专利名称：一种氯硅烷取样管路的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种多晶硅技术领域，特别是一种多晶硅的尾气回收系统中氯硅烷的监控技术。
背景技术：
多晶硅的生产过程中，监控尾气回收系统中的氯硅烷质量对多晶硅生产至关重要，影响着多晶娃的广品质量。现有的多晶硅工艺过程中，在尾气回收系统的六套装置中共设置10个取样点，分析人员需要每天取样二次。在取样过程中，由于取样口的位置及其引流管的直径太小，同时在取样时需用大量干沙或者碱液对氯硅烷进行处理，取样现场存在着人员安全和质量隐患，给操作人员带了诸多工作不便，同时现有取样过程中存在如下缺陷①取样口的引流管 直径太�。自斐啥氯黾恿嗽惫さ牟槐匾墓ぷ髁亢图煨蕹杀荆虎谌⊙诘奈恢每拷孛婊虻毓担⊥暄蟮毓抵泻写罅康穆裙柰椋斐伤饰廴荆虎鄣孛娴穆裙柰樵谇迳ü讨幸撞鸹ㄉ踔疗鸹穑虎懿僮飨殖〉目掌忻致排ㄅǖ拇碳ば云叮跋烊嗽钡暮粑涂掌肪常虎萑⊙诒┞对诳掌校晏烊⊙甭裙柰橛肴⊙诘乃畏⑸Х从Γ现赜跋斓饺⊙闹柿考捌渥詈蟮姆治鼋峁虎尴衷谌⊙胁捎酶缮郴蛘呤羌钜捍砺裙柰榈姆绞酱嬖诎踩�。
实用新型内容本实用新型的发明目的在于针对上述存在的问题，提供一种结构简单，操作简便，安全可靠的氯硅烷取样管路，通过设置该取样管路，可以确保取样质量及其分析结果的可靠性，同时减少物料排放和清洗取样管口次数，降低了取样难度，改善操作工人的工作环境。本实用新型采用的技术方案如下本实用新型的氯硅烷取样管路，包括主管线，所述主管线将含有氯硅烷的尾气连接至环保车间，其特征在于在主管线上连接有取样管线，该取样管线在靠近取样口处弯曲，使取样口指向下，所述取样管线上设置有取样控制阀。由于采用了上述结构，主管线将含有氯硅烷的尾气连接至环保车间，并将其传输至环保车间进行环保处理，为了监控尾气回收系统中的氯硅烷质量，需要从主管线中提取部分尾气，因此在主管线上设置取样管线，用于取样，在该取样管线上设置有取样控制阀，便于控制主管线内向取样管线流出的氯硅烷的量，便于控制取样的量的大�。萌⊙芟咴诳拷⊙诖ν淝谷⊙谥赶蛳拢佣阌诓僮魅嗽贝尤⊙诮腥⊙牟僮鳎臼涤眯滦偷穆裙柰槿⊙苈罚谋渎裙柰槿⊙芙峁梗沟萌⊙谙蛳拢佣踩迹腋谋淙⊙诮峁梗苊庥晏烊⊙甭裙柰橛肴⊙诘乃畏⑸Х从ΓＶと⊙柿考捌浞治鼋峁目煽啃�。本实用新型的氯硅烷取样管路，在主管线上设置有进气控制阀和出气控制阀，且分别位于主管线上的取样管线连接点的两侧，在主管线上的取样管线连接点与进气控制阀之间连接有氮气管线，所述氮气管线连接于氮气源上，所述氮气管线上设置有氮气控制阀。由于采用了上述结构，进气控制阀和出气控制阀，主要是用于控制主管线上的通气与否，从而便于控制整个主管线上的取样操作，在主管线上连接有氮气管线，所述氮气管线连接于氮气源上，便于向主管线和取样管线内通入氮气，便于氮气吹扫取样管线，消除残留于管线的氯硅烷气体，避免影响物料质量检测，因此氮气管线在主管线上的连接点，位于取样管线在主管线上的连接点至尾气源之间的主管线上。为了避免氮气倒流进入到尾气源中，因此在氮气管线位于主管线上的连接点至尾气源之间设置进气控制阀，一方面控制尾气的进入；另外一方面控制氮气进入到尾气中；同时为了避免补充的氮气直接进入环保车间，因此在取样管线在主管线上的连接点至环保车间之间的主管线上，设置出气控制阀，因此进气控制阀和出气控制阀分别位于主管线上的取样管线连接点的两侧。为了控制氮气进入到主管线的量，因此在氮气管线上设置有氮气控制阀。本实用新型的氯硅烷取样管路，氮气管线吹扫取样管线，消除残留于管线的氯硅烷气体，避免影响物料质量检测，减少物料排放和清洗取样管口次数。 本实用新型的氯硅烷取样管路，所述取样管线靠近取样口处向下弯曲，在该弯曲处的顶部设置有取样排空阀。 由于采用了上述结构，取样管线靠近取样口处向下弯曲，该弯曲部呈半圆形结构，取样口为一直段，该取样口指向下，操作人员可以在该取样口方便快捷地取样操作，在弯曲处的顶部设置有取样排空阀，从而便于取样管线内的开关，方便氮气进行吹扫，同时能够减少物料排放和清洗取样管口次数。综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是I、本实用新型的氯硅烷取样管路结构简单，操作简便，安全可靠，适合推广应用；2、本实用新型的氯硅烷取样管路，可以确保取样质量及其分析结果的可靠性，同时减少物料排放和清洗取样管口次数，降低了取样难度，改善操作工人的工作环境。
图I是本实用新型的氯硅烷取样管路的示意图。图中标记1-主管线、2-氮气管线、3-取样管线、4-取样口、5-取样控制阀、6_取样排空阀、7-氮气控制阀、8-进气控制阀、9-出气控制阀。
具体实施方式
以下结合附图，对本实用新型作详细的说明。为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，
以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。如图I所示，本实用新型的氯硅烷取样管路，包括主管线1，所述主管线I将含有氯硅烷的尾气连接至环保车间，在主管线I上连接有取样管线3，该取样管线3在靠近取样口 4处弯曲，所述取样管线3靠近取样口 4处向下弯曲，使取样口 4指向下，在该弯曲处的顶部设置有取样排空阀6，所述取样管线3上设置有取样控制阀5，在主管线I上设置有进气控制阀8和出气控制阀9，且分别位于主管线I上的取样管线3连接点的两侧，在主管线I上的取样管线3连接点与进气控制阀8之间连接有氮气管线2，所述氮气管线2连接于氮气源上，所述氮气管线2上设置有氮气控制阀7，且本实用新型的氯硅烷取样管路中加大取样引流管线直径，防止管线堵塞。本实用新型的氯硅烷取样管路，当需要对尾气进行取样时，首先要主管线I上的进气控制阀8和出气控制阀9，然后打开氮气管线2上的氮气控制阀7，以及取样管线3上的取样控制阀5、取样排空阀6，通入氮气，将取样管线3内的残留氯硅烷气体清除，从而避免影响物料的质量检测；当取样管线3内的废气排除干净后，关闭氮气管线2上的氮气控制阀
7和取样管线3上的取样控制阀5，打开主管线I上的进气控制阀8以及出气控制阀9，使得主管线I正常通气，再打开取样管线3上的取样控制阀5，将氯硅烷气体从主管线I内流行 取样管线3内，将取样容器只有取样口 4处，收集氯硅烷气体，当收集完毕后，先关闭取样排空阀6，再关闭取样控制阀5，再打开进气控制阀8以及出气控制阀9恢复正常工作。如果要再次对取样管线2进行吹扫的话，就需要在取样完毕后，关闭取样控制阀5、进气控制阀8以及出气控制阀9，打开氮气控制阀7，打开取样排空阀6和取样控制阀5，对取样管线3进行吹扫，再先取样控制阀5，再关闭取样排空阀6，最后关闭氮气控制阀7，排除扫气完成，再打开进气控制阀8以及出气控制阀9恢复正常工作。本实用新型的氯硅烷取样管路结构简单，操作简便，安全可靠，适合推广应用；可以确保取样质量及其分析结果的可靠性，同时减少物料排放和清洗取样管口次数，降低了取样难度，改善操作工人的工作环境。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种氯硅烷取样管路，包括主管线(I )，所述主管线(I)将含有氯硅烷的尾气连接至环保车间，其特征在于在主管线(I)上连接有取样管线(3 )，该取样管线(3 )在靠近取样口(4 )处弯曲，使取样口( 4 )指向下，所述取样管线(3 )上设置有取样控制阀(5 )。
2.如权利要求I所述的氯硅烷取样管路，其特征在于在主管线(I)上设置有进气控制阀(8)和出气控制阀(9)，且分别位于主管线(I)上的取样管线(3)连接点的两侧，在主管线(I)上的取样管线(3)连接点与进气控制阀(8)之间连接有氮气管线(2)，所述氮气管线(2 )连接于氮气源上，所述氮气管线(2 )上设置有氮气控制阀(7 )。
3.如权利要求I或2所述的氯硅烷取样管路，其特征在于所述取样管线(3)靠近取样口(4)处向下弯曲，在该弯曲处的顶部设置有取样排空阀(6)。
专利摘要本实用新型公开了一种氯硅烷取样管路，属于多晶硅技术领域。本实用新型的氯硅烷取样管路，包括主管线，所述主管线将含有氯硅烷的尾气连接至环保车间，其特征在于在主管线上连接有取样管线，该取样管线在靠近取样口处弯曲，使取样口指向下，所述取样管线上设置有取样控制阀。本实用新型的氯硅烷取样管路结构简单，操作简便，安全可靠，适合推广应用；可以确保取样质量及其分析结果的可靠性，同时减少物料排放和清洗取样管口次数，降低了取样难度，改善操作工人的工作环境。
文档编号G01N1/22GK202676516SQ20122026823
公开日2013年1月16日 申请日期2012年6月8日 优先权日2012年6月8日
发明者徐浦敏 申请人:四川瑞能硅材料有限公司
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
