专利名称：放射线检测装置及其制造方法
技术领域：
本发明涉及用于医疗诊断设备、非破坏检测设备等中的将放射线作为电信号来进行检测的放射线检测装置及其制造方法。再有，在本发明中，X线、α线、β线和γ线等电磁波也包含在放射线中进行说明。
背景技术：
以往，在内部配有X线荧光体的荧光屏和带有双面涂敷感应剂的X线胶片系统一般可用于X线照相摄影。但是，最近，由于带有X线荧光体层和二维传感器板的数字放射线检测装置的图像特性良好，数据为数字数据，通过取入网络化的计算机系统来实现数据共有化的优点，所以对于数字放射线检测装置进行广泛地研究开发，并提出了各种专利申请。
在这些数字放射线检测装置中，作为高灵敏度高清晰的装置，如USP5793047或USP6469305中公开的以下装置将在透过放射线的基板上设有荧光体层的放射线检测用闪烁体、透光性支撑基板上配置的多个光电变换元件、以及光电变换元件间隙中配置TFT等电气元件的传感器板粘结一体化后形成的放射线检测装置。
在上述现有例中，在排列光电变换元件的透光性支撑基板的表面侧叠层荧光体，而在透光性支撑基板的背面叠层光吸收层。而且，将设置光吸收层的面通过粘结剂粘结在台座上。
在上述现有例中公开的传感器板的透光性支撑基板背面的光吸收层，以防止反射层和遮光功能作为其目的，从而解决了由荧光体层发光的接收光被透光性支撑基板的背面或基板端部等光电变换部以外的部分反射这样的问题。而且，作为设置该层的方法，有通过涂敷、印刷工艺而在透光性支撑基板上直接形成树脂的方法。
在现有例的放射线检测用闪烁体中，在工艺中或长期耐久性试验的加速试验中，产生以下问题。
(1)在工艺中的热历史和耐久性中，各结构层因热而产生位移，有因这种位移产生弯曲，在荧光体和各结构层间内部施加应力，应力弱的层因内部应力而损坏或剥落的问题。
(2)因工艺中的热历史，各结构层因热而产生位移，以往，因这种位移，在排列了光电变换元件的传感器板的表面侧上构成很多层，所以在传感器板中产生弯曲。由于这种弯曲，在板上的电极引出焊盘部中，在安装焊接端子进行电气布线连接时，有时产生设置位置不良、连接不良等问题。此外，因加速耐久中的传感器板弯曲应力，有时连接部损坏并产生连接不良。
(3)传感器板在处理中装载流动在运送用支架上，在支撑基板背面接触运送用支架面的情况下，放置在现有的材料中，光吸收层因机械摩擦而损伤或剥离，这种缺陷部的遮光就不充分，使图像缺陷增加。
在至此公开的现有例中，没有考虑叠层后的应力，没有公开板背面侧的构成材料及叠层方法。
发明内容
本发明是鉴于上述情况的发明，其目的在于，提供一种可靠性高的放射线检测装置及其制造方法，其中，在支撑基板的一个表面上形成了多个光电变换元件的传感器板的表面侧叠层保护层，在其另一表面侧叠层弯曲矫正层，并且所述保护层和弯曲矫正层由具有相同拉伸或挤压方向的树脂薄膜构成，以两树脂薄膜的拉伸或挤压方向为近似方向来进行粘结，从而矫正由热位移引起的弯曲，防止各结构层的剥落和损坏。
即，本发明的放射线检测装置有在支撑基板的一个表面上形成多个光电变换元件的传感器板，其特征在于，在所述传感器板的形成了所述变换元件的表面侧叠层具有拉伸或挤压方向的第1树脂薄膜构成的保护层，在所述传感器板的另一表面侧叠层具有拉伸或挤压方向的第2树脂薄膜，以使各自的拉伸或挤压方向为近似方向而将它们进行粘结。
此外，本发明的放射线检测装置的制造方法，所述放射线检测装置通过将在支撑基板的一个表面上形成有多个变换元件的传感器板和具有将放射线变换成所述变换元件可检测的光的荧光体层的闪烁体板粘结起来构成，其特征在于，该方法包括在所述闪烁体板上粘结由具有拉伸或挤压方向的第1树脂薄膜构成的防湿保护层的步骤；以及在所述传感器板的没有所述变换元件的表面侧上通过粘结层粘结具有拉伸或挤压方向的第2树脂薄膜，以使该方向与所述防湿保护层的拉伸或挤压方向为近似方向的步骤。
再有，本发明的放射线检测装置的制造方法，所述放射线检测装置具有在支撑基板的一个表面上形成有多个变换元件的传感器板和在所述传感器板的具有所述变换元件的表面侧上形成的、将放射线变换成所述变换元件可检测的光的荧光体层，其特征在于，该方法包括在所述荧光体层上粘结由具有拉伸或挤压方向的第1树脂薄膜构成的防湿保护层的步骤；以及在所述传感器板的没有所述变换元件的表面侧上通过粘结层粘结具有拉伸或挤压方向的第2树脂薄膜，以使该方向与所述防湿保护层的拉伸或挤压方向为近似方向的步骤。
再有，本发明的放射线检测装置的制造方法，其特征在于，该方法包括在形成有将放射线直接变换成电信号的多个变换元件的直接型传感器板的具有所述变换元件的表面侧上，粘结由具有拉伸或挤压方向的第1树脂薄膜构成的防湿保护层的步骤；以及在所述直接型传感器板的没有所述变换元件的表面侧上通过粘结层粘结具有拉伸或挤压方向的第2树脂薄膜，以使该方向与所述防湿保护层的拉伸或挤压方向为近似方向的步骤。
本发明可以实现没有热位移引起的放射线检测板的弯曲，板上的电极和端子焊接良好，没有连接不良的可靠性高的放射线检测装置。在构成为放射线检测装置时，不产生荧光体的剥离和破损，抗温度、抗湿度性明显提高。
本发明的其他特征和优点在结合附图的下列说明中将变得更明显，在这些附图中相同或类似的部分附以相同的参考标号。
下面，结合构成本说明书一部分的附图来说明本发明的实施例，并在说明的同时，解释本发明的原理。
图1是表示本发明实施方式1的放射线检测装置的放射线检测板结构的剖面图。
图2是表示本发明的放射线检测板的树脂薄膜的形态图。
图3是表示本发明实施方式2的放射线检测装置的放射线检测板结构的剖面图。
图4是表示本发明实施方式3的放射线检测装置的放射线检测板结构的剖面图。
图5表示本发明实施方式4的放射线检测系统。
具体实施例方式
以下，参照附图详细说明本发明的实施方式。
图1是表示本发明实施方式1的放射线检测装置的放射线检测板结构的剖面图。
在图1中，410表示放射线检测板的整体，101是玻璃基板(支撑基板)，102是使用非晶硅的作为光传感器的由光电变换元件和TFT构成的光电变换元件部，103是布线部，104是电极取出部，105是氮化硅等构成的第一板保护层，106是树脂膜构成的第二板保护层。此外，111是兼有荧光体涂敷基板的荧光体保护层，由支撑用荧光体保护层涂敷的荧光体层112的树脂薄膜层构成。这里，荧光体是闪烁体或波长变换体的一例。用101～106构成传感器板100，用111、112构成闪烁体板110。闪烁体板110通过粘结层107粘结在传感器板100上。
115是防湿保护层，其主要目的在于提高荧光体和传感器板100的耐久性，由防湿效果好的金属层和支撑金属层的树脂薄膜层构成。支撑金属层的树脂薄膜层形成在金属层的单面或双面上，由具有拉伸或挤压方向的树脂薄膜构成。防湿保护层115通过粘结层(未图示)叠层在荧光体保护层111上。
此外，在没有形成传感器板100的光电变换元件的表面侧上，通过粘结层113叠层弯曲矫正层114。弯曲矫正层114由具有拉伸或挤压方向的树脂薄膜构成。本发明的传感器板100的支撑基板101所使用的玻璃等材料的热膨胀系数为(1～10×10-6)/℃，另一方面，防湿保护层等所使用的Al等金属的热膨胀系数为(15～25×10-6)/℃，树脂片的热膨胀系数为(1～5×10-6)/℃，各层因热历史产生的位移差大。
因此，在本发明的叠层结构体中，因热历史后叠层体的各层位移而产生弯曲。通过拉伸或挤压成形而形成的树脂薄膜在其拉伸或挤压方向上有树脂材料分子选择性排列的性状，所以在拉伸或挤压方向和非拉伸或挤压方向上，已知热膨胀量、高温时的热收缩位移量有所不同。
图2是表示本发明的放射线检测板的树脂薄膜的形态图。
在树脂薄膜125中，分别用123、124表示拉伸或挤压方向及非拉伸或挤压方向。
例如，在作为最普通的树脂薄膜的聚对苯二甲酸乙二酯膜中，常温附近的热膨胀系数在拉伸或挤压方向上为1.2×10-5cm/cm/℃，在非拉伸或挤压方向上为1.6×10-5cm/cm/℃，100℃附近的热收缩位移率在拉伸或挤压方向上为0.25％，在非拉伸或挤压方向方向为0％。因此，在传感器板100的光电变换元件侧，叠层闪烁体板110和防湿保护层115的情况下，因工艺中和耐久性中的热历史造成的荧光体保护层111、以及防湿保护层115的树脂薄膜的尺寸位移在拉伸或挤压方向和非拉伸或挤压方向上引起不同的位移量。因此，树脂薄膜的性状方向成为决定传感器板的弯曲方向的重要因素。
因此，在本发明中，通过使形成了防湿保护层115的传感器板100的对面上粘结的弯曲矫正层114的树脂薄膜与防湿保护层115的树脂薄膜的拉伸或挤压方向为相近似方向，分别插入粘结层并进行粘结，可以矫正传感器板100的弯曲量。
例如，在不仅有防湿保护层115，而且还有荧光体保护层111的情况下，将荧光体保护层111的拉伸或挤压方向和防湿保护层115近似方向进行粘结，而且，可以计算两层的厚度和材料固有的热位移特性，设置弯曲矫正层114，以平衡于相同位移量，使可进行矫正的材料、性状、厚度的弯曲矫正层与树脂性状为近似方向。
此外，将弯曲矫正层114粘结在没有形成传感器板100的光电变换元件的表面侧，例如，如果是荧光体保护层114和粘结层113具有光吸收功能和遮光功能的结构，则最好是荧光体层112反光的应接收的光被光电变换部以外的支撑基板的背面反射而不被接收，而来自外部的泄漏光从传感器板100背面进入而不被接收。此外，光吸收功能和遮光功能可通过弯曲矫正层114和粘结层113的双层结构获得，使粘结层113具有光吸收、遮光功能，或使弯曲矫正层具有光吸收、遮光功能，或使双方具有光吸收、遮光功能都可以。
在粘结层113侧具有光吸收功能的情况下，树脂薄膜层的制约�。谡辰岵�113透明的情况下，尽量减小粘结层113和支撑基板101之间的折光率差，最好为±5％，需要抑制界面上的反射，使树脂薄膜层具有光吸收功能。就使粘结层113具有光吸收性、遮光性而言，使这些树脂中含有有机颜料或无机颜料就可以。作为有机颜料，有硝基染料、偶氮颜料、阴丹士林、硫靛蓝perynone、二萘嵌苯、二噁嗪、喹吖酮、酞菁、异吲哚啉酮、奎诺酞系。作为无机颜料，有碳黑、铬黄、镉黄、苜蓿大铁丹(橙黄)、银朱、铅丹、镉红、矿物紫(紫色)、钴蓝、钴绿、氧化铬、氧化铟、氧化锡、Viridian(绿)等。在使膜层具有光吸收性中，也可以含有上述所示的颜料。而且，也可以在膜层的粘结层侧进行黑色印刷。
此外，在使弯曲矫正层114的树脂薄膜具有光吸收性能的情况下，可以在树脂薄膜形成时混合碳黑等颜料而使其具有光吸收功能。但是，树脂薄膜中可含有的颜料量为30wt％左右是形成树脂薄膜的界限，在树脂薄膜薄并且遮光性不足的情况下，例如向树脂薄膜表面喷吹石墨等的遮光性及光吸收性高的粒子来形成树脂薄膜，可提高树脂薄膜的遮光性能。
这样，通过在形成了传感器板100的光电变换元件的表面侧，设置闪烁体板110和防湿保护层115，在传感器板100的另一表面侧设置弯曲矫正层114，构成放射线检测板410。
作为本发明的用于树脂薄膜的材料，只要是有拉伸或挤压方向的片制树脂薄膜，任何材料都可以，例如，可列举聚对苯二甲酸乙二酯树脂、聚丙烯树脂、聚碳酸酯树脂、氯化乙烯树脂、氯化亚乙烯树脂、ABS树脂、聚酰亚胺树脂等。
图3是表示本发明实施方式2的放射线检测装置的放射线检测板结构的剖面图。
101是玻璃基板(支撑基板)，102是使用非晶硅的光电变换元件和TFT构成的光电变换部，103是布线部，104是电极取出部，105是氮化硅等构成的第一板保护层，106是树脂膜等构成的第二板保护层。此外，117是柱状的荧光体构成的荧光体层。这里，荧光体是闪烁体或波长变换体的一例。116是将从荧光体发出的光反射到传感器板侧的反射层，至少是将有机保护膜和金属反射层叠层了两层以上的结构，以便有机材料膜保护金属反射层。作为金属反射层，期望是Al、Ag、Cr、Cu、Ni、Ti、Mg、Rh、Pt或Au等反射率高的金属。此外，覆盖反射层的有机材料层以金属反射层的保护和荧光体层的防湿保护为目的而设置的，只要可达到该目的，任何材料都可以，期望使用在USP6469305中公开的抗湿性高的聚对二甲苯等CVD膜。
115是防湿保护层，主要目的在于提高荧光体和传感器板的耐久性，所以从防湿效果好来看，由与反射层不同的另外设置的金属层和支撑它的树脂薄膜层构成。支撑金属层的树脂薄膜层形成在金属层的单面或双面上，由具有拉伸或挤压方向的树脂薄膜构成。防湿保护层115通过粘结层(未图示)叠层在反射层116上。此外，在没有形成传感器板的光电变换元件的表面侧上，通过粘结层113叠层弯曲矫正层114。弯曲矫正层114由具有拉伸或挤压方向的树脂薄膜构成。
101～106构成传感器板100，叠层荧光体层117、反射层116、防湿保护层115，通过密封部122密封防湿保护层115而获得放射线检测板410。在本实施方式中，也通过使防湿保护层115的树脂薄膜和弯曲矫正层114的拉伸或挤压方向为近似方向并进行粘结，可以矫正放射线检测板的弯曲。特别是在荧光体是柱状结晶构成的荧光体117的情况下，有时发生因产生弯曲而造成荧光体破损的致命缺陷，弯曲矫正造成的应力缓和效果大。此外，在弯曲矫正层114或粘结层113中，与实施方式1同样，也可以具有遮光功能和光吸收功能。
图4是表示本发明实施方式3的放射线检测装置的放射线检测板结构的剖面图。
101是玻璃基板(支撑基板)，102是将X线直接变换成电信号的放射线变换元件和TFT构成的光电变换部，103是布线部，104是电极取出部，131是保护层，直接型传感器板130是可以将X线直接变换成电信号的传感器板。用101～104、131构成传感器板130。
115是防湿保护层，主要以提高传感器板的耐久性为目的，由防湿效果好的金属层和支撑它的树脂薄膜层构成。支撑金属层的树脂薄膜层形成在金属层的单面或双面上，由具有拉伸或挤压方向的树脂薄膜构成，不仅可防湿，还兼作传感器面的刚性保护层。树脂薄膜层由具有拉伸和挤压方向的树脂薄膜形成。防湿保护层115通过粘结层(未图示)叠层在保护层131上。此外，在没有形成传感器板的光电变换元件的表面侧上，通过粘结层113叠层弯曲矫正层114。弯曲矫正层114由具有拉伸或挤压方向的树脂薄膜构成。
在本实施方式中，也通过使防湿保护层115的树脂薄膜和弯曲矫正层114的拉伸或挤压方向为近似方向并进行粘结，可以矫正放射线检测板的弯曲。
如以上说明，无论荧光体为粒子，还是柱状结晶构成的荧光体，在传感器板上都没有闪烁体，即使在将放射线直接变换成电信号的情况下，为了避免弯曲应力造成的麻烦，在实施方式1～3中，通过使防湿保护层的树脂膜和弯曲矫正层的拉伸或挤压方向近似一致来进行粘结，可以矫正放射线检测板的弯曲。
图5表示本发明实施方式4的放射线检测系统。
在放射线检测系统中，使用放射线检测装置。X线管6050产生的X线6060透过患者或被检者6061的胸部6062，入射到放射线检测装置6040。在这种入射的X线中包含患者6061的身体内部信息。对应于X线的入射，放射线检测装置6040的荧光体发光，将其进行光电变换来获得电信息。这种信息通过变换为数字的图像处理器6070进行图像处理，可用控制室的显示器6080观察。
此外，这种信息可通过电话线路6090等传输部件向外地传送，可在其他场所的医生室等显示器6081上显示或保存在光盘等的保存部件中，外地的医生也可以进行诊断。此外，可通过胶片处理器6100记录在胶片6110上。
下面，详细说明本发明的放射线检测装置的实施例。
实施例1、2是实施方式1的实施例，实施例3是实施方式2的实施例。
(实施例1)
如图1所示，在450mm×450mm、厚度0.7mm的玻璃基板101上的非晶硅构成的半导体薄膜上，形成光电变换元件和TFT构成的光电变换元件部(像素430mm×430mm)102，在其上按厚度4μm形成SiNx构成的保护层105、以及固化了聚酰亚胺树脂的第二保护层106。而且，在没有形成传感器板100的光电变换元件的表面上，喷射涂敷黑色丙烯油墨，形成厚度5μm的遮光功能层，制作传感器板100。
在荧光体保护层111上，将分散在树脂粘合剂中的荧光体粒子树脂通过涂敷法按厚度180μm形成在厚度188μm的薄片滚轮状的PET树脂膜上，在形成荧光体层112后切断，形成闪烁体板110。
通过干式层压叠层Al箔片40μm和PET树脂薄膜50的薄片滚轮，而且将厚度50μm的丙烯系两面胶带(住友3M社制9313)粘结在Al面侧，按440mm×440mm形成Al和PET叠层后的树脂薄膜防湿保护层115。
在厚度250μm的透明PET片上粘结厚度50μm的丙烯系两面胶带(住友3M社制9313)，形成带有粘结层113的PET片，获得440mm×440mm的弯曲矫正层114。
使用丙烯系粘结剂(XSG)的粘结层107将获得的闪烁体板110的荧光体层112侧粘结在传感器板100上，而且，在作为闪烁体板110的荧光体保护层111的树脂薄膜上，以两者的拉伸方向为近似方向来粘结防湿保护层115的树脂薄膜。而且，在没有形成传感器板100的光电变换元件的面、即没有设置闪烁体板110的面上构成放射线检测板，以使弯曲矫正层114和防湿保护层115的树脂薄膜的拉伸方向为近似方向。
(实施例2)如图1所示，在玻璃基板101上的非晶硅构成的半导体薄膜上，形成光电变换元件和TFT构成的光电变换元件部(像素)102，在其上形成SiNx构成的保护膜105、以及固化了聚酰亚胺树脂的第二保护层106，制作传感器板100。
与实施例1同样，制作闪烁体板110、防湿保护层115。
在厚度100μm(Panak公司制)的黑PET片上，粘结厚度50μm的丙烯系两面胶带(住友3M社制9313)，形成带有粘结层的PET片，获得具备遮光功能和光吸收功能的440mm×440mm的弯曲矫正层114。
在获得的传感器板100上，与实施例1同样粘结各层。粘结以荧光体保护层111、防湿保护层115、弯曲矫正层114的各树脂薄膜的拉伸方向为近似方向来进行，构成放射线检测板。
(实施例3)如图3所示，在玻璃基板101上的非晶硅构成的半导体薄膜上，形成光电变换元件和TFT构成的光电变换元件部(像素)102，在其上形成SiNx构成的保护膜105、以及固化了聚酰亚胺树脂的第二保护层106，制作传感器板100。
接着，在传感器板100上，通过镀敷法按厚度500μm形成由碱卤化物构成的柱状结晶的荧光体层117。接着，通过CVD法按10μm的厚度形成由聚对二甲苯树脂构成荧光体表面的保护层，接着通过溅射法设置5000埃的Al层作为反射层，再次通过CVD法按10μm的厚度形成由聚对二甲苯树脂构成的保护层，并获得反射层116。
与实施例1同样，形成防湿保护层115，与实施例2同样，获得具备遮光功能和光吸收功能的弯曲矫正层114。
而且，在该反射层上通过粘结剂粘结实施例1的防湿保护层115，在密封部122中用丙烯树脂密封片端部。而且，将防湿保护层115的树脂薄膜和弯曲矫正层114粘结，构成放射线检测板，以使拉伸方向为近似方向。
使用这些实施例那样构成的放射线检测板来构成放射线检测装置。在这样的放射线检测装置中，在工艺过程中放射线检测板上不产生弯曲，可在板上的电极引出焊盘部安装焊接端子，良好地进行电气布线连接。
而且，将以上那样制作的放射线检测装置在60℃、90％的温度湿度试验槽中保存1000小时。其结果，没有发生荧光体层的层间剥离等外观不良，而且几乎看不出灵敏度的下降，可以确认获得了可靠性高的放射线检测装置。
(比较例)除了没有形成弯曲矫正层以外，与实施例1同样获得放射线检测板。将获得的放射线检测板装入进行电连接的机壳中，获得放射线检测装置。
从这样获得的装置中，在没有形成放射线检测板的光电变换元件面侧，可观察到在处理中形成损伤的涂敷膜局部破损的缺陷。而且，将以上那样制作的放射线检测装置在60℃、90％的温度湿度试验槽中保存1000小时。其结果，发生被认为是荧光体层的层内破损的剥离不良造成的图像缺陷。
而且，在与实施例1同样构成的放射线检测板中，为了调查荧光体保护层、防湿保护层的厚度与弯曲矫正层的厚度之间的关系，变更在表1中所示的各层的厚度来形成放射线检测板。
表1
测定这些实施例和比较例那样构成的放射线检测板的弯曲量。这里，在本测定中，将从平面上放置板时的最大高度中扣除了结构层厚度所得的量作为弯曲量。
实施例4、5、6结构的放射线检测板相对于比较例其弯曲量都小。
此外，使用这些实施例结构的放射线检测板来构成放射线检测装置。在这样的放射线检测装置中，在工艺中放射线检测板上不产生弯曲，可在板上的电极引出焊盘部安装焊接端子，良好地进行电气布线连接。
而且，将以上那样制作的放射线检测装置在60℃、90％的温度湿度试验槽中保存1000小时。其结果，没有发生荧光体层的层间剥离等外观不良，而且几乎看不出灵敏度的下降，可以确认获得了可靠性高的放射线检测装置。
可以提出本发明的许多明显不同的实施例，而不会脱离本发明的精神和范围，应该理解，除了由权利要求限定以外，本发明不限于这些特定实施例。
权利要求
1.一种放射线检测装置，具有在支撑基板的一个表面上形成有多个变换元件的传感器板，其特征在于在所述传感器板的形成了所述变换元件的表面侧叠层具有拉伸或挤压方向的第1树脂薄膜构成的保护层，在所述传感器板的另一表面侧叠层具有拉伸或挤压方向的第2树脂薄膜，所述保护层和所述第2树脂薄膜被粘结在所述传感器板上，以使彼此的拉伸或挤压方向为近似方向。
2.如权利要求1所述的放射线检测装置，其特征在于，所述保护层是防湿保护层。
3.如权利要求2所述的放射线检测装置，其特征在于，在所述传感器板的形成了所述变换元件的表面侧上依次叠层荧光体层、荧光体保护层以及防湿保护层。
4.如权利要求3所述的放射线检测装置，其特征在于，所述荧光体保护层包含具有拉伸或挤压方向的第3树脂薄膜，该方向与所述防湿保护层的拉伸或挤压方向为近似方向。
5.如权利要求2所述的放射线检测装置，其特征在于，在所述传感器板的形成了所述变换元件的表面侧依次叠层荧光体层、反射层以及防湿保护层。
6.如权利要求1～5任何一项所述的放射线检测装置，其特征在于，所述第2树脂薄膜是遮光层。
7.如权利要求1或2所述的放射线检测装置，其特征在于，所述传感器板在支撑基板的一个表面上具有将放射线直接变换成电信号的多个变换元件。
8.一种放射线检测装置的制造方法，所述放射线检测装置通过将在支撑基板的一个表面上形成有多个变换元件的传感器板和具有将放射线变换成所述变换元件可检测的光的荧光体层的闪烁体板粘结起来构成，其特征在于，该方法包括在所述闪烁体板上粘结由具有拉伸或挤压方向的第1树脂薄膜构成的防湿保护层的步骤；以及在所述传感器板的没有所述变换元件的表面侧上通过粘结层粘结具有拉伸或挤压方向的第2树脂薄膜，以使该方向与所述防湿保护层的拉伸或挤压方向为近似方向的步骤。
9.一种放射线检测装置的制造方法，所述放射线检测装置具有在支撑基板的一个表面上形成有多个变换元件的传感器板和在所述传感器板的具有所述变换元件的表面侧上形成的、将放射线变换成所述变换元件可检测的光的荧光体层，其特征在于，该方法包括在所述荧光体层上粘结由具有拉伸或挤压方向的第1树脂薄膜构成的防湿保护层的步骤；以及在所述传感器板的没有所述变换元件的表面侧上通过粘结层粘结具有拉伸或挤压方向的第2树脂薄膜，以使该方向与所述防湿保护层的拉伸或挤压方向为近似方向的步骤。
10.一种放射线检测装置的制造方法，其特征在于，该方法包括在形成有将放射线直接变换成电信号的多个变换元件的直接型传感器板的具有所述变换元件的表面侧上，粘结由具有拉伸或挤压方向的第1树脂薄膜构成的防湿保护层的步骤；以及在所述直接型传感器板的没有所述变换元件的表面侧上通过粘结层粘结具有拉伸或挤压方向的第2树脂薄膜，以使该方向与所述防湿保护层的拉伸或挤压方向为近似方向的步骤。
11.一种放射线检测系统，其特征在于，该系统包括权利要求1～5任何一项所述的放射线检测装置。
12.一种放射线检测系统，其特征在于，该系统包括权利要求6所述的放射线检测装置。
13.一种放射线检测系统，其特征在于，该系统包括权利要求7所述的放射线检测装置。
全文摘要
在具有在支撑基板的一个表面上形成多个光电变换元件的传感器板的放射线检测装置中，在形成了传感器板的光电变换元件的表面侧叠层防湿保护层，在传感器板的另一表面侧叠层弯曲矫正层，并且，防湿保护层和弯曲矫正层由具有相同拉伸或挤压方向的树脂膜构成，以使两树脂薄膜的拉伸或挤压方向为近似方向而被粘结。通过上述那样形成，来防止热位移引起的放射线检测板的弯曲。
文档编号G01T1/20GK1530667SQ200410028430
公开日2004年9月22日 申请日期2004年3月11日 优先权日2003年3月12日
发明者长野和美, 之, 田村知之, 冈田聪, 郎, 竹中克郎 申请人:佳能株式会社
专业数控铣床产品供应商
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