专利名称：电极探测装置的制作方法
技术领域：
电极探测装置技术领域[0001]本实用新型涉及电学测试技术的装置，尤其涉及一种电极探测装置。
技术背景[0002]在半导体行业及光电行业中，经常需要使用探针台对薄膜样品进行光电、铁 电、介电、压电或热释电等性能测试，被测薄膜样品在测试前需镀上电极，操作者通过 用探针台的测试探针接触被测薄膜样品上的电极来进行测试。由于被测薄膜样品上的电 极面积都较小，因此当电极的颜色与被测薄膜样品的颜色相近时，操作者很难准确的找 到电极，既影响测试精度，又会给测试操作带来不便。[0003]目前，能帮助操作者准确找到被测薄膜样品上的电极的方法有两种一种是利 用显微镜、CCD图像传感器和显示屏对被测薄膜样品的图像进行放大显示，操作者通过 放大的图像找出电极位置，这种方法的缺陷在于其成本较高；另外一种是利用放大镜辅 助观察，该方法虽然成本较低，但是其辅助效果有限，操作者利用该方法依然很难准确 的找到电极。实用新型内容[0004]针对上述现有技术中存在的缺陷，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种 电极点查找效率高，且成本低廉的电极探测装置。[0005]为了解决上述技术问题，本实用新型所提供的一种电极探测装置，其特征在 于，包括支撑杆、基座和透光板；所述透光板是板面透光且不透明的平板，其侧边中 有一条侧边能衍射光线，该侧边为衍射边，透光板通过其侧边中的非衍射边固定在基座 上，所述支撑杆与基座固接。[0006]本实用新型电极探测装置中，所述透光板的衍射边是光栅状的毛边，或是从内 向外逐渐变薄的刀刃状薄边。[0007]本实用新型电极探测装置中，所述透光板是透光且不透明的塑料板、塑料薄 膜、玻璃板或纸板。[0008]本实用新型电极探测装置中，所述基座上设有一直杆状的衍射边保护件，所述 衍射边保护件与透光板位于同一平面上，且位于透光板的衍射边外侧，其轴线平行于透 光板的衍射边。[0009]本实用新型电极探测装置中，所述衍射边保护件与透光板之间的间距为1 2cm ο[0010]本实用新型电极探测装置中，还包括一底座、一调节机构，所述支撑杆的另一 端与调节机构连接，所述调节机构由三个调节单元组成，分别为左右调节单元、前后调 节单元、上下调节单元，每个调节单元包括一丝杆、一滑块、一旋钮；[0011]所述左右调节单元的滑块滑动安装在底座上，所述前后调节单元的滑块滑动安 装在左右调节单元的滑块上，所述上下调节单元的滑块滑动安装在前后调节单元的滑块上，并与支撑杆的另一端固定连接；[0012]所述左右调节单元的丝杆转动安装在底座上，所述前后调节单元的丝杆转动安 装在左右调节单元的滑块上，所述上下调节单元的丝杆转动安装在前后调节单元的滑块 上；每个调节单元中的丝杆与本单元的滑块螺纹连接，每个调节单元中的旋钮同轴固定 在本单元的丝杆的一端；所述三个调节单元的丝杆的轴线两两垂直。[0013]本实用新型提供的电极探测装置，利用穿过透光板板面的光线与透光板衍射边 的衍射光线，使薄膜样品表面出现光亮差异，并在电极处形成亮点，能方便地帮助操作 者准确找到被测薄膜样品上的电极，其电极点查找效率较高且成本低廉。
[0014]图1是本实用新型实施例的电极探测装置的主视图；[0015]图2是本实用新型实施例的电极探测装置的俯视图。
具体实施方式
[0016]
以下结合附图对本实用新型的实施例作进一步详细描述，但本实施例并不用于 限制本实用新型，凡是采用本实用新型的相似结构及其相似变化，均应列入本实用新型 的保护范围。[0017]如图1、图2所示，本实用新型实施例所提供的一种电极探测装置，包括支撑杆 1、基座2和透光板3 ；所述透光板3塑料板。透光板3中有一条侧边为衍射边4，用来 衍射光线，透光板3通过其侧边中的其他非衍射边固定在基座2上，支撑杆1的一端与基 座2固定连接。[0018]本实用新型实施例中，所述透光板3的衍射边4是光栅状的毛边，也可以是从内 向外逐渐变薄的刀刃状薄边。[0019]本实用新型实施例中，所述透光板3是板面透光且不透明的平板，例如可以是 塑料板、塑料薄膜、玻璃板或纸板等等。[0020]本实用新型实施例中，所述基座2上设有一直杆状的衍射边保护件5，用于保护 透光板3的衍射边4，有效避免透光板3的衍射边4因受外部物体碰撞而受损；所述衍射 边保护件5与透光板3位于同一平面上，且位于透光板3的衍射边4外侧，其轴线平行于 透光板3的衍射边4。[0021]本实用新型实施例中，所述衍射边保护件5是塑料杆，衍射边保护件5与透光板 3之间的间距为1cm。衍射保护件5也可以是金属杆。衍射保护件5与透光板3之间的 间距可以为1 2cm。[0022]本实用新型实施例还包括底座6、设置在底座6中的调节机构，调节机构由三个 调节单元组成，分别为左右调节单元、前后调节单元、上下调节单元，用来调节支撑杆 1左右方向、前后方向以及上下方向的位置。三个调节单元包括丝杆72、82、92、滑块 71、81、91、及旋钮 73、83、93。[0023]左右调节单元的滑块71滑动安装在底座6上，所述前后调节单元的滑块81滑动 安装在左右调节单元的滑块71上，所述上下调节单元的滑块91滑动安装在前后调节单元 的滑块81上，滑块81与支撑杆1固定连接。[0024]所述左右调节单元的丝杆72转动安装在底座6上，所述前后调节单元的丝杆82 转动安装在左右调节单元的滑块71上，所述上下调节单元的丝杆92转动安装在前后调节 单元的滑块81上；每个调节单元中的丝杆72、82、92分别与本单元的滑块71、81、91 螺纹连接，左右调节单元的旋钮73同轴固定在本单元的丝杆72的一端，前后调节单元的 旋钮83同轴固定在本单元的丝杆82的一端，上下调节单元的旋钮93同轴固定在本单元 的丝杆92的一端，各旋钮分别用来转动与其固定的丝杆，从而带动各自的滑块滑动，调 节支撑杆1各个方向的位置。[0025]所述三个调节单元的丝杆的轴线两两垂直。[0026]调节机构也可以采用其他的单元或方式，或者不设置调节机构，而通过手工调 节也可，但手工调节的精度不能保证。[0027]本实用新型实施例中，所述基座2是塑料框，也可以选择金属框，在基座2上设 有用于固定透光板3的凹槽(未显示)。[0028]本实用新型实施例的使用方法如下[0029]对薄膜样品进行光电、铁电、介电、压电或热释电等性能测试时，先将透光板 3伸入光源与薄膜样品之间，然后由操作者操作调节机构的三个旋钮73、83、93，分别 带动各自的丝杆72、82、92及滑块71、81、91，调节支撑杆1的位置，控制基座2的移 动，进而带动透光板3移动，穿过透光板3板面的光线与透光板3衍射边4的衍射光线照 射到薄膜样品后，会使薄膜样品表面出现光亮差异，并在电极处形成亮点，从而帮助操 作者准确找到被测薄膜样品上的电极。[0030]综上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并非用来限定本实用新型的实施范 围。即凡依本实用新型申请专利范围的内容所作的等效变化与修饰，都应属于本实用新 型的技术范畴。
权利要求1.一种电极探测装置，其特征在于，包括支撑杆(1)、基座(2)、透光板(3)； 所述透光板(3)的一条侧边为衍射边(4)，透光板(3)通过其他侧边中的非衍射边 固定在基座(2)上，所述支撑杆(1)的一端与基座(2)固定连接。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述透光板的衍射边(4)是光栅状的毛 边，或是逐渐变薄的刀刃状薄边。
3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述透光板(3)是板面透光但不透明的 平板，所述透光板(3)可以是塑料板、塑料薄膜、玻璃板或纸板。
4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述基座(2)上设有一直杆状的衍射边 保护件(5)，所述衍射边保护件(5)与透光板(3)位于同一平面上，且位于透光板(3)的衍射边(4)外侧，其轴线平行于透光板(3)的衍射边(4)。
5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述衍射边保护件(5)与衍射边(4) 之间的间距为1 2cm。
6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述支撑杆(1)的另一端与调节机构 连接，所述调节机构由三个调节单元组成，分别为左右调节单元、前后调节单元、上下 调节单元，每个调节单元包括丝杆(72、82、92)、滑块(71、81、91)和旋钮(73、 83、 93)。
7.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述左右调节单元的滑块(71)滑动 安装在底座(6)上，所述前后调节单元的滑块(81)滑动安装在左右调节单元的滑块(71)上，所述上下调节单元的滑块(91)滑动安装在前后调节单元的滑块上(81)， 并与支撑杆(1)的另一端固定连接。
8.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述左右调节单元的丝杆(72)转动 安装在底座(6)上，所述前后调节单元的丝杆(82)转动安装在左右调节单元的滑块(71)上，所述上下调节单元的丝杆(92)转动安装在前后调节单元的滑块(81)上。
9.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述每个调节单元中的丝杆(72、82、92)与本单元的滑块(71、81、91)螺纹连接。
10.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述每个调节单元中的旋钮(73、83、93)同轴固定在本单元的丝杆(72、82、92)的一端；所述三个调节单元的丝杆(72、 82、92)的轴线两两垂直。
专利摘要本实用新型提供了一种电极探测装置，该装置特征在于包括支撑杆、基座、透光板；所述透光板是板面透光且不透明的平板，其侧边中有一条侧边为衍射边，透光板通过其侧边中的非衍射边固定在基座上，所述支撑杆与基座固定连接。本实用新型提供的装置，能帮助操作者准确找到被测薄膜样品上的电极，提高电极点查找效率，且成本低廉。
文档编号G01N21/57GK201811918SQ20102056985
公开日2011年4月27日 申请日期2010年10月21日 优先权日2010年10月21日
发明者孔慧, 朱丽萍, 杨平雄, 沈育德, 田建军, 褚君浩 申请人:华东师范大学
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