专利名称：振子、振动装置及电子设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种振子、振动装置及电子设备。
背景技术：
一直以来，作为用于对角速度进行检测的振动片，已知一种所谓的“WT型”的陀螺元件(参照专利文献I)。专利文献I的陀螺元件具有:振动体；对振动体进行支承的第一支承部、第二支承部；对振动体和第一支承部进行连结的第一梁、第二梁；对振动体和第二支承部进行连结的第三梁、第四梁。此外，振动体通过下述构件而构成，即，基部；从基部起沿着y轴而向两侧延伸的第一检测振动臂、第二检测振动臂；从基部起沿着X轴而向两侧延伸的第一连结部臂、第二连结部臂；从第一连结臂的顶端部起沿着I轴而向两侧延伸的第一驱动振动臂、第二驱动振动臂；从第二连结臂的顶端部起沿着I轴而向两侧延伸的第三驱动振动臂、第四驱动振动臂。此外，在专利文献I的陀螺元件中，第一检测电极、第二检测电极被设置在第一检测振动臂、第二检测振动臂上，第一驱动电极、第二驱动电极、第三驱动电极、第四驱动电极被设置在第一驱动振动臂、第二驱动振动臂、第三驱动振动臂、第四驱动振动臂上。第一检测电极及第一驱动电极、第二驱动电极通过第一梁、第二梁而向第一支承部被引出，并与被设置在第一支承部上的三个连接端子电连接。与此相同地，第二检测电极及第三驱动电极、第四驱动电极通过第三梁、第四梁而向第二支承部被引出，并与被设置在第二支承部上的三个连接端子电连接。这种专利文献I的陀螺元件通过导电性粘合剂而被安装在安装基板上。具体而言，六个连接端子中的每一个和安装基板通过导电性粘合剂而被接合，由此，陀螺元件被固定在安装基板上，并且陀螺元件和安装基板被电连接。在此，由于被设置在第一支承部上的三个连接端子在X轴方向上相互并排设置，因此当例如导电性粘合剂的塗布位置或塗布量发生偏差，或者陀螺元件相对于安装基板的对准发生偏差时，将存在如下的可能性，即，导电性粘合剂与所对应的连接端子以外的连接端子接触，或者相邻的导电性粘合剂彼此接触，从而陀螺元件无法正确地驱动。即，在专利文献I的陀螺元件中，如果不高精度地控制导电性粘合剂的塗布位置或塗布量、陀螺元件的对准，则存在无法获得正确地进行驱动的陀螺元件的问题。专利文献1:日本特开2010-256332号公报
发明内容
本发明的目的在于，提供一种能够防止安装在安装基板上时的导电性固定部件彼此的接触，从而进行正确的驱动的振子及振动装置。本发明是为了解决上述课题中的至少一部分而被完成的，并能够作为以下的方式或者应用例而实现。
应用例I本发明的振子的特征在于，具备:振动片，其具备振动体、对所述振动体进行支承的支承部、以及对所述支承部和所述振动体进行连结的梁；电极，其被设置在所述振动体上，且至少为两个；端子，其被设置在所述支承部上，并通过被设置在所述梁上的配线而与所述电极电连接，且至少为两个，两个所述端子沿着与所述梁的延伸方向交叉的方向，以分离的方式而并排设置，在两个所述端子之间设置有多个槽，所述多个槽沿着与所述梁的延伸方向交叉的方向分离，且沿着所述梁的延伸方向延伸。由此，能够防止多个导电性固定部件相互接触，多个所述导电性固定部件用于将振子固定在支承基板上，且将被设置于支承基板上的电极(端子)和被设置于振子上的电极导通。因此，能够提供可靠性优异的振子。应用例2在本发明的振子中，优选为，在与所述梁的延伸方向交叉的方向上，于设置有所述多个槽的区域内包含所述梁与所述支承部之间的连接部。由于梁与支承部之间的接合部为容易发生应力集中的部分，因此通过以包含这种接合部在内的方式设置多个槽，从而能够利用多个槽来有效地吸收或者缓和在接合部处产生的应力。因此，能够有效地抑制振子的破损。应用例3在本发明的振子中，优选为，所述多个槽中的至少一个槽被独立设置。由此，由于能够防止进入到各个槽中的导电性固定部件通过槽而接触的情况，因此能够更加可靠地防止导电性固定部件彼此的接触。应用例4在本发明的振子中，优选为，所述多个槽的所述振动体的相反侧的端部在所述支承部的侧面开放。由此，能够通过槽而明确地将两个端子之间隔开。因此，能够防止例如导电性固定部件彼此顺着未设置有槽的区域而接触等的问题。应用例5在本发明的振子中，优选为，所述多个槽的所述振动体侧的端部是封闭的。由此，能够防止流入到槽内的导电性固定部件与被设置在梁上的配线接触的情况。应用例6在本发明的振子中，优选为，所述多个槽的所述振动体侧的端部与所述支承部的所述振动体侧的边缘分离。由此，能够防止流入到槽内的导电性固定部件与被设置在梁上的配线接触的情况。应用例7在本发明的振子中，优选为，所述多个槽的所述振动体侧的端部与所述支承部的所述振动体侧的边缘之间的分离距离在3 u m以上且35 m以下。由此，能够防止流入到槽内的导电性固定部件与被设置在梁上的配线接触的情况。除此之外，能够通过槽而明确地将两个端子之间隔开。因此，能够防止例如导电性固定部件彼此顺着未设置有槽的区域而接触等的问题。应用例8在本发明的振子中，优选为，所述多个槽中的至少一个槽的所述振动体侧的端部在所述支承部的侧面开放。由此，能够通过槽而明确地将两个端子之间隔开。因此，能够防止例如导电性固定部件彼此顺着未设置有槽的区域而接触等的问题。应用例9在本发明的振子中，优选为，所述多个槽中的、位于一个所述端子侧的至少一个槽的所述振动体侧的端部与和所述一个端子相连接的所述配线接触，而位于另一个所述端子侧的至少一个槽的所述振动体侧的端部与和所述另一个端子相连接的所述配线接触。由此，能够防止短路。应用例10在本发明的振子中，优选为，所述振动体具备:基部；第一检测振动臂及第二检测振动臂，其从所述基部起沿着第一方向而向两侧延伸；第一连结臂及第二连结臂，其从所述基部起沿着与所述第一方向正交的第二方向而向两侧延伸；第一驱动振动臂及第二驱动振动臂，其从所述第一连结臂起沿着所述第一方向而向两侧延伸；第三驱动振动臂及第四驱动振动臂，其从所述第二连结臂起沿着所述第一方向而向两侧延伸，并且，所述振动体通过所述第一检测振动臂及所述第二检测振动臂而构成检测振动系统，且通过所述第一驱动振动臂、所述第二驱动振动臂、所述第三驱动振动臂及所述第四驱动振动臂而构成驱动振动系统，所述支承部具备第一支承部及第二支承部，所述第一支承部及所述第二支承部隔着所述振动体而沿着所述第一方向对置配置，并在所述第二方向上延伸，所述梁具有:第一梁，其穿过所述第一检测振动臂与所述第一驱动振动臂之间，并对所述第一支承部和所述基部进行连结；第二梁，其穿过所述第一检测振动臂与所述第三驱动振动臂之间，并对所述第一支承部和所述基部进行连结；第三梁，其穿过所述第二检测振动臂与所述第二驱动振动臂之间，并对所述第二支承部和所述基部进行连结；第四梁，其穿过所述第二检测振动臂与所述第四驱动振动臂之间，并对所述第二支承部和所述基部进行连结，所述电极具备被设置于所述检测振动系统中的第一检测信号电极、第二检测信号电极、第一检测接地电极及第二检测接地电极、和被设置于所述驱动振动系统中的驱动信号电极及驱动接地电极，所述端子具备与所述第一检测信号电极相连接的第一检测信号端子、与所述第二检测信号电极相连接的第二检测信号端子、与所述第一检测接地电极相连接的第一检测接地端子、与所述第二检测接地电极相连接的第二检测接地端子、与所述驱动信号电极相连接的驱动信号端子、以及与所述驱动接地电极相连接的驱动接地端子。由此，能够通过振子来对角速度进行检测。应用例11本发明的振动装置的特征在于，具备:基板，其具备至少两个连接衬垫；本发明的振子，所述连接衬垫和所述端子通过导电性固定部件而被接合在一起。由此，能够提供可靠性较高的振动装置。应用例12在本发明的振动装置中，优选为，在俯视观察所述基板时，所述连接衬垫的轮廓与设置有所述多个槽的区域的一部分重叠。由此，由于能够将多个槽作为刻度(标记)来使用，因此能够更加准确地实施相对于基板的定位。应用例13本发明的电子设备的特征在于，具备本发明的振子。由此，能够提供可靠性较高的电子设备。
图1为表示本发明的振动装置的第一实施方式的图(剖视图及俯视图)。图2为图1所示的振动装置所具备的陀螺元件的俯视图。图3为图1所示的振动装置所具备的陀螺元件的俯视图。图4为图3所示的陀螺元件的局部放大图。图5为对图2所示的陀螺元件的驱动进行说明的俯视图。图6为表示现有的陀螺元件的问题点的剖视图。图7为用于对图4所示的陀螺元件的效果进行说明的剖视图。图8为本发明的第二实施方式所涉及的振动装置所具有的陀螺元件的局部放大图。
具体实施例方式以下，根据附图所示的实施方式，对本发明的振子及振动装置进行详细说明。第一实施方式首先，对应用了本发明的振子的振动装置(本发明的振动装置)的第一实施方式进行说明。图1为表示本发明的振动装置的第一实施方式的图(剖视图及俯视图)，图2及图3为图1所示的振动装置所具备的陀螺元件的俯视图、图4为图3所示的陀螺元件的局部放大图，图5为对图2所示的陀螺元件的驱动进行说明的俯视图，图6为表示现有的陀螺元件的问题点的剖视图，图7为用于对图4所示的陀螺元件的效果进行说明的剖视图。另外，在下文中，如图1所示，将相互正交的三个轴设为X轴、y轴及z轴，z轴与振动装置的厚度方向一致。此外，将与X轴平行的方向称为“x轴方向(第二方向)”，将与y轴平行的方向称为“y轴方向(第一方向)”，并将与z轴平行的方向称为“z轴方向”。图1所示的振动装置I具有陀螺元件(振动元件)2、和对陀螺元件2进行收纳的封装件9。以下，依次对陀螺元件2及封装件9进行详细说明。陀螺元件2图2为从上侧(盖92侧)观察时的陀螺元件的上表面图，图3为从上侧观察时的陀螺元件的下表面图(透视图)。此外，在图2及图3中，为了便于说明，对电极及端子施加了阴影线。此外，在图2及图3中图示了由相同的阴影线所示的电极及端子电连接。此外，在图4中，为了便于说明，省略了支承部、梁、电极等的图示。陀螺元件2为对绕z轴的角速度进行检测的“面内检测型”的传感器，并且如图2及图3所示，通过振动片3、被设置在振动片3的表面上的多个电极、配线及端子而构成。
虽然振动片3可以由水晶、钽酸锂、铌酸锂等的压电材料构成，但是在这些压电材料中，优选为，由水晶构成。由此，可获得能够发挥优异的振动特性(频率特性)的振动片3。这种振动片3具有:呈所谓的双T型的振动体4 ;第一支承部51及第二支承部52，其对振动体4进行支承；第一梁61、第二梁62、第三梁63及第四梁64，其对振动体4和第一支承部51、第二支承部52进行连结。振动体4在xy平面上具有宽度，而在z轴方向上具有厚度。这种振动体4具有:基部41，其位于中央；第一检测振动臂421、第二检测振动臂422，其从基部41起沿着y轴方向而向两侧延伸；第一连结臂431、第二连结臂432，其从基部41起沿着x轴方向而向两侧延伸；第一驱动振动臂441、第二驱动振动臂442，其从第一连结臂431的顶端部起沿着y轴方向而向两侧延伸；第三驱动振动臂443、第四驱动振动臂444，其从第二连结臂432的顶端部起沿着y轴方向而向两侧延伸。在第一检测振动臂421、第二检测振动臂422及第一驱动振动臂441、第二驱动振动臂442、第三驱动振动臂443、第四驱动振动臂444的顶端部上，分别设置有与基端侧相比宽度较大的大致四角形的重量部(锤头)。通过设置这种重量部，从而提高陀螺元件2对角速度的检测灵敏度。另外，在下文中，也将该重量部称为“顶端部”。另外，第一驱动振动臂441、第二驱动振动臂442也可以从第一连结臂431的延伸方向的中途起延伸，同样地，第三驱动振动臂443、第四驱动振动臂444也可以从第二连结臂432的延伸方向的中途起延伸。此外，第一支承部51、第二支承部52分别沿着X轴方向而延伸，振动体4位于这些第一支承部51、第二支承部52之间。换言之，第一支承部51、第二支承部52被配置为，隔着振动体4而沿着y轴方向对置。第一支承部51通过第一梁61、第二梁62而与基部41相连结，第二支承部52通过第三梁63、第四梁64而与基部41相连结。第一梁61穿过第一检测振动臂421与第一驱动振动臂441之间并对第一支承部51和基部41进行连结，第二梁62穿过第一检测振动臂421与第三驱动振动臂443之间并对第一支承部51和基部41进行连结，第三梁63穿过第二检测振动臂422与第二驱动振动臂442之间并对第二支承部52和基部41进行连结，第四梁64穿过第二检测振动臂422与第四驱动振动臂444之间并对第二支承部52和基部41进行连结。这种各个梁61、62、63、64分别具有沿着X轴方向往复且沿着y轴方向延伸的蜿蜒部(S字形状部)，且在X轴方向及y轴方向上具有弹性。此外，各个梁61、62、63、64由于分别呈具有蜿蜒部的细长的形状，因此在所有方向上均具有弹性。因此，即使从外部被施加冲击，也由于具有利用各个梁61、62、63、64来吸收冲击的作用，因此能够降低或抑制由此产生的检测噪声。以上，对振动片3的结构进行了说明。如图2及图3所示，在这种振动片3中设置有检测信号电极710、检测信号配线712、检测信号端子714、检测接地电极720、检测接地配线722、检测接地端子724、驱动信号电极730、驱动信号配线732、驱动信号端子734、驱动接地电极740、驱动接地配线742及驱动接地端子744。为了便于说明，在图2及图3中，用右下斜线表示检测信号电极710、检测信号配线712及检测信号端子714，用交叉斜线表示检测接地电极720、检测接地配线722及检测接地端子724，用左下斜线表示驱动信号电极730、驱动信号配线732及驱动信号端子734，用交叉纵横线表示驱动接地电极740、驱动接地配线742及驱动接地端子744。此外，在图2及图3中，用粗线表示被设置在振动片3的侧面上的电极、配线、端子。作为各个电极710、720、730、740、各个配线712、722、732、742及各个端子714、724、734、744，可以采用例如将由铬构成的基底层和由金构成的电极层层压在一起的结构。由此，能够形成紧贴性良好的各个电极710、720、730、740、各个配线712、722、732、742及各个端子 714、724、734、744。各个电极710、720、730、740相互电分离。与此相同地，各个配线712、722、732、742相互电分离，各个端子714、724、734、744也相互电分离。以下，对这些各个电极、各个配线、各个端子依次进行说明。此外，在下文中，为了便于说明，将图2中所示的面称为“上表面”，将图3中所示的面称为“下表面”，将对上表面和下表面进行连结的面称为“侧面”。(I)检测信号电极、检测信号配线及检测信号端子检测信号电极710被设置在第一检测振动臂421、第二检测振动臂422的上表面及下表面上。但是，在本实施方式中，检测信号电极710未被设置在第一检测振动臂421、第二检测振动臂422的顶端部上。检测信号电极710被配置为，关于XZ平面面对称。检测信号电极710为，用于在第一检测振动臂421、第二检测振动臂422的检测振动被激励时，对由该振动而产生的压电材料的变形进行检测的电极。此外，检测信号配线712被设置在第一梁61、第三梁63上。更加具体而言，检测信号配线712被设置在第一梁61、第三梁63的上表面上。而且，检测信号配线712还被设置在第一梁61与第一支承部51之间的接合部分的侧面、第三梁63与第二支承部52之间的接合部分的侧面、和基部41的上表面及下表面上。这种检测信号配线712被配置为，关于xy平面面对称。此外，检测信号端子714被设置在第一支承部51、第二支承部52上。更加具体而言，检测信号端子714被设置在第一支承部51、第二支承部52的上表面及下表面、还有侧面上。被设置在第一支承部51的上表面、下表面及侧面上的检测信号端子714相互电连接。此外，被设置在第二支承部52的上表面、下表面及侧面上的检测信号端子714相互电连接。被设置在第一支承部51上的检测信号端子714相对于设置有驱动接地电极740的第一驱动振动臂441的顶端部，被配置在y轴的正方向侧。即，被设置在第一支承部51上的检测信号端子714、和被设置在第一驱动振动臂441的顶端部上的驱动接地电极740在Y轴方向上对置。此外，被设置在第二支承部52上的检测信号端子714相对于设置有驱动接地电极740的第二驱动振动臂442的顶端部，被配置在I轴的负方向侧。即，被设置在第二支承部52上的检测信号端子714、和被设置在第二驱动振动臂442的顶端部上的驱动接地电极740在y轴方向上对置。这种检测信号端子714被配置为，关于xz平面面对称。设置于第一支承部51上的检测信号端子(第一检测信号端子)714通过设置于第一梁61上的检测信号配线712，而与设置于第一检测振动臂421上的检测信号电极(第一检测信号电极)710电连接。具体而言，设置于第一支承部51上的检测信号端子714与设置于第一梁61的上表面上的检测信号配线712相连接，检测信号配线712从第一梁61的上表面起，经过第一梁61与基部41之间的接合部分的侧面，以及基部41的上表面及下表面，而与设置于第一检测振动臂421的上表面及下表面上的检测信号电极710相连接。由此，能够将通过第一检测振动臂421进行振动而产生的第一检测信号从检测信号电极710传递至被设置于第一支承部51上的检测信号端子714。设置于第二支承部52上的检测信号端子(第二检测信号端子)714通过设置于第三梁63上的检测信号配线712，而与设置于第二检测振动臂422上的检测信号电极(第二检测信号电极)710电连接。具体而言，设置于第二支承部52上的检测信号端子714与设置于第三梁63的上表面上的检测信号配线712相连接，检测信号配线712从第三梁63的上表面起，经过第三梁63与基部41之间的接合部分的侧面，以及基部41的上表面及下表面，而与设置于第二检测振动臂422的上表面及下表面上的检测信号电极710相连接。由此，能够将通过第二检测振动臂422进行振动而产生的第二检测信号从检测信号电极710传递至被设置于第二支承部52上的检测信号端子714。(2)检测接地电极、检测接地配线及检测接地端子检测接地电极720被设置在第一检测振动臂421、第二检测振动臂422的顶端部上。具体而言，检测接地电极720被设置在第一检测振动臂421、第二检测振动臂422的顶端部的上表面及下表面上。而且，检测接地电极720被设置在第一检测振动臂421、第二检测振动臂422的侧面上。设置于第一检测振动臂421的上表面、下表面及侧面上的检测接地电极720相互电连接。此外，设置于第二检测振动臂422的上表面、下表面及侧面上的检测接地电极720相互电连接。这种检测接地电极720被配置为，关于Xz平面面对称。检测接地电极720具有相对于检测信号电极710而成为接地的电位。此外，检测接地配线722被设置在第一梁61、第三梁63上。具体而言，检测接地配线722被设置在第一梁61、第三梁63的下表面及侧面上。而且，检测接地配线722被设置在基部41的上表面及下表面上。检测接地配线722被配置为，关于XZ平面面对称。此外，检测接地端子724被设置在第一支承部51、第二支承部52上。具体而言，检测接地端子724被设置在第一支承部51、第二支承部52的上表面及下表面、还有侧面上。设置于第一支承部51的上表面、下表面及侧面上的检测接地端子724相互电连接。此外，设置于第二支承部52的上表面、下表面及侧面上的检测接地端子724相互电连接。设置于第一支承部51上的检测接地端子724相对于设置有检测接地电极720的第一检测振动臂421的顶端部，被配置在y轴的正方向侧。即，设置于第一支承部51上的检测接地端子724、和设置于第一检测振动臂421的顶端部上的检测接地电极720在y轴方向上对置。此外，设置于第二支承部52上的检测接地端子724相对于设置有检测接地电极720的第二检测振动臂422的顶端部，被配置在y轴的负方向侧。即，设置于第二支承部52上的检测接地端子724、和设置于第二检测振动臂422的顶端部上的检测接地电极720在y轴方向上对置。这种检测接地端子724被配置为，关于XZ平面面对称。设置于第一支承部51上的检测接地端子(第一检测接地端子)724通过设置于第一梁61上的检测接地配线722，而与设置于第一检测振动臂421上的检测接地电极(第一检测接地电极)720电连接。具体而言，设置于第一支承部51上的检测接地端子724与设置于第一梁61的下表面及侧面上的检测接地配线722相连接，检测接地配线722从第一梁61的下表面及侧面起，经过基部41的上表面及下表面，而与设置于第一检测振动臂421的上表面及下表面上的检测接地电极720相连接。设置于第二支承部52上的检测接地端子(第二检测接地端子)724通过设置于第三梁63上的检测接地配线722，而与设置于第二检测振动臂422上的检测接地电极(第二检测接地电极)720电连接。具体而言，设置于第二支承部52上的检测接地端子724与设置于第三梁63的下表面及侧面上的检测接地配线722相连接，检测接地配线722从第三梁63的下表面及侧面起，经过基部41的上表面及下表面，而与设置在第二检测振动臂422的上表面及下表面上的检测接地电极720相连接。如上文所述，配置有检测信号电极710、检测信号配线712、检测信号端子714、和检测接地电极720、检测接地配线722、检测接地端子724。由此，在第一检测振动臂421上所产生的检测振动能够以设置于第一检测振动臂421上的检测信号电极710与检测接地电极720之间的电荷的形式而呈现，并以信号的形式而从设置于第一支承部51上的检测信号端子714和检测接地端子724中获取。此外，在第二检测振动臂422上所产生的检测振动能够以设置于第二检测振动臂422上的检测信号电极710与检测接地电极720之间的电荷的形式而呈现，并以信号的形式而从设置于第二支承部52上的检测信号端子714和检测接地端子724中获取。(3)驱动信号电极、驱动信号配线及驱动信号端子驱动信号电极730被设置在第一驱动振动臂441、第二驱动振动臂442上。但是，在本实施方式中，驱动信号电极730未被设置在第一驱动振动臂441、第二驱动振动臂442的顶端部上。具体而言，驱动信号电极730被设置在第一驱动振动臂441、第二驱动振动臂442的上表面及下表面上。而且，驱动信号电极730还被设置在第三驱动振动臂443、第四驱动振动臂444的侧面、和第三驱动振动臂443、第四驱动振动臂444的顶端部的上表面及下表面上。设置于第三驱动振动臂443的上表面、下表面及侧面上的驱动信号电极730相互电连接。此外，设置于第四驱动振动臂444的上表面、下表面及侧面上的驱动信号电极730相互电连接。这种驱动信号电极730被配置为，关于Xz平面面对称。驱动信号电极730为用于使第一驱动振动臂441、第二驱动振动臂442、第三驱动振动臂443、第四驱动振动臂444的驱动振动被激励的电极。驱动信号配线732被设置在第二梁62、第四梁64上。具体而言，驱动信号配线732被设置在第二梁62、第四梁64的上表面上。而且，驱动信号配线732被设置在基部41的上表面、第一连结臂431的上表面、和第一连结臂431、第二连结臂432的侧面上。这种驱动信号配线732被配置为，关于XZ平面面对称。驱动信号端子734被设置在第二支承部52上。具体而言，驱动信号端子734被设置在第二支承部52的上表面及下表面、还有侧面上。设置于第二支承部52的上表面、下表面及侧面上的驱动信号端子734相互电连接。设置于第二支承部52上的驱动信号端子734相对于设置有驱动信号电极730的第四驱动振动臂444的顶端部，被配置在I轴的负方向侧。即，设置于第二支承部52上的驱动信号端子734、和设置于第四驱动振动臂444的顶端部上的驱动信号电极730在y轴方向上对置。设置于第二支承部52上的驱动信号端子734通过设置于第四梁64上的驱动信号配线732，而与设置于第一驱动振动臂441、第二驱动振动臂442、第三驱动振动臂443、第四驱动振动臂444上的驱动信号电极730电连接。具体而言，驱动信号端子734与设置于第四梁64的上表面上的驱动信号配线732相连接，驱动信号配线732从第四梁64的上表面起，经过基部41的上表面以及第一连结臂431的上表面，而与设置于第一驱动振动臂441、第二驱动振动臂442的上表面上的驱动信号电极730相连接。而且，驱动信号配线732从第一连结臂431的上表面起，经过第一连结臂431的侧面，而与设置于第一驱动振动臂441、第二驱动振动臂442的下表面上的驱动信号电极730相连接。此外，驱动信号配线732还能够从基部41的上表面起，经过第二连结臂432的上表面及侧面，而与设置于第三驱动振动臂443、第四驱动振动臂444的上表面及下表面上的驱动信号电极730相连接。由此，能够将用于使第一驱动振动臂441、第二驱动振动臂442、第三驱动振动臂443、第四驱动振动臂444进行驱动振动的驱动信号从驱动信号端子734传递至驱动信号电极730。(4)驱动接地电极、驱动接地配线及驱动接地端子驱动接地电极740被设置在第一驱动振动臂441、第二驱动振动臂442的顶端部上。具体而言，驱动接地电极740被设置在第一驱动振动臂441、第二驱动振动臂442的顶端部的上表面及下表面上。而且，驱动接地电极740还被设置在第一驱动振动臂441、第二驱动振动臂442的侧面上。设置于第一驱动振动臂441的上表面、下表面及侧面上的驱动接地电极740相互电连接。此外，设置于第二驱动振动臂442的上表面、下表面及侧面上的驱动接地电极740相互电连接。而且，驱动接地电极740可以被设置在第三驱动振动臂443、第四驱动振动臂444的上表面及下表面上。但是，在本实施方式中，驱动接地电极740未被设置在第三驱动振动臂443、第四驱动振动臂444的顶端部上。这种驱动接地电极740被配置为，关于xz平面面对称。驱动接地电极740具有相对于驱动信号电极730而成为接地的电位。此外，驱动接地配线742被设置在第二梁62、第四梁64上。具体而言，驱动接地配线742被设置在第二梁62、第四梁64的下表面及侧面上。而且，驱动接地配线742被设置在基部41的下表面、第一连结臂431的侧面、第二连结臂432的下表面、和第二连结臂432的侧面上。这种驱动接地配线742被配置为，关于XZ平面面对称。此外，驱动接地端子744被设置在第一支承部51上。具体而言，驱动接地端子744被设置在第一支承部51的上表面及下表面、还有侧面上。设置于第一支承部51的上表面、下表面及侧面上的驱动接地端子744相互电连接。设置于第一支承部51上的驱动接地端子744相对于设置有驱动信号电极730的第三驱动振动臂443的顶端部，被配置在y轴的正方向侧。即，设置于第一支承部51上的驱动接地端子744、和设置于第三驱动振动臂443的顶端部上的驱动信号电极730在y轴方向上对置。此外，设置于第一支承部51上的驱动接地端子744通过设置于第二梁62上的驱动接地配线742，而与设置在第一驱动振动臂441、第二驱动振动臂442、第三驱动振动臂443、第四驱动振动臂444上的驱动接地电极740电连接。具体而言，驱动接地端子744与设置于第二梁62的下表面及侧面上的驱动接地配线742相连接，驱动接地配线742从第二梁62的下表面及侧面起，经过基部41的下表面以及第一连结臂431的侧面，而与设置于第一驱动振动臂441、第二驱动振动臂442的上表面及下表面上的驱动接地电极740相连接。而且，驱动接地配线742从基部41的下表面起，经过第二连结臂432的下表面及侧面，而与设置于第三驱动振动臂443、第四驱动振动臂444的上表面及下表面上的驱动接地电极740相连接。
如上文所述，配置有驱动信号电极730、驱动信号配线732、驱动信号端子734、和驱动接地电极740、驱动接地配线742、驱动接地端子744。由此，能够通过向设置于第二支承部52上的驱动信号端子734、与设置于第一支承部51上的驱动接地端子744之间施加驱动信号，从而使设置于第一驱动振动臂441、第二驱动振动臂442、第三驱动振动臂443、第四驱动振动臂444上的驱动信号电极730和驱动接地电极740之间产生电�。股鲜龈鞲銮穸�441、442、443、444进行驱动振动。如以上所说明的那样，在第一支承部51上，检测信号端子714、检测接地端子724及驱动接地端子744沿着X轴方向并排，且被分离设置。具体而言，如图4所示，在沿着X轴方向延伸的第一支承部51的中央部(与第一梁61的接合部51a和与第二梁62的接合部51b之间的区域)SI上，设置有检测接地端子724，在第一支承部51的一个端部(与接合部51a相比靠图4中右侧的区域)S2上，设置有检测信号端子714，在第一支承部51的另一个端部(与接合部51b相比靠图4中左侧的区域)S3上，设置有驱动接地端子744。在这种第一支承部51的下表面(涂布有后述的导电性固定部件8的面)上、且检测信号端子714和检测接地端子724之间，设置有多个槽512。此外，设置有多个槽512的区域S4在X轴方向上包含接合部51a。多个槽512分别沿着y轴方向延伸，且沿着X轴方向而相互分离设置。S卩，多个槽512分别被独立设置。此外，虽然如图4所示，各个槽512的图4中上侧的端部(振动体4的相反侧的端部)512a在第一支承部51的侧面开放，但图4中下侧的端部(振动体4侧的端部)512b未在第一支承部51的侧面开放，而是封闭的。换言之，端部512b与第一支承部51的边缘是分离的。只要槽512不与设置在接合部51a上的各个配线712、722相接触，则各个槽512的端部512b的位置优选为，尽可能位于振动体4侧。具体而言，端部512b和第一支承部51的侧面(边缘)之间的分离距离优选为，例如在3 μ m以上且35 μ m以下。作为槽512的个数，只要为两个以上，则不被特别限定，虽然可以为三个，可以为四个，也可以为五个以上，但优选为五个以上。由此，如后文所述的效果将更加显著。虽然作为槽512的宽度，未被特别限定，但是优选为，在20 μ m以上且30 μ m以下。此外，虽然作为相邻的槽512的分离距离未被特别限定，但是优选为，在10 μ m以上且20 μ m以下。此外，虽然作为槽512的深度未被特别限定，但是优选为，在ΙΟμπι以上且40μπι以下。通过将槽512设置为这种尺寸、配置，从而如后文所述的效果将更加显著。此外，在第一支承部51的下表面上、且驱动接地端子744和检测接地端子724之间，设置有多个槽514。另外，设置有多个槽514的区域S5在X轴方向上包含接合部51b。由于多个槽514的结构与前文所述的多个槽512相同，因此省略其说明。同样地，在第二支承部52上，检测信号端子714、检测接地端子724及驱动信号端子734沿着X轴方向并排，且被分离设置。具体而言，如图4所示，在沿着X轴方向延伸的第二支承部52的中央部(与第三梁63的接合部52a和与第四梁64的接合部52b之间的区域)S6上，设置有检测接地端子724，在第二支承部52的一个端部(与接合部52a相比靠图4中右侧的区域)S7上，设置有检测信号端子714，在第二支承部52的另一个端部(与接合部52b相比靠图4中左侧的区域)S8上，设置有驱动信号端子734。此外，在第二支承部52的下表面上、且检测信号端子714和检测接地端子724之间，设置有多个槽522。此外，设置有多个槽522的区域S9在X轴方向上包含接合部52a。由于多个槽522的结构与前文所述的多个槽512相同，因此省略其说明。此外，在第二支承部52的下表面上、且检测接地端子724和驱动信号端子734之间，设置有多个槽524。此外，设置有多个槽524的区域SlO在x轴方向上包含接合部52b。由于多个槽524的结构与前文所述的多个槽512相同，因此省略其说明。这种结构的陀螺元件2以下述的方式对绕z轴的角速度ω进行检测。在陀螺元件2中，当在未施加角速度ω的状态下，于驱动信号电极730和驱动接地电极740之间产生电场时，如图5 (a)所示，各个驱动振动臂441、442、443、444将向箭头标记A所示的方向进行弯曲振动。此时，由于第一驱动振动臂441、第二驱动振动臂442、和第三驱动振动臂443、第四驱动振动臂444进行关于穿过中心点G (重心G)的yz平面面对称的振动，因此基部41、第一连结臂431、第二连结臂432、和第一检测振动臂421、第二检测振动臂422基本不进行振动。当在进行该驱动振动的状态下，对陀螺元件2施加绕z轴的角速度ω时，将产生如图5(b)所示的振动。即，箭头标记B方向上的科里奥利力将作用于驱动振动臂441、442、443>444及连结臂431、432上,与该箭头标记B方向上的振动相呼应,箭头标记C方向上的检测振动将被激励。而且，检测信号电极710及检测接地电极720对通过该振动而产生的检测振动臂421、422的变形进行检测，从而求出角速度ω。封装件封装件9为对陀螺元件2进行收纳的构件。另外，在封装件9中，除了收纳有陀螺元件2之外，还可以收纳有实施对陀螺元件2的驱动等的IC芯片等。在俯视观察时(从xy平面进行观察时)，这种封装件9呈大致矩形形状。封装件9具有:基座91，其具有向上表面开放的凹部；盖(盖体)92，其以堵塞凹部的开口的方式与基座相接合。此外，基座91具有板状的底板911、和设置于底板911的上表面边缘部上的框状的侧壁912。这种封装件9在其内侧具有收纳空间S，并且在该收纳空间S内，气密性地收纳并设置有陀螺元件2。陀螺元件2在第一支承部51、第二支承部52处，通过焊锡、银膏、导电性粘合剂(使金属粒子等的导电性填充物分散在树脂材料中的粘合剂)等的导电性固定部件8而被固定在底板911的上表面上。由于第一支承部51、第二支承部52位于陀螺元件2的y轴方向上的两个端部上，因此能够通过将这样的部分固定在底板911上，从而使陀螺元件2的振动体4被双臂支承，进而将陀螺元件2稳定地固定在底板911上。因此，抑制了陀螺元件2的不必要的振动(欲检测的振动以外的振动)，从而提高了陀螺元件2对角速度ω的检测精度。此外，导电性固定部件8以与设置在第一支承部51、第二支承部52上的两个检测信号端子714、两个检测接地端子724、驱动信号端子734及驱动接地端子744相对应(接触)，且相互分离的方式设置有六个。此外，在底板911的上表面上，设置有与两个检测信号端子714、两个检测接地端子724、驱动信号端子734及驱动接地端子744相对应的六个连接衬垫10，并且通过导电性固定部件8，而使上述各个连接衬垫10和与其相对应的任一端子电连接。由于通过采用这样的结构，从而能够将导电性固定部件8作为用于将陀螺元件2固定在底板911上的固定部件而使用，且作为实施与陀螺元件2之间的电连接的连接部件而使用，因此能够实现振动装置I的结构的简化。此外，导电性固定部件8在陀螺元件2与底板911之间形成间距(间隙)，并且还能够作为对陀螺元件2与底板911的接触进行防止的间距材料而被使用。由此，能够防止由于与底板911的接触而导致的陀螺元件2的断裂和破损，从而成为能够进行准确的角速度的检测并发挥优异的可靠性的振动装置I。另外，各个连接衬垫10通过未图示的导体柱而向封装件9的外部被引出，或者在将IC芯片等收纳于封装件9内时，与该IC芯片电连接。作为基座91的结构材料，虽然未被特别限定，但可以使用氧化铝等的各种陶瓷。此外，作为盖92的结构材料，虽然未被特别限定，但可以为线膨胀系数与基座91的结构材料近似的部件。例如，当将基座91的结构材料设为前文所述那样的陶瓷时，优选采用科瓦铁镍钴合金等的材料。另外，基座91与盖92之间的接合未被特别限定，例如，既可以通过粘合剂而接合，也可以通过缝焊等而接合。在此，如前文所述，在陀螺元件2的第一支承部52上设置有槽512、514，而在第二支承部52上设置有槽522、524。通过设置这种槽512、514、522、524，从而能够发挥如下的效果。如前文所述，陀螺元件2通过导电性固定部件8而被固定在底板911上。在此，在将陀螺元件2固定于底板911上的工序中，例如，通过在设置于底板911上的六个连接衬垫10上分别涂布银膏(导电性固定部件)8，并且，以使陀螺元件2的下表面朝向底板911侧的方式载置陀螺元件2，以使所塗布的银膏8与所对应的端子714、724、734、744接触，并按压陀螺元件2，且使银膏固化，从而通过银膏8而使陀螺元件2被固定在底板911上。因此，当例如未能将银膏8准确地涂布在预定位置上时，在现有的陀螺元件(从陀螺元件2中去除槽512、514、522、524之后的陀螺元件)中，如图6所示，在按压陀螺元件2时，银膏8洇散，洇散的银膏8彼此接触，从而在它们之间有可能产生短路。对于银膏8的塗布位置和塗布量而言，由于在装置的精度上存在某种程度的偏差，因此比较容易产生上述的问题。因此，在陀螺元件2中，通过在第一支承部51、第二支承部52上设置槽512、514、522、524，从而防止了这种问题的产生。以下，虽然进行具体说明，但由于各个槽512、514、522,524的作用和效果相互相同，因此仅代表性地对槽512进行说明。如图7所示，与检测接地端子724、检测信号端子714相对应的银膏8分别由于对陀螺元件2进行的按压而洇散。此时，即使与检测接地端子724相对应的银膏8的塗布位置偏向于检测信号端子714侧，洇散的银膏8也会进入到多个槽512中的位于检测接地端子724侧的槽512 (512a)内，从而不会进一步向检测信号端子714侧洇散。同样地，即使与检测信号端子714相对应的银膏8的塗布位置偏向于检测接地端子724侧，洇散的银膏8也会进入到多个槽512中的位于检测信号端子714侧的槽512 (512b)内，从而不会进一步向检测信号端子724侧洇散。以此种方式，通过在检测接地端子724与检测信号端子714之间设置多个槽512，从而能够防止相邻的银膏8彼此的接触。此外，如前文所述，各个槽512的振动体4侧的端部512b是封闭的。因此，通过该端部，从而防止了滞留于槽512内的银膏8进一步向振动体4侧流动的情况，由此，防止了设置于第一梁61上的配线与银膏8之间的接触，从而能够防止配线与银膏8之间的短路的发生。
尤其是，当如前文所述那样，端部512b与第一支承部51的侧面(边缘)之间的分离距离在3 μ m以上且35 μ m以下时，能够更加明确地将检测接地端子724和检测信号端子714之间隔开，从而能够抑制例如银膏8彼此顺着未设置有槽512的区域而接触的情况。此外，如前文所述，各个槽512的振动体的相反侧的端部512a在第一支承部51的侧面开放。因此，通过槽512，可明确地将检测接地端子724和检测信号端子714之间隔开，从而能够防止例如银膏8彼此顺着未设置有槽512的区域而接触的情况。因此，能够可靠地防止银膏8彼此的接触。此外，通过设置多个槽512，从而还能够发挥如下的效果。即，通过设置多个槽512，能够使区域S4与其他部分相比较柔软，从而能够使区域S4作为吸收或缓和应力的缓冲部而发挥功能。由于区域S4中所包含的与第一梁61之间的接合部51a为容易发生应力集中的部分，因此能够通过区域S4而有效地吸收或缓和在接合部51a处所产生的应力。因此，能够有效地抑制陀螺元件2的破损。此外，由于陀螺元件2 (振动片3)的结构材料与底板911的结构材料不同，因此当振动装置I升温时，经由导电性固定部件8，而使振动片3因热膨胀系数的差而产生应力。具体而言，当底板911的热膨胀系数大于振动片3的热膨胀系数时，施加有欲使第一支承部51、第二支承部52在X轴方向上伸长的应力，而当底板911的热膨胀系数小于振动片3的热膨胀系数时，施加有欲使第一支承部51、第二支承部52在X轴方向上收缩的应力。由于能够通过设置有多个槽512的区域S4来吸收或缓和这种应力，因此能够抑制陀螺元件2的非预期的变形，从而能够防止陀螺元件2的检测精度的降低。在此，优选为，在从xy平面观察时，连接衬垫10的轮廓与设置有多个槽512的区域S4的一部分重叠。由此，由于能够将多个槽512作为刻度(标记)来使用，因此能够更加准确地实施陀螺元件2 (振动片3)相对于底板911的定位。第二实施方式接下来，对本发明的振动装置的第二实施方式进行说明。图8为本发明的第二实施方式所涉及的振动装置所具有的陀螺元件的局部放大图。以下，对于第二实施方式的振动装置，以与前文所述的实施方式之间的不同点为中心进行说明，对于相同的事项，则省略其说明。本发明的第二实施方式所涉及的振动装置除了陀螺元件所具有的槽的结构有所不同以外，与前文所述的第一实施方式相同。另外，对与前文所述的第一实施方式相同的结构标记相同的符号。此外，由于多个槽512、多个槽514、多个槽522、多个槽524为相互相同的结构，因此在下文中代表性地对多个槽512进行说明。如图8所示，多个槽512中的、位于检测信号端子714侧的槽512’的一端512b’在第一支承部51的侧面开放，且与检测信号配线712接触。此外，多个槽512中的、位于检测接地端子724侧的槽512”的一端512b”在第一支承部51的侧面开口，且与检测接地配线722接触。通过采用这种结构，从而能够通过多个槽512 (尤其是槽512’、512”)而在7轴方向的整个区域内将检测信号端子714和检测接地端子724之间隔开。因此，能够可靠地防止银膏8彼此的接触。此外，即使与检测信号端子714相对应的银膏8流入到槽512’内，也由于该银膏8与检测信号配线712接触，因此不会发生由于银膏8而导致的短路。同样地，即使与检测接地端子724相对应的银膏8流入到槽512”内，也由于该银膏8与检测接地配线722接触，因此不会发生由于银膏8而导致的短路。根据这种第二实施方式，也能够发挥与前文所述的第一实施方式相同的效果。上述这种振动装置I能够组装到各种电子设备中。虽然作为组装了振动装置I的本发明的电子设备未被特别限定，但是能够应用于如下的装置中，即，个人计算机(例如，便携型个人计算机)、移动电话等的移动体终端、数码相机、喷墨式喷出装置(例如，喷墨式打印机)、膝上型个人计算机、平板型个人计算机、电视机、摄像机、录像机、汽车导航装置、寻呼机、电子记事本(也包括带有通信功能的产品)、电子词典、台式电子计算机、电子游戏机、游戏用控制器、文字处理器、工作站、可视电话、防盗用视频监控器、电子双筒望远镜、POS(Point of Sale)终端、医疗设备(例如，电子体温计、血压计、血糖仪、心电图计测装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、鱼群探测器、各种测量设备、计量设备类(例如，车辆、飞机、船舶的计量设备类)、飞行模拟器、头戴式显示器、运动轨迹、运动跟踪、运动控制器、PDR (行人位置方位计测)等。以上，虽然根据图示的各个实施方式来对本发明的振子及振动装置进行了说明，但是本发明并不限定于这些实施方式，各个部分的结构可以置换成具有相同功能的任意的结构。此外，也可以附加其他的任意的结构体或工序。此外，本发明的振动装置也可以为将所述各个实施方式中的、任意两个以上的结构(特征)组合在一起的振动装置。符号说明SI SlO…区域；1…振动装置；2…陀螺兀件；22...基部；3…振动片；4…振动体；41…基部；421…第一检测振动臂；422…第二检测振动臂；431…第一连结臂；432…第二连结臂；441…第一驱动振动臂；442…第二驱动振动臂；443…第三驱动振动臂；444…第四驱 动振动臂；51…第一支承部；512…槽；512a、512b…端部；512b’、512b”----端；514…槽；
51a…接合部;51b…接合部；52…第二支承部；522…槽；524…槽；52a…接合部；52b…接合部;61…第一梁;62…第二梁;63…第三梁;64…第四梁;710…检测信号电极；712…检测信号配线；714…检测信号端子；720…检测接地电极；722…检测接地配线；724…检测接地端子；730…驱动信号电极；732…驱动信号配线；734…驱动信号端子；740…驱动接地电极；742…驱动接地配线；744…驱动信号端子；8…导电性固定部件(银膏)；9…封装件；91…基座；911…底板；912…侧壁；92...盖；10…连接衬垫。
权利要求
1.一种振子，其特征在于，具备: 振动片，其具备振动体、对所述振动体进行支承的支承部、以及对所述支承部和所述振动体进行连结的梁； 电极，其被设置在所述振动体上，且至少为两个； 端子，其被设置在所述支承部上，并通过被设置在所述梁上的配线而与所述电极电连接，且至少为两个， 两个所述端子沿着与所述梁的延伸方向交叉的方向，以分离的方式而并排设置， 在两个所述端子之间设置有多个槽，所述多个槽沿着与所述梁的延伸方向交叉的方向分离，且沿着所述梁的延伸方向延伸。
2.如权利要求1所述的振子，其中， 在与所述梁的延伸方向交叉的方向上，于设置有所述多个槽的区域内包含所述梁与所述支承部之间的连接部。
3.如权利要求1或2所述的振子，其中， 所述多个槽中的至少一个槽被独立设置。
4.如权利要求1至3中任一项所述的振子，其中， 所述多个槽的所述振动体的相反侧的端部在所述支承部的侧面开放。
5.如权利要求1至4中任一项所述的振子，其中， 所述多个槽的所述振动体侧的端部是封闭的。
6.如权利要求5所述的振子，其中， 所述多个槽的所述振动体侧的端部与所述支承部的所述振动体侧的边缘分离。
7.如权利要求6所述的振子，其中， 所述多个槽的所述振动体侧的端部与所述支承部的所述振动体侧的边缘之间的分离距离在3 u m以上且35 u m以下。
8.如权利要求1至4中任一项所述的振子，其中， 所述多个槽中的至少一个槽的所述振动体侧的端部在所述支承部的侧面开放。
9.如权利要求8所述的振子，其中， 所述多个槽中的、位于一个所述端子侧的至少一个槽的所述振动体侧的端部与和所述一个端子相连接的所述配线接触，而位于另一个所述端子侧的至少一个槽的所述振动体侧的端部与和所述另一方端子相连接的所述配线接触。
10.如权利要求1至9中任一项所述的振子，其中， 所述振动体具备:基部；第一检测振动臂及第二检测振动臂，其从所述基部起沿着第一方向而向两侧延伸；第一连结臂及第二连结臂，其从所述基部起沿着与所述第一方向正交的第二方向而向两侧延伸；第一驱动振动臂及第二驱动振动臂，其从所述第一连结臂起沿着所述第一方向而向两侧延伸；第三驱动振动臂及第四驱动振动臂，其从所述第二连结臂起沿着所述第一方向而向两侧延伸，并且，所述振动体通过所述第一检测振动臂及所述第二检测振动臂而构成检测振动系统，且通过所述第一驱动振动臂、所述第二驱动振动臂、所述第三驱动振动臂及所述第四驱动振动臂而构成驱动振动系统， 所述支承部具备第一支承部及第二支承部，所述第一支承部及所述第二支承部隔着所述振动体而沿着所述第一方向对置配置，并在所述第二方向上延伸，所述梁具有:第一梁，其穿过所述第一检测振动臂与所述第一驱动振动臂之间，并对所述第一支承部和所述基部进行连结；第二梁，其穿过所述第一检测振动臂与所述第三驱动振动臂之间，并对所述第一支承部和所述基部进行连结；第三梁，其穿过所述第二检测振动臂与所述第二驱动振动臂之间，并对所述第二支承部和所述基部进行连结；第四梁，其穿过所述第二检测振动臂与所述第四驱动振动臂之间，并对所述第二支承部和所述基部进行连结， 所述电极具备被设置于所述检测振动系统中的第一检测信号电极、第二检测信号电极、第一检测接地电极及第二检测接地电极、和被设置于所述驱动振动系统中的驱动信号电极及驱动接地电极， 所述端子具备与所述第一检测信号电极相连接的第一检测信号端子、与所述第二检测信号电极相连接的第二检测信号端子、与所述第一检测接地电极相连接的第一检测接地端子、与所述第二检测接地电极相连接的第二检测接地端子、与所述驱动信号电极相连接的驱动信号端子、以及与所述驱动接地电极相连接的驱动接地端子。
11.一种振动装置，其特征在于，具备: 基板，其具备至少两个连接衬垫； 权利要求1至10中任一项所述的振子， 所述连接衬垫和所述端子通过导电性固定部件而被接合在一起。
12.如权利要求11所述的振动装置，其中， 在俯视观察所述基板时，所 述连接衬垫的轮廓与设置有所述多个槽的区域的一部分重叠。
13.—种电子设备,其特征在于,具备: 权利要求1至10中任一项所述的振子。
全文摘要
本发明提供振子、振动装置及电子设备，其能够防止安装在安装基板上时的导电性固定部件彼此的接触，从而进行正确的驱动。振子(2)具有振动片(3)，其具有振动体(4)、对振动体(4)进行支承的第一支承部(51)、第二支承部(52)、及对第一支承部(51)、第二支承部(52)和振动体(4)进行连结的四个梁(61、62、63、64)；电极(710～740)，其被设置在振动体(4)上；端子(712～742)，其被设置在第一支承部(51)、第二支承部(52)上，并通过被设置在梁(61、62、63、64)上的配线(712～742)而与电极(710～740)电连接，在相邻的一对端子之间设置有多个槽(512)，所述多个槽(512)在预定方向上分离，且在与预定方向交叉的方向上延伸。
文档编号G01C19/5733GK103115619SQ20121046041
公开日2013年5月22日 申请日期2012年11月15日 优先权日2011年11月16日
发明者大泽征司, 山口啓一, 盐原利彦, 矶野裕一, 菊池尊行 申请人:精工爱普生株式会社
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
