专利名称：一种压力传感型真空度测量装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种压力传感型真空度测量装置，属于精密测量技术领域。
背景技术：
在工业测量中，经常遇到进行真空度测量的场合，但是目前真空度测量装置体积 较大，且价值昂贵，使用步骤繁琐，限制了普通工业场合的应用。
实用新型内容针对上述不足，本实用新型提供了一种压力传感型真空度测量装置，这种装置内 部有固定气压，随空间真空度变化带动柔性橡胶变形将形变力传给与之相连的压力传感 器，读出压力变化，通过计算即可得被测空间真空度值。本实用新型通过以下技术实现一种压力传感型真空度测量装置，它包括一块圆形柔性橡胶板及一块圆形刚性密 封板，两者固定在刚性密封圈上构成一个密闭空间，压力传感器的受力端与柔性橡胶板外 侧连接且由刚性固定板将其外端固定在刚性密封圈上。本实用新型的压力传感型真空度测量装置，主要由刚性密封圈，刚性密封板，柔性 橡胶板，压力传感器及压力传感器固定装置刚性固定板组成，其特征为该装置由一块圆形 柔性橡胶板及一块圆形刚性密封板固定在刚性密封圈上构成一个密闭空间，压力传感器的 受力端与柔性橡胶板外侧连接且由刚性固定板将其外端固定在刚性密封圈上，当测量某一 密闭空间内的真空度时，将装置放置其中，在气压差的作用下，该装置的柔性橡胶板变形将 形变力传给与之相连的压力传感器，从而测出形变压力，即可计算被测密闭空间的真空度。本实用新型的优点是，装置体积�。鄹癖阋耍褂梅奖悖僮靼踩乇鹗屎显谄� 通工业场合使用。
图1是该装置的纵剖面构造图；图2是该装置的纵剖面平面图；图中，1、压力传感器，2、刚性固定板，3、柔性橡胶板，4、刚性密封板，5、刚性密封圈。
具体实施方式
图1、图2为该装置的剖切图。该装置由圆形刚性密封板4和圆形柔性橡胶板3固 定在刚性密封圈5上构成一个密闭空间，压力传感器1的受力端与柔性橡胶板3外侧连接 且由锥台型刚性固定板2将其外端固定在刚性密封圈5上，当测量某一密闭空间的真空度 时，该将装置放置其中，在气压的差作用下，该装置的柔性橡胶板3变形将形变力传给与之 相连的压力传感器1，从而测出形变压力，即可计算被测密闭空间的真空度。
权利要求一种压力传感型真空度测量装置，其特征是，它包括一块圆形柔性橡胶板及一块圆形刚性密封板，两者固定在刚性密封圈上构成一个密闭空间，压力传感器的受力端与柔性橡胶板外侧连接且由刚性固定板将其外端固定在刚性密封圈上。
专利摘要本实用新型涉及一种压力传感型真空度测量装置，它包括一块圆形柔性橡胶板及一块圆形刚性密封板，两者固定在刚性密封圈上构成一个密闭空间，压力传感器的受力端与柔性橡胶板外侧连接且由刚性固定板将其外端固定在刚性密封圈上。当测量某一密闭空间内的真空度时，将装置放置其中，在气压差的作用下，该装置的柔性橡胶板变形将形变力传给与之相连的压力传感器，从而测出形变压力，即可计算被测密闭空间的真空度。
文档编号G01L21/00GK201555687SQ20092025892
公开日2010年8月18日 申请日期2009年11月17日 优先权日2009年11月17日
发明者刘保龙, 吴冬雨, 孙杰, 张朝, 张正旬, 莫才勇, 门洪斌 申请人:刘保龙
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