专利名称：光学检查装置和利用其的检查方法
技术领域：
本发明涉及对检查对象物进行检查的检查装置，更详细地说，涉及利用对检查对 象物进行拍摄得到的图像，对检查对象物进行检查的光学检查装置以及利用其的检查方 法。
背景技术：
显示影像的平板显示装置用于计算机和便携式终端机等多个领域。这样的平板显 示装置通过使用者的操作，把与其对应的信息作为影像显示。最近，为了使平板显示装置的操作变得容易，把触摸式面板应用于平板显示装置， 提高了使用者的便利性。触摸式面板包括坐标片，该坐标片用于生成使用者施加压力部位的位置值。由于 这样的触摸式面板设置在平板显示面板的上面，所以与平板显示面板显示影像的显示区域 对应的部分必须全部是透明材质。因此，坐标片包括透明的基体膜，在基体膜的上面形成用 于生成使用者施加压力部位的位置值的导电性透明图案和镀银图案。透明图案在与平板显示面板的显示区域对应的区域上形成，由与氧化铟锡或氧化 铟锌相同的材料构成。镀银图案在与包围显示区域的周围区域对应的区域上形成，与生成 使用者施加压力部分的位置值的外部装置以及透明图案和电路板连接。特别是由于坐标片的基体膜和透明图案全都是透明的，所以通过利用探针检查装 置这样的利用电信号的检查装置可以进行检查，而在用肉眼或摄像机的情况下不能进行检 查。专利文献1 韩国专利公开公报第10-2009-0039412号
发明内容
鉴于要解决上述问题，本发明的目的是提供一种可以提高检查效率的光学检查装置。本发明另外的目的是提供一种利用光学检查装置的检查方法。用于实现所述本发明目的的第一方面的光学检查装置包括支承单元、第一照明单 元以及拍摄单元。检查对象物放置在支承单元上。第一照明单元设置在支承单元的上部，产生短波 长的第一光，并向放置在支承单元上的检查对象物照射该第一光。拍摄单元拍摄第一光所 照射的检查对象物。此外，用于实现所述本发明目的的第二方面的光学检查装置包括支承单元、垂直 照明单元、第一倾斜照明单元和第二倾斜照明单元以及拍摄单元。形成有透明图案的检查对象物放置在支承单元的上表面上。垂直照明单元设置在 支承单元的上部，配置成长度方向的轴与支承单元的上表面垂直，产生短波长的第一光，并 向放置在支承单元上的检查对象物以线形的方式照射第一光。第一倾斜照明单元和第二倾斜照明单元设置在垂直照明单元的下方，产生第二光，向放置在支承单元上的检查对象物 以线形的方式照射第二光。射出第二光的所述第一倾斜照明单元的射出面和所述第二倾斜 照明单元的射出面配置成相对于检查对象物的检查面相互向相反的方向倾斜。拍摄单元设 置在第一照明单元的上部，拍摄第一光和第二光所照射的检查对象物。此外，用于实现所述本发明目的的第三方面的光学检查方法如下所述。首先边向 形成有透明图案的检查对象物照射短波长的第一光，边拍摄检查对象物。然后通过拍摄的 图像对 检查对象物进行检查。这样的光学检查方法还可以包括检查有色图案的工序边向检查对象物射出第二 光，边拍摄检查对象物，通过照射第二光拍摄的图像检查在对象物上形成的有色图案。用于实现所述本发明目的的第四方面的光学检查方法如下所述。首先边向形成 有透明图案和有色图案的检查对象物同时射出短波长的第一光和第二光，边拍摄检查对象 物。然后通过拍摄的图像对检查对象物进行检查。按照本发明，光学检查装置由于照射短波长的光对检查对象物进行拍摄，所以利 用拍摄的图像可以检查在检查对象物上形成的透明图案，可以提高检查效率。
图1是简要表示本发明一个实施方式的光学检查装置的侧视图。图2是表示具有触摸式面板的平板显示装置的剖视图。图3是表示图2所示的坐标片的俯视图。图4是表示图1所示的支承板的俯视图。图5是沿图4的剖切线1-1’的剖视图。图6是表示图1所示的垂直照明单元以及第一倾斜照明单元和第二倾斜照明单元 的侧视图。图7是表示图6所示的垂直照明单元以及第一倾斜照明单元和第二倾斜照明单元 的主视图。图8是表示图6所示的垂直照明单元的侧视图。图9是表示图8所示的第一照明主体的剖视图。图10是表示图9所示的第一照明主体的另一个例子的剖视图。图11是表示图6所示的第一倾斜照明单元的侧视图。图12是表示利用图1所示的光学检查装置检查ITO膜的检查方法的流程图。图13A和图13B是表示ITO膜的检查图像的一部分的图。图14是表示图12所示的ITO膜检查方法的其它实施方式的流程图。图15是表示同时射出蓝光和白光生成的ITO膜的检查图像一部分的图。附图标记说明100支承单元200拍摄单元310移动构件400垂直照明单元501、502倾斜照明单元(501第一倾斜照明单元；502第二倾斜照明单元)
610 托架700控制单元1000光学检查装置
具体实施方式
下面，参照附图对本发明优选的实施方式进行详细说明。下面作为本发明的光学 检查装置检查的检查对象物，以在影像显示装置中使用的触摸式面板用坐标片为例进行说 明，但本发明的技术思想和范围不限于此。图1是简要表示本发明一个实施方式的光学检查装置的侧视图。参照图1，光学检查装置1000包括支承单元100，放置检查对象物10 ；拍摄单元 200，拍摄检查对象物10 ；移动构件310，使拍摄单元200移动；垂直照明单元400、第一倾斜 照明单元501和第二倾斜照明单元502，向检查对象物10照射光；以及控制单元700。在该实施方式中，光学检查装置1000检查的检查对象物10是在触摸式面板中使 用的ITO膜10。下面，参照附图，对应用触摸式面板的平板显示装置和氧化铟锡(Indium Tin Oxide,以下称为ΙΤ0)膜10的结构进行简要说明。图2是表示具有触摸式面板的平板显示装置的剖视图，图3是表示图2所示的坐 标片的俯视图。参照图2和图3，平板显示装置包括触摸式面板30 ；液晶显示面板40，配置在触 摸式面板30的下方；以及位置检测部50，与触摸式面板30连接。触摸式面板30包括ΙΤ0 膜10 ；以及上板20，该上板20配置在ITO膜10的上部。在ITO膜10上，作为用于生成使 用者施加压力的加压部位的位置值的坐标片，在透明的基板11的上面形成导电性透明图 案12和作为有色图案的镀银图案13。在该实施方式中，触摸式面板30把由ITO形成透明图案12的ITO膜10作为坐标 片，除了 ITO以外，也可以具有由氧化铟锌(Indium ZincOxide, IZ0)等多种透明的导电性 金属材料形成的透明图案12。透明图案12，也就是ITO图案12，位于与液晶显示面板40上的显示影像的显示区 域对应的区域。在该实施方式中，ITO图案12具有锯齿形的形状，但也可以是格子形等多 种多样的形状。镀银图案13位于与液晶显示面板40上的包围显示区域的周围区域对应的区域。 镀银图案13由导电性材料构成，与生成使用者施加压力部分的位置值的位置检测部50和 透明图案12连接，或与外部的电路板连接。在触摸式面板30下方的液晶显示面板40包括薄膜晶体管基板41，由薄膜晶体 管以阵列方式形成；彩色滤光片基板42，由彩色滤光片形成；以及液晶层43，夹在薄膜晶体 管基板41和彩色滤光片基板42中间。触摸式面板30除了可以应用于这样的液晶显示面 板40以外，还可以应用于其它多种平板显示面板。参照图1和图2，光学检查装置1000拍摄所述的ITO膜10，通过拍摄的图像检查 ITO图案12和镀银图案13。具体地说，在外观检查时，ITO膜10被放在支承单元100的上面，支承单元100具有支承板110，该支承板110放置ITO膜10。图4是表示图1所示的支承板的俯视图，图5是沿图4的剖切线1-1’的剖视图。参照图4和图5，支承板110包括基板111 ；以及镀层112，在基板111的上表面上 形成。具体地说，基板111的面积比ITO膜10的面积大。镀层112为了使从上部透过ITO 膜10入射到镀层12上面的光的反射率最�。唤邢獯怼Ｗ魑痉⒚鞯囊桓隼樱�111用铝材制成。此外，在对基板111进行研磨后， 进行硬质阳极氧化处理(anodizing，阳极处理)，然后用黑色进行无光阳极氧化处理，来形 成镀层112。此外，支承板110具有多个真空吸附ITO膜10的真空孔113，用于固定放置在支承 板110上面的ITO膜10。参照图1和图3，拍摄单元200设置在支承单元100的上部。拍摄单元200对放置 在支承单元100上的检查对象物进行拍摄，也就是对ITO膜10进行拍摄。作为本发明的一 个例子，拍摄单元200使用线扫描式摄像机。拍摄单元200把拍摄的图像提供给控制单元700，控制单元700显示从拍摄单元 200接收的图像。由此，通过所述显示的图像，检查在ITO膜10上形成的图案，也就是进行 ITO图案12和镀银图案13是否短路这样的电特性检查；以及进行外观检查，检查各图案的 定位位置是否正确、各图案的形状是否不合格以及在ITO膜10上是否附着有异物等。另一方面，拍摄单元200固定连接在移动构件310上。移动构件310设置在支承 单元100的上部，可以水平移动。因此，拍摄单元200可以利用移动构件310边不断变更水 平位置，边拍摄ITO膜10。在拍摄单元200之下设置有垂直照明单元400、第一倾斜照明单元501和第二倾斜 照明单元502。下面参照附图对垂直照明单元400、第一倾斜照明单元501和第二倾斜照明单元 520的结构进行具体的说明。图6是表示图1所示的垂直照明单元、第一倾斜照明单元和第二倾斜照明单元的 侧视图，图7是表示图6所示的垂直照明单元、第一倾斜照明单元和第二倾斜照明单元的主 视图。参照图3、图6和图7，垂直照明单元400位于支承单元100的上部，生成第一光 BL,向放置在支承单元100上的检查对象物10照射第一光BL。垂直照明单元400沿支承板 110的一个边延伸，以线形的方式射出所述第一光BL。图8是表示图6所示的垂直照明单元的侧视图，图9是表示图8所示的第一照明 主体的剖视图，图10是表示图9所示的第一照明主体的另一个例子的剖视图。参照图7、图8和图9，垂直照明单元400包括第一冷却主体410，从外部提供冷 却空气；以及第一照明主体420，产生第一光BL。具体地说，第一冷却主体410沿垂直照明单元400的横向延伸，冷却第一照明主体 420。由此，垂直照明单元400可以防止因在产生第一光BL的工序中生成的热量造成第一 照明主体420过热。第一冷却主体410固定连接在固定构件320上，固定构件320设置在 移动构件310的下端部。固定构件320连接在移动构件310上，利用移动构件310水平移 动，随之固定在固定构件320上的垂直照明单元400也水平移动。
在第一冷却主体410的前方设置第一照明主体420，第一照明主体420设置在拍摄 单元200的正下方。第一照明主体420沿第一冷却主体410的横向延伸，向放置在支承单 元100上的ITO膜10射出第一光BL。第一照明主体420包括外壳421、多个第一光源422、 分光构件(光分雕部材)424和第一聚光构件425。具体地说，外壳421大体为六面体形，包括四边形的下壁421a;上壁421d，与下 壁421a相对；以及侧壁421b、421c，连接下壁421a和上壁421d。在外壳421中设置多个第 一光源422、分光构件424和第一聚光构件425。多个第一光源422固定设置在外壳421的侧壁421c上，产生所述第一光BL，侧壁 421c与第一冷却主体410邻接。在该实施方式中，在所述第一光源422中使用发光二极管， 但除了发光二极管以外，也可以使用能产生光的各种各样的光源。多个第一光源422沿外壳421的横向，相对于支承单元100的上表面，在水平方向 上以相互平行的方式配置。从第一光源422射出的第一光BL是短波长的光，以便能够通过 用拍摄单元200拍摄的图像容易辨认ITO图案12的形状。在该实施方式中，第一光BL是
.监.J (λ ο也就是说，由于作为ITO膜10的坐标图案的ITO图案12是透明的，不具有用肉眼 容易识别的颜色，在照射白光拍摄ITO膜10的情况下，在拍摄的图像上难以识别ITO图案 12。特别是由于ITO膜10的基板11是透明的，所以更难通过图像对其进行识别。可是，由 于用垂直照明单元400可以射出的第一光BL不是白色，而是蓝色，在射出第一光BL拍摄的 图像中，显示的ITO图案12的形状用肉眼就可以辨认。由此，光学检查装置1000通过拍摄 的图像，可以对在透明的材料上形成的图案进行外观检查，所以可以对触摸式面板30用的 ITO图案12进行光学检查，可以提高检查效率。此外，在该实施方式中，由于为了使透过ITO膜10入射到支承单元100上面的光 的反射率最�。灾С械ピ�100的上面进行无光处理，使其成为黑色，由此可以提高拍摄单 元200的图像质量。另一方面，分光构件424配置成与外壳421的侧壁421c相对，位于与第一光源422 分开的位置。分光构件424反射从第一光源422射出的第一光BL，改变第一光BL的行进方 向，使得第一光BL向支承单元100所处的下方位置行进。具体地说，分光构件424根据入射到分光构件424上的光的方向，可以对光进行反 射或使光透过。也就是说，分光构件424对从第一光源422入射的第一光BL进行反射，使 得第一光BL入射到第一聚光构件425上，使从第一聚光构件425 —侧入射的反射光RL透 过。透过分光构件424的反射光RL通过在外壳421的上壁421d上形成的孔421e向外部 射出，入射到位于第一照明主体420正上方的拍摄单元200。在该实施方式中，在分光构件424中使用在对角线方向设有镜424a的分光器 (Beam splitter)，从第一光源422射出的第一光BL入射到分光构件424的镜424a上。图9所示的第一照明主体420具有由分光器构成的分光构件424，如图10所示，第 一照明主体430在分光构件431中具有半透半反镜(Halfmirror)。第一照明主体420还具有第一平行光变换构件423，该第一平行光变换构件423把 从第一光源422射出的第一光BL变换成平行光。第一平行光变换构件423夹在第一光源 422和分光构件424之间，使变换成平行光的第一光BL射出到分光构件424 —侧。
此外，第一照明主体420还具有扩散(diffusion)构件426，该扩散构件426使从 第一平行光变换构件423射出的第一光BL扩散。扩散构件426夹在第一平行光变换构件 423和分光构件424之间，使从第一平行光变换构件423入射的第一光BL扩散，提供给分光 构件424。另一方面，在分光构件424的下方设有第一聚光构件425，第一聚光构件425配置 成与放置在支承单元100上的ITO膜10相对。第一聚光构件425使由分光构件424反射 的第一光BL折射，向ITO膜10汇聚。在第一聚光构件425上，在与分光构件424邻接的上表面形成多个棱镜图案425a。 此外，在第一聚光构件425的中央部形成透过孔425b，该透过孔425b用于使从ITO膜10入 射的反射光RL透过，提供给分光构件424。第一聚光构件425的棱镜图案425a以透过孔 425b为基准相互对称，各棱镜图案425a具有倾斜面，该倾斜面朝向透过孔425b向上倾斜。在外壳421的下壁421a上有射出孔421f，该射出孔421f把用第一聚光构件425 汇聚的第一光BL提供给ITO膜10。射出孔421f位于第一聚光构件425的下方，由ITO膜 10反射的光RL通过射出孔421f，入射到第一聚光构件425上。
参照图6和图7，在垂直照明单元400的下方设置第一倾斜照明单元501和第二倾 斜照明单元502，第一倾斜照明单元501和第二倾斜照明单元502配置成相互相对。第一倾 斜照明单元501和第二倾斜照明单元502产生第二光WL，向放置在支承单元100上的检查 对象物10照射第二光WL。在该实施方式中，光学检查装置1000具有两个倾斜照明单元501、502，但倾斜照 明单元501、502的个数可以按照检查效率增加或减少。在侧面看时，第一倾斜照明单元501和第二倾斜照明单元502配置成第一倾斜照 明单元501和第二倾斜照明单元502的沿纵向延伸的中心轴向相互向相反的方向倾斜。在 该实施方式中，在ITO膜10上，从垂直照明单元400射出的第一光BL入射的区域以及从第 一倾斜照明单元501和第二倾斜照明单元502射出的第二光WL入射的区域相互重叠。也 就是说，垂直照明单元400以及第一倾斜照明单元501和第二倾斜照明单元502朝向相同 的区域分别照射第一光BL、第二光WL。在该实施方式中，第一倾斜照明单元501和第二倾斜照明单元502具有相同的结 构。因此，在下面对第一倾斜照明单元501和第二倾斜照明单502的结构进行具体的说明 中，对第一倾斜照明单元501进行具体说明，省略对第二倾斜照明单元502的结构进行说 明。图11是表示图6所示的第一倾斜照明单元501的侧视图。参照图6、图7和图11，第一倾斜照明单元501包括第二冷却主体510，从外部提 供冷却空气；以及第二照明主体520，产生第二光WL。具体地说，第二冷却主体510沿第一倾斜照明单元501的横向延伸，使第二照明主 体520冷却。由此，第一倾斜照明单元501可以防止因在产生第二光WL的过程中生成的热 量造成第二照明主体520过热。在第二冷却主体510的前方设置第二照明主体520。第二照明主体520沿第二冷 却主体510的横向延伸，向放置在支承单元100上的ITO膜10射出第二光WL。第二照明主 体520包括壳体521、多个第二光源522、第二平行光变换构件523和第二聚光构件524。
具体地说，壳体521大体为六面体形，在其内部设置多个第二光源522和第二平行 光变换构件523。壳体521的一个侧壁开口，使在内部产生的第二光WL可以向放置在支承 单元100上的ITO膜10照射。多个第二光源52 2设置在壳体521的内侧壁上，产生第二光WL。在该实施方式中， 第二光源522使用发光二极管，但也可以使用发光二极管以外的能产生光的多种多样的光 源。多个第二光源522沿壳体521的横向，相对于支承单元100的上表面在水平方向 上以相互平行的方式配置。从第二光源522射出的第二光WL具有与第一光BL不同的颜色， 使得通过用拍摄单元200拍摄的图像能够容易地识别作为有色图案13的镀银图案13的形 状，作为本发明的一个例子，第二光WL是白光。在该实施方式中，第二光WL具有与第一光BL不同的颜色，但在有些情况下也可以 具有与第一光BL相同的颜色。第二平行光变换构件523配置成与第二光源522相对，把从第二光源522入射的 第二光WL变换成平行光，向第二聚光构件524 —侧照射。第二聚光构件524配置成与第二平行光变换构件523相对，以相对于支承单元100 的上表面倾斜的方式配置在壳体521的开口的侧壁上。第二聚光构件524使从第二平行光 变换构件523射出的第二光WL折射，汇聚在ITO膜10上。第一倾斜照明单元501和第二倾斜照明单元502利用托架610与垂直照明单元 400连接。托架610的上端连接在垂直照明单元400的侧壁上，托架610的下端连接在第一 倾斜照明单元501和第二倾斜照明单元502上。通过调节第一倾斜照明单元501和第二倾 斜照明单元502与托架610的连接角度，可以调节第一倾斜照明单元501和第二倾斜照明 单元502相对于支承单元100上表面的倾斜角度。在该实施方式中，作为用于对检查对象物10进行检查的照明单元，光学检查装置 1000具有垂直照明单元400和两个倾斜照明单元501、502，但也可以仅具有垂直照明单元 400。如上所述，光学检查装置1000由于通过拍摄的图像不仅可以对有色图案13进行 外观检查，而且可以对透明图案12进行外观检查，所以可以提高检查效率。图12是表示利用图1所示的光学检查装置检查ITO膜的检查方法的流程图。参照图1、图6和图12，首先，把要检查的ITO膜10放置在支承单元100的上面 (步骤 Sl 10)。然后，垂直照明单元400边利用移动构件310水平移动，边向ITO膜10射出蓝色的 第一光BL，并且拍摄单元200边与垂直照明单元400 —起水平移动，边拍摄ITO膜10。控 制单元700从拍摄单元200接收利用蓝色的第一光BL拍摄的第一检查图像，通过接收的第 一检查图像检查在ITO膜10上形成的ITO图案12 (步骤S120)。此外，光学检查装置1000检查ITO膜10的方法还包括检查镀银图案13的工序 通过第一倾斜照明单元501和第二倾斜照明单元502射出白色的第二光WL，检查镀银图案 13(步骤 S130)。如果仔细观察光学检查装置1000检查镀银图案13的工序，则详细地如下所述。首 先，第一倾斜照明单元501和第二倾斜照明单元502边利用移动构件310水平移动，边向放置在支承单元100上的ITO膜10射出白色的第二光WL，并且拍摄单元200边与第一倾斜照 明单元501和第二倾斜照明单502 —起水平移动，边拍摄ITO膜10。控制单元700从拍摄 单元200接收利用白色的第二光WL拍摄的第二检查图像，通过接收的第二检查图像检查在 ITO膜10上形成的镀银图案13 (步骤S130)。在该实施方式中，光学检查装置1000的第一倾斜照明单元501和第二倾斜照明单 502可以射出白色的第一光WL或射出蓝色的第二光BL，用于检查镀银图案13。
此外，在该实施方式中，光学检查装置1000分别形成用于检查ITO图案12的图像 和用于检查镀银图案13的图像，但也可以利用在步骤S120生成的ITO图案12检查用图像， 检查镀银图案13。如上所述，光学检查装置1000由于照射短波长的光拍摄ITO图案12，所以在拍摄 的图像上可以辨认ITO图案12的形状。因此，用拍摄的图像不仅可以进行如短路那样的 ITO图案12和镀银图案13的电特性检查，而且可以进行外观检查，检查ITO图案12和镀银 图案13的形状以及ITO膜10上是否附着有异物等，所以可以提高检查效率。图13A是表示图1所示的垂直照明单元照射蓝光生成的ITO膜检查图像的一部分 的图，图13B是表示用图1所示的第一倾斜照明单元和第二倾斜照明单元照射白光生成的 ITO膜检查图像的一部分的图。参照图13A和图13B，在如图13A所示的照射蓝光拍摄的检查图像中，显示可以用 肉眼辨认ITO图案Ι_ΙΤ0，此外镀银图案I_ML表示成黑色，用肉眼可以辨认。相反，在如图 13B所示的照射白光拍摄的检查图像上，仅可以辨认镀银图案I_ML，除了镀银图案I_ML以 外，剩余的部分全部显示成黑色，不能掌握ITO图案的形状。图14是表示图12所示的ITO膜检查方法的其它实施方式的流程图。参照图1、图6和图14，首先，把要检查的ITO膜10放置在支承单元100的上面 (步骤 S210)。然后，垂直照明单元400以及第一倾斜照明单元501和第二倾斜照明单元502边 利用移动构件310水平移动，边向ITO膜10同时射出第一光BL和第二光WL，并且拍摄单 元200边利用移动构件310水平移动，边拍摄ITO膜10(步骤S220)。其中，垂直照明单元 400射出蓝色的第一光BL，第一倾斜照明单元501和第二倾斜照明单502射出白色的第二 光WL。然后，控制单元700从拍摄单元200接收拍摄的检查图像，通过接收的检查图像， 检查在ITO膜10上形成的ITO图案12和镀银图案13 (步骤S230)。在该实施方式中，光学检查装置1000的第一倾斜照明单元501和第二倾斜照明单 元502可以射出白色的第一光WL或射出蓝色的第二光BL。如上所述，由于光学检查装置1000照射短波长的光拍摄ITO图案12，所以可以通 过拍摄的图像辨认ITO图案12的形状。因此，利用拍摄的图像不仅可以进行ITO图案12 和镀银图案13的如短路那样的电特性检查，而且可以进行外观检查，检查ITO图案12和镀 银图案13的形状以及ITO膜10上是否附着有异物等，所以可以提高检查效率。图15是表示同时射出蓝光和白光生成的ITO膜检查图像的一部分的图。参照图15，在同时射出蓝光和白光生成的ITO膜检查图像中，由于显示用肉眼可 以辨认的ITO图案Ι_ΙΤ0和镀银图案I_ML，所以通过它可以检查ITO图案Ι_ΙΤ0和镀银图案 I_ML。
以上参照实施方式进行了说明，但本领域的技术人员在不脱离权利要求书所述的 本发明的思想和领域的范围内，对本发明可以进行各种各样的修正和变更。
权利要求
1.一种光学检查装置，其特征在于包括支承单元，放置检查对象物；第一照明单元，设置在所述支承单元的上部，产生短波长的第一光，并向放置在所述支 承单元上的所述检查对象物照射该第一光；以及拍摄单元，拍摄所述第一光所照射的所述检查对象物。
2.根据权利要求1所述的光学检查装置，其特征在于，所述第一光是蓝光。
3.根据权利要求1或2所述的光学检查装置，其特征在于，所述第一照明单元包括第一光源，产生所述第一光；分光构件，配置成与所述第一光源的射出面相对，根据入射的光的方向使所述光透过 或反射所述光；以及第一聚光构件，把利用所述分光构件反射的光汇聚，提供给所述检查对象物，并把从放 置在所述支承单元上的所述检查对象物反射的光提供给所述分光构件。
4.根据权利要求1 3中任一项所述的光学检查装置，其特征在于还包括至少一个 第二照明单元，设置在所述支承单元的上部，产生第二光，并向放置在所述支承单元上的所 述检查对象物照射该第二光。
5.根据权利要求4所述的光学检查装置，其特征在于，所述第二光具有与所述第一光 相同的颜色。
6.根据权利要求4所述的光学检查装置，其特征在于，所述第二光具有与所述第一光 不同的颜色。
7.根据权利要求6所述的光学检查装置，其特征在于，所述第二光是白光。
8.根据权利要求4所述的光学检查装置，其特征在于，所述第一照明单元和所述第二 照明单元配置成在所述检查对象物上，所述第一光照射的区域和所述第二光照射的区域相互重叠。
9.根据权利要求4所述的光学检查装置，其特征在于，所述第二照明单元包括第二光源，产生所述第二光；平行光变换构件，配置成与所述第二光源的射出面相对，把从所述第二光源射出的所 述第二光变换成平行光射出；以及第二聚光构件，设置成隔着所述平行光变换构件与所述第二光源相对，把从所述平行 光变换构件射出的所述第二光汇聚，提供给放置在所述支承单元上的所述检查对象物。
10.根据权利要求4所述的光学检查装置，其特征在于还包括托架，与所述第二照明 单元连接，并且固定在所述第一照明单元上。
11.根据权利要求10所述的光学检查装置，其特征在于，所述第一照明单元设置成连接在所述托架的上端部，并且配置成射出所述第一光的射 出面与所述检查对象物的检查面水平相对，所述第二照明单元设置成连接在所述托架的下端部，并且配置成射出所述第二光的射 出面相对于所述检查对象物的检查面倾斜。
12.根据权利要求1 11中任一项所述的光学检查装置，其特征在于还包括水平移动部，与所述拍摄单元和所述第一照明单元连接，在所述支承单元上部水平移动，改变所述 拍摄单元和所述第一照明单元的水平位置。
13.根据权利要求1 12中任一项所述的光学检查装置，其特征在于，所述拍摄单元是 线扫描式摄像机。
14.根据权利要求1 13中任一项所述的光学检查装置，其特征在于，所述支承单元的 放置所述检查对象物的面进行过无光镀处理。
15.根据权利要求14所述的光学检查装置，其特征在于，所述支承单元的放置所述检 查对象物的面为黑色。
16.根据权利要求15所述的光学检查装置，其特征在于，所述支承单元的放置所述检 查对象物的面被阳极氧化处理成黑色。
17.一种光学检查装置，其特征在于包括支承单元，在上表面放置形成有透明图案的检查对象物；垂直照明单元，设置在所述支承单元的上部，配置成长度方向的轴与所述支承单元的 上表面垂直，产生短波长的第一光，并向放置在所述支承单元上的所述检查对象物以线形 的方式照射所述第一光；第一倾斜照明单元和第二倾斜照明单元，设置在所述垂直照明单元的下方，产生第二 光，向放置在所述支承单元上的所述检查对象物以线形的方式照射所述第二光；以及拍摄单元，设置在所述第一照明单元的上部，拍摄所述第一光和所述第二光所照射的 所述检查对象物，射出所述第二光的所述第一倾斜照明单元的射出面和所述第二倾斜照明单元的射出 面相对于所述检查对象物的检查面相互向相反的方向倾斜。
18.根据权利要求17所述的光学检查装置，其特征在于，所述第一光是蓝光。
19.根据权利要求17所述的光学检查装置，其特征在于，所述第二光是白光。
20.根据权利要求17 19中任一项所述的光学检查装置，其特征在于，所述第一倾斜照明单元和第二倾斜照明单元配置成在所述检查对象物上，从所述第 一倾斜照明单元射出的所述第二光入射的区域和从所述第二倾斜照明单元射出的所述第 二光入射的区域相互重叠，所述垂直照明单元配置成所述第一光通过所述第一倾斜照明单元和第二倾斜照明单 元之间，入射到所述检查对象物上。
21.根据权利要求17 20中任一项所述的光学检查装置，其特征在于，所述支承单元 的放置所述检查对象物的面用黑色进行过无光镀处理。
22.一种光学检查方法，其特征在于，边向形成有透明图案的检查对象物照射短波长的 第一光，边拍摄所述检查对象物，通过拍摄的图像检查所述检查对象物。
23.根据权利要求22所述的光学检查方法，其特征在于，所述第一光是蓝光。
24.根据权利要求22所述的光学检查方法，其特征在于，所述透明图案由透明的导电 性金属材料形成。
25.根据权利要求24所述的光学检查方法，其特征在于，所述导电性金属材料是氧化 铟锡或氧化铟锌。
26.根据权利要求24所述的光学检查方法，其特征在于，利用拍摄的所述图像对所述检查对象物的检查包括电特性检查。
27.根据权利要求22 26中任一项所述的光学检查方法，其特征在于还包括检查有色 图案的工序，边向所述检查对象物照射第二光，边拍摄所述检查对象物，通过照射所述第二 光拍摄的图像检查在所述检查对象物上形成的有色图案。
28.根据权利要求27所述的光学检查方法，其特征在于，所述第二光具有与所述第一 光相同的颜色。
29.根据权利要求27所述的光学检查方法，其特征在于，所述第二光具有与所述第一 光不同的颜色。
30.根据权利要求29所述的光学检查方法，其特征在于，所述第二光是白光。
31.根据权利要求27所述的光学检查方法，其特征在于，所述有色图案由导电性金属 材料形成。
32.根据权利要求27所述的光学检查方法，其特征在于，通过照射所述第一光或所述 第二光拍摄的图像对所述检查对象物进行的检查，包括对所述检查对象物是否附着有异物 和对在所述检查对象物上形成的图案的形状进行的检查。
33.根据权利要求22 32中任一项所述的光学检查方法，其特征在于，所述检查对象 物在透明的基板上形成所述透明图案。
34.根据权利要求33所述的光学检查方法，其特征在于，所述检查对象物在放置于支承单元上的状态下被照射所述第一光，所述支承单元的放置所述检查对象物的面进行过无光镀处理。
35.根据权利要求34所述的光学检查方法，其特征在于，所述支承单元的放置所述检 查对象物的面被处理成黑色。
36.一种光学检查方法，其特征在于包括下列工序边向形成有透明图案和有色图案的检查对象物同时照射短波长的第一光和第二光，边 对所述检查对象物进行拍摄的工序；以及通过拍摄的图像检查所述检查对象物的工序。
37.根据权利要求36所述的光学检查方法，其特征在于，所述第一光是蓝光。
38.根据权利要求36所述的光学检查方法，其特征在于，所述第二光是具有与所述第 一光相同颜色的光。
39.根据权利要求36所述的光学检查方法，其特征在于，所述第二光是具有与所述第 一光不同颜色的光。
40.根据权利要求39所述的光学检查方法，其特征在于，所述第二光是白光。
41.根据权利要求36所述的光学检查方法，其特征在于，在所述检查对象物上，所述第 一光照射的区域和所述第二光照射的区域相互重叠。
42.根据权利要求36所述的光学检查方法，其特征在于，所述透明图案由透明的导电 性金属材料形成。
43.根据权利要求42所述的光学检查方法，其特征在于，通过拍摄的所述图像对所述 检查对象物的检查包括电特性检查。
44.根据权利要求36 43中任一项所述的光学检查方法，其特征在于，通过拍摄的所 述图像对所述检查对象物的检查包括对所述检查对象物是否附着有异物和对所述透明图案和所述有色图案的形状进行的检查。
45.根据权利要求44所述的光学检查方法，其特征在于，所述检查对象物在透明的基 板上形成所述透明图案和所述有色图案。
46.根据权利要求45所述的光学检查方法，其特征在于，所述检查对象物在放置于支承单元上的状态下被照射所述第一光和所述第二光， 所述支承单元的放置所述检查对象物的面进行过无光镀处理。
47.根据权利要求46所述的光学检查方法，其特征在于，所述支承单元的放置所述检 查对象物的面被处理成黑色。
全文摘要
本发明提供一种光学检查装置和利用其的检查方法。该光学检查装置和利用其的检查方法能够提高检查效率。检查对象物(10)放置在支承单元(100)上。第一照明单元(400)产生短波长的第一光，向检查对象物(10)照射第一光。拍摄单元(200)拍摄第一光所照射的检查对象物(10)。伴随与此，光学检查装置(1000)由于照射短波长的光拍摄检查对象物(10)，所以可以检查在检查对象物(10)上形成的透明图案是否合格。
文档编号G01R31/02GK102004110SQ201010219050
公开日2011年4月6日 申请日期2010年6月25日 优先权日2009年9月2日
发明者崔铉镐, 金敏秀 申请人:Aju高技术公司
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
