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专利名称：用于对原料采样的装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及采样技术，特别涉及一种用于对原料采样的装置。
背景技术：
在半导体制造领域，芯片的制作过程离不开化学制品，化学制品的质量直接影响 芯片的制作工艺。为了确保芯片制造的质量及安全性，需要对芯片制作过程中使用的化学 制品原料的质量进行周期性的采样和检测，主要是对采样的化学制品原料进行金属污染检 测和化验。 图la 图lc为现有的原料桶的三视图，其中，图la中为主视图，图lb为左视图， 图lc为俯视图，现有的用于盛放化学制品原料的原料桶包括桶身IO和位于桶身顶部的出 液口 101和充气口 102。 现结合图la 图lc，对现有的化学制品原料的采样过程进行说明 当需要对原料桶中的化学制品原料进行采样时，利用可压縮的瓶子和与瓶子连接 的软管通过出液口 101对桶中的化学制品原料进行采样，主要利用大气压原理，压縮瓶子， 将瓶中的空气通过与瓶子连接的软管排出，将软管通过出液口 101伸入桶中的化学制品原 料中，松开被压縮的瓶子，桶中的化学制品原料被吸入瓶中。 由于现有的原料桶无专门的采样口或采样装置，只能通过可压縮的瓶子和与瓶子 连接的软管对桶中的化学制品原料进行采样，而采用上述装置对化学制品原料进行采样 时，采样比较困难，且桶中的化学制品原料容易受到伸入桶中的软管的污染；如果采样人员 操作不当，残留在软管中的化学制品原料会对采样人员造成伤害。

实用新型内容有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种用于对原料采样的装置，能够降 低取样难度并避免对原料的污染。 为达到上述目的，本实用新型的技术方案具体是这样实现的 —种用于对原料采样的装置，包括 —管状壳体，其一端具有可从原料桶采样口吸入原料的第一开口 、另一端封闭； 且，该管状壳体的侧壁在靠近第一开口的预定位置上，具有可将第一开口吸入原料排出的 第二开口 ； —挡板，其位于管状壳体内且其截面形状与管状壳体形成的空腔截面相同、并可 沿管状壳体的轴线平动； —杆，其一端连接挡板、另一端穿透管状壳体封闭的另一端伸出至穿透管状壳体 外； —弹性部件，其一端固定于挡板背向第一开口的一面、另一端固定于管状壳体封 闭的另一端，可在朝向第一开口的方向上推动挡板以将第二开口阻塞； —手柄，与杆伸出至穿透管状壳体外的另一端相连、可通过杆在背向第一开口的方向上拉动挡板以将第二开口开启。 上述装置中，所述采样口位于原料桶侧壁。 上述装置中，所述管状壳体的第一开口固定于所述采样口 。 较佳地，该装置进一步包括一收容所述管状壳体和所述手柄、并固定于原料桶侧 壁的保护罩。 上述装置中，所述弹性部件为环绕于所述杆的弹簧。 由上述的技术方案可见，本实用新型用于对原料采样的装置中，管状壳体的一端 具有可从原料桶采样口吸入原料的第一开口 、另一端封闭；且，该管状壳体的侧壁在靠近第 一开口的预定位置上，具有可将第一开口吸入原料排出的第二开口 ；挡板位于管状壳体内 且其截面形状与管状壳体形成的空腔截面相同、并可沿管状壳体的轴线平动；杆的一端连 接挡板、另一端穿透管状壳体封闭的另一端伸出至穿透管状壳体外；弹性部件的一端固定 于挡板背向第一开口的一面、另一端固定于管状壳体封闭的另一端，可在朝向第一开口的 方向上推动挡板以将第二开口阻塞；手柄与杆伸出至穿透管状壳体外的另一端相连、可通 过杆在背向第一开口的方向上拉动挡板以将第二开口开启。采用本实用新型的装置对原料 进行采样，通过改变作用于管状壳体外部的与杆伸出管状壳体的一端连接的手柄的作用力 的大小，可使位于管状壳体内与杆的另一端连接的挡板沿背离或朝向管状壳体第一开口的 方向运动，进而可以开启或阻塞管状壳体的第二开口 ，以对原料桶中的原料进行采样，不仅 采样操作简单，而且避免了对原料桶中的原料造成的污染。

图la 图lc为现有的原料桶的三视图。 图2为本实用新型用于对原料采样的装置的结构示意图。 图3为本实用新型用于对原料采样的装置弹性部件被压縮情况下的结构示意图。 图4为具有本实用新型用于对原料采样的装置的原料桶的主视图。
具体实施方式为使本实用新型的目的、技术方案、及优点更加清楚明白，以下参照附图并举实施 例，对本实用新型进一步详细说明。 本实用新型提出了一种用于对原料采样的装置，该装置包括管状壳体的一端具 有可从原料桶采样口吸入原料的第一开口、另一端封闭；且，该管状壳体的侧壁在靠近第一 开口的预定位置上，具有可将第一开口吸入原料排出的第二开口 ；挡板位于管状壳体内且 其截面形状与管状壳体形成的空腔截面相同、并可沿管状壳体的轴线平动；杆的一端连接 挡板、另一端穿透管状壳体封闭的另一端伸出至穿透管状壳体外；弹性部件的一端固定于 挡板背向第一开口的一面、另一端固定于管状壳体封闭的另一端，可在朝向第一开口的方 向上推动挡板以将第二开口阻塞；手柄与杆伸出至穿透管状壳体外的另一端相连、可通过 杆在背向第一开口的方向上拉动挡板以将第二开口开启。 图2为本实用新型用于对原料采样的装置的结构示意图；图3为本实用新型用于 对原料采样的装置弹性部件被压縮情况下的结构示意图；图4为具有本实用新型用于对原 料采样的装置的原料桶的主视图。现结合图2、图3及图4，对本实用新型用于对原料采样的装置的结构进行说明，具体如下 本实用新型用于对原料采样的装置包括管状壳体21、挡板22、杆23、弹性部件24
及手柄25。本实用新型用于对原料采样的装置还可以进一步包括一保护罩26。 原料桶侧壁具有一采样口 ，且采样口与原料桶顶面的距离小于等于采样口与原料
桶底面的距离。 管状壳体21的一端具有可从原料桶采样口吸入原料的第一开口、另一端封闭；管 状壳体21的侧壁在靠近第一开口的预定位置上具有可将第一开口吸入的原料排出的第二 开口211。其中，管状壳体21的第一开口固定于位于桶身侧壁的采样口 ；管状壳体21封闭 一端的端面中心具有一与杆23直径相同的通孔；管状壳体21侧壁的第二开口 211的开口 方向为朝向原料桶桶底方向，第二开口211与管状壳体21连通原料桶侧壁的第一开口间的 水平距离大于等于弹性部件24正常状态下挡板22与管状壳体21的第一开口间的水平距 离。管状壳体21可采用不锈钢或者其它耐强酸强碱腐蚀的材质。 挡板22位于管状壳体21内、截面面积等于管状壳体21形成的空腔的截面积、并 可沿管状壳体的轴线平动。挡板22的一面朝向管状壳体21的第一开口，另一面固定于杆 23的一端，且挡板22的中心与杆23的轴心重合。挡板22可采用不锈钢或者其它耐强酸强 碱腐蚀的材质。 杆23位于管状壳体21内，与挡板22固定的一端与弹性部件24的一端连接；杆 23的另一端穿透管状壳体21封闭一端伸出管状壳体外21，杆23是穿过管状壳体21封闭 端端面中心的通孔伸出至管状壳体外21。杆23的轴线与管状壳体21的轴线重合。 弹性部件24位于管状壳体21内，其一端固定于挡板22背向第一开口的一面、另 一端固定于管状壳体21封闭一端，可在朝向第一开口的方向上推动挡板22以将管状壳体 21的第二开口阻塞。弹性部件24环绕于杆外部。本实施例中，弹性部件24为弹簧。弹性 部件24的正常状态为弹性部件24未发生形变的状态。 手柄25位于管状壳体21夕卜，与杆23伸出至穿透管状壳体21外的一端相连；手柄 25可通过杆23在背向管状壳体21第一开口的方向上拉动挡板23，以使第二开口 211开启， 进而使原料桶中的原料通过管状壳体21的第二开口 211流出；手柄25的直径大于管状壳 体21封闭端端面中心通孔的直径。 当无需对原料桶中的化学制品进行采样时，管状壳体21中的弹性部件24处于正 常状态，挡板22的朝向管状壳体21第一开口的一面与桶身侧壁采样口所在的平面重合，挡 板22将管状壳体21的第二开口 211阻塞，此时无化学制品原料从管状壳体21的第二开口 211流出。 当需要对原料桶中的化学制品进行采样时，手柄25受外力作用向远离原料桶运 动，手柄25通过杆23向背向管状壳体21的第一开口的方向拉动挡板22运动，以将管状壳 体21的第二开口 211开启，化学制品原料通过管状壳体21的第二开口 211流出。采样结 束后，作用于手柄25的外力消失，由于管状壳体21中弹性部件24的弹力作用，挡板22受 弹性部件24的推力作用朝管状壳体21的第一开口方向运动，以将管状壳体21的第二开口 阻塞。 采用本实用新型的用于对原料采样的装置，无需伸入桶内的化学制品原料中的软 管抽取原料，只需要通过对手柄25施加作用力以控制挡板22与管状壳体21的第二开口211的相对位置，就可从原料桶中获得化学制品原料，不但操作简单，还可减少对桶内的化 学制品原料造成污染，而且不会对采样人员造成伤害。 本实用新型用于对原料采样的装置进一步包括一收容管状壳体21和手柄25且固 定于原料桶侧壁的保护罩26，相应地，桶身侧壁具有用于安装保护罩26的卡槽或螺纹槽。 保护罩26为一端开口一端封闭的壳体；保护罩26可通过壳体开口端内侧面的卡勾或螺纹 固定于桶身侧壁的卡槽或螺纹槽。增加的保护罩26可防止在原料桶搬运过程中，对手柄25 误拉拽动作造成的桶内化学制品原料的泄露，避免了对环境的污染和对搬运人员的损害。 综上所述，以上为本实用新型的较佳实施例，并非用来限定本实用新型的保护范 围。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本 实用新型的保护范围之内。
权利要求一种用于对原料采样的装置，包括一管状壳体，其一端具有可从原料桶采样口吸入原料的第一开口、另一端封闭；且，该管状壳体的侧壁在靠近第一开口的预定位置上，具有可将第一开口吸入原料排出的第二开口；一挡板，其位于管状壳体内且其截面形状与管状壳体形成的空腔截面相同、并可沿管状壳体的轴线平动；一杆，其一端连接挡板、另一端穿透管状壳体封闭的另一端伸出至穿透管状壳体外；一弹性部件，其一端固定于挡板背向第一开口的一面、另一端固定于管状壳体封闭的另一端，可在朝向第一开口的方向上推动挡板以将第二开口阻塞；一手柄，与杆伸出至穿透管状壳体外的另一端相连、可通过杆在背向第一开口的方向上拉动挡板以将第二开口开启。
2. 根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述采样口位于原料桶侧壁。
3. 根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述管状壳体的第一开口固定于所述采样口。
4. 根据权利要求3所述的装置，其特征在于，该装置进一步包括一收容所述管状壳体和所述手柄、并固定于原料桶侧壁的保护罩。
5. 根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述弹性部件为环绕于所述杆的弹簧。
专利摘要本实用新型提出了一种用于对原料采样的装置，该装置包括一端具有可从原料桶采样口吸入原料的第一开口、另一端封闭且在靠近第一开口的原料桶侧壁上具有可将吸入原料排出的第二开口的管状壳体；位于管状壳体内、并可沿管状壳体的轴线平动的挡板；一端连接挡板、另一端穿透管状壳体封闭的另一端伸出至管状壳体外的杆；一端固定于挡板背向第一开口的一面、另一端固定于管状壳体封闭的另一端，可在朝向第一开口的方向上推动挡板以将第二开口阻塞的弹性部件；与杆伸出至管状壳体外的另一端相连、可通过杆在背向第一开口的方向拉动挡板以将第二开口开启的手柄。采用本实用新型的装置进行采样，不仅操作简单，而且可避免对原料的污染。
文档编号G01N1/10GK201436577SQ200920075668
公开日2010年4月7日 申请日期2009年7月31日 优先权日2009年7月31日
发明者刘媛娜, 刘庆修, 张海, 杜美娜 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司