专利名称：母板制程与血液检测载体的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种信息存储领域信息记录载体中的母板制程(stamperprocess)与血液检测载体的制作方法，特别是涉及一种用以制作血液检测载体的母板制程与血液检测载体的制作方法。
背景技术：
近年来，光盘片制作技术日益精进，而在另一方面，政府也全力推动生物技术产业的研发，因此一种结合光盘片制作与生物相关的检验技术的检测载体被开发出来。这种检测载体的外型、尺寸是与一般的光盘片相近，该检测载体上具有一些图案化的微流道，以及可放置反应试剂、检体并与微流道相通的凹槽。利用旋转检测载体时所产生的离心力，可以控制流道中检体(或是血液)或反应槽中反应试剂的流向，此外，在检测载体还外接有侦检器以侦测载体上利用萤光(或雷射光)所照射的检验区的检验结果。由于在此种检测载体上同时具有检体(或反应试剂)存放、检体(或反应试剂)输送、检体反应以及侦测等功能，如同一个缩小化但却具有多用途的实验室一般，因此这种结合生物检验技术的检测载体被称之为实验室光盘片(Lab on CD)，此类的实验室光盘片(Lab on CD)的制作是先形成一母板，再利用该母板以注射成型的方式大量制造出实验室光盘片。
请参阅图1A至图1D所示，是现有习知的一种母板的制程及母板的剖面示意图，该现有习知的一种母板的制程，其包括以下步骤请参阅图1A所示，首先提供基板100，该基板100例如是透明的玻璃基板或硅晶圆，接着，涂布液态光阻层(图中未示)于基板100上，并预烤液态光阻层。之后，对液态光阻层进行曝光/显影制程，以形成暴露出部分基板100的图案化光阻层102，其中曝光的方式例如是利用UV光源来进行，且图案化光阻层102的光罩图案与后续实验室光盘片(Lab on CD)上所欲形成的微流道相关，该图案化光阻层102的厚度与实验室光盘片(Lab on CD)上所欲形成的微流道的深度相同。
接着，请参阅图1B所示，对图案化光阻层102与其所暴露出的基板100进行金属溅镀(图中未示)。之后，利用电镀或电铸制程形成图案金属层104于图案化光阻层102所暴露出的基板100上，其中所形成的图案金属层104是与图案光阻层102互补。
继之，请参阅图1C所示，进行去膜制程以剥除电镀或电铸制程后的光阻层102，并以电浆灰化法清洁金属层104表面的杂质，其中所形成的图案金属层104是为微流道的凸版结构。
之后，请参阅图1D所示，将金属层104的背面进行研磨，以完成母板106。在此步骤中，进行研磨的目的在于电铸所形成的金属层104其厚度相同，因此若金属层104正面是具有凸起的图形，则在其背面的相同位置会产生下凹的图形，如此在进行后续的成型步骤时会损坏固定侧镜面，因此，在进行后续的成型步骤之前必须先进行研磨使母板背面平坦。
虽然上述研磨可以解决母板背面不平坦的问题，然而，进行背面研磨却衍生出其它的问题，例如研磨时只研磨背面，而使单面受力的应力无法消除，因此残留应力大。此外，现有习知技术所形成的母板的高度是靠光阻的厚度来完成，而所涂布的光阻剂其均匀性在5-10％的误差范围之间，因此对一些要求高均匀厚度的光阻制程，现有习知的方法并不适用。另外，研磨时金属层的背面朝上放置，而包含图案的正面是被机台握持，但是一般机台是靠真空或磁力方式吸附被研磨物，若吸附面不平整则会造成吸附不良，使得被研磨物握持效果不佳；另外，若研磨时受力不均则会造成研磨不良。当然上述问题可以利用一套具有反向图案的制具将研磨物镶住再进行研磨，但此方式的研磨步骤较复杂，且成本较高。
由此可见，上述现有的母板制程与血液检测载体的制作方法仍存在有缺陷，而亟待加以进一步改进。
为了解决现有的母板制程与血液检测载体的制作方法的缺陷，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决的道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，此显然是相关业者急欲解决的问题。
有鉴于上述现有的母板制程与血液检测载体的制作方法所存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及其专业知识，积极加以研究创新，以期创设一种新的母板制程与血液检测载体的制作方法，能够改进一般现有常规的母板制程与血液检测载体的制作方法，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。
发明内容
本发明的主要目的在于，克服现有的母板制程存在的缺陷，而提供一种新的母板制程，所要解决的主要技术问题是使其可以解决现有习知技术的母板制程存在的研磨不良的问题。
本发明的另一目的在于，克服现有的血液检测载体的制作方法存在的缺陷，而提供一种新的血液检测载体的制作方法，所要解决的技术问题是使其直接电铸形成图案化导体层于导体板材上，而可减少电铸的时间以及所需的能量，而具有产业上的利用价值。
本发明的再一目的在于，提供一种新的血液检测载体的制作方法，所要解决的技术问题是使得血液检测载体上的微流道的形状以及深度保持一致，而可以增加检测载体制作的稳定性，进而可以简化血液检验时程及成本，从而更加适于实用。
本发明的目的及其解决其主要技术问题是采用以下的技术方案来实现的。依据本发明提出的一种母板制程，其包括以下的步骤提供一导体板材；形成一图案化光阻层于该导体板材上，该图案化光阻层是将该导体板材的部分区域暴露；形成一导体层于该图案化光阻层所暴露出的该导体板材上；以及剥除该图案化光阻层。
本发明的目的及解决其技术问题还可以采用以下的技术措施来进一步实现。
前述的母板制程，其中所述的图案化光阻层在形成之前，更包括形成一粘着层于该导体板材上。
前述的母板制程，其中所述的图案化光阻层在形成之后与该导体层形成之前，更包括对该图案化光阻层与该图案化光阻层所暴露出的该导体板材进行表面处理。
前述的母板制程，其中所述的图案化光阻层的形成方法其包括以下步骤涂布一光阻材质于该导体板材上；预烤该光阻材质；以及对该液态光阻材质进行曝光/显影制程。
前述的母板制程，其中所述的图案化光阻层的形成方法包括粘贴一干膜光阻于导体板材上。
前述的母板制程，其中所述的图案化光阻层的厚度是介于50至1000微米之间。
前述的母板制程，其中所述的导体层的形成方法其是选自一电铸制程、一有电电镀制程以及一无电电镀制程其中之一。
前述的母板制程，其中所述的剥除该图案化光阻层的剥除方式包括进行一去膜制程。
前述的母板制程，其中所述的剥除该图案化光阻层在剥除该图案化光阻层之后，更包括进行电浆灰化制程。
本发明的目的及解决其主要技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本发明提出的一种血液检测载体的制作方法，适于制作出表面具有至少一微流道的一血液检测载体，该血液检测载体的制作方法包括以下的步骤提供一导体板材；形成一图案化光阻层于该导体板材上，该图案化光阻层是将该导体板材的部分区域暴露；形成一导体层于该图案化光阻层所暴露出的该导体板材上；剥除该图案化光阻层，以形成一母板；以及以该母板制作出表面具有该微流道的该血液检测载体。
本发明的目的及解决其技术问题还可以采用以下的技术措施来进一步实现。
前述的血液检测载体的制作方法，其中所述的形成一图案化光阻层在该图案化光阻层形成之前，更包括形成一粘着层于该导体板材上。
前述的血液检测载体的制作方法，其中所述的形成一图案化光阻层在该图案化光阻层形成之后与该导体层形成之前，更包括对该图案化光阻层与该图案化光阻层所暴露出的该导体板材进行表面处理。
前述的血液检测载体的制作方法，其中所述的图案化光阻层的形成方法包括以下步骤涂布一液态光阻材质于该导体板材上；预烤该液态光阻材质；以及对该光阻材质进行曝光/显影制程。
前述的血液检测载体的制作方法，其中所述的图案化光阻层的形成方法包括粘贴一干膜光阻于导体板材上。
前述的血液检测载体的制作方法，其中所述的图案化光阻层的厚度是介于30至1000微米之间。
前述的血液检测载体的制作方法，其中所述的导体层的形成方法是选自一电铸制程、一有电电镀制程以及一无电电镀制程其中之一。
前述的血液检测载体的制作方法，其中所述的图案化光阻层的剥除方式包括进行一去膜制程。
前述的血液检测载体的制作方法，其中所述的剥除该图案化光阻层之后更包括进行电浆灰化制程。
前述的血液检测载体的制作方法，其中所述的以该母板制作出表面具有该微流道的该血液检测载体，包括以下步骤提供一模具；将该母板组装于该模具上；以及以射出成形的方式制作出该血液检测载体。
本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上技术方案可知，为了达到前述发明目的，本发明的主要技术内容如下本发明提出一种母板制程，该母板制程是提供一导体板材，继之，形成液态光阻层于导体板材的正面上，并预烤液态光阻层，之后对光阻层进行曝光/显影制程，以在导体板材上形成暴露出部分导体板材的图案化光阻层。接着，对图案化光阻层与图案化光阻层所暴露出的该导体板材进行表面处理。之后，形成导体层于图案化光阻层所暴露出的导体板材上，其中所形成的导体层厚度可由电铸的时间或电流大小所控制，其厚度例如是与图案化光阻层的厚度一致或不一致，且形成方式例如是电铸制程、有电电镀制程或无电电镀制程。接着，利用去膜制程以去除图案化光阻层。最后，进行电浆灰化法去除导体层表面的杂质而完成母板制程。
本发明提出一种血液检测载体的制作方法，该方法是提供一母板，之后，将母板组装于模具上，并以射出成型的方式制作出表面具有微流道的血液检测载体。其中，母板的制程是提供一导体板材。继之，形成液态光阻层于导体板材上，之后，预烤液态光阻层，接着，对光阻层进行曝光/显影制程以形成图案化光阻层于导体板材上，其中图案化光阻层是暴露出导体板材的部分区域。继之，对图案化光阻层与图案化光阻层所暴露出的导体板材进行表面处理。之后，形成导体层于图案化光阻层所暴露出的导体板材上，其中所形成的导体层厚度可由电铸的时间或电流大小所控制，其厚度例如是与图案化光阻层的厚度一致或不一致，且形成方式例如是电铸制程、有电电镀制程或无电电镀制程。接着，利用去膜制程以去除图案化光阻层。继之，进行电浆灰化法去除导体层表面的杂质而完成母板制程。
因此，本发明直接在导体板材利用电铸法形成图案化的导体层，可以减少电铸或是电镀制程所需的时间，而且使用本发明所电铸的厚度其均匀性较佳。
借由上述技术方案可知，本发明至少具有下列优点1、本发明可由电铸或电镀来控制母板厚度，而不需使用现有习知的光阻层来控制原模的厚度，因此所制作出来的母板其厚度的均匀度较佳。
2、本发明直接在导体板材电镀或电铸图案化的导体层，可以减少电铸所需的时间及所需要的能量，且包括有导体层的导体板材其正面具有凸起的电铸图形，而背面为平坦的导体板材，因此，不会影响后续射出成型的制程。
3、本发明利用母板能够制作出表面具有微流道的血液检测载体，可以利用旋转时产生的离心力使血液与反应试剂混合并反应来检测病患的血液，因此，可以简化血液检测的时程与成本。
综上所述，本发明特殊的母板制程与血液检测载体的制作方法，其制作方法是在导体板材上形成暴露出部分导体板材的图案化光阻层，继之，形成导体层于图案化光阻层所暴露出的导体板材上。接着，进行去墨制程以剥除图案化光阻层而形成母板，之后，将母板组装于模具上，并以射出成形的方式制作出表面具有微流道的血液检测载体。本发明由于直接电铸导体层于导体板材上，因此可以解决现有习知技术的母板在背面研磨后出现残留应力以及光阻层膜厚不均而影响母板图案的问题，并可减少电铸的时间以及所需的能量，而具有产业上的利用价值。本发明的血液检测载体上的微流道的形状以及深度保持一致，而可增加检测载体制作的稳定性，进而可简化血液检验时程及成本，从而更加适于实用。其具有上述诸多的优点及实用价值，在制作方法上确属创新，较现有的母板制程与血液检测载体的制作方法具有增进的多项功效，其不论在制作方法上或功能上皆有较大改进，且在技术上有较大进步，并产生了好用及实用的效果，而确实具有增进的功效，从而更加适于实用，具有产业的广泛利用价值，诚为一新颖、进步、实用的新设计。
上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
本发明的具体制程及制作方法由以下实施例及其附图详细给出。
图1A至图1D是现有习知的一种母板的制程及母板的剖面示意图。
图2A至图2D是本发明一较佳实施例的一种母板的制程及母板的剖面示意图。
100基板 102光阻层202光阻层 104金属层106母板 206母板200导体板材 204导体层具体实施方式
以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的母板制程与血液检测载体的制作方法其具体制程、制作方法、步骤、特征及其功效，详细说明如后。
本发明的母板制程可应用于各种需要特定图案的载体制作上，在本实施例中仅是特举出血液检测载体的制作方法加以说明，该血液检测载体的制作方法是包含母板制程及后续的射出成型步骤。
请参阅图2A至图2D所示，是本发明一较佳实施例的一种母板的制程及母板的剖面示意图。
本发明的血液检测载体的制作方法，包括以下步骤请参阅2A所示，是提供一导体板材200，其中该导体板材200例如是金属，且其厚度例如是200至1000微米之间。之后，并可选择性地形成粘着层(图中未示)于导体板材200上，以使后续在形成光阻层时，该光阻层与导体板材200之间可以具有较佳的表面附着性。
接着，请参阅图2B所示，形成图案化光阻层202于上述导体板材200上。其中形成的方式例如是贴合干膜的光阻层或是形成液态光阻层(图中未示)于导体板材200上，而该液态光阻层的材质例如是树脂、感光剂以及溶剂混合而成的光阻剂，且其形成的方式例如是旋转涂布，另外其厚度例如是50至1000微米之间。之后，预烤液态光阻层，以使该液态光阻层中的溶剂藉由加热而蒸发，形成固态的薄膜(图中未示)。接着，对光阻层202进行曝光/显影制程，以在导体板材200上形成暴露出部分导体板材200的图案化光阻层202，其中曝光方式例如是使用UV光源、雷射光源或是准分子雷射，而UV光源例如是由汞弧灯管(mercury arc lamp)所产生。
值得一提的是，上述图案化光阻层202的图案与后续血液检测载体上所欲形成的微流道相关，该图案化光阻层202的厚度与血液检测载体上所欲形成的微流道的深度相同。
之后，请参阅图2C所示，对图案化光阻层202与图案化光阻层202所暴露出的导体板材200进行表面处理(图中未示)，以使其表面洁净，并且在表面洁净后，进行一表面粗造化的步骤，其所利用的溶液例如是硝酸、盐酸、双氧水或硫酸等液体。继之，形成导体层204于图案化光阻层202所暴露出的导体板材200上。其中，形成方法例如是电铸制程、有电电镀制程或无电电镀制程，其中该无电电镀制程例如是进行一自发性氧化还原步骤以形成导体层。另外，导体层204的材质例如是与导体板材200具有相似或相同晶格特性的材质，而其形成的厚度可由电铸的时间或电流大小所控制，其厚度例如是与图案化光阻层202的厚度一致或不一致，且其厚度同时亦为血液检测载体上所欲形成的微流道的深度。
接续，请参阅图2D所示，剥除图案化光阻层202，其中剥除方式例如是进行去膜制程将导体板材200上的光阻层202移除。最后，进行电浆灰化法去除导体板材200以及导体层204的表面的杂质，而完成母板206制程。
继之，将母板206组装于模具上，并以射出成型的方式大量制作出表面具有微流道的血液检测载体(图中未示)，其中母板206上的凸起图案是为血液检测载体的微流道，而所凸起的高度是为微流道的深度。
更值得一提的是，上述的母板制程并非只限于血液检测载体的制作，其它例如光盘片或是液晶显示器的背光�？槟诘牡脊獍宓劝赴逯瞥蹋嗫衫帽痉⒚髦谱魉璧哪赴澹运醵棠赴逯瞥痰氖奔洌⒖杉跎僦瞥坛杀�。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的方法及技术内容作出些许的更动或修饰为等同变化的等效实施例，但是凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
权利要求
1.一种母板制程，其特征在于其包括以下步骤提供一导体板材；形成一图案化光阻层于该导体板材上，该图案化光阻层是将该导体板材的部分区域暴露；形成一导体层于该图案化光阻层所暴露出的该导体板材上；以及剥除该图案化光阻层。
2.根据权利要求1所述的母板制程，其特征在于其中所述的图案化光阻层在形成之前，更包括形成一粘着层于该导体板材上。
3.根据权利要求1所述的母板制程，其特征在于其中所述的图案化光阻层在形成之后与该导体层形成之前，更包括对该图案化光阻层与该图案化光阻层所暴露出的该导体板材进行表面处理。
4.根据权利要求1所述的母板制程，其特征在于其中所述的图案化光阻层的形成方法包括以下步骤涂布一光阻材质于该导体板材上；预烤该光阻材质；以及对该液态光阻材质进行曝光/显影制程。
5.根据权利要求1所述的母板制程，其特征在于其中所述的图案化光阻层的形成方法包括粘贴一干膜光阻于导体板材上。
6.根据权利要求1所述的母板制程，其特征在于其中所述的图案化光阻层的厚度是介于50至1000微米之间。
7.根据权利要求1所述的母板制程，其特征在于其中所述的导体层的形成方法是选自一电铸制程、一有电电镀制程以及一无电电镀制程其中之一。
8.根据权利要求1所述的母板制程，其特征在于其中所述的剥除该图案化光阻层的剥除方式包括进行一去膜制程。
9.根据权利要求1所述的母板制程，其特征在于其中所述的剥除该图案化光阻层在剥除该图案化光阻层之后，更包括进行电浆灰化制程。
10.一种血液检测载体的制作方法，适于制作出表面具有至少一微流道的一血液检测载体，其特征在于该血液检测载体的制作方法包括以下步骤提供一导体板材；形成一图案化光阻层于该导体板材上，该图案化光阻层是将该导体板材的部分区域暴露；形成一导体层于该图案化光阻层所暴露出的该导体板材上；剥除该图案化光阻层，以形成一母板；以及以该母板制作出表面具有该微流道的该血液检测载体。
11.根据权利要求10所述的血液检测载体的制作方法，其特征在于其中所述的形成一图案化光阻层在该图案化光阻层形成之前，更包括形成一粘着层于该导体板材上。
12.根据权利要求10所述的血液检测载体的制作方法，其特征在于其中所述的形成一图案化光阻层在该图案化光阻层形成之后与该导体层形成之前，更包括对该图案化光阻层与该图案化光阻层所暴露出的该导体板材进行表面处理。
13.根据权利要求10所述的血液检测载体的制作方法，其特征在于其中所述的图案化光阻层的形成方法包括以下步骤涂布一液态光阻材质于该导体板材上；预烤该液态光阻材质；以及对该光阻材质进行曝光/显影制程。
14.根据权利要求10所述的血液检测载体的制作方法，其特征在于其中所述的图案化光阻层的形成方法包括粘贴一干膜光阻于导体板材上。
15.根据权利要求10所述的血液检测载体的制作方法，其特征在于其中所述的图案化光阻层的厚度是介于30至1000微米之间。
16.根据权利要求10所述的血液检测载体的制作方法，其特征在于其中所述的导体层的形成方法是选自一电铸制程、一有电电镀制程以及一无电电镀制程其中之一。
17.根据权利要求10所述的血液检测载体的制作方法，其特征在于其中所述的图案化光阻层的剥除方式包括进行一去膜制程。
18.根据权利要求10所述的血液检测载体的制作方法，其特征在于其中所述的剥除该图案化光阻层之后更包括进行电浆灰化制程。
19.根据权利要求10所述的血液检测载体的制作方法，其特征在于其中所述的以该母板制作出表面具有该微流道的该血液检测载体，包括以下步骤提供一模具；将该母板组装于该模具上；以及以射出成形的方式制作出该血液检测载体。
全文摘要
本发明是关于一种母板制程与血液检测载体的制作方法，母板制程包括提供一导体板材；形成一图案化光阻层于导体板材上，图案化光阻层将导体板材部分区域暴露；形成一导体层于图案化光阻层暴露出的导体板材上；及剥除图案化光阻层。制作方法是在导体板材上形成暴露部分导体板材的图案化光阻层，继之形成导体层于图案化光阻层暴露的导体板材上；接着进行去墨制程剥除图案化光阻层而形成母板，之后将母板组装于模具，并射出成形制出表面具微流道的血液检测载体。由于直接电铸导体层于导体板材上，可解决现有母板在背面研磨出现残留应力及光阻层膜厚不均影响母板图案问题；血液检测载体上的微流道形状及深度一致，可增加制作稳定性，简化血液检验时程及成本。
文档编号G01N33/00GK1553181SQ0313705
公开日2004年12月8日 申请日期2003年6月2日 优先权日2003年6月2日
发明者吴俊翰, 郑瑞颐, 陈俊华 申请人:铼德科技股份有限公司
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
