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专利名称：高功率激光远场焦斑测试用纹影器件的制作方法
技术领域：
本实用新型属光学领域，涉及一种纹影器件，尤其涉及一种高功率激光远场焦斑 测试用纹影器件。
背景技术：
远场焦斑是表征高功率激光系统光束质量的一项重要指标，也是衡量激光打靶焦 斑强度分布的直观参数，尤其需要关注焦斑旁辫的大小及其能量分布，需要精确的予以测 量。由于远场焦斑的动态范围宽(10000 1以上)，尚没有如此大动态范围的测量传感器， 一种焦斑测量的方法是分别测量焦斑的主瓣和旁瓣，通过图像重构得到完整的焦斑形态， 这种方法称之为纹影法，如图1所示。在测量旁瓣时需要将主瓣遮挡，否则会造成图象传感 器的损伤，遮挡主辫的器件即为纹影器件，对该器件的要求是挡光严实、耐激光辐照、不会 对测量造成附加影响，目前尚未有这样的器件出现。

实用新型内容为了解决背景技术中存在的上述技术问题，本实用新型提供了一种挡光效果好， 耐激光辐照以及不会对测量造成任何影响的高功率激光远场焦斑测试用纹影器件。本实用新型的技术解决方案是本实用新型提供了一种高功率激光远场焦斑测试 用纹影器件，其特殊之处在于所述高功率激光远场焦斑测试用纹影器件包括挡光片以及 设置于挡光片外部的透光罩。上述透光罩包括上玻璃压片以及与上玻璃压片扣合在一起的下玻璃压片。上述透光罩还包括密封件，所述上玻璃压片和下玻璃压片扣合后通过密封件密 封。上述挡光片是透过率不大于10_5且耐辐照阈值不小于20J/cm2的挡光片。上述挡光片是金属薄片。上述挡光片是厚度为0. Imm 0. 3mm的钢片。上述挡光片是厚度为0.2mm的钢片。 上述透光罩上镀有增透膜。上述上玻璃压片或下玻璃压片的厚度是0. 3mm 1mm。上述上玻璃压片或下玻璃压片的厚度是0. 5mm。本实用新型的优点是本实用新型所提供的高功率激光远场焦斑测试用纹影器件的材料采用采用金属 薄片，尤其是薄钢片；在挡光片的封装采用薄玻璃片，同时，采用硅胶将挡光片封装在上下 夹持的玻璃片中并且上下封装玻璃片上镀有增透膜，不会损伤器件且密封可靠，不会对测 量造成任何影响。本实用新型所形成的纹影器件既能遮挡激光主辫，也能使激光旁辫透过； 具有挡光严实且耐激光辐照，并易加工成需要的大小和形状等优点，整体封装后形成的纹 影器件便于夹持安装，等同于玻璃元件的安装。
图1是现有技术中纹影法在使用过程时的光路示意图；图2是本实用新型所提供的挡光片结构示意图；图3是本实用新型所提供的纹影器件的结构示意图；图4是图3的A向视图。
具体实施方式
参见图2、图3和图4，本实用新型提供了一种高功率激光远场焦斑测试用纹影器 件，其整体结构形状为圆形，包括挡光片1、上玻璃压片2、下玻璃压片3、硅胶组成。该上玻璃压片2和下玻璃压片3构成透光罩，上玻璃压片2和下玻璃压片3扣合 一起，透光罩设置在挡光片1的外部，为了使用效果更好，在上玻璃压片2以及与下玻璃压 片3扣合后通过密封件4密封，该密封件4可以是硅胶、玻璃胶等。挡光片1可以是透过率不大于10_5且耐辐照阈值不小于20J/cm2的挡光片，该挡光 片1可以是金属薄片，尤其是厚度为0. Imm 0. 3mm的钢片，最好是厚度为0. 2mm的钢片。透光罩上镀有增透膜，也就是上玻璃压片2和下玻璃压片3的内外表面都镀有增 透膜，上玻璃压片2和下玻璃压片3可以是石英玻璃、K9玻璃等任何一种都是可行的。上玻璃压片或下玻璃压片的厚度是0. 3mm 1mm，尤其是0. 5mm。具体实现而言，挡光片1采用薄的工具钢片材料，厚度为0. 2mm，其形状和大小根 据实际挡光的需要采用激光微小加工工艺形成；上下玻璃压片2、3的材料根据所测试的激光波长选择，同时对玻璃压片的所有表 面镀测试激光的增透膜，以获得尽可能多的激光透过率；玻璃压片的厚度选择为0. 5mm，大 小为Φ 20mm;将挡光片1放置在上下玻璃压片2、3之间，并采用专用工具上下压持以使其固 定；采用硅胶涂抹上下玻璃压片周遍的缝隙，采用胶干后形成的拉力将挡光片1封装 在玻璃压片中；维持M小时以上，待胶干后即形成了纹影器件，测试时采用夹持玻璃元件的方法 将纹影器件固定在光路中进行测试即可。
权利要求1.一种高功率激光远场焦斑测试用纹影器件，其特征在于所述高功率激光远场焦斑 测试用纹影器件包括挡光片以及设置于挡光片外部的透光罩。
2.根据权利要求1所述的高功率激光远场焦斑测试用纹影器件，其特征在于所述透 光罩包括上玻璃压片以及与上玻璃压片扣合在一起的下玻璃压片。
3.根据权利要求2所述的高功率激光远场焦斑测试用纹影器件，其特征在于所述透 光罩还包括密封件，所述上玻璃压片和下玻璃压片扣合后通过密封件密封。
4.根据权利要求1或2或3所述的高功率激光远场焦斑测试用纹影器件，其特征在于 所述挡光片是透过率不大于10_5且耐辐照阈值不小于20J/cm2的挡光片。
5.根据权利要求4所述的高功率激光远场焦斑测试用纹影器件，其特征在于所述挡 光片是金属薄片。
6.根据权利要求5所述的高功率激光远场焦斑测试用纹影器件，其特征在于所述挡 光片是厚度为0. Imm 0. 3mm的钢片。
7.根据权利要求6所述的高功率激光远场焦斑测试用纹影器件，其特征在于所述挡 光片是厚度为0. 2mm的钢片。
8.根据权利要求7所述的高功率激光远场焦斑测试用纹影器件，其特征在于所述透 光罩上镀有增透膜。
9.根据权利要求2或3所述的高功率激光远场焦斑测试用纹影器件，其特征在于所 述上玻璃压片或下玻璃压片的厚度是0. 3mm 1mm。
10.根据权利要求9所述的高功率激光远场焦斑测试用纹影器件，其特征在于所述上 玻璃压片或下玻璃压片的厚度是0. 5mm。
专利摘要本实用新型涉及一种高功率激光远场焦斑测试用纹影器件，包括挡光片以及设置于挡光片外部的透光罩。本实用新型提供了一种挡光效果好，耐激光辐照以及不会对测量造成任何影响的高功率激光远场焦斑测试用纹影器件。
文档编号G01J1/04GK201897502SQ20102063700
公开日2011年7月13日 申请日期2010年12月1日 优先权日2010年12月1日
发明者孙策, 李红光, 董晓娜, 达争尚 申请人:中国科学院西安光学精密机械研究所