专利名称：一种基于单元光敏探测器阵列的哈特曼波前传感器的制作方法
技术领域：
本发明属于光学信息测量技术领域，涉及一种测量入射光束波前的装置，尤其涉及一种新型的基于单元光敏探测器阵列的哈特曼波前传感器。
背景技术：
波前传感技术属于测量技术的范畴，已经被广泛地应用于自适应光学、天文、医学成像、激光通信、光学检测等诸多领域。目前已有多种波前传感技术得到了实际应用，比如剪切干涉波前传感技术、哈特曼波前传感技术、曲率波前传感技术和各类相位反演方法等等。其中剪切干涉波前传感技术是经典的波前像差测量方法，测量精度非常高，但其结构较复杂，对环境稳定度要求高，测量速度难以满足实时控制，主要被用于高精度测量、基准检测等场合。而哈特曼波前传感技术结构简单，可探测连续光或脉冲光，能同时测量两个方法的波前斜率，光能利用率较高，测量速度快，已经成为目前最流行、应用最广泛的波前传感 技术之一。典型的哈特曼波前传感器结构可以参见中国专利申请公开说明书(申请号98112210. 8，公开号CN1245904)公开的一种光学波前传感器，其实现方式主要采用波前分割取样阵列元件如微透镜阵列对波前进行子孔径分割，将类似于数学微积分的处理方法用于波前测量中，只需要测量每个子孔径中的倾斜像差大小即可用特定的复原算法复原整个孔径的波前像差。而子孔径中的倾斜像差分量是根据光波经过微透镜聚焦得到的远场光斑质心偏移确定的，因此传统的哈特曼波前传感器均需要用一个阵列型光电探测器(比如CCD或CMOS相机)探测微透镜阵列焦面上的光斑阵列。对哈特曼波前传感器的深入研究主要侧重于提高探测精度和提升探测速度两个方面。就提高探测速度而言，哈特曼波前传感器最大的速度瓶颈在阵列型光电探测器的探测速度上，最直接的解决方案是采用高性能的相机高速地获取光斑阵列图像，从而提高波前探测速度。但一方面高性能的相机制造工艺机器复杂，价格不菲，另一方面相机探测速度的提高空间非常有限，全靶面帧频达到上KHz已非常困难，与四象限探测器或者单元光敏探测器动辄上MHz甚至GHz的探测频率不可同日而语。因此，在相机的大靶面探测速度无法满足需求时，为进一步提升哈特曼波前传感器的探测速度，则需要降低对光斑阵列的采样率，也就是采取减小探测靶面、减少探测单元数量、减少探测信息量从而提高数据传输速度的方式。若将探测每个光斑质心的采样点数降到2X2阵列，则可以用四象限探测器来探测光斑质心，将四象限探测器的优良的性能用于波前探测。但是，在利用测量光斑质心偏移复原波前的原理框架下，为了测量每个光斑在两个方向上的偏移量，2X2阵列的探测单元阵列已近理论极限，很难继续减少，因此无法采用简单可靠，性能更好的单元光敏探测器作为光信息探测元件。此外，通过降低光斑阵列采用率提高探测速度的做法是以牺牲哈特曼波前传感器探测精度和动态范围为代价的，实际应用时非常受限
发明内容
本发明技术解决问题为了解决现在技术的不足，在不降低甚至大幅提升波前探测精度的前提下，减少哈特曼波前传感器每个子孔径对应的探测单元数，使之达到理论最小值，本发明提供一种结构简单、以单元光敏探测器阵列作为核心探测器件，同时具有高速、高精度波前探测潜力的哈特曼波前传感器。本发明的技术解决方案是一种基于单元光敏探测器阵列的哈特曼波前传感器，由相位型空间光调制器、微透镜阵列、单模光纤阵列和单元光敏探测器阵列组成；相位型空间光调制器位于微透镜阵列之前，在自身调制工作区域内划分与微透镜阵列(即哈特曼波前传感器子孔径)一一对应的相位调制子区域，同时对每个子孔径内子光波进行前两阶二元相位调制，调制后的光波被微透镜阵列分别聚焦，进入端面位于微透镜阵列焦面的单模光纤阵列中，单模光纤阵列同时对各个子光波进行二元像差模式选模滤波，只通过子光波波前相位中的二元像差模式基模成分，单元光敏探测器阵列置于单模光纤阵列另一端，与每一根单模光纤对应，分别探测从每根单模光纤出射的光强大�。扛龅ヘ９饷籼讲� 器需从对应的单模光纤测量三个光强数据一/^(无调制)、/f)(第一阶二元相位调制后)和I1弋第二阶二元相位调制后)，符号中i表示第i个有效子孔径所对应的数据；处理每个子孔径中光强数据，得到每个子孔径内斜率信息，进而用哈特曼波前传感器模式法波前复原矩阵，重构整个孔径的待测波前。所述的相位型空间光调制器可以是液晶空间光调制器或MEMS变形镜。所述的单模光纤阵列的工作波长与待测光波波长相同，保证单模光纤选模滤波的准确性。所述的单元光敏探测器阵列是普通光电二极管阵列、雪崩二极管阵列或是光电倍增管阵列，探测谱段与待测光波波长匹配，覆盖待测光波波长。所述前两阶二元相位调制样式为除第O阶以外的前两阶Walsh函数形式，即第I、第2阶Walsh函数。所述的二元像差模式为Walsh函数完备正交序列，第O阶Walsh函数即为二元像
差模式基模。所述的有效子孔径是指区域内均有光覆盖的子孔径，不考虑在光束边缘或无光区域的子孔径，有效子孔径数量需略大于探测的波前像差阶数。所述的Walsh函数定义域可以是方域或是圆域，与微透镜阵列每个微透镜具体形
状相一致。本发明与现有技术相比有如下优点(I)只需单个单元光敏探测器即可探测哈特曼波前传感器子孔径内倾斜分量，达到子孔径分割测量波前方案下的理论最小值，充分减少探测信息量，结合单元光敏探测器超高的探测频率，优异的光电探测性能，有望提高哈特曼波前传感器的探测速度；(2)不再使用传统的通过测量光斑质心偏移计算倾斜像差的方式，避免了光斑离散采样和探测单元数减少带来的波前探测误差，可实现减少探测单元数量的同时大幅提升哈特曼波前传感器的波前探测精度，具有高精度波前探测的潜力。
图I为本发明实施例一基于单元光敏探测器阵列的哈特曼波前传感器(采用液晶空间光调制器实现调相)结构示意图；图2为本发明实施例一中液晶空间光调制器相位调制示意图，其中示意图(a)为子区域划分方，(b)为相位调制序列样式示意图；图3为本发明实施例一波前复原数值仿真结果图，其中左图为原波前、中图为复原波前、右图为复原残差波前；图4为本发明实施例一波前复原数值仿真中系数复原结果图，其中左图为前23阶Zernike系数理论值与复原值柱状分布图、右图为前23阶Zernike系数复原值与理论值之差;
图5为传统哈特曼波前传感器(有效子孔径选取方式与实施例一一致)波前复原数值仿真结果图，其中左图为有效子孔径选取分布图、中图为复原波前、右图为复原残差波
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IIJ ; 图6为传统哈特曼波前传感器(有效子孔径选取方式与实施例一一致)波前复原数值仿真中系数复原结果图，其中左图为前23阶Zernike系数理论值与复原值柱状分布图、右图为前23阶Zernike系数复原值与理论值之差；图7为传统哈特曼波前传感器(常规的有效子孔径选取方式)波前复原数值仿真结果图(左图为有效子孔径选取分布图、中图为复原波前、右图为复原残差波前)；图8为传统哈特曼波前传感器(常规的有效子孔径选取方式)波前复原数值仿真中系数复原结果图(左图为前23阶Zernike系数理论值与复原值柱状分布图、右图为前23阶Zernike系数复原值与理论值之差)；图9为本发明实施例二基于单元光敏探测器阵列的哈特曼波前传感器(采用MEMS变形反射镜实现调相)结构示意图。
具体实施例方式下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。如图I所示，本发明实施例一中基于单元光敏探测器阵列的哈特曼波前传感器，由液晶空间光调制器I、微透镜阵列2、单模光纤阵列3和单元光敏探测器阵列4组成；液晶空间光调制器I位于微透镜阵列2之前，在自身调制工作区域内划分与微透镜阵列2每个微透镜(即哈特曼波前传感器子孔径)一一对应的相位调制子区域，如图2(a)所示，图中圆形区域为通光孔径，即为光波波前表达式的定义域，半径归一化为1，小方格为液晶空间光调制器I的调制子区域同时也是哈特曼波前传感器的子孔径，则有微透镜阵列2排布和子孔径划分均为8X8方阵，其中全部位于圆形区域内的子孔径被定为有效子孔径；液晶空间光调制器I同时用每个调制子区域对每个子孔径内子光波进行前两阶二元相位调制，调制样式如图2(b)所示，Wtl为不附加相位调制，W1I2分别为第I、第2阶二元相位调制样式，黑色部分表示值“-1”，白色部分表示值“+1”，若调制幅度为“_β ”，则附加相位为· W1或-β -W2, β取值可以是-η/2到π/2，这里取π/4;调制后的光波被微透镜阵列2分别聚焦，进入端面位于微透镜阵列2焦面的单模光纤阵列3中，单模光纤阵列3同时对各个子光波进行二元像差模式选模滤波，只通过子光波波前相位中的二元像差模式基模成分，单元光敏探测器阵列4置于单模光纤阵列3另一端，与每一根单模光纤一一对应，分别探测从每根单模光纤出射的光强大�。扛龅ピ饷籼讲馄餍璐佣杂Φ牡ツ９庀瞬饬咳龉馇渴菀籭f (无调制)、/ ι)(第一阶二元相位调制后)和/$(第二阶二元相位调制后)，符号中i表示第i个有效子孔径所，处理该三个光强数据即可得到对应子孔径内子波前斜率信息
权利要求
1.一种基于单元光敏探测器阵列的哈特曼波前传感器，其特征在于由相位型空间光调制器、微透镜阵列、单模光纤阵列和单元光敏探测器阵列组成；相位型空间光调制器位于微透镜阵列之前，在自身调制工作区域内划分与微透镜阵列，即哈特曼波前传感器子孔径一一对应的相位调制子区域，同时对每个子孔径内子光波进行前两阶二元相位调制，调制后的光波被微透镜阵列分别聚焦，进入端面位于微透镜阵列焦面的单模光纤阵列中，单模光纤阵列同时对各个子光波进行二元像差模式选模滤波，只通过子光波波前相位中的二元像差模式基模成分，单元光敏探测器阵列置于单模光纤阵列另一端，与每一根单模光纤一一对应，分别探测从每根单模光纤出射的光强大�。扛龅ピ饷籼讲馄餍璐佣杂Φ牡ツ９庀瞬饬咳龉馇渴荩次薜髦乒馇�/J第一阶二元相位调制后光强和第二阶二元相位调制后光强疗》，符号中i表示第i个有效子孔径所对应的数据；处理每个子孔径中光强数据，得到每个子孔径内斜率信息，进而用哈特曼波前传感器模式法波前复原矩阵，重构整个孔径的待测波前。
2.根据权利要求I所述的基于单元光敏探测器阵列的哈特曼波前传感器，其特征在于所述相位型空间光调制器是液晶空间光调制器或MEMS变形反射镜。
3.根据权利要求I所述的基于单元光敏探测器阵列的哈特曼波前传感器，其特征在于所述单模光纤阵列的工作波长与待测光波波长相同。
4.根据权利要求I所述的基于单元光敏探测器阵列的哈特曼波前传感器，其特征在于所述单元光敏探测器阵列是普通光电二极管阵列、雪崩二极管阵列或是光电倍增管阵列，探测谱段与待测光波波长匹配，覆盖待测光波波长。
5.根据权利要求I所述的基于单元光敏探测器阵列的哈特曼波前传感器，其特征在于所述前两阶二元相位调制样式为除第O阶以外的前两阶Walsh函数形式，即第I、第2阶Walsh函数。
6.根据权利要求I所述的基于单元光敏探测器阵列的哈特曼波前传感器，其特征在于所述前二元像差模式为Walsh函数完备正交序列。
7.根据权利要求I所述的基于单元光敏探测器阵列的哈特曼波前传感器，其特征在于所述有效子孔径是指区域内均有光覆盖的子孔径，不考虑在光束边缘或无光区域的子孔径。
8.根据权利要求5或6所述的基于单元光敏探测器阵列的哈特曼波前传感器，其特征在于所述Walsh函数定义域是方域或是圆域，与微透镜阵列每个微透镜具体形状相一致。
全文摘要
一种基于单元光敏探测器阵列的哈特曼波前传感器，由相位型空间光调制器、微透镜阵列、单模光纤阵列和单元光敏探测器阵列组成，相位型空间光调制器同时对哈特曼波前传感器每个子孔径内子光波进行前两阶二元相位调制，微透镜阵列位于相位调制器之后，将调制后的子光波分别耦合进入置于其焦平面的单模光纤阵列中实现选模滤波，选模滤波后的光强被单元光敏探测器阵列接收，通过处理光强数据求解每个子孔径内的波前斜率信息，最终用哈特曼波前传感器波前模式复原算法重构整个入射光波波前。本发明减少了探测单元数量，避免光斑离散采样导致波前测量精度下降问题，使得波前探测精度不受探测单元数的减少的影响，可以应用于高速、高精度波前探测领域。
文档编号G01J11/00GK102967380SQ20121052421
公开日2013年3月13日 申请日期2012年12月9日 优先权日2012年12月9日
发明者王帅, 杨平, 许冰, 刘文劲, 雷翔, 晏虎, 董理治, 高源 , 程生毅 申请人:中国科学院光电技术研究所
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