输入0000 (十六进制)，对应模拟信号-10V，故可逆计数器输出复位数字量设为8000 (十六进制)；系统开始运行时，当光栅尺辨向信号为高电平时(表示振动台运动部件正向运动)，计数器进行加1计数；反之，则进行减1计数。由D/A转换�？槭涑龅哪Ｄ庑藕啪屯瞬ㄆ髀巳ジ咂翟肷笫涑觯媚Ｄ庑藕庞胛灰菩藕懦时壤杂叵�。直线光栅尺脉冲信号模拟转换后，经比例放大后，转换为具有适当大小的位移反馈信号，与信号发生器输出的标准信号进行求差运算得到偏差，再经PID控制器，输出控制信号注入功率放大器，从而驱动振动台进行纠偏运动，实现振动台位移对输入信号源的跟
S示ο图3中，对于长行程振动台1，光栅尺读数头4直接与运动部件2连接，而光栅尺标尺的安装面要求平整，光栅尺标尺6则固定在振动台台体或滑台导轨8，振动台台体和滑台导轨均属于振动台的固定部件。第二限位块7、第一限位块3、零位5则分别固定在标尺 6两侧的相应位置。安装时应保证光栅尺读数头4感应部分在振动台行程内均位于标尺6 的正上方；标尺6要求严格与运动部件2的运行轨迹平行；第二限位块7、第一限位块3、零位5位于适当位置，以保证可被读数头4感应，且感应时，刚好处于左、右极限位置或零位。 此外，读数头4还可通过支架与运动部件2连接，此时要求该支架需具有足够强度，在运行过程中不出现晃动等现象，同时要求支架可在一定范围内调节读数头4的安装方位，以进行微调，提高光栅尺的测量性能；同时，在设计安装结构时，需注意光栅尺在振动台运行过程中的防护，防止发生碰撞或污损读数头等。图4为动读数头式安装结构局部放大图。本图仅示意光栅尺的安装方式，具体需根据各振动台具体结构设计。实施例二参照图5-6本实施例与实施例一的区别在于对于振动台运动部件沿运动方向尺寸大于振动台行程的短行程振动台，光栅尺标尺安装于所述的振动台的运动部件上，光栅尺读数头安装于所述的振动台的固定部件上。其余相同。由于光栅尺标尺的安装面要求平整，故需在运动部件12上的适当位置加工安装面。而光栅尺读数头15则由安装支架11固定在垂直振动台的导轨支座10上，而导轨支座 10被固定在垂直台台体9上，导轨支架属于振动台的固定部件，从而保证读数头的稳定。第一限位块13、第二限位块16、零位固定于标尺14两侧的相应位置。同样，安装支架11除具有足够刚度外，还要求可以在小范围内调节读数头的安装方位，以提高光栅尺的测量性能。本说明书实施例所述的内容仅仅是对实用新型构思的实现形式的列举，本实用新型的保护范围不应当被视为仅限于实施例所陈述的具体形式，本实用新型的保护范围也及于本领域技术人员根据本实用新型构思所能够想到的等同技术手段。
权利要求1.具有基于直线光栅尺反馈控制装置的振动台系统，包括振动台，信号发生器和功率放大器；其特征在于所述的振动台系统还包括将振动台运动部件的位移转换为相位差为 90°的A/B脉冲信号的直线光栅尺，将光栅尺输出的脉冲信号转换为具有标准形状和电平的标准脉冲信号的滤波整形电平转换�？椋曜悸龀逍藕畔阜�、并判断被测量系统的运动方向的细分辨向�？椋徒阜趾蟮穆龀逍藕抛晃缪褂氲鼻拔灰瞥烧鹊哪Ｄ庑藕诺哪Ｄ庾荒？椋凰龅男藕欧⑸魇涑龅谋曜夹藕庞肽Ｄ庾荒？槭涑龅哪Ｄ庑藕啪淙胍患醴ㄆ髦校龅谋曜夹藕抛魑患跏龅哪Ｄ庑藕抛魑跏凰龅募醴ㄆ鞯氖涑鲂藕攀淙胨龅墓β史糯笃髦校龅墓β史糯笃魇涑龅那藕攀淙胨龅恼穸ㄖ小�
2.如权利要求1所述的具有基于直线光栅尺反馈控制装置的振动台系统，其特征在于所述的减法器与所述的功率放大器之间设有PID控制器，所述的模拟转换�？橛胨龅募醴ㄆ髦渖栌斜壤糯笃鳌�
3.如权利要求1所述的具有基于直线光栅尺反馈控制装置的振动台系统，其特征在于对于振动台运动部件沿运动方向尺寸大于振动台行程的短行程振动台，光栅尺标尺安装于所述的振动台的运动部件上，光栅尺读数头安装于所述的振动台的固定部件上。
4.如权利要求1所述的具有基于直线光栅尺反馈控制装置的振动台系统，其特征在于对于振动台运动部件沿运动方向尺寸小于振动台行程的长行程振动台，光栅尺标尺安装于所述的振动台的固定部件上，光栅尺读数头安装于所述的振动台的运动部件上。
5.如权利要求3或4所述的具有基于直线光栅尺反馈控制装置的振动台系统，其特征在于所述的光栅尺标尺的一侧设有为振动台位移检测提供测量基准的零位块。
6.如权利要求5所述的具有基于直线光栅尺反馈控制装置的振动台系统，其特征在于所述的光栅尺标尺的另一侧设有保证振动台不会超出安全行程的第一、第二限位块。
专利摘要具有基于直线光栅尺反馈控制装置的振动台系统，包括振动台，信号发生器和功率放大器；振动台系统还包括将振动台运动部件的位移转换为相位差为90°的A/B脉冲信号的直线光栅尺，将光栅尺输出脉冲信号转换为具有标准形状和电平的标准脉冲信号的滤波整形电平转换�？椋曜悸龀逍藕畔阜帧⒉⑴卸媳徊饬肯低吃硕较虻南阜直嫦蚰？椋徒阜趾蟮穆龀逍藕抛晃缪褂氲鼻拔灰瞥烧鹊哪Ｄ庑藕诺哪Ｄ庾荒？椋恍藕欧⑸魇涑龅谋曜夹藕庞肽Ｄ庾荒？槭涑龅哪Ｄ庑藕啪淙爰醴ㄆ髦校曜夹藕抛魑患跏Ｄ庑藕抛魑跏患醴ㄆ鞯氖涑鲂藕攀淙胗牍β史糯笃髦校β史糯笃魇涑龅目刂菩藕攀淙胝穸ㄖ�。本实用新型具有振动台运行精度高的优点。
文档编号G01H17/00GK202133463SQ20112013812
公开日2012年2月1日 申请日期2011年5月4日 优先权日2011年5月4日
发明者于梅, 何闻, 沈润杰, 王春宇, 贾叔仕, 马明德 申请人:中国计量科学研究院, 浙江大学
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