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专利名称：一种介质材料充放电测试设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种介质材料充放电测试设备，特别涉及一种真空环境下介质材料表面电位测试系统，属于测试领域。
背景技术：
为减轻发射重量和满足航天器电、热、力学等性能要求，航天器要用到大量有机介质材料。空间辐射环境中，高能粒子、等离子体容易在航天器外围的介质材料内部或者穿过航天器屏蔽层在其内部的介质材料上沉积。当这些介质材料表面与周围其他部件电位差或者沉积电荷产生的电场超过一定阈值时会发生放电现象，高能量放电则会直接造成敏感电子元器件击穿或有机介质击穿，这将会干扰航天器上电子仪器的正常工作，严重时使航天器发生故障。介质材料电导率是影响卫星充电电位的重要材料参数，它决定了介质材料充电过程中电荷泄漏的快慢。目前，我国介质材料电导率的测量一般采用三电极法进行。由于星用介质材料的电导率极�。ǔＰ枰捎米诺娜醯缌鞑馐陨璞附胁饬�。但是在样品所处环境条件(如温度、湿度、真空度)、样品状态(如纯度、表面清洁程度、样品厚度和大小)、 测试条件(如施加电压大小、测试时间以及夹具设计)等因素的影响下，该测量结果会随着测试条件的不同而产生2个数量级的变化。因此迫切需要开发稳定、可靠的适合于测试空间带电问题的样品电导率的方法和装置。常规的电导率测量方法并不完全适合于空间带电环境，常规方法不适于空间条件的主要原因有(1)电荷注入方法不同，所形成的带电电荷密度曲线和电场也有本质上的不同常规三电极法电压是通过电源提供的，而介质带电表面电位是电荷注入形成的；(2) 电极数目不同常规三电极法在介质两侧都有电极，而介质内带电仅有一侧是电极，而另一侧则是电荷注入面；(3)研究目的不同常规三电极法电导率测量与电源功率在介质中的损失有关，而不考虑电荷注入后的储存时间和数量；(4)泄漏电流测量时间不同常规三电极法的测量时间或读数时间为数分钟，而空间介质充电或衰减周期可达数月之久，介质电导率的变化在较长时间才会显现出来。

发明内容
本发明目的提供一种介质材料充放电测试设备，本发明中电导率的测试方法选用电荷衰减法——利用电子注入、非接触式表面电位测量法获取介质材料电导率。利用中低能电子枪辐照介质样品使其表面达到一定的电位(通常接近放电危险电位)，之后停止照射使样品保存在真空室。本发明中的测试设备，包括真空系统、充放电系统、电位测试系统。其中真空系统包括真空罐、机械泵、扩散泵、多级旋片泵、阀门、密封管路和工作台；充放电系统由电子枪和样品安装系统组成；电位测试系统包括电位计和微电流计。本系统的连接关系为真空罐安置于工作台上，通过一路密封管路经挡板阀与机械泵连接，通过另一路密封管路经挡板阀和扩散泵连接，机械泵、罗茨泵、扩散泵组成真空系统中的抽气机组；电子枪位于真空室内顶端中轴线处；样品安装于真空室下部的中心位置的铜板上，铜板与电子枪同轴，样品和铜板之间用块体聚四氟乙烯隔离；真空计位于真空罐内部的顶端，处于不影响其他顶端元器件的任意位置；样品表面的充电电位和衰减电位由电位计测试，电子枪的束流由法拉第杯测试，电位计和法拉第杯的移动由驱动机构控制， 可在二维的平面内移动；微电流计接在样品的背电极上，主要测试对象为样品在充电时的泄露电流。本测试系统工作流程为第一步，测试前准备，检查循环水，真空系统和电子枪、电位计、微电流计等用电设备的电路，探测器的信号线路；第二步，对样品进行干燥处理；按

图1中的电路连线，将电位探头位于样品上方零电位点处；确定样品安放位置，用探头驱动机构确定电位测量点的位置坐标。第二步，关闭真空罐，抽真空使系统真空至5. ^10_4pa以下，打开电子枪电源，将电子能量设置为14Kev，用法拉第杯测试使样品由2. OnA/cm2的电子辐照，样品表面的充电电位由电位计TREK 341HV配合电位计探头TREK 3450E进行测试。每隔10分钟将电位计探头迅速下降至距样品前表面2cm处，进行感应式非接触测量；微电流计和电位探头测得的数据在正负0.5%内波动，即认为样品充电饱和，之后关闭电子枪。第三步，关闭电子枪后，利用样品内部电荷Q的泄放呈指数形式衰减类似的过程， 来测量样品的电位衰减过程，具体为每隔30分钟将探头迅速下降至距样品前表面2cm处， 进行感应式非接触测量，将测得的数据录入测试软件，计算样品的电导率。具体计算公式为
权利要求
1. 一种介质材料充放电测试设备，其特征在于，包括真空系统、充放电系统、电位测试系统；其中真空系统包括真空罐、机械泵(3)、扩散泵O)、多级旋片泵(1)、阀门、密封管路和工作台；充放电系统由电子枪(6)和样品(11)安装系统组成；电位测试系统包括电位计 (9)和微电流计(14)，真空罐内放置有真空阀门(4)、真空计(5)；此外，还有挡板阀A(15)、 挡板阀B (16)以及铜板(13)；本系统的连接关系为真空罐安置于工作台上，通过一路密封管路经挡板阀A(15)与机械泵连接，通过另一路密封管路经挡板阀B(16)和扩散泵( 连接，机械泵C3)、多级旋片泵(1)、扩散泵(2)组成真空系统中的抽气机组；电子枪(6)位于真空室内顶端中轴线处； 样品(11)安装于真空室下部的中心位置的铜板(13)上，铜板(13)与电子枪(6)同轴，样品(11)和铜板(13)之间用聚四氟乙烯绝缘块(12)隔离；真空计(5)位于真空罐内部的顶端，处于不影响其他顶端元器件的任意位置；样品(11)表面的充电电位和衰减电位由电位计(9)测试，电子枪(6)的束流由法拉第杯⑶测试，电位计(9)和法拉第杯⑶的移动由驱动机构(10)控制，可在二维的平面内移动；微电流计(14)接在样品(11)的背电极上，主要测试对象为样品在充电时的泄露电流。
全文摘要
本发明公开了一种介质材料充放电测试设备，包括真空系统、充放电系统、电位测试系统；其中真空系统包括真空罐、机械泵(3)、扩散泵(2)、多级旋片泵(1)、阀门、密封管路和工作台；充放电系统由电子枪(6)和样品(11)安装系统组成；电位测试系统包括电位计(9)和微电流计(14)，真空罐内放置有真空阀门(4)、真空计(5)；此外，还有挡板阀A(15)、挡板阀B(16)以及铜板(13)；总之，本设备利用表面电位探针测量样品表面电位随时间的衰减关系，根据测量到的不同时间的样品表面衰减电位可推算出样品的电导率。本发明中电导率测试设备适宜于深层充电�：ζ拦溃梢晕畈愠浞诺缧вΦ姆阑ぬ峁┯屑壑档墓こ淌�。
文档编号G01R27/02GK102162825SQ20101062460
公开日2011年8月24日 申请日期2010年12月30日 优先权日2010年12月30日
发明者史亮, 李存惠, 柳青, 秦晓刚, 马亚莉 申请人:中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所