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专利名称：传感器元件及其制造方法、传感器装置以及电子设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种传感器元件、传感器元件的制造方法、传感器装置以及电子设备。
背景技术：
作为传感器元件，已知一种角速度传感器(振动陀螺传感器)，其被用于例如车辆中的车身控制、车辆导航系统的本车位置检测、数码照相机或摄像机等的振动控制补正(所谓的手抖补正)等，并对角速度、加速度等的物理量进行检测(例如，参照专利文献I)。例如，专利文献I所记载的角速度传感器具有音叉，所述音叉通过两个臂、和对该两个臂的一端彼此进行连接的连接部而构成。此外，在专利文献I所记载的角速度传感器中，音叉由非压电体材料构成，并且在各个臂上分别设置有通过压电薄膜插入在一对电极之间而构成的驱动部以及检测部。在这种专利文献I所记载的角速度传感器中，通过向驱动部的一对电极之间施加电压，从而使臂进行弯曲振动(驱动)。而且，当在该驱动状态下，臂受到绕沿着其延伸方向的轴线的角速度时，将由于科里奥利力，而使臂向与前文所述的驱动方向正交的方向挠曲，从而由检测部的一对电极检测出对应于该挠曲量的电荷。根据该被检测出的电荷，而能够对角速度进行检测。然而，如前文所述的具有两个臂的音叉一般通过对基板进行蚀刻加工而形成。此时，由于该基板的蚀刻各向异性或加工工艺的误差等，而难以使音叉的尺寸与设计一致。因此，存在如下的情况，即，音叉成为非预期的形状，从而即使在臂未受到角速度的状态下，臂也向与驱动方向不同的方向进行挠曲。当对随着这种臂的挠曲而由检测部的一对电极产生的电荷进行检测时，将导致检测精度的降低。因此，在专利文献I所记载的角速度传感器中，通过对检测部的一对电极中的一个电极进行部分去除，从而对在臂未受到角速度的状态下由检测部的一对电极输出的电荷
量进行调节。但是，在专利文献I所记载的角速度传感器中，存在难以高精度地实施对由检测部的一对电极输出的电荷量的调节的问题。专利文献1:日本特开2008-14887号公报

发明内容
本发明的目的在于，提供一种能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度的传感器元件、传感器元件的制造方法以及传感器装置，并且提供一种具备所涉及的传感器装置的、可靠性较高的电子设备。本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的发明，其能够作为以下的方式或应用例而实现。应用例I本发明的传感器元件的特征在于，具备基部；驱动用振动臂，其从所述基部延イ申，并进行驱动振动；振动臂，其从所述基部延伸，井随着所述驱动用振动臂的驱动振动而进行振动；检测部，其包括检测用电极，所述检测用电极根据被施加于所述驱动用振动臂的物理量而输出信号，在所述振动臂上设置有电极，所述电极与所述检测用电极电连接，并且产生与在所述驱动用振动臂上未施加有物理量时由所述检测用电极产生的电荷极性相反的电荷，所述电极包括共用部，其沿着所述振动臂的延伸方向而设置；多个分支部，其从所述共用部分支。根据以此种方式构成的传感器元件，能够通过针对于由驱动用振动臂的截面非对称而引起的检测用电极的泄漏输出，使设置在振动臂上的电极产生相反极性的电荷，从而抵消泄漏输出而作为传感器输出来进行输出。而且，通过将电极的多个分支部中的至少ー个分支部的中途、或共用部的中途切断，从而能够减小由电极输出的电荷，进而对传感器输出进行调节。具体而言，能够将传感器输出调节(补正)为，在传感器兀件上未施加有物理量的状态下的传感器输出成为所需的基准值(例如零)。尤其是，由于多个分支部从共用部分支，因此，即使将任意的分支部切断，也能够维持将其他的分支部电连接于检测用电极的状态。即，能够将电极面积减小多个分支部中的任意分支部的量。而且，由于多个分支部沿着振动臂的延伸方向而并排设置，因此能够根据被切断的分支部的位置以及数量，而简单且高精度地对传感器输出进行调节。由于以上原因，本发明的传感器元件能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度。应用例2在本发明的传感器元件中，优选为，多个所述分支部电极宽度在所述顶端侧比在所述共用部侧大。 由此，能够确保调节之前(将共用部或分支部的中途切断之前)的电极的电极面积较大，从而増大通过对共用部或分支部的中途进行切断而实施的对传感器输出的调节幅度，且比较容易地对分支部的中途切断进行切断。应用例3在本发明的传感器元件中，优选为，多个所述分支部的电极面积互不相同。由此，能够容易地实施对电极的电荷量的调节。具体而言，只需预先计算出与电极面积相应的电荷量，并以与检测用电极的泄漏输出的电荷量相等的电荷量对分支部进行切断，便能够高精度地进行调节。应用例4在本发明的传感器元件中，优选为，多个所述分支部相对于所述振动臂的所述延伸方向而傾斜。由此，能够容易地将分支部的中途切断。具体而言，在使用激光等来对分支部进行切断时，由于无论使激光在X轴方向或y轴方向中的哪个方向上进行移动，均能够将分支部切断，从而由于无需考虑元件相对于激光的配置方向，因此提高了制造效率。应用例5在本发明的传感器元件中，优选为，多个所述分支部分别在所述共用部的两侧分支。
由此，能够防止或抑制共用部作为调节用电极而发挥功能的情況。因此，能够使传感器输出的调节较为容易。此外，能够确保调节前(将共用部或分支部的中途切断之前)的调节用电极的电极面积较大。应用例6在本发明的传感器元件中，优选为，所述振动臂具有第一面、该第一面的相反侧的第二面、以及对所述第一面与所述第二面进行连结的侧面，所述电极在所述第一面以及所述第二面中的至少ー个面上设置有所述共用部以及多个所述分支部，并且在所述侧面上设置有侧面电极。通过将第二电极配置为，与第一电极的至少多个分支部的顶端对置，从而能够将于分支部与第二电极之间产生的电荷用作调节用。应用例7在本发明的传感器元件中，优选为，所述振动臂具备沿着所述延伸方向而设置的槽部，所述分支部的至少一部分被设置在所述槽部的壁面上。由此，能够缩短电极的分支部和与其接近的电极之间的距离，从而增大由电极输出的电荷。因此，能够增大传感器输出的调节幅度。应用例8在本发明的传感器元件中，优选为，所述共用部以及多个所述分支部分别被设置在所述第一面以及所述第二面上，设置在所述第一面上的多个所述分支部、以及设置在所述第二面上的多个所述分支部被设置为，在从所述第一面的法线方向观察时，至少一部分
相互不重叠。由此，能够使用激光而分别对设置在振动臂的表面上的分支部、和设置在振动臂的背面上的分支部进行切断。因此，能够更高精度地对传感器输出进行调节。应用例9在本发明的传感器元件中，优选为，所述检测部具备检测用振动臂，所述检测用振动臂从所述基部延伸，并根据被施加于所述驱动用振动臂的物理量而进行振动，所述检测用电极被设置在所述检测用振动臂上。由此，能够增大检测用电极的电极面积。因此，能够提高传感器元件的检测灵敏度。应用例10本发明的传感器元件的制造方法的特征在于，所述传感器元件具备基部；驱动用振动臂，其从所述基部延伸，并进行驱动振动；振动臂，其从所述基部延伸，井随着所述驱动用振动臂的驱动振动而进行振动；检测部，其包括检测用电极，所述检测用电极根据被施加于所述驱动用振动臂的物理量而输出信号，在所述振动臂上设置有电极，所述电极与所述检测用电极电连接，并且产生与在所述驱动用振动臂上未施加有物理量时由所述检测用电极产生的电荷极性相反的电荷，所述电极包括共用部，其沿着所述振动臂的延伸方向而设置；多个分支部，其从所述共用部分支，所述传感器元件的制造方法包括电荷调节エ序，在所述电荷调节エ序中，通过对所述分支部的中途、或所述共用部的中途进行切断，从而对在所述电极上产生的所述电荷进行调节。根据这种传感器元件的制造方法，能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度。
应用例11在本发明的传感器元件的制造方法中，优选为，在所述电荷调节エ序之前，包括对在未于所述驱动用振动臂上施加有物理量并通过通电而使所述驱动用振动臂进行振动的状态下，产生于所述检测用电极上的电荷进行测量的エ序；对所述振动臂的共振频率进行调节的エ序。由此，能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度。应用例12本发明的传感器装置的特征在于，具有本发明的传感器元件；使所述驱动用振动臂进行驱动的电路；对来自所述检测用电极的信号进行检测的电路。由此，能够提供廉价、且具有优异的检测灵敏度的传感器装置。应用例13本发明的电子设备的特征在干，具有本发明的传感器元件。由此，能够提供ー种具有优异的可靠性的电子设备。


图1为表示本发明的第一实施方式所涉及的传感器装置(电子装置)的概要结构的模式剖视图。图2为图1所示的传感器装置的俯视图。图3为表示在图1所示的传感器装置中所具备的传感器元件的俯视图。图4 Ca)为表示图3所示的传感器元件的驱动用振动臂的放大俯视图，图4 (b)为图4 (a)所示的驱动用振动臂的剖视图。图5 Ca)为表示图3所示的传感器元件的检测用振动臂的放大俯视图，图5 (b)为图5 (a)所示的检测用振动臂的剖视图。图6 Ca)为表示图3所示的传感器元件的调节用振动臂的放大俯视图，图6 (b)为图6 (a)所示的调节用振动臂的剖视图。图7为表示图3所示的传感器元件中的检测用电极以及调节用电极的连接状态的图。图8为用于对图3所示的传感器元件的动作进行说明的图。图9 (a)为表不图5所不的检测用电极的泄漏输出的图，图9 (b)为表不图6所示的调节用电极的输出的图。图10为表示本发明的传感器元件的特性调节方法的一个示例的流程图。图11为用于对本发明的传感器元件的特性调节方法的一个示例进行说明的图。图12为表示本发明的第二实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大俯视图。图13为表示本发明的第三实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大俯视图。图14为表示本发明的第四实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大俯视图。图15为表示本发明的第五实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大俯视图。图16 Ca)为表示本发明的第六实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大俯视图，图16 (b)为图16 (a)所示的调节用振动臂的剖视图。图17为表示本发明的第七实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大俯视图。图18为表示应用了本发明的电子设备的便携式(或笔记本式)的个人计算机的结构的立体图。图19为表示应用了本发明的电子设备的移动电话(也包括PHS (PersonalHandy-phone System :个人移动电话系统))的结构的立体图。图20为表示应用了本发明的电子设备的数码照相机的结构的立体图。
具体实施例方式以下，根据附图所示的实施方式，而对本发明的传感器元件、传感器元件的特性调节方法、传感器装置以及电子设备进行详细说明。第一实施方式首先，对本发明的第一实施方式进行说明。图1为表示本发明的第一实施方式所涉及的传感器装置(电子装置)的概要结构的模式剖视图，图2为图1所示的传感器装置的俯视图，图3为表示在图1所示的传感器装置中所具备的传感器元件的俯视图，图4 Ca)为表示图3所示的传感器元件的驱动用振动臂的放大俯视图，图4 (b)为图4 (a)所示的驱动用振动臂的剖视图，图5 (a)为表示图3所示的传感器元件的检测用振动臂的放大俯视图，图5 (b)为图5 (a)所示的检测用振动臂的剖视图，图6 (a)为表示图3所示的传感器元件的调节用振动臂的放大俯视图，图6 (b)为图6 Ca)所示的调节用振动臂的剖视图，图7为表示图3所示的传感器元件中的检测用电极以及调节用电极的连接状态的图，图8为用于对图3所示的传感器元件的动作进行说明的图，图9 (a)为表示图5所示的检测用电极的泄漏输出的图，图9 (b)为表示图6所示的调节用电极的输出的图。另外，在下文中，为了便于说明，在图1 7中，作为相互正交的三个轴，图示了 X轴、y轴以及z轴，并将与X轴平行的方向称为“X轴方向”，将与y轴平行的方向称为“y轴方向”，将与z轴平行的方向称为“z轴方向”。此外，也将+ z轴侧称为“上”，将ー z轴侧称为“下”。传感器装置图1以及图2所示的传感器装置I为，对角速度进行检测的陀螺传感器。这种传感器装置I能够用于，例如摄像设备的手抖补正、使用了 GPS (GlobalPositioning System :全球定位系统)卫星信号的移动体导航系统中的车辆等的姿态检测、姿态控制等。如图1以及图2所示，该传感器装置I具有传感器元件2 ；IC (IntegratedCircuit :集成电路)芯片3 ;封装件4，其对传感器元件2和IC芯片3进行收纳。以下，对构成传感器装置I的各个部分依次进行说明。传感器元件2
传感器元件2为，对绕一个轴的角速度进行检测的陀螺传感器元件。如图3所示，该传感器元件2具有基部21 ; —对驱动用振动臂221、222 ; —对检测用振动臂231、232 ; —对调节用振动臂(振动臂)241、242 ;支承部25 ;四个连结部261、262、263,264 ;驱动用电极组51、52 ;检测用电极组53、54 ;调节用电极组55、56。在本实施方式中，基部21、一对驱动用振动臂221、222、一对检测用振动臂231、232、一对调节用振动臂241、242、支承部25以及四个连结部261、262、263、264由压电体材料一体地形成。作为这种压电体材料，虽然并不被特别限定，但优选使用水晶。由此，能够使传感器元件2的特性较为优异。水晶具有相互正交的X轴(电轴)、Y轴(机械轴)以及Z轴(光学轴)。基部21、一对驱动用振动臂221、222、一对检测用振动臂231、232、一对调节用振动臂241、242、支承部25以及四个连结部261、262、263、264例如能够通过对如下基板进行蚀刻加工而形成，所述基板由Z轴存在于厚度方向上且具有与X轴以及Y轴平行的板面的水晶构成。所涉及的基板的厚度根据传感器元件2的振荡频率(共振频率)、外形尺寸以及加工性等而被适当设定。另外，在下文中，以基部21、一对驱动用振动臂221、222、一对检测用振动臂231、232、ー对调节用振动臂241、242、支承部25以及四个连结部261、262、263、264由水晶一体地构成的情况为示例而进行说明。基部21经由四个连结部261、262、263、264而被支承在支承部25上。四个连结部261、262、263、264分别呈长条状，且一端与基部21连结，另一端与支承部25连结。驱动用振动臂221、222分别从基部21向y轴方向(+ y轴方向)延伸。此外，驱动用振动臂221、222分别沿着水晶的Y轴延伸。而且，驱动用振动臂221、222的横截面分别呈由与X轴平行的一对边和与z轴平行的一对边构成的矩形。而且，在驱动用振动臂221上设置有驱动用电极组51，同样地，在驱动用振动臂222上设置有驱动用电极组52。以下，代表性地对驱动用电极组51进行说明。另外，关于驱动用电极组52，由干与驱动用电极组51相同，因此省略其说明。如图4 (a)、(b)所示，驱动用电极组51通过被设置在驱动用振动臂221的上表面上的驱动用电极511、被设置在驱动用振动臂221的下表面上的驱动用电极512、被设置在驱动用振动臂221的ー个(图4中的左側)侧面上的驱动用电极513、以及被设置在驱动用振动臂221的另ー个(图4中的右側)侧面上的驱动用电极514而构成。驱动用电极511以及驱动用电极512以相互成为相同的电位的方式，经由未图示的配线而相互电连接。此外，驱动用电极513以及驱动用电极514以相互成为相同的电位的方式，经由未图示的配线而相互电连接。这种驱动用电极511、512经由未图示的配线，而与图3所示的、被设置在支承部25上的端子57a电连接。此外，驱动用电极513、514经由未图示的配线，而与图3所示的、被设置在支承部25上的端子57b电连接。检测用振动臂231、232分别从基部21向y轴方向(一 y轴方向)延伸。此外，检测用振动臂231、232分别沿着水晶的Y轴而延伸。而且，检测用振动臂231、232的横截面分别呈由与X轴平行的一对边和与z轴平行的一对边构成的矩形。这种检测用振动臂231、232为，分别根据被施加于驱动用振动臂221、222的物理量而进行振动的构件。
而且，在检测用振动臂231上设置有检测用电极组53，同样地，在检测用振动臂232上设置有检测用电极组54。如此，通过在作为独立于驱动用振动臂221、222而设置的检测用振动臂231、232上设置检测用电极组53、54，从而能够增大检测用电极组53、54的检测用电极的电极面积(作为电极而发挥功能的部分的面积)。因此，能够提高传感器元件2的检测灵敏度。在此，检测用振动臂231以及检测用电极组53构成检测部。同样地，检测用振动臂232以及检测用电极组54也构成检测部。以下，代表性地对检测用电极组53进行说明。另外，关于检测用电极组54，由干与检测用电极组53相同，因此省略其说明。如图5 (a)、(b)所示，检测用电极组53通过被设置在检测用振动臂231的上表面上的检测用电极531、532、和被设置在检测用振动臂231的下表面上的检测用电极533、534而构成。此处，检测用电极531、533分别被设置在检测用振动臂231的宽度方向上的ー侧(图5中的左側)，此外，检测用电极532、534分别被设置在检测用振动臂231的宽度方向上的另ー侧(图5中的右側)。检测用电极531以及检测用电极534以相互成为相同的电位的方式，经由未图示的配线而相互电连接。此外，检测用电极532以及检测用电极533以相互成为相同的电位的方式，经由未图示的配线而相互电连接。在此，检测用电极531、534以及检测用电极532、533成对。这种检测用电极531、534经由未图示的配线，而与图3所示的、被设置在支承部25上的端子57c电连接。此外，检测用电极532、533经由未图示的配线，而与图3所示的、被设置在支承部25上的端子57e电连接。另外，检测用电极组54经由未图示的配线，而与图3所示的、被设置在支承部25上的端子57d、57f电连接。调节用振动臂241、242分别从基部21向y轴方向延伸。此外，调节用振动臂241、242分别沿着水晶的Y轴而延伸。而且，调节用振动臂241、242的横截面分别呈由与x轴平行的一对边和与z轴平行的一对边构成的矩形。调节用振动臂241、242分别为矩形，且具有表面(第一面)、背面(第二面)、以及对表面和背面进行连结的侧面。这种调节用振动臂241、242被设置为，与前文所述的驱动用振动臂221、222平行。即，驱动用振动臂221、222以及调节用振动臂241、242在相互平行的方向上延伸。由此，当由水晶来构成驱动用振动臂221、222以及调节用振动臂241、242等时，能够将驱动用振动臂221、222以及调节用振动臂241、242构成为分别沿着水晶的Y轴而延伸，从而使驱动用振动臂221、222高效地进行振动，并且通过简单的结构而使后文所述的调节用电极551 554产生电荷。而且，在调节用振动臂241上设置有调节用电极组55，同样地，在调节用振动臂242上设置有调节用电极组56。以下，代表性地对调节用电极组55进行说明。另外，关于调节用电极组56，由干与调节用电极组55相同，因此省略其说明。如图6 (a)、(b)所示，调节用电极组55通过被设置在调节用振动臂241的上表面上的调节用电极551、被设置在调节用振动臂241的下表面上的调节用电极552、被设置在调节用振动臂241的ー个(图6中的左側)侧面上的调节用电极(侧面电极)553、以及被设置在调节用振动臂241的另ー个(图6中的右側)侧面上的调节用电极(侧面电极)554而构成。调节用电极551以及调节用电极552被形成为，在俯视观察时相互重叠。S卩，调节用电极551以及调节用电极552被形成为，在俯视观察时彼此的外形相一致。根据以这种方式形成的调节用电极551以及调节用电极552，在如后文所述这样将调节用电极551的分支部61切断时，也能够同时切断与该被切断的分支部61相对应的调节用电极552的分支部(未图示)。调节用电极551以及调节用电极552以相互成为相同的电位的方式，经由未图示的配线而相互电连接。此外，调节用电极553以及调节用电极554以相互成为相同的电位的方式而电连接。在此，调节用电极551、552以及调节用电极553、554成对。这种调节用电极551、552经由未图示的配线，而与前文所述的检测用电极532、533 —起，与图3所示的、被设置在支承部25上的端子57e电连接。此外，调节用电极553、554经由未图示的配线，而与前文所述的检测用电极531、534—起，与图3所示的、被设置在支承部25上的端子57c电连接。另外，调节用电极组56经由未图示的配线，而与检测用电极组54 —起，与图3所示的、被设置在支承部25上的端子57d、57f电连接。如图7所示，在具有这种调节用电极551 554的传感器元件2中，能够将在检测用电极531、534以及检测用电极532、533上产生的电荷量、与在调节用电极551、552和调节用电极553、554上产生的电荷量相加而得到的值，作为传感器输出而从端子57c、57e输出。

在此，由于在调节用电极551、552以及调节用电极553、554上产生的电荷，与在检测用电极531、534以及检测用电极532、533上产生的电荷为相反极性，因此，将在检测用电极531、534以及检测用电极532、533上产生的电荷中的至少一部分电荷抵消。而且，通过对调节用电极551、552的一部分进行去除，从而能够对传感器输出进行调节。以下，对调节用电极551进行详细叙述。另外，由于调节用电极552与调节用电极551相同，因此省略其说明。如图6 (a)所示，调节用电极551具备共用部60和多个分支部61。共用部60与前文所述的检测用电极531、534电连接。此外，多个分支部61从共用部60分支且沿着调节用振动臂241的延伸方向而并排设置。这种调节用电极551、552能够通过对多个分支部61中的至少ー个分支部61的中途、或者共用部60的中途进行切断，从而减少调节用电极551、552以及调节用电极553、554之间的电荷量，进而对传感器输出进行调节。例如，能够将传感器输出调节(补正)为，在传感器元件2上未施加有物理量的状态下的传感器输出(以下，也称为“零点输出”)成为零。尤其是，由于多个分支部61从共用部60分支，因此即使对任意的分支部61进行切断，也能够维持其他的分支部61与共用部60电连接的状态。即，能够将调节用电极551的面积减少多个分支部61中的任意分支部61的量。而且，由于多个分支部61沿着调节用振动臂241的延伸方向而并排设置，因此能够根据被切断的分支部61的位置以及数量，而容易并且高精度地对传感器输出进行调节。在本实施方式中，共用部60沿着调节用振动臂241的延伸方向而延伸，多个分支部61从共用部60的长度方向上的互不相同的多个部位起分支。由此，能够简化调节用电极551的结构。在本实施方式中，如图6 (a)所示，在俯视观察时(从z轴方向观察时)，共用部60偏置于调节用振动臂241的宽度方向上的ー侧。此外，共用部60被形成为狭窄的宽度。由此，能够比较容易地将共用部60的中途切断。此外，各个分支部61具有宽度狭窄部62，其以狭窄的宽度被形成在共用部60侧；宽度宽大部63，其以宽大的宽度被形成在与共用部60相反的ー侧。如此，由于各个分支部61具有宽度宽大部63，从而能够确保调节之前(将共用部60或分支部61的中途切断之前)的调节用电极551的电极面积较大，进而増大通过共用部60或分支部61的中途的切断而实施的对传感器输出的调节幅度。此外，由于各个分支部61具有宽度狭窄部62，从而能够比较容易地将分支部61的中途切断。此外，多个宽度狭窄部62以相互平行的方式而设置。此外，各个宽度狭窄部62在与调节用振动臂241的延伸方向正交的方向、即X轴方向上延伸。此外，多个分支部61被形成为，相互为相同的尺寸。此外，多个分支部61在调节用振动臂241的延伸方向、即y轴方向上，以等间距并排设置。在以这种方式构成的传感器元件2中，通过向端子57a和端子57b之间施加驱动信号，从而如图8所示，驱动用振动臂221和驱动用振动臂222以相互接近、远离的方式而进行弯曲振动(驱动振动)。即，交替反复如下两个状态，所述两个状态为，驱动用振动臂221向图8所示的箭头标记Al的方向弯曲，且驱动用振动臂222向图8所示的箭头标记A2的方向弯曲的状态、和驱动用振动臂221向图8所示的箭头标记BI的方向弯曲，且驱动用振动臂222向图8所示的箭头标记B2的方向弯曲的状态。当以这种方式而使驱动用振动臂221、222进行驱动振动的状态下，向传感器元件2施加绕y轴的角速度《时，驱动用振动臂221、222将通过科里奥利力，而在z轴方向上相互向相反侧进行弯曲振动。随之，检测用振动臂231、232将在z轴方向上相互向相反侧进行弯曲振动(检测振动)。即，交替反复如下两个状态，所述两个状态为，检测用振动臂231向图8所示的箭头标记Cl的方向弯曲，且检测用振动臂232向图8所示的箭头标记C2的方向弯曲的状态、和检测用振动臂231向图8所示的箭头标记Dl的方向弯曲，且检测用振动臂232向图8所示的箭头标记D2的方向弯曲的状态。通过对由于这种检测用振动臂231、232的检测振动而产生于检测用电极组53、54上的电荷进行检测，从而能够求出施加于传感器元件2的角速度《。此时，调节用振动臂241、242也随着驱动用振动臂221、222的驱动振动，而在相互接近、远离的方向上进行弯曲振动。在所涉及的传感器元件2中，例如当由于制造时的误差而导致驱动用振动臂221、222的横截面形状与设计不一致时，在于传感器元件2上未施加有物理量并通过通电而使驱动用振动臂221、222振动的状态下，如图9 (a)所示，将在检测用电极531、534以及检测用电极532、533之间产生成为泄漏输出S的电荷。此外，在传感器元件2中，无论在传感器元件2上是否施加有物理量，均在通过通电而使驱动用振动臂221、222进行振动的状态下，如图9 (b)所示，在调节用电极551、552以及调节用电极553、554之间产生成为调节用输出T的电荷。
泄漏输出S和调节用输出Tl相互为相反极性，因此通过使调节用输出T的绝对值与泄漏输出S的绝对值相等，从而能够使传感器元件2的零点输出成为零。因此，通过将调节用电极551、552的一部分去除，从而减少调节用电极551、552和调节用电极553、554之间的电荷量，进而对传感器输出进行调节。即，传感器元件2的制造方法具有电荷调节エ序，在所述电荷调节エ序中，通过对分支部61的中途、或共用部60的中途进行切断，从而对在调节用电极551、552上产生的电荷进行调节。此处，列举具体示例而对电荷调节エ序(传感器元件2的特性调节方法)进行说明。另外，虽然在下文中，代表性地对与检测用振动臂231以及调节用振动臂241相关的特性调节进行说明，但对与检测用振动臂232以及调节用振动臂242相关的特性调节而言也是相同的。图10为表示本发明的传感器元件的特性调节方法的一个示例的流程图，图11为用于对本发明的传感器元件的特性调节方法的一个示例进行说明的图。在传感器元件2的特性调节方法中，准备前文所述的传感器元件2，通过对传感器元件2的多个分支部61中的至少ー个分支部61的中途、或共用部60的中途进行切断，从而对传感器元件2的特性进行调节。根据这种传感器元件2的特性调节方法，能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度。在实施所涉及的特性调节时，对端子57c、57e之间的电荷量进行测量，井根据该测量结果来实施所述切断。由此，能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度。更具体地进行说明，如图10所示，首先对泄漏输出(零点输出)进行测量(步骤SI)。然后，根据该测量結果，而对是否需要进行粗调节进行判断(步骤S2)。具体而言，当零点输出在第一设定值以上时，判断为需要进行粗调节，而当零点输出小于第一设定值时，判断为不需要进行粗调节。当判断为需要进行粗调节时，实施粗调节(步骤S3)。具体而言，例如，如图11 (a)所示，将调节用电极551的多个分支部61中位于调节用振动臂241的基端侧的分支部61切断所需的数量。此处，通过针对于每个分支部61，利用实验或计算等而预先求出由于切断而产生的调节用输出T的减少量，从而能够根据在步骤SI中所測量出的零点输出，而适当地对需要切断的分支部61的数量以及位置进行选择。此外，分支部61的切断并不被特别限定，例如可以使用激光来实施。此外，当判断为需要进行粗调节时，根据需要，通过对被设置在调节用振动臂241的顶端部上的质量调节用膜(未图示)的一部分或全部进行去除，从而对调节用振动臂241的共振频率进行调节。即，根据需要，在电荷调节エ序之前，包括对在通过通电而使驱动用振动臂221、222进行振动的状态下，对在检测用电极531 534上产生的电荷进行测量的エ序；根据该测量结果而对调节用振动臂241的共振频率进行调节的エ序。由此，能够增大传感器输出的调节幅度。所涉及的质量调节用膜的一部分或全部的去除并不被特别限定，例如可以使用激光来实施。在所涉及的粗调节之后，再次返回至步骤SI，而对泄漏输出(零点输出)进行测量。而且，在零点输出成为小于第一设定值之前，交替反复对零点输出的測量和粗调节。另ー方面，当判断为不需要进行粗调节时，根据在步骤SI中的測量結果，而对是否需要进行微调节进行判断(步骤S4)。具体而言，当零点输出在小于第一设定值的第二设定值以上时，判断为需要进行微调节，而当零点输出小于第二设定值时，判断为不需要进行微调节。当判断为需要进行微调节时，实施微调节(步骤S5)。具体而言，例如，如图11 (b)或图11 (c)所示，将调节用电极551的多个分支部61中位于调节用振动臂241的顶端侧的分支部61切断所需的数量。另外，图11 (b)图示了在未实施粗调节的条件下实施了微调节的情况，图11 (c)图示了在实施粗调节之后实施了微调节的情況。此外，虽然在图11(b)、图11 (c)中，图示了对分支部61的宽度狭窄部62进行切断的情况，但也可以对共用部60的中途进行切断。由此，能够通过一次切断而汇总多个分支部61的量，而减小调节用电极551的电极面积。此处，与粗调节相同，通过针对于各个分支部61，利用实验或计算等而预先求出由于切断而产生的调节用输出T的减少量，从而能够根据在步骤SI中所測量出的零点输出，而适当地对需要切断的分支部61的数量以及位置进行选择。在所涉及的微调节之后，再次返回至步骤SI，而对泄漏输出(零点输出)进行检測。而且，在零点输出成为小于第二设定值之前，交替反复对零点输出的測量和微调节。另ー方面，当判断为不需要进行微调节时，结束传感器元件2的特性调节。根据如以上所说明的传感器2的特性调节方法，由于能够根据需要而任意选择并实施如前文所述的粗调节以及微调节，因而能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度。IC 芯片 3图1以及图2所示的IC芯片3为ー种电子部件，其具有对前文所述的传感器进行驱动的功能、和对来自传感器元件2的输出(传感器输出)进行检测的功能。虽然未图示，但这种IC芯片3具备驱动电路，其对传感器元件2进行驱动；检测电路，其对来自传感器元件2的输出进行检测。此外，在IC芯片3上设置有多个连接端子31。封装件4如图1以及图2所不，封装件4具备基座部件41(基座),其具有向上方开放的凹部；盖部件42 (盖体)，其以覆盖该基座部件41的凹部的方式而设置。由此，在基座部件41和盖部件42之间，形成有用于收纳传感器元件2以及IC芯片3的内部空间。基座部件41通过平板状的板体411 (板部)、和与板体411的上表面的外周部接合的框体412 (框部)而构成。这种基座部件41例如由氧化铝质烧结体、水晶、玻璃等构成。如图1所示,在基座部件41的上表面(被盖部件42所覆盖ー侧的表面)上，通过如包括例如环氧树脂、丙烯酸类树脂等而构成的粘合剂这样的接合部件81，而接合有前文所述的传感器元件2的支承部25。由此，传感器元件2相对于基座部件41而被支承并固定。此外，在基座部件41的上表面上，通过如包括例如环氧树脂、丙烯酸类树脂等而构成的粘合剂这样的接合部件82，而接合有前文所述的IC芯片3。由此，IC芯片3相对于基座部件41而被支承并固定。而且，如图1以及图2所示，在基座部件41的上表面上，设置有多个内部端子71以及多个内部端子72。在多个内部端子71上，通过由例如接合线构成的配线，而电连接有前文所述的传感器元件2的端子57a 57f。该多个内部端子71经由未图示的配线，而与多个内部端子72电连接。此外，在多个内部端子72上，通过由例如接合线构成的配线，而电连接有前文所述的IC芯片3的多个连接端子31。另ー方面,如图1所示,在基座部件41的下表面(封装件4的底面)上设置有在被安装于组装有传感器装置I的设备(外部设备)中时所使用的多个外部端子73。该多个外部端子73经由未图示的内部配线，而与前文所述的内部端子72电连接。由此，IC芯片3和多个外部端子73被电连接。这种各个内部端子71、72以及各个外部端子73分别由金属被膜构成，所述金属被膜例如通过电镀而在钨(W)等的金属层上层叠镍(Ni)、金(Au)等的被膜而形成。在这种基座部件41上气密性地接合有盖部件42。由此，封装件4内被气密密封。该盖部件42例如由与基座部件41相同的材料、或者铁镍钴合金、42合金、不锈钢等的金属构成。作为基座部件41与盖部件42的接合方法，并不被特别限定，例如可以使用通过由焊料、固化性树脂等构成的粘合剂而实施的接合方法，缝焊、激光焊接等的焊接方法等。由于所涉及的接合在减压环境下或惰性气体环境下实施，因此能够将封装件4内保持为减压状态或封入有惰性气体的状态。根据如以上所说明的第一实施方式所涉及的传感器装置I所具备的传感器元件2，能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度。此外，根据具备如前文所述的传感器元件2的传感器装置1，能够实现价格低廉，且具有优异的检测灵敏度的传感器装置。第二实施方式接下来，对本发明的第二实施方式进行说明。图12为表示本发明的第二实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大俯视图。本实施方式所涉及的传感器元件除调节用电极的形状有所不同以外，与前文所述的第一实施方式所涉及的传感器元件相同。另外，在以下的说明中，对于第二实施方式的传感器元件，以与前文所述的实施方式的不同点为中心进行说明，而对于相同的事项则省略其说明。此外，在图12中，对于与前文所述的实施方式相同的结构，标记了相同的符号。本实施方式的传感器元件具有图12所示的调节用振动臂241A。另外，虽然未图示，但所涉及的传感器元件与前文所述的第一实施方式相同，具有基部、一对驱动用振动臂以及一对检测用振动臂，此外，从所涉及的基部起，也延伸出与调节用振动臂241A成对的调节用振动臂。
在调节用振动臂241A上设置有调节用电极组55A。该调节用电极组55A通过被设置在调节用振动臂241A的上表面(表面)上的调节用电极551A、被设置在调节用振动臂241A的下表面(背面)上的调节用电极552A、被设置在调节用振动臂241A的一个侧面上的调节用电极553、和被设置在调节用振动臂241A的另ー个侧面上的调节用电极554而构成。调节用电极551A具备共用部60A和多个分支部61A。而且，各个分支部61A具有宽度狭窄部62A，其以狭窄的宽度被形成在共用部60A侧；宽度宽大部63A，其以宽大的宽度被形成在与共用部60A相反的ー侧。同样地，调节用电极552A具备共用部64和多个分支部65。而且各个分支部65具有宽度狭窄部66，其以狭窄的宽度被形成在共用部64侧；宽度宽大部67，其以宽大的宽度被形成在与共用部64相反的ー侧。这种调节用电极551A、552A具有在俯视观察吋，分支部6IA和分支部65相互不重叠的部分。即，设置在隔着调节用振动臂241的中心轴而相互对置的表面和背面上的多个分支部61A以及多个分支部65中，设置在表面上的多个分支部61A以及设置在背面上的多个分支部65被设置为，在从表面或背面的法线方向观察时，至少一部分彼此相互不重叠。更具体而言，该调节用电极551A、552A被形成为，在俯视观察吋，宽度狭窄部62A以及宽度狭窄部66相互不重叠。由此，即使在调节用电极551A以及调节用电极552A隔着调节用振动臂241A而相互対置，也能够使用激光而分别对调节用电极551A的分支部61A、和调节用电极552A的分支部65进行切断。因此，能够更高精度地对传感器输出进行调节。根据如以上所说明的第二实施方式所涉及的传感器元件，也能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度。第三实施方式接下来，对本发明的第三实施方式进行说明。图13为表示本发明的第三实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大俯视图。本实施方式所涉及的传感器元件除调节用电极的形状有所不同以外，与前文所述的第一实施方式所涉及的传感器元件相同。另外，在以下的说明中，对于第三实施方式的传感器元件，以与前文所述的实施方式的不同点为中心进行说明，而对于相同的事项则省略其说明。此外，在图13中，对于与前文所述的实施方式相同的结构，标记了相同的符号。本实施方式的传感器元件具有图13所示的调节用振动臂241B。另外，虽然未图示，但所涉及的传感器元件与前文所述的第一实施方式相同，具有基部、一对驱动用振动臂以及一对检测用振动臂，此外，从所涉及的基部起，也延伸出与调节用振动臂241B成对的调节用振动臂。在调节用振动臂241B上设置有调节用电极组55B。该调节用电极组55B通过被设置在调节用振动臂241B的上表面上的调节用电极551B、被设置在调节用振动臂241B的下表面上的调节用电极552B、被设置在调节用振动臂241B的一个侧面上的调节用电极553、和被设置在调节用振动臂241B的另ー个侧面上的调节用电极554而构成。
以下，对调节用电极551B进行详细叙述。另外，调节用电极552B与调节用电极551B相同。调节用电极551B具备共用部60B和多个分支部61B。而且，各个分支部61B具有宽度狭窄部62B，其以狭窄的宽度被形成在共用部60B侧；宽度宽大部63B，其以宽大的宽度被形成在与共用部60B相反的ー侧。多个宽度宽大部63B通过被设置在调节用振动臂241B的基端侧的宽度宽大部63B1 63B6、和被设置在调节用振动臂241B的顶端侧的多个宽度宽大部63B7 63B18而构成。宽度宽大部63B1 63B18从调节用振动臂241B的基端侧朝向顶端侧，以宽度宽大部63B1、宽度宽大部63B2、宽度宽大部63B3、宽度宽大部63B4、宽度宽大部63B5、宽度宽大部63B6、…宽度宽大部63B18的顺序而并排设置。各个宽度宽大部63B1 63B6的y轴方向上的宽度大于各个宽度宽大部63B7 63B18的y轴方向上的宽度。由此，各个宽度宽大部63B1 63B6的俯视观察时的面积(电极面积)大于各个宽度宽大部63B7 63B18的俯视观察时的面积(电极面积)。因此，能够增大通过对具有各个宽度宽大部63B1 63B6的分支部61B进行切断而产生的调节用输出的减少量(即，在粗调节中的调节量)。此外，能够减小通过对具有各个宽度宽大部63B7 63B18的分支部61B进行切断而产生的调节用输出的减少量(即，在微调节中的调节量)。根据如以上所说明的第三实施方式所涉及的传感器元件，也能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度。第四实施方式接下来，对本发明的第四实施方式进行说明。图14为表示本发明的第四实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大俯视图。本实施方式所涉及的传感器元件除调节用电极的形状有所不同以外，与前文所述的第一实施方式所涉及的传感器元件相同。另外，在以下的说明中，对于第四实施方式的传感器元件，以与前文所述的实施方式的不同点为中心进行说明，而对于相同的事项则省略其说明。此外，在图14中，对与前文所述的实施方式相同的结构，标记了相同的符号。本实施方式的传感器元件具有图14所示的调节用振动臂241C。另外，虽然未图示，但所涉及的传感器元件与前文所述的第一实施方式相同，具有基部、一对驱动用振动臂以及一对检测用振动臂，此外，从所涉及的基部起，也延伸出与调节用振动臂241C成对的调节用振动臂。在调节用振动臂241C上设置有调节用电极组55C。该调节用电极组55C通过被设置在调节用振动臂241C的上表面上的调节用电极551C、被设置在调节用振动臂241C的下表面上的调节用电极552C、被设置在调节用振动臂241C的一个侧面上的调节用电极553、和被设置在调节用振动臂241C的另ー个侧面上的调节用电极554而构成。以下，对调节用电极551C进行详细叙述。另外，调节用电极552C与调节用电极551C相同。
调节用电极551C具备共用部60C和多个分支部61C。而且，各个分支部61C具有宽度狭窄部62C，其以狭窄的宽度被形成在共用部60C侧；宽度宽大部63C，其以宽大的宽度被形成在与共用部60C相反的ー侧。多个宽度宽大部63C通过被设置在调节用振动臂241C的基端侧的宽度宽大部63C1 63C5、和被设置在调节用振动臂241C的顶端侧的多个宽度宽大部63C6 63C9而构成。关于宽度宽大部63C1 63C5，在相互邻接的两个宽度宽大部63C中，调节用振动臂241C的顶端侧的宽度宽大部63C的y轴方向上的宽度大于基端侧的宽度宽大部63C的I轴方向上的宽度。由此，能够使通过对具有各个宽度宽大部63C1 63C5的分支部Cl进行切断而产生的调节用输出的减少量(即，在粗调节中的调节量)相等、或者使所涉及的减少量相互之间的差减小。其结果为，能够使粗调节较为容易。同样地，关于宽度宽大部63C6 63C9，在相互邻接的两个宽度宽大部63C中，调节用振动臂241C的顶端侧的宽度宽大部63C的y轴方向上的宽度大于基端侧的宽度宽大部63C的y轴方向上的宽度。由此，能够使通过对具有各个宽度宽大部63C6 63C9的分支部62C进行切断而产生的调节用输出的减少量(即，在微调节中的调节量)相等、或者使所涉及的减少量相互之间的差减小。其结果为，能够使微调节较为容易。根据如以上所说明的第四实施方式所涉及的传感器元件，也能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度。第五实施方式 接下来，对本发明的第五实施方式进行说明。图15为表示本发明的第五实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大俯视图。本实施方式所涉及的传感器元件除调节用电极的形状有所不同之外，与前文所述的第一实施方式所涉及的传感器元件相同。另外，在以下的说明中，对于第五实施方式的传感器元件，以与前文所述的实施方式的不同点为中心进行说明，而对于相同的事项则省略其说明。此外，在图15中，对于与前文所述的实施方式相同的结构，标记了相同的符号。本实施方式的传感器元件具有图15所示的调节用振动臂241D。另外，虽然未图示，但所涉及的传感器元件与前文所述的第一实施方式相同，具有基部、一对驱动用振动臂以及一对检测用振动臂，此外，从所涉及的基部起，也延伸出与调节用振动臂241D成对的调节用振动臂。在调节用振动臂241D上设置有调节用电极组55D。该调节用电极组5 通过被设置在调节用振动臂241D的上表面上的调节用电极551D、被设置在调节用振动臂241D的下表面上的调节用电极552D、被设置在调节用振动臂241D的一个侧面上的调节用电极553、和被设置在调节用振动臂241D的另ー个侧面上的调节用电极554而构成。以下，对调节用电极551D进行详细叙述。另外，调节用电极552D与调节用电极551D相同。调节用电极55ID具备共用部60D和多个分支部61D。
在俯视观察时，共用部60D被设置在调节用振动臂241D的宽度方向上的中央部处。而且，各个分支部61D具有宽度狭窄部62D，其以狭窄的宽度被形成在共用部60D侧；宽度宽大部63D，其以宽大的宽度被形成在与共用部60D相反的ー侧。这种分支部61D分别被设置在共用部60D的宽度方向上的ー侧以及另ー侧。由此，能够防止或抑制共用部60D作为调节用电极551D而发挥功能的情況。因此，能够使传感器输出的调节较为容易。此外，能够确保调节之前(将共用部或分支部的中途切断之前)的调节用电极55ID的电极面积较大。根据如以上所说明的第五实施方式所涉及的传感器元件，也能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度。第六实施方式接下来，对本发明的第六实施方式进行说明。图16为表示本发明的第六实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大俯视图。本实施方式所涉及的传感器元件除调节用电极的形状有所不同以外，与前文所述的第一实施方式所涉及的传感器元件相同。此外，本实施方式所涉及的传感器元件除调节用振动臂的横截面形状有所不同以外，与前文所述的第五实施方式所涉及的传感器元件相同。另外，在以下的说明中，对于第六实施方式的传感器元件，以与前文所述的实施方式的不同点为中心进行说明，而对于相同的事项则省略其说明。此外，在图16中，对于与前文所述的实施方式相同的结构，标记了相同的符号。本实施方式的传感器元件具有图16所示的调节用振动臂241E。另外，虽然未图示，但所涉及的传感器元件与前文所述的第一实施方式相同，具有基部、一对驱动用振动臂以及一对检测用振动臂，此外，从所涉及的基部起，也延伸出与调节用振动臂241E成对的调节用振动臂。调节用振动臂241E的横截面呈H字状。在这种调节用振动臂241E的上表面的宽度方向上的中央部处形成有沿着I轴方向而形成的槽部2411，同样地，在调节用振动臂241E的下表面的宽度方向上的中央部处形成有沿着I轴方向而形成的槽部2412。槽部2411、2412的横截面分别呈矩形，且具有与调节用振动臂241E的侧面平行的壁面。在这种调节用振动臂241E上设置有调节用电极组55E。该调节用电极组55E通过被设置在调节用振动臂241E的上表面上的调节用电极551E、被设置在调节用振动臂241E的下表面上的调节用电极552E、被设置在调节用振动臂241E的一个侧面上的调节用电极553、和被设置在调节用振动臂241E的另ー个侧面上的调节用电极554而构成。以下，对调节用电极551E进行详细叙述。另外，调节用电极552E与调节用电极551E相同。调节用电极55IE具备共用部60E和多个分支部61E。在俯视观察时，共用部60E被设置在调节用振动臂241E的宽度方向上的中央部处。而且，各个分支部61E具有宽度狭窄部62E，其以狭窄的宽度被形成在共用部60E侧；宽度宽大部63E，其以宽大的宽度被形成在与共用部60E相反的ー侧。这种分支部61E分别被设置在共用部60E的宽度方向上的ー侧以及另ー侧。尤其是，各个分支部61E的一部分被设置在槽部2411的壁面(与调节用振动臂241E的侧面平行的壁面)上。由此，能够增大从调节用电极551E输出的电荷。因此，能够增大传感器输出的调节幅度。根据如以上所说明的第六实施方式所涉及的传感器元件，也能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度。第七实施方式接下来，对本发明的第七实施方式进行说明。图17为表示本发明的第七实施方式所涉及的传感器元件的调节用振动臂的放大俯视图。本实施方式所涉及的传感器元件除调节用电极的形状有所不同以外，与前文所述的第一实施方式所涉及的传感器元件相同。此外，本实施方式所涉及的传感器元件除调节用电极的宽度狭窄部的朝向有所不同以外，与前文所述的第五实施方式所涉及的传感器元件相同。另外，在以下的说明中，对于第七实施方式的传感器元件，以与前文所述的实施方式的不同点为中心进行说明，而对于相同的事项则省略其说明。此外，在图17中，对于与前文所述的实施方式相同的结构，标记了相同的符号。本实施方式的传感器元件具有图17所示的调节用振动臂241F。另外，虽然未图示，但所涉及的传感器元件与前文所述的第一实施方式相同，具有基部、一对驱动用振动臂以及一对检测用振动臂，此外，从所涉及的基部起，也延伸出与调节用振动臂241F成对的调节用振动臂。在调节用振动臂241F上设置有调节用电极组55F。该调节用电极组55F通过被设置在调节用振动臂241F的上表面上的调节用电极551F、被设置在调节用振动臂241F的下表面上的调节用电极552F、被设置在调节用振动臂241F的一个侧面上的调节用电极553、被设置在调节用振动臂241F的另ー个侧面上的调节用电极554而构成。以下，对调节用电极551F进行详细叙述。另外，调节用电极552F与调节用电极551F相同。调节用电极551F具备共用部60F和多个分支部61F。在俯视观察时，共用部60F被设置在调节用振动臂241F的宽度方向上的中央部处。而且，各个分支部61F具有宽度狭窄部62F，其以狭窄的宽度被形成在共用部60F侧；宽度宽大部63F，其以宽大的宽度被形成在与共用部60F相反的ー侧。尤其是，各个宽度狭窄部63F在相对于调节用振动臂241F的延伸方向而倾斜的方向上延伸。由此，在使用激光来对宽度狭窄部62F进行切断时，无论使激光在X轴方向以及y轴方向中的哪个方向上扫描，均能够将宽度狭窄部62F切断。因此，能够较为容易地对分支部61F的中途进行切断。这种分支部61F分别被设置在共用部60F的宽度方向上的ー侧以及另ー侧。根据如以上所说明的第七实施方式所涉及的传感器元件，也能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度。如以上所说明的各个实施方式的传感器装置能够被组装到各种电子设备中而使用。根据这种电子设备，能够使可靠性较为优异。电子设备此处，根据图18 图20，而对具备本发明的电子装置的电子设备的ー个示例进行详细说明。图18为表示应用了本发明的电子设备的便携式(或笔记本式)的个人计算机的结构的立体图。在该图中，个人计算机1100通过具备键盘1102的主体部1104、和具备显示部100的显示单元1106而构成，并且显示単元1106以能够通过铰链结构部而相对于主体部1104进行旋转的方式被支承。在这种个人计算机1100中，内置有作为陀螺传感器而发挥功能的前文所述的传感器装置I。图19为表示应用了本发明的电子设备的移动电话(也包括PHS)的结构的立体图。在该图中，移动电话1200具备多个操作按钮1202、听筒1204以及话筒1206，并且在操作按钮1202和听筒1204之间配置有显示部100。在这种移动电话1200中，内置有作为陀螺传感器而发挥功能的前文所述的传感器装置I。图20为表示应用了本发明的电子设备的数码照相机的结构的立体图。另外，在该图中，对该数码照相机与外部设备的连接也简单地进行了图示。此处，通常的照相机通过被摄物体的光图像而对银盐感光胶片进行感光，与此相对，数码照相机1300通过CCD (Charge Coupled Device :电荷稱合装置)等的摄像元件而对被摄物体的光图像进行光电转换，从而生成摄像信号(图像信号)。在数码照相机1300的壳体(主体)1302的背面上设置有显示部100，并且成为根据由CXD产生的摄像信号来进行显示的结构，显示部100作为将被摄物体显示为电子图像的取景器而发挥功能。此外，在壳体的1302的正面侧(图中的背面侧)设置有包括光学透镜(摄像光学系统)及CXD等在内的受光单元1304。当摄影者对被显示在显示部上的被摄物体图像进行确认，并按下快门按钮1306吋，该时间点的CCD的摄像信号被输送并存储于存储器1308中。此外，在该数码照相机1300中，在壳体1302的侧面上设置有影像信号输出端子1312和数据通信用的输入输出端子1314。而且，如图所示，根据需要，而在影像信号输出端子1312上连接有影像监视器1430，在数据通信用的输入输出端子1314上连接有个人计算机1440。而且，成为如下的结构，即，通过预定的操作，从而使被存储于存储器1308中的摄像信号向影像监视器1430或个人计算机1440输出。
在这种数码照相机1300中，内置有作为陀螺传感器而发挥功能的前文所述的传感器装置I。另外，本发明的电子设备除了能够应用于图18的个人计算机(便携式个人计算机)、图19的移动电话、图20的数码照相机中之外，根据电子设备的类型，还能够应用于如下装置中，例如，车身姿态检测装置、指示器、头戴式显示器、喷墨式喷出装置(例如喷墨式打印机)、膝上型个人计算机、电视机、摄像机、录像机、汽车导航装置、寻呼机、电子记事本(也包括带有通信功能的产品)、电子词典、台式电子计算机、电子游戏设备、游戏用控制器、文字处理器、工作站、可视电话、防盗用视频监视器、电子双筒望远镜、POS (point of sale 销售点)終端、医疗设备(例如，电子体温计、血压计、血糖仪、心电图测量装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、鱼群探測器、各种测量设备、计量仪器类(例如，车辆、飞机、船舶的计量仪器类)、飞行模拟器等。以上，虽然根据图示的实施方式而对本发明的传感器元件、传感器元件的特性调节方法、传感器装置以及电子设备进行了说明，但本发明并不限定于此。此外，在本发明的传感器元件、传感器装置以及电子设备中，各个部分的结构可以置換为发挥相同的功能的任意的结构，此外，也可以添加任意的结构。此外，本发明的传感器元件、传感器装置以及电子设备也可以对前文所述的各个实施方式的任意结构彼此进行组合。此外，在本发明的传感器元件的特性调节方法中，可以追加任意的エ序。此外，虽然在前文所述的实施方式中，以将本发明适用于H型音叉的传感器元件中的情况为例而进行了说明，但本发明能够应用于双T型、双脚音叉、三脚音叉、梳齿型、正交型、棱柱型等各种传感器元件(陀螺元件)中。此外，驱动用振动臂、检测用振动臂以及调节用振动臂的数量分别可以为ー个或三个以上。此外，驱动用振动臂也可以兼作为检测用振动臂。此外，只要驱动用电极的数量、位置、形状、大小等为，能够通过通电而使驱动用振动臂振动的值，则并不限定于前文所述的实施方式。此外，只要检测用电极的数量、位置、形状、大小等为，能够电气性地对由于施加物理量而产生的驱动用振动臂的振动进行检测的值，则并不限定于前文所述的实施方式。此外，只要调节用电极的数量、位置、形状、大小等为，能够对随着调节用振动臂的驱动振动而产生的电荷进行输出的值，则并不限定于前文所述的实施方式。符号说明I…传感器装置；2…传感器兀件；3…IC芯片(电子部件)；4…封装件；21…基部；25…支承部；31…连接端子；41…基座部件；42…盖部件；51…驱动用电极组；52…驱动用电极组；53…检测用电极组；54…检测用电极组；55…调节用电极组；55A…调节用电极组；55B…调节用电极组；55C…调节用电极组；55D…调节用电极组；55E…调节用电极组；55F…调节用电极组；56…调节用电极组；57a…端子；57b…端子；57c…端子；57d…端子；57e…端子；57f…端子;60…共用部;60A…共用部；60B…共用部；60C…共用部；60D…共用部；60E…共用部；60F…共用部；61…分支部；61A…分支部；61B…分支部；610 分支部；61D…分支部；61E…分支部；61F…分支部；62…宽度狭窄部；62A…宽度狭窄部；62B-宽度狭窄部；62C…宽度狭窄部；62D…宽度狭窄部；62E…宽度狭窄部；62F…宽度狭窄部；63…宽度宽大部；63A…宽度宽大部；63B…宽度宽大部；63C…宽度宽大部；63D…宽度宽大部；63E…宽度宽大部；63F…宽度宽大部；64…共用部；65…分支部；66…宽度狭窄部；67…宽度宽大部；71内部端子；72 内部端子；73…外部端子；81…接合部件；82…接合部件；100…显示部；221…驱动用振动臂；222…驱动用振动臂；231…检测用振动臂；232…检测用振动臂；241…调节用振动臂；241A…调节用振动臂；241B…调节用振动臂；241C…调节用振动臂；241D…调节用振动臂；241E…调节用振动臂；241F…调节用振动臂；242…调节用振动臂；261、262、263、264…连结部；411…板体；412…框体；511…驱动用电极；512…驱动用电极；513…驱动用电极；514…驱动用电极；531…检测用电极；532…检测用电极；533…检测用电极；534…检测用电极；551…调节用电极；551A…调节用电极；551B…调节用电极；551C…调节用电极；551D…调节用电极；551E…调节用电极；551F…调节用电极；552…调节用电极；552A…调节用电极；552B…调节用电极；552C…调节用电极；552D…调节用电极；552E…调节用电极；552F…调节用电极；553…调节用电极；554…调节用电极；1100…个人计算机;1102…键盘;1104…主体部;1106…显示单元;1200…移动电话;1202…操作按钮;1204…听筒;1206…话筒;1300…数码照相机;1302…壳体;1304...受光单兀；1306…快门；1308…存储器；1312…影像信号输出端子；1314…输入输出端子；1430…影像监视器；1440…个人计算机；2411…槽部；2412…槽部;A1…箭头标记;A2…箭头标记；B1…箭头标记；B2…箭头标记；C1…箭头标记；C2…箭头标记；D1…箭头标记；D2…箭头标记；S…泄漏输出；S1…步骤；S2…步骤；S3…步骤；S4…步骤；S5…步骤；T…调节用输出；《… 角速度。
权利要求
1.一种传感器元件，其特征在于，具备 基部; 驱动用振动臂，其从所述基部延伸，并进行驱动振动； 振动臂，其从所述基部延伸，并随着所述驱动用振动臂的驱动振动而进行振动； 检测部，其包括检测用电极，所述检测用电极根据被施加于所述驱动用振动臂的物理量而输出信号， 在所述振动臂上设置有电极，所述电极与所述检测用电极电连接，并且产生与在所述驱动用振动臂上未施加有物理量时由所述检测用电极产生的电荷极性相反的电荷， 所述电极包括共用部，其沿着所述振动臂的延伸方向而设置；多个分支部，其从所述共用部分支。
2.如权利要求1所述的传感器元件，其中，多个所述分支部的电极宽度在顶端侧比在共用部侧大。
3.如权利要求1或2所述的传感器元件，其中，多个所述分支部的电极面积互不相同。
4.如权利要求1或2所述的传感器元件，其中，多个所述分支部相对于所述振动臂的所述延伸方向而倾斜。
5.如权利要求1或2所述的传感器元件，其中，多个所述分支部分别在所述共用部的两侧分支。
6.如权利要求1或2所述的传感器元件，其中， 所述振动臂具有第一面、该第一面的相反侧的第二面、以及对所述第一面与所述第二面进行连结的侧面， 所述电极在所述第一面以及所述第二面中的至少一个面上设置有所述共用部以及多个所述分支部，并且在所述侧面上设置有侧面电极。
7.如权利要求6所述的传感器元件，其中， 所述振动臂具备沿着所述延伸方向而设置的槽部， 所述分支部的至少一部分被设置在所述槽部的壁面上。
8.如权利要求6所述的传感器元件，其中， 所述共用部以及多个所述分支部分别被设置在所述第一面以及所述第二面上， 设置在所述第一面上的多个所述分支部、以及设置在所述第二面上的多个所述分支部被设置为，在从所述第一面的法线方向观察时，至少一部分相互不重叠。
9.如权利要求1或2所述的传感器元件，其中， 所述检测部具备检测用振动臂，所述检测用振动臂从所述基部延伸，并根据被施加于所述驱动用振动臂的物理量而进行振动， 所述检测用电极被设置在所述检测用振动臂上。
10.一种传感器元件的制造方法，其特征在于， 所述传感器元件具备 基部; 驱动用振动臂，其从所述基部延伸，并进行驱动振动； 振动臂，其从所述基部延伸，并随着所述驱动用振动臂的驱动振动而进行振动； 检测部，其包括检测用电极，所述检测用电极根据被施加于所述驱动用振动臂的物理量而输出信号， 在所述振动臂上设置有电极，所述电极与所述检测用电极电连接，并且产生与在所述驱动用振动臂上未施加有物理量时由所述检测用电极产生的电荷极性相反的电荷， 所述电极包括共用部，其沿着所述振动臂的延伸方向而设置；多个分支部，其从所述共用部分支， 所述传感器元件的制造方法包括电荷调节工序,在所述电荷调节工序中，通过对所述分支部的中途、或所述共用部的中途进行切断，从而对在所述电极上产生的所述电荷进行调节。
11.如权利要求10所述的传感器元件的制造方法，其中， 在所述电荷调节工序之前，包括对在未于所述驱动用振动臂上施加有物理量并通过通电而使所述驱动用振动臂进行振动的状态下，产生于所述检测用电极上的电荷进行测量的工序；对所述振动臂的共振频率进行调节的工序。
12.—种传感器装置，其特征在于，具有 权利要求1或2所述的传感器元件； 使所述驱动用振动臂进行驱动的电路； 对来自所述检测用电极的信号进行检测的电路。
13.—种电子设备,其特征在于， 具有权利要求1或2所述的传感器元件。
全文摘要
本发明提供传感器元件及其制造方法、传感器装置以及电子设备，其能简单且可靠发挥优异的检测灵敏度，并且可靠性较高。本发明的传感器元件具备基部；驱动用振动臂，其从所述基部延伸并通过通电而进行驱动振动；调节用振动臂(241)，其从基部延伸并随着驱动用振动臂的驱动振动而进行振动；检测用电极，其根据施加于驱动用振动臂的物理量而输出信号；调节用电极(551、553)，其被设置在调节用振动臂(241)上，且与检测用电极电连接，并随振动臂(241)的振动而输出与检测用电极极性相反的电荷，调节用电极(551)具备共用部(60)，其与检测用电极电连接；多个分支部(61)，其从共用部(60)分支且沿着调节用振动臂(241)的延伸方向而并排设置。
文档编号G01C19/5607GK103033175SQ201210365289
公开日2013年4月10日 申请日期2012年9月26日 优先权日2011年9月29日
发明者市川史生 申请人:精工爱普生株式会社