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    ʱ¼ä:2025-06-08    ×÷Õß: ¹ÜÀíÔ±

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    ͼ2˵Ã÷ͨ¹ý¹â¼ì²â£¬²âÐòºÍ/»ò¼ø¶¨µ°°×ÖÊ230µÄ´Î¼¶É豸200(δ°´±ÈÀý)µÄ·ÇÏÞÖÆÐÔÀý×Ó¡£
    ͼ3˵Ã÷ͨ¹ýµç¼ì²â£¬²âÐòºÍ/»ò¼ø¶¨µ°°×ÖÊ310µÄ´Î¼¶É豸300(δ°´±ÈÀý)µÄÁíÒ»¸ö·ÇÏÞÖÆÐÔÀý×Ó¡£
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    ͼ5ÏÔʾÔÚÀµ°±Ëá¡¢¾«°±ËáºÍN-Ä©¶Ë²Ð»ùÉϽøÐе°°×Öʱê¼ÇµÄ·ÇÏÞÖÆÐÔÀý×Ó¡£
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    ͼ7ÏÔʾÔÚË¿°±ËáºÍËÕ°±Ëá²Ð»ùÉϽøÐе°°×Öʱê¼ÇµÄ·ÇÏÞÖÆÐÔÀý×Ó¡£
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    ͼ17ÏÔʾ1mM 5-·úÉ«°±ËáµÄÀ­Âü¹âÆ×£¬ÊÕ¼¯Ê±¼äΪ0.1Ãë¡£
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    ÄÉÃ׿׺Í/»òÄÉÃ×ͨµÀ¿ÉÒÔÓþ۽¹Ô­×Ó¼¤¹â(ÀýÈ磬BlochµÈ£¬¡åOptics with an atom laser beam£¬¡åPhys.Rev.Lett.87123-321£¬1)À´ÖÆÔì¡£¾Û½¹Ô­×Ó¼¤¹â¿ÉÒÔ±»ÓÃÓÚ¹â¿Ì·¨(lithography)£¬ÕâºÜÏñ±ê×¼¼¤¹â»òÕß¾Û½¹µç×ÓÊø¡£ÕâÑùµÄ¼¼Êõ¿ÉÒÔÔÚоƬÉÏÖÆÔì³ö΢Ã×¼¶»òÉõÖÁÄÉÃ×¼¶µÄ½á¹¹¡£ÔÚÁíÒ»¸ö¿ÉÑ¡·½Ê½ÖУ¬¿ÉÒÔʹÓÃպˮ±ÊÄÉÃ×¹â¿ÌÊõÐγÉÄÉÃ×ͨµÀ(ÀýÈ磬IvanisevicµÈ£¬¡°Dip-Pen Nanolithography on SemiconductorSurfaces£¬¡±J.Am.Chem.Soc.£¬1237887-7889£¬1)¡£ÕºË®±ÊÄÉÃ×¹â¿ÌÊõʹÓÃAFM¼¼ÊõÔÚ±íÃæÈç¹èоƬÉϳÁ»ý·Ö×Ó¡£³ß´çÉÏÏñ15nmÄÇôСµÄÌØÕ÷¶¼¿ÉÒÔ±»Ðγɣ¬¾ßÓÐ10nmµÄ¿Õ¼ä·Ö±æÂÊ¡£Ê¹ÓÃպˮ±ÊÄÉÃ×¹â¿Ì£¬½áºÏ³£¹æµÄ¹â¿Ì(photolithography)¼¼Êõ£¬¿ÉÐγÉÄÉÃ׿׺Í/»òÄÉÃ×ͨµÀ¡£ÀýÈ磬¿¹Ê´¼Á²ãÉϵÄ΢Ã×¼¶µÄÏß¿ÉÒÔÓñê×¼µÄ¹â¿ÌÊõÀ´ÐγÉ¡£Ê¹ÓÃպˮ±ÊÄÉÃ×¹â¿Ì£¬¿ÉÒÔͨ¹ý³Á»ý¶îÍâµÄ¿¹Ê´¼Á»¯ºÏÎïÀ´Ê¹ÏߵĿí¶ÈÒÔ¼°Ê´¿ÌÖ®ºóͨµÀµÄ¶ÔÓ¦Ö±¾¶±äÕ­¡£Ê´¿Ì¸üÕ­µÄÏßÖ®ºó£¬¿ÉÐγÉÄÉÃ×¼¶µÄͨµÀ¡£¿ÉÑ¡µØ£¬¿ÉÓÃAFMÒÆ³ý¹âÖ¿¹Ê´¼Á(photoresist)²ÄÁÏÒÔÐγÉÄÉÃ×¼¶µÄÌØÕ÷¡£
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