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专利名称：导电图案检查装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种检测形成于基板上的导电图案中例如断线位置或短路位置等不良发生位置的导电图案检查装置。
背景技术：
先前的平板显示器等领域中，大多使用基板上配设有多个导电图案的电路基板。这种电路基板中，若导电图案中发生断线或短路，则无法发挥原有的功能。因此，在制造电路基板时，对各导电图案进行断线或短路检查。为了使该检查简单并且具高精度，先前提出了多种检查技术。 例如，在专利文献1、2中，公开了一种断线/短路位置检测技术，其在判断导电图案中发生了断线或短路时，检测该导电图案中何处发生了断线/短路。具体而言，在专利文献I中，公开了一种技术，其在对作为检查对象的导电图案施加了特定的检查信号(交流电压)的状态下，使设有多个电极的传感器沿着发生了断线或短路的导电图案移动，在此时根据由电极所诱发的交流电压值的变化来确定断线位置。另外，在专利文献2中，公开了一种技术，其从作为检查对象的导电图案的一端提供检查信号，并且一边使检测电极沿着断线图案移动，一边读取检查信号，并根据读取信号的变动确定断线/短路位置。现有技术文献(专利文献)专利文献I日本专利特开2008-102031号公报专利文献2日本专利特开2006-284597号公报

发明内容
然而，所述现有技术文献1、2中所记载的技术存在如下问题其虽然对所有导电图案每隔特定间隔平行配设的情况有效，但难以应用于导电图案的配设角度适当不同的情况。例如，用于平板显示器的基板中，实际上设置有显示可视影像的像素区域。该像素区域中，多个导电图案每隔特定的间隔而平行配设。另外，在像素区域的外侧，多个导电图案与驱动IC连接。其中，通常，驱动IC的端子间距比像素区域中的导电图案的配设间距小得多。因此，为了将多个导电图案连接到驱动IC上，在像素区域的外侧，需要急剧减小导电图案的配设间距。因而，在像素区域的外侧，多个导电图案以配设间距逐渐减小的方式倾斜配设。若从另一观点来看，在像素区域的外侧，每个导电图案是以不同的配设角度配设。为了使用现有技术文献1、2中所记载的技术来确定这种配设间距逐渐变化的区域中的断线/短路位置，需要使电极沿着该配设间距缓慢变化的导电图案移动(跟踪)。然而，如上所述，存在每个导电图案的连接配设角度不同，无法简单地进行跟踪的问题。当然，也存在存储各导电图案的配设角度，使电极在该存储的配设角度方向上移动的方法。然而，此时，存在控制非常复杂的问题。因此，本发明的目的在于提供一种不管导电图案采用何种配设方式，均可以简单地确定断线或短路位置的导电图案检查装置。本发明的导电图案检查装置在基板上在第一方向上间隔配设的多个导电图案中，检测发生了断线的导电图案的断线图案中的断线位置，该装置包括施加机构，从所述断线图案的一端施加交流电压；传感器，介由间隙与所述基板相对并且移动，并至少具有两个以上电极；以及控制部，根据通过所述电极所检测的信号判断所述传感器的移动方向与断线处；所述两个以上电极至少包括配设于所述第一方向上的两个跟踪电极；所述控制部根据所述两个跟踪电极所检测的信号的比较结果来判断所述传感器相对于所述断线图案在所述第一方向上的位置是否适当，并根据该判断结果决定所述传感器的移动方向。在优选的方式中，所述控制部进行移动处理，使所述传感器在与所述第一方向垂直的第二方向上移动规定距离从而使其远离所述一端；跟踪处理，在所述移动处理后，根据·所述两个跟踪电极所检测的信号的比较结果来调整所述传感器在第一方向上的位置，从而使断线图案位于所述两个跟踪电极的中间；以及判断处理，在所述跟踪处理后，判断所述传感器是否到达断线处；所述控制部反复进行上述处理，直至所述判断处理中判断所述传感器到达断线处为止。在其他优选的方式中，进一步具有输出所述两个跟踪电极所检测的信号的差值的差分器、以及用施加信号对来自所述差分器的输出信号进行同步检波的同步检波器，所述控制部根据来自所述同步检波器的输出信号来判断所述传感器相对于所述断线图案在所述第一方向上的位置是否正确。此时，优选地，所述两个以上电极进一步包括设置于所述两个跟踪电极之间的一个断线检测电极，所述控制部根据所述断线检测电极所检测的信号来判断所述传感器是否到达断线处。并且，优选地，进一步具有输出所述两个跟踪电极所检测的信号的差值的差分器、以及对来自所述差分器的输出信号进行整流的整流元件，所述控制部根据使所述传感器在第一方向上移动时来自所述整流元件的输出信号的变化来判断所述传感器是否到达断线处。本发明的另一种导电图案检查装置的特征在于在基板上在第一方向上间隔配设的多个导电图案中，检测发生了短路的导电图案的短路图案中的短路位置，该装置具有施加机构，从相邻的两个短路图案的各自一端施加交流电压，并使电流在所述两个短路图案及短路部分所构成的闭合电路中流动；检测用线圈，介由间隙与所述基板相对并移动，并且检测形成于周围的磁场作为电压信号；以及控制部，根据所述检测用线圈所检测的电压信号来判断所述检测用线圈的移动方向与短路处。所述控制部根据所述电压信号的电平来判断所述检测用线圈相对于所述短路图案在所述第一方向上的位置是否正确，并根据该判断结果来决定所述检测用线圈的移动方向。根据本发明，由于其判断传感器相对于断线图案在第一方向上的位置、或检测用线圈相对于短路图案在第一方向上的位置是否适当，因此，无论导电图案采用何种配设方式，均可以使传感器或检测用线圈沿着导电图案移动，结果可以简单地确定断线或短路位置。


图I为表示作为本发明中作为检查对象的基板的例子的示意图；图2为第一实施方式的导电图案检查装置的结构示意图；图3为表示传感器位置与输出信号之间的关系的示意4为表示传感器位置与跟踪信号之间的关系的示意图；图5为表示确定断线位置的流程的流程图；图6为第二实施方式的导电图案检查装置的结构示意图；图7为表示传感器位置与断线检测信号之间的关系的示意图； 图8为表示第二实施方式的确定断线位置的流程的流程图；图9为第三实施方式的导电图案检查装置的结构示意图；图10为表示传感器位置与跟踪信号以及断线检测信号之间的关系的示意图；图11为第四实施方式的导电图案检查装置的结构示意图；图12为表示检测用线圈与跟踪信号以及短路检测信号之间的关系的示意图；图13为表示第四实施方式的确定断线位置的流程的流程图。附图标记说明10导电图案检查装置12施加机构14传感器16传感器驱动机构18控制部20 触头22交流电源30a、30b 跟踪电极32断线检测电极34、38、40、62 差动放大器36、44、64同步检波器42、58 加法器46、52、54、66 二极管48、50 放大器56差分器60检测用线圈110导电图案112导电垫片
具体实施例方式以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。本实施方式的导电图案检查装置10是一种检查用于平板显示器等的玻璃基板上所形成的导电图案110优劣的检查装置，尤其是一种可用于确定断线位置的结构。在详细说明该导电图案检查装置10之前，简单说明本实施方式中作为检查对象的基板的结构。图I为用于平板显示器的基板的结构示意图。该基板中，由Y方向上配设有多个导电图案IlOa的第一层、X方向上配设有多个导电图案IlOb的第二层、以及存在于第一层与第二层之间的绝缘层层积在Z方向上而构成。形成于第一层的导电图案IlOa以及形成于第二层的导电图案IlOb(以下，在不区别两者时，省略附标字母，称作“导电图案110”)，在像素区域El中，以相互交叉的方式配设。通过这两层的导电图案IlOaUlOb的交叉点形成I个像素，通过这些像素的集合构成显示可视影像的像素区域E1。该像素区域El中，导电图案110间隔特定的第一间隔平行排列。各导电图案110，在像素区域El的外侧，与驱动IC(图中未示出)连接。该驱动IC的连接端子，以比像素区域El中的导电图案110的配设间距小得多的间距排列。因此，由于与驱动IC连接，多个导电图案110在像素区域El的外侧的配设间距大大缩小。结果，在像素区域El的外侧，形成连接区域E2以及中间区域E3，所述连接区域E2中，多个导电图案110以比第一间隔小的第二间隔平行排列，所述中间区域E3中，导电图案110之间的间隔从第一间隔逐渐变化至第二间隔。该中间区域E3中，大部分导电图案110相对于X轴或·Y轴倾斜配设，相邻的导电图案110的配设角度不同。各导电图案110的另一端(未与驱动IC连接的一侧的端部)设有导电垫片112。该导电垫片112的宽度比导电图案110宽，用于提供或检测各种检查用信号。接着，参照图2说明检查形成于该基板上的导电图案110的导电图案检查装置10的结构。图2为表示本实施方式的导电图案检查装置10的结构示意图。需要说明的是，图2中，省略了第二层的导电图案IlOb的图示。以下，根据图2仅对确定第一层的导电图案110的断线位置的原理进行说明，但该确定原理同样适用于第二层的导电图案110b。如上所述，该导电图案检查装置10是对确定发生了断线的导电图案110中何处发生断线的断线位置尤其有用的结构。需要说明的是，以下仅对确定断线位置进行详细说明，但导电图案检查装置10中，除了确定断线位置的功能，还可以载入判断有无断线或短路的功能、确定短路位置的功能等。导电图案检查装置10具备对断线的导电图案110施加交流电压的施加机构12、检测该施加的交流电压的传感器14、对传感器14的检测信号进行特定处理并将其输出的信号处理电路、驱动传感器14的传感器驱动机构16、以及控制所述各机构的控制部18等。施加机构12是从断线的导电图案110的一端(本实施方式中为导电垫片112)施加用于检查的交流电压的机构。该施加机构12是由例如与导电垫片112接触的触头20、介由触头20向导电图案110提供交流电压的交流电源22等构成。需要说明的是，在本实施方式中，使用触头20以接触式来施加电压，但也可以使用与导电图案110静电耦合的电极，以非接触式来施加电压。传感器14检测施加的交流电压，控制部18根据该检测结果确定传感器14的移动方向或断线位置。传感器14具有排列在Y方向(即导电图案110的配设方向)上的三个电极30a、30b、32。检查断线位置时，该传感器14由传感器驱动机构16驱动而移动。其移动方向如下详述的那样，根据来自各电极30a、30b、32的检测信号来决定。三个电极中，两侧的两个电极30a、30b作为检测用于跟踪传感器14的信号的跟踪电极而发挥功能。需要说明的是，不区别两者时，省略附标字母，称作“跟踪电极30”。另外，为了方便说明，将图2中示于上侧的跟踪电极30a称作第一跟踪电极，将示于下侧的跟踪电极30b称作第二跟踪电极。另外，配设于两个跟踪电极30a、30b之间的电极32作为断线检测电极而发挥功能，检测用于判断从导电垫片112至传感器14的当前位置之间是否发生断线的信号。两个跟踪电极30所检测的信号，经由差动放大器34以及同步检波器36，作为跟踪信号Sa输入至控制部18。差动放大器34放大两个跟踪电极30所检测的信号的差值后将其输出。同步检波器36利用施加于导电图案110的信号对来自该差动放大器34的输出信号进行同步检波。控制部18根据该同步检波器36所输出的跟踪信号Sa进行使传感器14位于导电图案110的正上方跟踪处理。两个跟踪电极30以及一个断线检测电极32所检测的信号，经由两个差动放大器38,40与一个加法器42以及一个同步检波器44，作为断线检测信号Sb，输入至控制部18。两个差动放大器38、40放大断线检测电极32的检测信号与跟踪电极30的检测信号之间的差值并输出。本实施方式中，将断线检测电极32的检测信号连接至各差动放大器的负(-) 输入侧。加法器42，将来自两个差动放大器38、40的输出信号相加。同步检波器44用施加于导电图案110的信号来对来自该加法器42的输出信号进行同步检波。控制部18根据该同步检波器44输出的断线检测信号Sb，来判断从导电垫片112至传感器14的当前位置之间是否发生了断线(即，传感器14是否到达断线处)。接下来，对利用该导电图案检查装置10来确定断线位置时的原理进行说明。首先参照图3、图4，对跟踪信号Sa进行说明。图3为表示传感器14的位置与差动放大器34所输出的信号Sk之间的关系的示意图。另外，图4为表示传感器14的位置与跟踪信号Sa之间的关系的不意图。本实施方式中，设有三个电极30a、30b、32的传感器14,介由间隙相对于基板配置，各电极30a、30b、32可与相对的导电图案110静电稱合。因此,若施加了电压的导电图案110位于一个电极的正下方，则该一个电极中诱发对应施加电压的电压，若施加了电压的导电图案110不在一个电极的正下方，则该一个电极中几乎不会诱发电压。如图3中的状况1，导电图案110位于第一跟踪电极30a的正下方时，第一跟踪电极30a中诱发对应施加电压的交流电压，远离导电图案110的第二跟踪电极30b中几乎不会诱发电压。因此，该状况I中，从第一跟踪电极30a的检测信号中减去了第二跟踪电极30b的检测信号后所得到的信号Sk，如图3的第一列所示，为与施加信号同步的交流信号。与此相反，如图3中的状况3，导电图案110位于第二跟踪电极30b的正下方时，第二跟踪电极30b中诱发对应施加电压的交流电压，远离导电图案110的第一跟踪电极30a中几乎不诱发电压。因此，该状况3中，信号Sk如图3的第三列所示，为与施加信号反相的交流信号。进一步，如图3中的状况2，导电图案110位于断线检测电极32的正下方时，第一、第二跟踪电极30a、30b中诱发电平大致相同的交流电压。即，两个跟踪电极30a、30b的检测信号之间几乎没有差异。因此，该状况2中，表示两个跟踪电极30a、30b的差值的信号Sk，如图3的第二列所示，大约为O。跟踪信号Sa为在该信号Sk乘以与施加信号(交流电压)同步的脉冲信号(参照图3的第四列)，用施加信号来对信号Sk进行同步检波后的信号。因此，如图4所示，在断线检测电极32位于导电图案110的正上方时，该跟踪信号Sa大约为O;在第一跟踪电极30a位于导电图案110的正上方时，该跟踪信号Sa为正数值；在第二跟踪电极30b位于导电图案110的正上方时，该跟踪信号Sa为负数值。S卩，由跟踪信号Sa的值来判断传感器14相对于导电图案110在Y方向上的位置。本实施方式中，利用该原理，进行跟踪处理，该处理中，判断传感器14相对于导电图案110在Y方向上的位置，并调整传感器14在Y方向上的位置，以使断线检测电极32位于导电图案110的正上方。具体而言，反复进行如下处理直至跟踪信号的Sa的值大约为0，S卩，跟踪信号Sa的值为正数时，使传感器14稍向Y方向正侧(第一跟踪电极30a侧)移动，跟踪信号Sa的值为负数时，使传感器14稍向Y方向的负侧(第二跟踪电极30b侧)移动。通过进行该跟踪处理，即使对于中间弯曲的形状的导电图案110，也可以确保传感器14相对于导电图案110在Y方向上的位置始终合适。需要说明的是，各电极的检测信号中，通常包含高频率的噪音，这种噪音将导致测定精度降低。但是，本实施方式中，在计算两个跟踪电极30a、30b的检测信号的差值时，两个检测电极中所包含的噪音相互抵消。从而，能够得到良好的S/N比。 接下来，对断线检测信号Sb进行说明。本实施方式中，在使断线检测电极32位于导电图案110的正上方的状态下，根据该断线检测电极32所检测的信号，判断有无断线。即，从信号施加处至传感器14的当前位置之间未发生断线时，断线检测电极32与施加了电压的导电图案110相对。结果，断线检测电极32中将诱发对应施加电压的电压。另一方面，导电图案110中，超过断线位置处，不诱发交流电压。因此，传感器14超过断线位置时，与断线检测电极32相对的导电图案110中不诱发交流电压，该断线检测电极32中也不会诱发电压。因此，可通过观察断线检测电极32的检测信号来判断传感器14是否超过断线位置。其中，如上所述，各电极的检测信号通常包括高频率的噪音，这种噪音将导致测定精度降低。因此，本实施方式中，计算断线检测电极32与跟踪电极30a、30b之间的差值，来抵消这些电极的检测信号中所包含的噪音。本实施方式中，由于将断线检测电极32的输出信号输入至差动放大器38、40的负(-)输入侧，因此，在传感器14未超过断线位置时，将从各差动放大器38、40中输出与施加信号反相、且除去了噪音的信号。通过用加法器42将该与施加信号反相、且除去了噪音的信号相加，并用同步检波器44进行同步检波，来输出负数信号。即，本实施方式中，传感器14未超过断线位置时，断线检测信号Sb为负数值。另一方面，传感器14超过断线位置时，电极30a、30b、32中均几乎不诱发电压。结果，来自各差动放大器38、40的输出信号大约为0，同步检波器44所输出的断线检测信号Sb也几乎为O。S卩，根据本实施方式，在断线检测信号Sb为负数时，可判断传感器14未超过断线位置，在断线检测信号Sb大约为O时，可判断传感器14超过了断线位置。本实施方式中，利用这些原理来进行断线位置的确定。参照图5对具体的确定断线位置的流程进行说明。图5为表示确定断线位置的流程的流程图。确定断线位置时，首先，使传感器14移动至发生了断线的导电图案110的一端(施加信号处的附近)的正上方(S10)。接着，使传感器14向X方向负侧(远离导电垫片112侧)仅移动规定距离d(S12)。该规定距离d根据确定断线位置时所要求的分辨率来决定。例如，若使用IOmm左右的分辨率即可确定断线位置，则规定距离d设定为比该分辨率稍低的值，例如5mm等即可。若使传感器14向X方向负侧移动，则接着进行使断线检测电极32位于导电图案110的正上方的跟踪处理(S14 S18)。即，如像素区域那样，导电图案110在X方向上平行延伸时，即便使传感器14在X方向上移动，断线检测电极32仍然位于导电图案110的正上方。然而，如中间区域那样，导电图案110不平行于X方向时，若使传感器14在X方向上移动，则断线检测电极32相对于导电图案110在Y方向上的位置会偏移。因此，本实施方式中，每次使传感器14向X方向负侧移动时，都执行使断线检测电极32位于导电图案110的正上方的跟踪处理，使断线检测电极32始终位于导电图110的正上方。跟踪处理中，首先确认跟踪信号Sa的值(S14)。跟踪信号Sa显示为负数值时，断线检测电极32不在导电图案110的正上方，偏向第一跟踪电极30a侧。此时，使传感器14稍向Y方向正侧(图2中的上方方向)移动(S16)。另外，跟踪信号Sa显示为负数值时，传感器14偏向第二跟踪电极30b侧。此时，使传感器14稍向Y方向负侧(图2中的下方方向)移动(S18)。然后，再次计算跟踪信号Sa，反复进行以上操作直至最终跟踪信号Sa大·约为O。若跟踪信号Sa大约为0，则接下来执行判断传感器14是否到达断线位置的判断处理。在判断处理中，确认断线检测信号Sb的值(S20)。断线检测信号Sb小于O时，判断传感器14未超过断线位置，返回步骤S12。另一方面，断线检测信号Sb大约为O时，控制部18判断传感器14到达断线位置，将该传感器14的位置确定为断线位置(S22)。由以上说明可清楚了解，本实施方式中，在判断传感器14是否到达断线位置之前，进行使传感器14位于导电图案110的正上方的跟踪操作。结果，即使将如图I所示的中间弯曲的导电图案110作为对象时，也可确保传感器14的位置始终适当。从而，无论导电图案110采用何种配设方式，均可简单地确定断线位置。另外，本实施方式中，由于将两个电极所检测的信号输入至差动器，因此可以抵消除去两个检测信号中所包含的噪音。因此，可以得到良好的S/N比。接下来，参照图6对第二实施方式进行说明。图6为表示第二实施方式的导电图案检查装置10的结构示意图。该导电图案检查装置10与第一实施方式的导电图案检查装置10—样，是一种用于确定断线位置的装置。其中，与第一实施方式不同的是，本实施方式中，传感器14中仅设置有两个跟踪电极30a、30b，这两个跟踪电极30a、30b之间未设置断线检测电极32。并且,本实施方式中，与第一实施方式一样，将从两个跟踪电极30a、30b输出至差动放大器34、再从差动放大器34经由同步检波器36输出的信号，作为跟踪信号Sa，用于跟踪处理中。另外，与第一实施方式不同的是，本实施方式中，将从两个跟踪电极30a、30b输出至差动放大器34、再从差动放大器34经由二极管输出的信号，作为断线检测信号Sb，用于判断有无断线的判断处理中。其次，对利用该导电图案检查装置10对断线位置进行确定的原理进行说明。本实施形态中所得到的跟踪信号Sa具有与使用图3、4说明的跟踪信号Sa相同的特性。S卩，若传感器14的中央(两个跟踪电极30a、30b的中间)位于导电图案110的正上方，则跟踪信号Sa大约为O。另一方面，若传感器14偏向第一跟踪电极30a侧，则跟踪信号Sa为正数值；若传感器14偏向第二跟踪电极30b侧，则跟踪信号Sa为负数值。控制部18根据该跟踪信号Sa，调整传感器14在Y方向上的位置，以使传感器14的中央位于导电图案110的正上方。接下来，对本实施方式的断线检测信号Sb进行说明。本实施方式的断线检测信号Sb是对两个跟踪电极30a、30b的差值信号整流后的信号。其中，传感器14超过断线位置时，两个跟踪电极30a、30b中当然几乎不会诱发电压，因此，所得到的断线检测信号Sb也大约为O。接下来，参照图7对传感器14未超过断线位置的情况进行说明。传感器14未超过断线位置，并且传感器14的中央位于导电图案110的正上方时，来自差动放大器34的输出信号大约为0，因此，从二极管46输出的断线检测信号Sb也大约为O。另一方面，在传感 器14未超过断线位置的状态下，传感器14偏向第一跟踪电极30a侧或第二跟踪电极30b侧时，将从差动放大器34输出一定电平的交流信号。通过将该交流信号输入至正向配置的二极管46中进行整流，可得到正的断线检测信号Sb。S卩，传感器14未超过断线位置时，若在Y方向上移动传感器14，则断线检测信号Sb的值将发生变化。本实施方式中，利用该特性，根据使传感器14在Y方向上移动时的断线检测信号Sb的变化，来判断传感器14是否到达断线位置。图8为表示该导电图案检查装置10中的确定断线位置的流程的流程图。该流程图中，步骤SlO 步骤S18与图5中的相同。S卩，确定断线位置时，首先使传感器14位于作为对象的导电图案110的一端的正上方(SlO)。接着，使传感器向X方向负侧仅移动规定距离d(S12)。接着，执行跟踪操作，即，根据跟踪信号Sa，调整传感器14在Y方向上的位置，以使导电图案110位于传感器14的中央的正下方(S14 S18)。跟踪信号Sa大约为0，可判断导电图案110位于传感器14的中央的正下方时，接着执行判断传感器14是否到达断线位置的判断处理(S20 S26)。在判断处理中，首先，使传感器14向Y方向正侧仅移动规定距离e (S20)。该规定距离e的值并无特别限定，但优选为两个跟踪电极30a、30b在Y方向上的间隔的1/2。通过设定为该值，在步骤S20中，可以使跟踪电极30b位于导电图案110的正上方。若使传感器14向Y方向正侧移动，则接着确认此时的断线检测信号Sb (S22)。断线检测信号Sb不为O且为一定大小以上的正数信号时，控制部18判断传感器14未到达断线位置。此时，控制部18使传感器14向Y方向负侧仅移动规定距离e(S24)，并使导电图案110位于传感器14的中央的正下方后，返回步骤S12。另一方面，断线检测信号Sb大约为O时，控制部18判断传感器14到达断线位置。此时，控制部18将传感器14的当前位置确定为断线位置，结束处理(S26)。由以上说明可清楚了解，本实施方式中，由于进行使传感器14位于导电图案110的正上方的跟踪操作，因此，即使以中间弯曲的导电图案110为对象，也可使传感器14沿着导电图案110移动。从而，无论导电图案110采用何种配设方式，均可简单地确定断线位置。另外，如本实施方式这样，即使仅设两个电极，也可以准确地判断有无断线。进一步，本实施方式与第一实施方式一样，将两个电极所检测的信号输入至差动器，因此，可抵消除去两个检测信号中包含的噪音，并可得到良好的S/N比。接着，参照图9对第三实施方式进行说明。图9为表示第三实施方式的导电图案检查装置10的结构示意图。该导电图案检查装置10与第一、第二实施方式的导电图案检查装置10—样，是一种用于确定断线位置的装置。其中，与第一实施方式不同的是，本实施方式中，传感器14中仅设置有两个跟踪电极30a、30b，这两个跟踪电极30a、30b之间未设置断线检测电极32。另外，本实施方式中，与第一、第二实施方式不同，其是未使用差动放大器的结构。即，本实施方式中，用放大器48放大来自第一跟踪电极30a的输出信号，用正向配置的第一二极管52对该放大信号进行整流。并且，使用放大器50放大来自第二跟踪电极30b的输出信号，用反向配置的第二二极管54对该放大信号进行整流。然后，用加法器58将来自第一二极管52、第二二极管54的输出信号相加，并将相加后的信号作为跟踪信号Sa。另外，将从第一二极管52的输出信号中减去第二二极管54的输出信号后的差值信号作为断线检测信号Sb。图10为表示本实施方式的传感器14的位置与跟踪信号Sa以及断线检测信号Sb的关系的示意图。首先对跟踪信号Sa进行说明。考虑传感器14未超过断线位置，且传感·器14的中央位于导电图案110的正上方的情况。此时，从各二极管52、54输出的信号均为O。因此，将来自这两个二极管52、54的输出信号相加后所得到的跟踪信号Sa也大约为O。另一方面，第一跟踪电极30a位于导电图案110的正上方时，将形成为如下状态第一跟踪电极30a中诱发对应施加电压的交流电压，第二跟踪电极30b中几乎未施加电压。此时，从第一二极管52输出特定电平的正数信号，从第二二极管54输出大约为O的信号。并且，将这两个信号相加后而得到的跟踪信号Sa为正数值。反之，第二跟踪电极30b位于导电图案110的正上方时，从第一二极管52输出大约为O的信号，从第二二极管54输出特定电平的负数信号。并且，将这两个信号相加后而得到的跟踪信号Sa为负数值。因此，传感器14未超过断线位置时，跟踪信号Sa理论上如图10的右侧中的用粗线表示的部分所示，若传感器14的中央位于导电图案110的正上方，则跟踪信号Sa大约为O ;若传感器14在Y方向上发生偏移时，则为大小对应该偏移量、且为对应偏移方向的正数或负数的信号。其中，本实施方式中，由于未计算两个跟踪电极30a、30b的检测信号的差值，因此，各电极的检测信号中所包含的噪音仍然残留在跟踪信号Sa中。因此，实际上得到的跟踪信号为包含图10的右侧用细线表示的噪音的信号。接下来，对断线检测信号Sb进行说明。传感器14超过断线位置时，无论传感器14在Y方向的位置如何，各电极均无法与施加了电压的导电图案110相对。因此，此时无论传感器14在Y方向的位置如何，所得到的断线检测信号Sb均大约为O。另外，传感器14未超过断线位置，传感器14的中央位于导电图案110的正上方时，由于各电极远离导电图案110，因此，各电极中所诱发的电压降低。因此，此时各电极所检测的信号大约为0，所得到的断线检测信号Sb也大约为O。另一方面，考虑传感器14未超过断线位置，第一跟踪电极30a位于导电图案110的正上方的情况。此时，第一跟踪电极30a中诱发一定电平的交流电压；第二跟踪电极30b中几乎不诱发电压。结果，从第一二极管52输出正数信号，从第二二极管54输出大约为O的信号。并且，为它们的差值信号的断线检测信号Sb为正数信号。另外，考虑传感器14未超过断线位置，第二跟踪电极30b位于导电图案110的正上方的情况。此时，第二跟踪电极30b中诱发一定电平的交流电压；第一跟踪电极30b中几乎不诱发电压。结果，从第二二极管54输出负数信号，从第一二极管52输出大约为O的信号。并且，由于该第二二极管54的输出与差分器56的负输入侧连接，因此,从差分器56输出正数信号作为断线检测信号Sb。因此，传感器14未超过断线位置时，断线检测信号Sb理论上如图10的中央处用粗线表示的部分所示，若传感器14的中央位于导电图案110的正上方，则断线检测信号Sb为大约为O的信号；传感器14相对于导电图案110，在Y方向上发生偏移时，断线检测信号Sb为正数信号。其中，如上所述，本实施方式中，由于未计算两个跟踪电极30a、30b的检测信号的差值，因此，实际的断线检测信号Sb，如图10的中央用细线表示的部分所示，残留有噪音。控制部18根据该跟踪信号Sa进行调整传感器14在Y方向上的位置的跟踪处理，并根据断线检测信号Sb进行判断传感器14是否到达断线位置的判断处理。并且，通过反复进行这些跟踪处理、判断处理、以及使传感器14在X方向上移动的移动处理，来确定断线 位置。确定断线位置的具体流程与图8相同，因此，在此不再赘述。总之，本实施方式中，由于也进行使传感器14位于导电图案110的正上方的跟踪操作，因此，即使以中间弯曲的导电图案Iio为对象，也可以使传感器14沿着导电图案110移动。并且，由此，无论导电图案110采用何种配设方式，均可简单地确定断线位置。接下来，参照图11对本发明的第四实施方式进行说明。图11为表示第四实施方式的导电图案检查装置10的结构示意图。该导电图案检查装置10与第一至第三实施方式的导电图案检查装置10不同，是一种用于确定短路位置的装置。该导电图案检查装置10具有对相互短路的两个导电图案110施加交流电压的施加机构12、以及介由间隙与基板相对并且移动的检测用线圈60。施加机构12由例如与导电图案110的一端(本实施方式中为导电垫片112)接触的两个触头20a、20b、以及经由触头20a、20b向导电图案110提供交流电压的交流电源22等构成。通过经由两个触头20a、20b向导电图案110施加交流电压，形成由相互短路的两个导电图案110以及短路部分(短路电桥)所构成的闭合电路(图11中用粗线表不的电路)，并使该闭合电路内有电流流动。并且，通过电流流动，在两个导电图案110的周围形成对应电流方向以及大小的磁场。检测用线圈60是检测导电图案110周围所形成的磁场来作为电压值的线圈60。即，若使检测用线圈60位于导电图案110周围所形成的磁场内，则检测用线圈60内将有对应该磁场的电流流动。并且，检测用线圈60内将诱发对应该电流大小的电压。检测用线圈60的一端与差动放大器62的正输入侧连接，另一端与差动放大器62的负输入侧连接。同步检波器64使用施加信号对来自该差动放大器62的输出信号进行同步检波。将来自该同步检波器64的输出信号作为跟踪信号Sa输入至控制部18中。另外，使用正向配置的二极管66对来自差动放大器62的输出信号进行整流。该整流后的信号，作为用于判断有无短路时的短路检测信号Sb输入至控制部18中。控制部18根据跟踪信号Sa，控制检测用线圈60在Y方向上的位置，并根据短路检测信号Sb，判断检测用线圈60是否超过短路处。图12为表示该检测用线圈60的位置与得到的信号之间的关系的示意图，图的右侧部分表示跟踪信号Sa，图的中间部分表示短路检测信号Sb。首先对跟踪信号Sa进行说明。如图11所示，相互短路的两个导电图案110周围所产生的磁场的方向相反。因此，在两个导电图案110的中间，磁场抵消。因此，检测用线圈60位于两个导电图案110的中间时，检测用线圈60中诱发的电压大约为O。另一方面，检测用线圈60偏向任意一个导电图案110侧时，该检测用线圈60的周围的磁场抵消将不发生，检测用线圈60中诱发一定电平的交流电压。结果，跟踪信号Sa，在检测用线圈60偏向一个导电图案110侧(图11的上侧的导电图案11(H则)时，为正数信号；在检测用线圈60偏向另一个导电图案110侧(图11的下侧的导电图案110侧)时，为负数信号。控制部18根据该原理，控制检测用线圈60在Y方向上的位置，以使跟踪信号Sa的值大约为O。接下来，对短路检测信号Sb进行说明。如上所述，检测用线圈60位于两个导电图案Iio的中间时，检测用线圈60中诱发的电压大约为O。另一方面，检测用线圈60偏向任意一个导电图案110侧时，检测用线圈60中诱发一定电平的交流电压。该交流电压在通过正向配置的二极管过程中，被转换成正数信号。因此，结果，短路检测信号Sb在检测用线圈60偏移时，为大小对应该偏移量的正数信号。此外，当然，若检测用线圈60超过短路处，则该检测用线圈60中几乎不诱发电压，因此，短路检测信号Sb也大约为O。控制部18根据该原理在Y方向上移动检测用线圈60，在此时所得到的短路检测信号发生变化时，判断未超 过短路处，在短路检测信号几乎不发生变化时，判断已超过短路处。图13为表示本实施方式的确定短路位置的流程的流程图。确定短路位置时，首先，使检测用线圈60位于相互短路的两个导电图案110之间的端部附近(导电垫片112附近)(SlO)。在此状态下，使检测用线圈60向X方向负侧(远离导电垫片112侧)仅移动规定距离d(S12)。使检测用线圈60向X方向负侧移动后,接着执行使检测用线圈60位于两个导电图案110之间的跟踪处理(S14 S18)。具体而言，确认跟踪信号Sa的值(S14)。确认的结果为若跟踪信号Sa大约为0，则判断检测用线圈60位于适当的位置。另一方面，若跟踪信号Sa为正数值时，使检测用线圈60稍向Y方向负侧移动；若跟踪信号Sa为负数值时，使检测用线圈60稍向Y方向正侧移动(S16、S18)。然后，再次重复进行确认跟踪信号Sa的值的操作，直至跟踪信号Sa大约为O。跟踪信号Sa大约为0，可判断检测用线圈60位于两个导电图案110之间，接着，执行判断检测用线圈60是否到达短路处的判断处理。具体而言，向Y方向正侧移动检测用线圈60(S20)。优选的，将该移动量设为导电图案110的配设间距的1/2，在步骤S22中使检测用线圈60位于一个导电图案110的正上方。然后，在该状态下确认短路检测信号Sb的值(S22)。确认的结果为短路检测信号Sb大约不为O时，判断检测用线圈60未到达短路处。此时，将检测用线圈60向Y方向负侧移动(S24)，返回至原来的位置后，返回至步骤S12。另一方面，短路检测信号Sb大约为O时，判断检测用线圈60到达短路处，将此时的检测用线圈60的位置确定为短路处(S26)。由以上说明可清楚了解，在确定短路位置中，由于进行使检测用线圈60位于两个导电图案110之间的跟踪操作，因此，即使以中间弯曲的导电图案110为对象，也可使检测用线圈60沿着导电图案110移动。并且，由此，无论导电图案110采用何种配设方式，均可简单地确定短路位置。
权利要求
1.一种导电图案检查装置，其特征在于，所述装置在基板上在第一方向上 间隔配设的多个导电图案中，检测发生了断线的导电图案的断线图案中的断线 位置，所述装置包括 施加机构，从所述断线图案的一端施加交流电压； 传感器，介由间隙与所述基板相对并且移动，并至少具有两个以上的电极；以及控制部，根据通过所述电极所检测的信号判断所述传感器的移动方向与断线处；并且所述两个以上电极至少包括配置于所述第一方向的两个跟踪电极；所述控制部根据所述两个跟踪电极所检测的信号的比较结果，判断所述传感器相对于所述断线图案在所述第一方向上的位置是否适当，并根据所述判断结果决定所述传感器的移动方向。
2.根据权利要求I所述的导电图案检查装置，其特征在于，所述控制部反复进行如下处理 移动处理，使所述传感器在与所述第一方向垂直的第二方向上移动规定距离，以使其远离所述一端； 跟踪处理，在所述移动处理之后，根据所述两个跟踪电极所检测的信号的比较结果调整所述传感器在第一方向上的位置，以使所述断线图案位于所述两个跟踪电极的中间；以及 判断处理，在所述跟踪处理之后判断所述传感器是否到达断线处； 直至所述判断处理中判断所述传感器到达断线处。
3.根据权利要求I所述的导电图案检查装置，其特征在于，所述装置进一步包括 差分器，输出所述两个跟踪电极所检测的信号的差值；以及 同步检波器，使用施加信号对来自所述差分器的输出信号进行同步检波； 所述控制部根据来自所述同步检波器的输出信号，判断所述传感器相对于所述断线图案在所述第一方向上的位置是否正确。
4.根据权利要求I所述的导电图案检查装置，其特征在于，所述两个以上的电极进一步包括设置于所述两个跟踪电极之间的一个断线检测电极；并且 所述控制部根据所述断线检测电极所检测的信号判断所述传感器是否到达断线处。
5.根据权利要求I所述的导电图案检查装置，其特征在于，所述装置进一步包括 差分器，输出所述两个跟踪电极所检测的信号的差值；以及 整流元件，对来自所述差分器的输出信号进行整流； 所述控制部根据使所述传感器在第一方向上移动时从所述整流元件输出的输出信号的变化，判断所述传感器是否到达断线处。
6.一种导电图案检查装置，其特征在于，所述装置在基板上在第一方向上间隔配设的多个导电图案中，检测发生了短路的导电图案的短路图案中的短路位置，所述装置具有 施加机构，从相邻的两个短路图案的各自一端施加交流电压，并使电流在由所述两个短路图案以及短路部分所构成的闭合电路中流动； 检测用线圈，介由间隙与所述基板相对并移动，并且检测形成于周围的磁场作为电压信号；以及 控制部，根据所述检测用线圈所检测的电压信号，判断所述检测用线圈的移动方向与短路处；并且所述控制部根据所述电压信号的电平，判断所述检测用线圈相对于所述短路图案在所述第一方向上的 位置是否正确，并根据所述判断结果决定所述检测用线圈的移动方向。
全文摘要
本发明提供一种无论导电图案采用何种配设方式，可简单地确定断线的导电图案检查装置。该导电图案检查装置包括从导电图案的(110)的一端施加电压信号的施加机构(12)、以及检测所述施加的电压信号的传感器(14)。该传感器(14)具有并排于Y方向上的两个跟踪电极(30a)、(30b)、以及断线检测电极(32)。控制部(18)根据两个跟踪电极(30a)、(30b)所检测的电压信号的差值，控制传感器(14)相对于导电图案(110)在Y方向上的位置。另外，根据断线检测电极(32)所检测的电压，判断传感器(14)是否到达断线处。
文档编号G01R31/02GK102788924SQ20121002159
公开日2012年11月21日 申请日期2012年1月31日 优先权日2011年5月20日
发明者板垣卓男 申请人:株式会社联箭技术