亚星游戏官网-www.yaxin868.com

专利名称：利用表面等离子体共振效应的检测装置的制作方法
利用表面等离子体共振效应的检测装置
技术领域：
本发明是有关于一种检测器及其承载平台，特别是有关于一种利用表面等离子体共振效应的检测装置。
背景技术：
表面等离子体共振(Surface Plasmon Resonance，SPR)是一种存在于金属与介电质之间的光学现象。在1982年，Nylander及Leidberg利用SI3R的现象来做气体检测及生化感测器后，SI^R生化感测器就渐渐地被科学界所注意。由于SI^R生物感测器具有很好的亲合性，可以允许在不对生物分子做任何标记的情况下进行及时的分析，因此sra生物感测器逐渐成为生物检测仪器的主要设备。上述的感测器是利用表面等离子体共振效应来检测金属薄膜表面微量物质的特性，而检测方法是将一光线从介电质射至金属薄膜表面，当光线在金属薄膜表面产生全反射角时，入射光会激发此金属膜表面的自由电子，使其沿平行入射面的方向共振运动，进而形成表面等离子体波(Surface Plasmonffave, SPff)。由上述可知，表面等离子体波为一电场震荡方向平行于入射面的横向电磁波，因此只有横向电磁场极化光(也就是所谓的P偏振光)，在满足动量相当与频率相同的情况下，才能使入射光子能量耦合传递给表面等离子体波。当入射光线与表面等离子体波共振时，反射光线的强度会遽降至零，此时的入射角即称为表面等离子体共振角。表面等离子体共振角会随着位于金属薄膜非照光面上的待测物的折射率(refractive index)而改变，当待测物的组成或浓度改变时，所导致的折射率改变将反映在共振角的变化上。也就是说，位于金属薄膜表面的待测物的质量变化将导致共振角产生变化。因此只要量测出共振角，即可推算出待测物的组成或浓度等特性。图1为现有利用表面等离子体共振效应的检测装置的简单示意图。请参照图1， 目前普遍采取棱镜式利用表面等离子体共振效应的检测装置，其是直接将金属薄膜110镀在一等腰直角三棱镜120的底面122，待测物130则是配置于金属薄膜110的非照光面111 上。激光源140是用以提供激光束142，当激光束142入射三棱镜120的入射角为此待测物130的共振角时，光强度侦测器150所接收到的反射光强度为零。此时，光线101的衰逝波(evanescentwave)是穿越金属薄膜110而在金属薄膜110的非照光面111激发出表面等离子体波。而且，目前多以高精度的旋转平台来承载三棱镜120、激光源140及光强度侦测器 150等元件。此旋转平台是以三棱镜120为旋转中心点，带动激光源140与光强度侦测器 150进行反向同角度的旋转运动，以使激光束142得以不同的入射角度射至三棱镜120，从而检测出待测物130的共振角。但由于此类精密旋转平台体积庞大且价格昂贵，使得整体检测装置无法被广泛地运用。为避免上述的缺点，现有提出另一种利用表面等离子体共振效应的检测装置，其是利用抛物面镜的反射特性，将旋转机构改良成直线运动机构。此种利用表面等离子体共振效应的检测装置的应用原理为不同的平行光经抛物面镜反射后，均会聚焦于其焦点上， 故将承载有待测物的棱镜置放在抛物面镜的焦点上，并使入射光平行抛物面镜的轴线，再移动光源与此轴线的距离，就可以改变光入射棱镜的角度。然而，抛物面镜的制造精度对此利用表面等离子体共振效应的检测装置的检测精度影响极大，但高精度的抛物面镜却是不易制作的，所以此种利用表面等离子体共振效应的检测装置需要较高的成本，因而无法被广泛地运用。故，有必要提供一种利用表面等离子体共振效应的检测装置，以解决现有技术所存在的问题。

发明内容本发明的主要目的在于提供一种利用表面等离子体共振效应的检测装置，其具有体积小且成本低的特点，因此可广泛地应用在任何检测技术中。本发明的次要目的在于提供一种挠性连杆平台，其具有制造简单且成本低廉的特点，并且能够达成精密定位与动力传递的功效。为达成本发明的前述目的，本发明提供一种挠性连杆平台，包含输入杆、输出杆、 连接杆与固定杆。其中，输入杆的一端枢接于输出杆的一端，连接杆的一端枢接于输入杆的中心，固定杆的一端枢接于连接杆另一端，固定杆的另一端则枢接于输出杆的另一端。而且，输入杆的自由端适于相对固定杆而进行线性运动，输出杆则适于以连接至固定杆的一端为轴心而旋转。在本发明的一实施例中，上述的挠性连杆平台是以一材料而利用线切割放电加工、电脑数值控制铣床加工或射出成型方式而成。在本发明的一实施例中，上述的输入杆与输出杆、输入杆与连接杆、连接杆与固定杆以及输出杆与固定杆之间各具有一枢接点，每一枢接点是以凹槽方式予以增强材料的挠性而达成旋转的目的。在本发明的一实施例中，上述的输入杆的长度为连接杆长度的两倍，且连接杆是枢接于输入杆的中心位置。本发明提出一种利用表面等离子体共振效应的检测装置，适于检测一待测物的共振角。此利用表面等离子体共振效应的检测装置包含上述的挠性连杆平台、光源组、三棱镜以及光侦测单元。其中，光源组是配置于挠性连杆平台上，并相对输出杆而固定。此光源组适于提供一偏振光。三棱镜是配置于挠性连杆平台上，并相对固定杆而固定。此三棱镜具有一光入射面、一光出射面与一底面。而且，此三棱镜是位于上述偏振光的光路径上。待测物是配置于三棱镜的底面上，且当偏振光由三棱镜的光入射面入射，并照射至待测物后，偏振光会被反射而从三棱镜的光出射面出射。光侦测单元配置于偏振光从三棱镜出射后的光路径上，用以侦测偏振光从三棱镜出射后的光强度。在本发明的一实施例中，上述的光源组包含光源与偏光片。其中，光源是用以提供一激光。偏光片配置于此光源与上述三棱镜之间，并位于此激光的光路径上。此偏光片是用以将通过其中的激光偏极化，而成为上述的偏振光。在本发明的一实施例中，上述的光源组另包含第一分光镜、旋转偏光片以及摇摆相位延迟镜片组。其中，第一分光镜配置于上述偏光片与三棱镜之间，当偏振光射入第一分光镜后，偏振光会有一部份被此第一分光镜反射而成为一参考光束，而偏振光的其余部分则会穿透此第一分光镜而射入上述的三棱镜。旋转偏光片配置于摇摆相位延迟镜片组与第一分光镜之间，以使由第一分光镜出射的参考光束依序通过旋转偏光片与摇摆相位延迟镜片组。在此，旋转偏光片可通过旋转的方式来改变其与摇摆相位延迟镜片组之间的距离。在本发明的一实施例中，上述的光源组另包含一第二分光镜，配置于三棱镜与光侦测单元之间，并位于参考光束与偏振光的光路径上。此第二分光镜是用以反射参考光束， 以使参考光束射至光侦测单元。在本发明的一实施例中，上述的光源组另包含一平面反射镜，配置于挠性连杆平台上，并相对固定杆而固定。上述参考光束在通过摇摆相位延迟镜片组之后，是通过此平面反射镜将其反射至第二分光镜。在本发明的一实施例中，上述的光侦测单元包含检偏器与光接收器。其中，检偏器是偏振光与参考光束组合成具有相同偏振方向的两道光，以形成一光干涉条纹影像。光接收器则是接收并记录所产生的干涉条纹影像的结果。在本发明的一实施例中，上述的光侦测单元另包含一透镜组，配置于检偏器与光接收器之间，用以放大检偏器所输出的分析结果。在本发明的一实施例中，上述的偏振光例如是平行所述输出杆而入射至三棱镜中。在本发明的一实施例中，上述的利用表面等离子体共振效应的检测装置另包含一线性致动组，固定于挠性连杆平台上。此线性致动组是用以驱动挠性连杆平台的输入杆，以使其一端产生线性位移。本发明是利用挠性连杆平台来承载检测表面等离子体波的元件，此挠性连杆平台的输入杆的自由端的运动轨迹近似直线，且其能够带动挠性连杆平台的输出杆做旋转运动，进而改变检测用的偏振光入射三棱镜的入射角度。因此，本发明的利用表面等离子体共振效应的检测装置不但可以有效地完成表面等离子体共振检测，另可以大幅降低设备体积与制造成本。

图1是利用表面等离子体共振效应的检测装置的简单示意图。图2A为本发明的第一实施例中利用表面等离子体共振效应的检测装置的立体示意图。图2B为图2A的利用表面等离子体共振效应的检测装置的简单示意图。图3为本发明的一实施例中挠性连杆平台的俯视示意图。图4为本发明的挠性连杆平台中，输入杆的自由端位移量与与输出杆转动角度以有限元素分析解与理论解的关是曲线图。图5为本发明的第二实施例中利用表面等离子体共振效应的检测装置的简单示意图。图6为本发明的一实施例中偏振光以不同角度入射至三棱镜的示意图。图7为本发明的一实施例中，图8为本发明的一实施例中，e/L、入射光B的入射角 θ以及/L的关是曲线图。
图9为本发明的一实施例的利用表面等离子体共振效应的检测装置中，光学折射偏差的目标函数曲线图。图10为Hoecken连杆机构的示意图。图11为本发明的另一实施例中利用表面等离子体共振效应的检测装置的简单示意图。
具体实施方式为让本发明上述目的、特征及优点另明显易懂，下文特举本发明较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下本发明是利用连杆平台来承载检测表面等离子体波的元件，且由于传统连杆机构的枢接点大多使用销与孔或球与球窝等配合来使杆件产生单维或多维相对旋转运动，但在小尺寸的连杆机构中，并不易控制销与孔或球与球窝之间之间隙精度，因此本发明提出一种挠性连杆平台，其是以材料变形的方式提供旋转自由度，故毋须考虑枢接点之间隙精度。 以下将举例说明如何将此挠性连杆台应用于利用表面等离子体共振效应的检测装置中。图2A为本发明的第一实施例中利用表面等离子体共振效应的检测装置的立体示意图。图2B则为图2A的利用表面等离子体共振效应的检测装置的简单示意图。请同时参照图2A及图2B，利用表面等离子体共振效应的检测装置200主要是由光源组210、挠性连杆平台220，三棱镜230、金属薄膜MO以及光侦测单元250所构成。挠性连杆平台220包含输入杆Li、输出杆L2、连接杆L3与固定杆L4。其中，输入杆Ll与输出杆L2之间具有一枢接点01，连接杆L3的一端枢接于输入杆Ll的中心02，连接杆L3与固定杆L4之间具有一枢接点03，输出杆L2与固定杆L4之间则具有一枢接点04。光源组210是配置于挠性连杆平台220上，并相对输出杆L2而固定。其中，光源组210例如是通过光源固定座219而固定在挠性连杆平台220上。在本实施例中，光源组 210例如是直接固定于输出杆L2上。此外，由于只有P向偏振光会造成表面等离子体共振效应，因此光源组210所提供的偏振光211即为P方向的偏振光。在本实施例中，光源组 210例如是通过光源212提供光束211a，再通过偏光片214将光束211a滤成P方向的偏振光211。其中，光源212例如是一激光源，而其所提供的光束211a例如是单波长的激光。三棱镜230亦配置在挠性连杆平台220上，并相对固定杆L3而固定。其中，三棱镜230例如是通过棱镜固定座239而固定在挠性连杆平台220上，并通过调整座237与调整座238进行调整定位。在本实施例中，三棱镜230例如是直接固定于固定杆L3上。三棱镜230具有光入射面232、光出射面234以及底面236，其中底面236是镀有金属薄膜M0， 而待测物四0即是配置于金属薄膜240未与三棱镜230接触的表面242上。光源组210所提供的偏振光211会以某一角度从三棱镜的230的光入射面232入射，并照射至镀在三棱镜230的底面236上的金属薄膜M0。详细来说，当挠性连杆平台220 的输入杆Ll的自由端P在一直线上往复运动时，会带动输出杆L2以枢接点04为中心转动。 而且，由于光源组210是相对输出杆L2而固定，因此当输出杆L2旋转时，光源组210亦会随的转动，而改变偏振光211入射三棱镜230的角度。在本实施例中，输入杆Ll的自由端P 例如是由一线性致动器260带动而产生一直线位移，而线性致动器260例如是通过致动器固定座269而固定于挠性连杆平台220上。
由于挠性连杆平台220的各杆件的长度间具有一特定关是，因此输入杆Ll的自由端P在工作范围内的位移与偏振光211的入射角间会具有一线性关是。如此一来，在控制挠性连杆平台220时，只要输入杆Ll的自由端P的位移量为已知，则可通过其与偏振光211 入射角之间的线性关是式得知偏振光211的入射角。请继续参照图2A及图2B，当偏振光211射入棱镜230的入射角大于全反射临界角时，偏振光211会完全被金属薄膜240反射，而从三棱镜230的光出射面234出射。在此， 通过尺寸设计来决定枢接点04与三棱镜230的相关位置，可使偏振光211的反射点落在最小的检验许可范围内。光侦测单元250即是用以接收由三棱镜230反射出的偏振光211，并测量偏振光 211的光强度。其中，光侦测单元250例如是通过光侦测单元固定夹259而固定在挠性连杆平台220上。由于偏振光211与金属薄膜MO的价电子发生共振而产生表面等离子体波时，从三棱镜230出射的光强度近似于零，因此当光侦测单元250量测到其所接收的光强度近似于零而呈现最小值时，表示此时偏振光211入射三棱镜230的入射角即为待测物四0的表面等离子体共振角。为使熟习此技艺者另了解本发明，以下将举例说明挠性连杆平台220的制造方法。挠性连杆平台220的基本设计模型是将一块板材以线切割放电加工或电脑数值控制(computer numerical control，CNC)铣床加工而成。把加工完成的板材平放后，再将其他光学与致动元件安置于板材上。由于挠性连杆平台220主要受力于挠性关节处，杆件本身几乎不受力，且其它光学与致动元件的架设仅会改变机构运动过程中的重力方向负载，因此只要于板材底面设计适当的支撑方式，这些元件对于挠性连杆平台220本身的平面运动轨迹与应力分布不会产生影响。由此可知，建立基本模型时可先考量挠性连杆平台 220的平面外型，待完成应力与运动轨迹分析后，再将各元件安置于挠性连杆平台220上。本实施例是选择具备较大应力限的割痕式挠性关节作为连杆机构关节型式，并选择割痕外型为圆形，以利加工制造。给定挠性关节外型参数b与H为5mm，割痕半径rl与r2 为2. 25mm，且割痕圆心位于杆件边缘上。依此数据所设计出最佳直线运动的挠性连杆平台 220的外型如图3所示，其中实线部份为平台外型轮廓，虚线部份为平台连杆尺寸。在此，挠性连杆平台220的材质例如是聚乙烯(polyethylene，ΡΕ)。为确认挠性连杆平台220的可行性，本实施例特针对所设计的挠性连杆平台220 进行有限元素分析。当输入杆Ll的自由端P为强迫直线位移Imm时，输入杆Ll与基座 (也就是固定杆L4)部份受应力近乎于零，应力主要集中于挠性关节部份，其中应力最大值为6. 44N/mm2，此应力最大值小于聚乙烯材料的弯曲强度(7N/mm2)，因此整体挠性连杆平台 220于运动过程中不会产生材料断裂现象。此应力分布状态容许设计者自由变另非关节处的挠性连杆平台220的外型，而不致改变应力分布。通过在挠性连杆平台220运动过程中计算出入射光的入射角度变化，可建立直线位移输入和入射光角度变化关是图，并与机构分析的理论解相互比较。图4为本发明的挠性连杆平台中，输入杆的自由端位移量与与输出杆转动角度以有限元素分析解与理论解的关是曲线图。请参照图4，输入杆的自由端的位移量愈大，理论解与有限元素分析结果误差愈多，但角度最大误差仅约0.02°，且其关是曲线仍保持线性关是，就工程应用观点而言， 已足以可应用于实务的中。图5为本发明的第二实施例中利用表面等离子体共振效应的检测装置的简单示意图。请参考图5，本实施例的利用表面等离子体共振效应的检测装置300与前述实施例的利用表面等离子体共振效应的检测装置200大致相同，以下将针对两者相异的处加以说明。利用表面等离子体共振效应的检测装置300的光源组310除了光源212与偏光片214 以外，还包含有第一分光镜312、旋转偏光片314与摇摆相位延迟镜片组316。其中，第一分光镜312是配置于偏光片214与三棱镜230之间，且当偏振光211射入第一分光镜312后， 部分的偏振光211会被第一分光镜312反射而成为一参考光束311，而另一部分的偏振光 211则是穿透第一分光镜312而射入三棱镜230，以于三棱镜230底面的金属薄膜240表面造成表面等离子体共振效应。旋转偏光片314与摇摆相位延迟镜片组316即是位于参考光束311的光路径上， 且旋转偏光片314是位于第一分光镜312与摇摆相位延迟镜片组316之间。在此值得一提的是，通过控制旋转偏光片314或摇摆相位延迟镜片组316的左右摆动幅度，即可调整旋转偏光片314与摇摆相位延迟镜片组316之间之间距，进而改变参考光束311的光程。此外，利用表面等离子体共振效应的检测装置300另包含一平面反射镜320与第二分光镜330。平面反射镜320是配置于挠性连杆平台220上，并相对固定杆L4而固定。 第二分光镜330则是配置于三棱镜230与光侦测单元350之间，并位于参考光束311与偏振光211的光路径上。由此可知，参考光束311依序通过旋转偏光片314与摇摆相位延迟镜片组316之后，会射至平面反射镜320，再被平面反射镜320反射至第二分光镜330。之后，再被第二分光镜330反射。另一方面，偏振光211从三棱镜230的光出射面234出射后，会穿透第二分光镜 330。而且，由于穿透第二分光镜330的偏振光211与被第二分光镜330反射的参考光束 311具有光程差，因此两者之间会相互干涉而产生干涉条纹。值得注意的是，本实施例的光侦测单元350包含检偏器352与光接收器354。检偏器352将偏振光211与参考光束311等两道相垂直的光组合成具有相同偏振方向的两道光，进而以形成光干涉条纹。而光接收器3M则是接收并记录所产生的干涉条纹影像的结果，并将结果传递至例如是计算机中，来进一步作影像结果处理与分析。举例来说，当偏振光211与参考光束311的光程差值为0时，两道光所干涉而穿过检偏器352的光的强度达到最大值，若光程差值等于波长一半时，偏振光211与参考光束311所干涉而穿过检偏器352 的光强度则变为最低。通过透镜组356加以放大后由光接收器3M加以记录并传送至计算机以供进一步分析。其中，光接收器3M例如是电荷耦合元件(charge couple device, CCD)。而且由上述可知，光侦测单元350所接收的干涉条纹的强度和相位，可以通过旋转偏光片314以及摇摆相位延迟镜片316来做调整。为使本发明的特征的可行性与实用性得以另为呈现，以下针对本发明中所应用到的相关技术进一步加以说明(1)降低光学折射偏差的设计图6为本发明的一实施例中偏振光以不同角度入射至三棱镜的示意图。请参照图6，根据表面等离子体共振角度分析原理，不同角度的入射光入射三棱镜230后，通过计算反射光的强度变化，可判断所述待测物的物理性质。但是，由于光线在经过不同介质的界面时会产生光学折射，因此在检测过程中，可能会遭遇检测点位置偏差的问题。如图6所示，初始入射光A于入射点I垂直入射三棱镜230短边，因入射光A于入射点I的入射角为90°，故不会产生折射现象，入射光A 会入射至三棱镜230的底面236的初始检测点0。在设计上若将入射光A以0点为旋转中心，转动角度θ而形成入射光B，因三棱镜230的折射率大于空气折射率，且入射光A于入射点I’的入射角非90°，此时入射光B会产生折射，因此入射光B到达三棱镜230的底面
236时已偏离初始检测点0而射至一点0’，而产生一光学折射偏差值⑩。
为降低此光学折射偏差，输出杆L2的端点G以2个设计参数e与Dz定义的(见图7)。在此基本折射光路设计架构下，初始入射光A会直接入射至三棱镜320的底面3 上的初始检测点0。入射光A的路径往三棱镜320的底面3 平行偏移距离e，即为输出杆 L2位置。另外，输出杆L2的端点G与三棱镜短边延伸线的X方向距离为Dz。由于在挠性连杆平台220的运动过程中，输出杆L2与入射光A保持平行距离e，故输出杆L2与入射光 A的光路可视为同一刚体，两者之间并无相对运动关是。所以，输出杆L2与入射光A会以G 点为旋转中心作旋转运动。经旋转后，入射光A会旋转至入射光B的光路，形成另一入射光路而入射至三棱镜230的底面236。在此入射过程中，入射光B于空气与三棱镜230交界面
会产生折射，并偏离初始检测点0而射至点0’。通过推导可得光学折射偏差值(οσ)与设
计参数值e与Dz的关是式
权利要求
1.一种利用表面等离子体共振效应的检测装置，适于检测一待测物的共振角，其特征在于所述利用表面等离子体共振效应的检测装置包含一挠性连杆平台，包含一输入杆、一输出杆、一连接杆与一固定杆，所述输入杆的一端枢接于所述输出杆的一端，所述连接杆的一端枢接于所述输入杆的中心，所述连接杆另一端枢接于所述固定杆的一端，所述输出杆的另一端则枢接于所述固定杆的另一端，其中所述输入杆的自由端适于相对所述固定杆而进行线性运动，所述输出杆则适于以连接至所述固定杆的一端为轴心而旋转；一光源组，配置于所述挠性连杆平台上，并相对所述输出杆而固定，其中所述光源组适于提供一偏振光；一三棱镜，配置于所述挠性连杆平台上，并相对所述固定杆而固定，所述三棱镜具有一光入射面、一光出射面与一底面，且所述三棱镜位于所述偏振光的光路径上；一金属薄膜，镀于所述三棱镜的所述底面上，其中当所述偏振光由所述光入射面入射所述棱镜，并照射至所述金属薄膜后，所述偏振光会被反射而从所述光出射面出射，而所述待测物是配置于所述金属薄膜的表面上；以及一光侦测单元，配置于所述偏振光从所述三棱镜出射后的光路径上，适于侦测所述偏振光从所述棱镜出射后的光强度。
2.如权利要求1所述的利用表面等离子体共振效应的检测装置，其特征在于所述光源组包含一光源，适于提供一激光；以及一偏光片，配置于所述光源与所述棱镜之间，并位于所述激光的光路径上，所述偏光片适于将所述激光转换为所述偏振光。
3.如权利要求2所述的利用表面等离子体共振效应的检测装置，其特征在于所述光源组另包含一第一分光镜，配置于所述偏光片与所述三棱镜之间，其中当所述偏振光射入所述第一分光镜后，部分所述偏振光适于被所述第一分光镜反射而成为一参考光束，所述偏振光的其余部分则穿透所述第一分光镜而射入所述三棱镜；一摇摆相位延迟镜片组，配置于所述参考光束的光路径上；以及一旋转偏光片，配置于所述参考光束的光路径上，并位于所述第一分光镜与所述摇摆相位延迟镜片组之间，其中所述旋转偏光片适于旋转以改变其与所述摇摆相位延迟镜片组之间的距离。
4.如权利要求3所述的利用表面等离子体共振效应的检测装置，其特征在于另包含一第二分光镜，配置于所述三棱镜与所述光侦测单元之间，并位于所述参考光束以及所述偏振光的光路径上，所述第二分光镜适于反射所述参考光束，以使所述参考光束射至所述光侦测单元。
5.如权利要求4所述的利用表面等离子体共振效应的检测装置，其特征在于另包含一平面反射镜，配置于所述挠性连杆平台上，并相对所述固定杆而固定，其中所述参考光束在通过所述摇摆相位延迟镜片组之后，是通过所述平面反射镜将其反射至所述第二分光^Mi ο
6.如权利要求3所述的利用表面等离子体共振效应的检测装置，其特征在于所述光侦测单元包含一检偏器，是所述偏振光与参考光束组合成具有相同偏振方向的两道光，以形成一光干涉条纹影像；以及一光接收器，接收并记录所述光干涉条纹影像结果。
7.如权利要求6所述的利用表面等离子体共振效应的检测装置，其特征在于所述光侦测单元另包含一透镜组，配置于所述检偏器与所述光接收器之间，适于放大经所述检偏器所产生所述光干涉条纹影像。
8.如权利要求1所述的利用表面等离子体共振效应的检测装置，其特征在于所述偏振光适于平行所述输出杆而入射所述三棱镜。
9.如权利要求1所述的利用表面等离子体共振效应的检测装置，其特征在于所述偏振光入射所述三棱镜的光路径与所述输出杆之间夹一角度。
10.如权利要求1所述的利用表面等离子体共振效应的检测装置，其特征在于另包含一线性致动组，固定于所述挠性连杆平台上，所述线性致动组适于使所述输入杆的自由端产生线性位移。
全文摘要
本发明公开一种利用表面等离子体共振效应的检测装置，包含挠性连杆平台、光源组、三棱镜、金属薄膜与光侦测单元。挠性连杆平台的输入杆的自由端适于进行线性运动，以带动输出杆旋转。光源组会随着输出杆旋转，因而改变其所发出的偏振光入射三棱镜的角度。金属薄膜配置于三棱镜的底面上，待测物则配置于金属薄膜未与三棱镜接触的表面上。偏振光通过三棱镜照射至金属薄膜后，会被金属薄膜反射。光侦测单元是用以侦测偏振光被金属薄膜反射而从三棱镜出射的光强度。当所侦测到的光强度为零时，偏振光的入射角即为待测物的共振角。
文档编号G01N21/01GK102235971SQ201010173028
公开日2011年11月9日 申请日期2010年5月7日 优先权日2010年5月7日
发明者徐坴晖 申请人:徐坴晖