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专利名称：一种微压式传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型是一种微压式传感器，特别涉及有极板离开式结构和装有隔气罩的微压式传感器。
现有的微压式传感器，结构复杂，调整困难，在接近零压差时的灵敏度低，还有防腐蚀性能差。
本实用新型的目的是提供一种具有极板离开式结构和装有隔气罩的微压式传感器。
本实用新型的目的是这样实现的微压式传感器由上壳体、下壳体，上、下壳体之间安装有孔板，上、下壳体联接传感结构，传感结构由上极板、下极板构成，在传感结构的上、下腔体上安装有导电杆，在传感结构的下极板的下方安装有弹性板。
上、下壳体形成的燃气通道与传感结构的上、下腔体的联接通道之间安装有隔气罩。
上极板联接有垫块，垫块上安装有上螺母，螺母上安装有上调节螺钉。
弹性板的下方安装有弹簧，弹簧的一端安装在垫板上，垫板安装在下螺杆上，下螺杆上安装有下调节螺钉。
本实用新型具有结构简单，调整方便，特别是在小流量时更灵敏、安全，防腐蚀性能好。
下面通过实施例结合附图
加以说明。
附图为本实用新型的主剖视图。
如附图所示，微压式传感器由上壳体1、下壳体3，上、下壳体之间1、3安装有孔板2，上、下壳体1、3联接传感结构18，传感结构18由上极板12、下极板11构成，在传感结构18的上、下腔体13、5上安装有导电杆14，在传感结构18的下极板11的下方安装有弹性板10。上、下壳体1、3形成的燃气通道与传感结构18的上、下腔体13、5的联接通道之间安装有隔气罩4。上极板12联接有垫块15，垫块15上安装有上螺母16，螺母16上安装有上调节螺钉17。弹性板10的下方安装有弹簧9，弹簧9的一端安装在垫板8上，垫板8安装在下螺杆7上，下螺杆7上安装有下调节螺钉6。
工作时，燃气气体由上壳体1的通道通过孔板2向下壳体3的通道流出，燃气气体通过孔板2时，孔板2两面的环隙产生压差，经隔气罩4传递到弹性板10隔开的传感结构18的上、下腔体13、5内，使弹性板10产生位移，上极板12、下极板11之间产生电容变化，电信号由弹簧9，导电杆14传至电气系统。这种由于压差而使电容极板离开式结构在压差接近于零时，获得更大的电容量变化值，使传感器在小压差时使用更灵敏，更准确。
调整上调节螺钉17，可以调整上极板12、下极板11的初始位置。
调整下调节螺钉6，可以通过弹簧9来改变弹性板10的弹性系数来调整传感器的灵敏度。
在测量燃气和有腐蚀气体时，安装在上、下壳体1、3形成的燃气通道与传感结构18的上、下腔体13、5的联接通道之间的隔气罩4将传感器内的气体与燃气通道的燃气等气体隔开，通过隔气罩4的膨胀来传递压力。
在上极板12、下极板11、弹簧9的表面涂上绝缘层，完全将燃气与带电量零件隔离，双重保证了安全和避免腐蚀。
本实用新型工作灵敏，调整方便，安全性好，防腐蚀等特点。
权利要求1.一种微压式传感器，由上壳体(1)、下壳体(3)，上、下壳体(1)(3)之间安装有孔板(2)，上、下壳体(1)、(3)联接传感结构(18)，传感结构(18)由上极板(12)、下极板(11)构成，在传感结构(18)的上、下腔体(13)、(5)上安装有导电杆(14)，其特征在于在传感结构(18)的下极板(11)的下方安装有弹性板(10)。
2.根据权利要求1所述的微压式传感器，其特征在于上、下壳体(1)、(3)形成的燃气通道与传感结构(18)的上、下腔体(13)、(5)的联接通道之间安装有隔气罩(4)。
3.根据权利要求1所述的微压式传感器，其特征在于上极板(12)联接有垫块(15)，垫块(15)上安装有上螺母(16)，螺母(16)上安装有上调节螺钉(17)。
4.根据权利要求1所述的微压式传感器，其特征在于弹性板(10)的下方安装有弹簧(9)，弹簧(9)的一端安装在垫板(8)上，垫板(8)安装在下螺杆(7)上，下螺杆(7)上安装有下调节螺钉(6)。
专利摘要本实用新型是一种微压式传感器,特别涉及有极板离开式结构和装有隔气罩的微压式传感器,由上壳体、下壳体,上、下壳体之间安装有孔板,上、下壳体联接传感结构,传感结构由上极板、下极板构成,在传感结构的上、下腔体上安装有导电杆,在传感结构的下极板的下方安装有弹性板。本实用新型具有工作灵敏,调整方便,安全性好,防腐蚀等特点。
文档编号G01D5/24GK2426972SQ0022327
公开日2001年4月18日 申请日期2000年6月15日 优先权日2000年6月15日
发明者张彰 申请人:张彰, 刘浩军