专利名称：一种精准测量单元及测试系统的制作方法
技术领域：
本实用新型属于测量技术领域，尤其涉及一种精准测量单元及测试系统。
背景技术：
精准测量单元是测试系统中必不可少的测量单元之一，该单元主要用于对集成 电路芯片中的各种直流电压/电流参数进行测量。常见的精准测量单元提供的电压/电 流范围都相对较小(如电压范围+/-IOV ；电流范围+/-200mA)，对于一般的集成电 路芯片而言，这样的精准测量单元电流和电压资源已足够。但是，随着半导体工艺和集成电路技术的发展，数/�：湍�/数混合类的集成电 路芯片日趋增多，这类芯片大多都需要较高的电压来供电，由此产生的电流也较大，这 就要求在实际的芯片测试时，精准测量单元必须能够提供更大、更高的电流和电压，以 实现对芯片的正常测试。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种精准测量单元，旨在解决现有的精准测量单元 存在无法提供能满足被测集成电路芯片要求的测量电压和电流的问题。本实用新型是这样实现的，一种精准测量单元，所述精准测量单元包括与测量控制�？榱樱徊庑酒┑绲墓┑缒？椋灰约胺直鹩胨霰徊庑酒凸┑缒？榱樱杉徊庑酒牡缪购偷缌髦蹈霾� 量控制�？榈牟裳？椋凰龉┑缒？榘ń霾饬靠刂颇？槭涑龅目刂菩藕庞墒至孔晃Ｄ饬康氖Ｗ坏缏�、 第一运算放大器、第一开关电路、第二运算放大器、对输出给所述被测芯片的电流进行 限制和采集的限流采集电路；所述数模转换电路的输入端接所述测量控制�？椋鍪Ｗ坏缏返牡谝皇� 出端和第二输出端分别接所述第一运算放大器的同相输入端和反相输入端，所述第一开 关电路的第一固定触点接数模转换电路的第一输出端，所述第一开关电路的第二固定触 点接第一运算放大器的输出端，所述第一开关电路的活动触点接所述第二运算放大器的 同相输入端，所述第二运算放大器的输出端接所述限流采集电路的输入端，所述限流采 集电路的输出端接所述被测芯片。上述结构中，所述限流采集电路包括第二开关电路、第三开关电路、电阻R1、电阻R2、电阻R3、电阻R4和电阻 R5 ；所述第二开关电路的活动触点为限流采集电路的输入端，所述第二开关电路的 第一固定触点接所述第三开关电路的活动触点，所述第三开关电路的第一固定触点、第 二固定触点、第三固定触点和第四固定触点分别接电阻R1、电阻R2、电阻R3和电阻R4的第一端，所述第二开关电路的第二固定触点接所述电阻R5的第一端，所述电阻R1、电 阻R2、电阻R3、电阻R4和电阻R5的第二端连接在一起为限流采集电路的输出端。[0014]上述结构中，所述采样模块包括[0015]模数转换电路、第三运算放大器、第四运算放大器、第五运算放大器、第四开 关电路、第五开关电路、第六开关电路、电阻R6、电阻R7和电阻R8;[0016]所述第三运算放大器的同相输入端和反相输入端分别接所述限流采集电路的输 入端和输出端，所述第三运算放大器的输出端接第四开关电路的第一固定触点，所述第 四运算放大器的同相输入端接所述被测芯片，所述第四运算放大器的反相输入端同时接 所述第四运算放大器的输出端和第四开关电路的第二固定触点，所述第四开关电路的活 动触点接所述第五开关电路的活动触点，所述第五开关电路的第一固定触点接模数转换 电路的第一输入端，所述第五开关电路的第二固定触点通过电阻R7接第五运算放大器的 同相输入端，所述第五运算放大器的同相输入端通过电阻R8接地，所述第五运算放大器 的反相输入端通过电阻R6同时接第五运算放大器的输出端和模数转换电路的第二输入 端，所述模数转换电路的输出端接测量控制�？椋龅诹氐缏返幕疃サ憬拥诙� 运算放大器的反相输入端，所述第六开关电路的第一固定触点接第三运算放大器的输出 端，所述第六开关电路的第二固定触点接被测芯片。[0017]上述结构中，所述数模转换电路采用DAC7744。[0018]上述结构中，所述模数转换电路采用AD974。[0019]上述结构中，所述第一开关电路采用继电器。[0020]上述结构中，所述第二开关电路和第三开关电路均采用继电器。[0021]上述结构中，所述第四开关电路、第五开关电路和第六开关电路均采用继电ο[0022]本实用新型的另一目的在于提供一种测试系统，所述测试系统包括上述的精准测量单元。[0023]在本实用新型中，精准测量单元包括供电�？楹筒裳？椋┑缒？椴捎檬� 转换电路和运算放大器构成，可以实现高电压、大电流的输出，满足了被测芯片的要 求。
[0024]图1是本实用新型实施例提供的精准测量单元的结构图；[0025]图2是本实用新型实施例提供的精准测量单元的示例电路图。
具体实施方式
[0026]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，
以下结合附图及实 施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用 以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。[0027]图1示出了本实用新型实施例提供的精准测量单元的结构，为了便于说明，仅 示出了与本实用新型相关的部分。[0028]精准测量单元包括供电�？�100和采样�？�200。[0029]供电�？�100与测量控制�？榱樱┑缒？�100为被测芯片供电；采样模块200分别与被测芯片和供电模块100连接，采样模块200采集被测芯片 的电压和电流值给测量控制模块。图2示出了本实用新型实施例提供的精准测量单元的示例电路结构，为了便于 说明，仅示出了与本实用新型相关的部分。作为本实用新型一实施例，供电�？�100包括将测量控制模块输出的控制信号由数字量转换为模拟量的数模转换电路101、第 一运算放大器U1、第一开关电路102、第二运算放大器U2、对输出给被测芯片的电流进 行限制和采集的限流采集电路103 ；数模转换电路101的输入端IN接测量控制�？椋Ｗ坏缏�101的第一输出 端OUTl和第二输出端OUT2分别接第一运算放大器Ul的同相输入端和反相输入端，第 一开关电路102的第一固定触点接数模转换电路101的第一输出端OUT1，第一开关电路 102的第二固定触点接第一运算放大器Ul的输出端，第一开关电路102的活动触点接第 二运算放大器U2的同相输入端，第二运算放大器U2的输出端接限流采集电路103的输 入端，限流采集电路103的输出端接被测芯片。作为本实用新型一实施例，数模转换电路101采用DAC7744。作为本实用新型一实施例，限流采集电路103包括第二开关电路1031、第三开关电路1032、电阻R1、电阻R2、电阻R3、电阻R4 和电阻R5 ；第二开关电路1031的活动触点为限流采集电路103的输入端，第二开关电路 1031的第一固定触点接第三开关电路1032的活动触点，第三开关电路1032的第一固定触 点、第二固定触点、第三固定触点和第四固定触点分别接电阻R1、电阻R2、电阻R3和 电阻R4的第一端，第二开关电路1031的第二固定触点接电阻R5的第一端，电阻R1、电 阻R2、电阻R3、电阻R4和电阻R5的第二端连接在一起为限流采集电路103的输出端。作为本实用新型一实施例，采样�？�200包括模数转换电路201、第三运算放大器U3、第四运算放大器U4、第五运算放大器 U5、第四开关电路202、第五开关电路203、第六开关电路204、电阻R6、电阻R7和电 阻R8 ；第三运算放大器U3的同相输入端和反相输入端分别接限流采集电路103的输入 端和输出端，第三运算放大器U3的输出端接第四开关电路202的第一固定触点，第四运 算放大器U4的同相输入端接被测芯片，第四运算放大器U4的反相输入端同时接第四运 算放大器U4的输出端和第四开关电路202的第二固定触点，第四开关电路202的活动触 点接第五开关电路203的活动触点，第五开关电路203的第一固定触点接模数转换电路 201的第一输入端IN1，第五开关电路203的第二固定触点通过电阻R7接第五运算放大器 U5的同相输入端，第五运算放大器U5的同相输入端通过电阻R8接地，第五运算放大器 U5的反相输入端通过电阻R6同时接第五运算放大器U5的输出端和模数转换电路201的 第二输入端IN2，模数转换电路201的输出端接测量控制�？椋诹氐缏�204的活动 触点接第二运算放大器U2的反相输入端，第六开关电路204的第一固定触点接第三运算 放大器U3的输出端，第六开关电路204的第二固定触点接被测芯片。[0042]当第四开关电路202的第一固定触点与活动触点接通时，采样模块200通过限流 采集电路103对被测芯片的电流进行测量；[0043]当第四开关电路202的第二固定触点与活动触点接通时，采样�？�200对被测芯 片的电压进行测量；作为本实用新型一实施例，模数转换电路201采用AD974。 作为本实用新型一实施例，第一开关电路102采用继电器。 作为本实用新型一实施例，第二开关电路1031和第三开关电路1032均采用继电[0044][0045][0046]ο[0047]作为本实用新型一实施例，第四开关电路202、第五开关电路203和第六开关电 路204均采用继电器。[0048]作为本实用新型一实施例，第二运算放大器U2采用OPAM4。[0049]作为本实用新型一实施例，第三运算放大器U3采用INA103。[0050]作为本实用新型一实施例，第四运算放大器U4采用OP27。[0051]对于数模转换电路101而言当输出电压范围在+/-IOV时，第一开关电路102 的第一固定触点与活动触点接通；当输出电压范围在+/-10 +/-20V时，第一开关电 路102的第二固定触点与活动触点接通。[0052]对于模数转换电路201而言当采样电压范围在+/-IOV时，第五开关电路203 的第一固定触点与活动触点接通；当采样电压范围在+/-10 +/-20V时，第五开关电 路203的第二固定触点与活动触点接通。[0053]该精准测量单元的技术参数指标如下所述[0054]1、输出电压[0055]范围+/-18V；精度2mV ；[0056]2、采样电流[0057]范围+/-20uA，+/_200uA，+/-2mA,+/"200mA, +/-IA ；[0058]精度10nA，IOnA,IOOnA, IOOuA, 500uA ；[0059]3、供电电流[0060]范围+/-20uA，+/_200uA，+/-2mA,+/"200mA, +/-IA ；[0061]精度10nA，IOnA,IOOnA, IOOuA, 500uA ；[0062]4、采样电压[0063]范围+/-18V；精度2mV。[0064]本实用新型实施例还提供一种包括上述精准测量单元的测试系统。[0065]在本实用新型实施例中，精准测量单元包括供电�？楹筒裳？椋┑缒？椴� 用数模转换电路和运算放大器构成，可以实现高电压、大电流的输出，采样模块采用模 数转换电路和运算放大器构成，可以实现宽量程测量，满足了被测芯片的要求。[0066]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在 本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用 新型的保护范围之内。
权利要求1.一种精准测量单元，其特征在于，所述精准测量单元包括与测量控制�？榱樱徊庑酒┑绲墓┑缒？椋灰约胺直鹩胨霰徊庑酒凸┑缒？榱樱杉徊庑酒牡缪购偷缌髦蹈霾饬靠� 制模块的采样�？椋凰龉┑缒？榘ń霾饬靠刂颇？槭涑龅目刂菩藕庞墒至孔晃Ｄ饬康氖Ｗ坏缏�、第一 运算放大器、第一开关电路、第二运算放大器、对输出给所述被测芯片的电流进行限制 和采集的限流采集电路；所述数模转换电路的输入端接所述测量控制模块，所述数模转换电路的第一输出端 和第二输出端分别接所述第一运算放大器的同相输入端和反相输入端，所述第一开关电 路的第一固定触点接数模转换电路的第一输出端，所述第一开关电路的第二固定触点接 第一运算放大器的输出端，所述第一开关电路的活动触点接所述第二运算放大器的同相 输入端，所述第二运算放大器的输出端接所述限流采集电路的输入端，所述限流采集电 路的输出端接所述被测芯片。
2.如权利要求1所述的精准测量单元，其特征在于，所述限流采集电路包括第二开关电路、第三开关电路、电阻R1、电阻R2、电阻R3、电阻R4和电阻R5;所述第二开关电路的活动触点为限流采集电路的输入端，所述第二开关电路的第一 固定触点接所述第三开关电路的活动触点，所述第三开关电路的第一固定触点、第二固 定触点、第三固定触点和第四固定触点分别接电阻R1、电阻R2、电阻R3和电阻R4的 第一端，所述第二开关电路的第二固定触点接所述电阻R5的第一端，所述电阻R1、电阻 R2、电阻R3、电阻R4和电阻R5的第二端连接在一起为限流采集电路的输出端。
3.如权利要求1所述的精准测量单元，其特征在于，所述采样�？榘Ｊ坏缏�、第三运算放大器、第四运算放大器、第五运算放大器、第四开关电 路、第五开关电路、第六开关电路、电阻R6、电阻R7和电阻R8;所述第三运算放大器的同相输入端和反相输入端分别接所述限流采集电路的输入端 和输出端，所述第三运算放大器的输出端接第四开关电路的第一固定触点，所述第四运 算放大器的同相输入端接所述被测芯片，所述第四运算放大器的反相输入端同时接所述 第四运算放大器的输出端和第四开关电路的第二固定触点，所述第四开关电路的活动触 点接所述第五开关电路的活动触点，所述第五开关电路的第一固定触点接模数转换电路 的第一输入端，所述第五开关电路的第二固定触点通过电阻R7接第五运算放大器的同相 输入端，所述第五运算放大器的同相输入端通过电阻R8接地，所述第五运算放大器的反 相输入端通过电阻R6同时接第五运算放大器的输出端和模数转换电路的第二输入端，所 述模数转换电路的输出端接测量控制�？椋龅诹氐缏返幕疃サ憬拥诙怂惴� 大器的反相输入端，所述第六开关电路的第一固定触点接第三运算放大器的输出端，所 述第六开关电路的第二固定触点接被测芯片。
4.如权利要求1所述的精准测量单元，其特征在于，所述数模转换电路采用 DAC7744。
5.如权利要求3所述的精准测量单元，其特征在于，所述模数转换电路采用AD974。
6.如权利要求1所述的精准测量单元，其特征在于，所述第一开关电路采用继电器。
7.如权利要求2所述的精准测量单元，其特征在于，所述第二开关电路和第三开关电 路均采用继电器。
8.如权利要求3所述的精准测量单元，其特征在于，所述第四开关电路、第五开关电 路和第六开关电路均采用继电器。
9.一种测试系统，其特征在于，所述测试系统包括如权利要求1-8任一项所述的精准测量单元。
专利摘要本实用新型适用于测量技术领域，提供了一种精准测量单元及测试系统，精准测量单元包括供电�？楹筒裳？椤Ｔ诒臼涤眯滦椭校疾饬康ピü┑缒？楹筒裳？椋┑缒？椴捎檬Ｗ坏缏泛驮怂惴糯笃鞴钩桑梢允迪指叩缪�、大电流的输出，满足了被测芯片的要求。
文档编号G01R31/28GK201804080SQ20102050757
公开日2011年4月20日 申请日期2010年8月27日 优先权日2010年8月27日
发明者方盼, 李志强 申请人:深圳安博电子有限公司
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
