专利名称：一种sc切型晶体定向仪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体检测设备，特别是涉及一种SC切型晶体定向仪。
背景技术：
晶体生产厂家往往在生产过程中会生产SC切型晶体，对晶体的晶格排列需要检验及定向，目前市面的定向仪，只能对规则的晶体进行定向，尤其是晶体晶格排列角度过大，与X射线角度过大，导致无法测量SC切型晶体。本专利可以满足SC切型晶体的检测及定向。实现流水线检测，提闻测量精度，提闻生广效率
实用新型内容
本实用新型的目的是为解决上述现有技术存在的缺陷和不足，而提供一种能对SC切型晶片及晶棒进行定向及检验的SC切型晶体定向仪。采用的技术方案是一种SC切型晶体定向仪，包括工作台，工作台下方安装有高压变压器、稳压器、气泵及气泵吸管，其特征在于所述的工作台上固定有X射线发生器和测角仪，并配置有数显装置，测角仪内安装蜗轮蜗杆副，且蜗杆副一端连接手轮，其另一端连接编码器，蜗轮副连接主轴，主轴的上部固定有SC切型样品台和闪烁探测器，X射线发生器上装设有单晶衍射器。本实用新型具有结构简单、使用方便、检测精度高等优点，能够实现流水线检测，提闻测量精度，提闻生广效率。
图I是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
一种SC切型晶体定向仪，包括工作台3，工作台3上固定有X射线发生器12和测角仪5，并配置有数显装置10，测角仪5内安装蜗轮蜗杆副6，且蜗杆副一端连接手轮4，其另一端连接编码器13，蜗轮副连接主轴7，实现操作者通过手轮4转动从而实现对主轴7的转动控制，主轴7的上部固定有SC切型样品台9和闪烁探测器8，X射线发生器12装设有单晶衍射器11，从单晶衍射器11中衍射出的X射线实现对SC切型晶体的的测量。工作台3下方安装有高压变压器2、稳压器I、气泵14及气泵吸管15。
权利要求1.一种SC切型晶体定向仪，包括工作台，工作台下方安装有高压变压器、稳压器、气泵及气泵吸管，其特征在于所述的工作台上固定有X射线发生器和测角仪，并配置有数显装置，测角仪内安装蜗轮蜗杆副，且蜗杆副一端连接手轮，其另一端连接编码器，蜗轮副连接主轴，主轴的上部固定有SC切型样品台和闪烁探测器，X射线发生器上装设有单晶衍射器。
专利摘要一种SC切型晶体定向仪，包括工作台，工作台下方安装有高压变压器、稳压器、气泵及气泵吸管，其特征在于所述的工作台上固定有X射线发生器和测角仪，并配置有数显装置，测角仪内安装蜗轮蜗杆副，且蜗杆副一端连接手轮，其另一端连接编码器，蜗轮副连接主轴，主轴的上部固定有SC切型样品台和闪烁探测器，X射线发生器上装设有单晶衍射器。本实用新型具有结构简单、使用方便、检测精度高等优点，能够实现流水线检测，提高测量精度，提高生产效率。
文档编号G01N23/207GK202661417SQ201220322398
公开日2013年1月9日 申请日期2012年7月5日 优先权日2012年7月5日
发明者甄伟, 赵松彬 申请人:丹东新东方晶体仪器有限公司
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