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专利名称：提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法
技术领域：
本发明涉及微观检测技术领域，尤其涉及一种提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法。
背景技术：
透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope, TEM)作为电子显微学的重要工具，可以同时分析微区的组织形态、晶体结构、组成元素、化学键结状态以及电子分布结构等，是固体材料分析强有力的工具之一。随着半导体行业的不断发展，技术的不断改
良，芯片尺寸的不断缩减，材料生长日趋多元化、立体化、微型化，各种类型的异质材料中存在的界面、应变态、应变弛豫及随后的晶格失配位错的形成等，为TEM的使用提供了广阔的发展空间。TEM的原理是电子束穿透样品，并激发出透射电子，经过聚焦与放大，采用探測器收集信号并成像。由于电子易散射和被物体吸收，所以必须制备超薄切片，TEM样品通常要减薄到O. 2um以下,TEM样品制备是ー个难点。许多情况下需要使用聚焦离子束(focus ionbeam, FIB)进行切割得到薄片，此薄片即为TEM样品薄片。采用聚焦离子束制备透镜样品的步骤为首先在需要制样的部位淀积ー层金属作为保护，然后在两边进行刻蚀，最終形成ー个薄片，再通过超薄切片机(U-⑶T)将样品与芯片分离，这样便完成了样品的切片。完成样品切片后，需将样品提取出来。目前采用的样品提取方法为采用提取系统(Pickup系统),通过显微控制系统,将尖端为0. 2 0. 5 μ m的玻璃针靠近已制备好的样品，利用样品与针尖之间的静电力，使得样品吸附到玻璃针上，然后将样品放至直径为3cm的碳膜铜网上。然而，在吸附的过程中，可能会出现如下问题I.玻璃针的静电不足；2.聚焦离子束制备透镜样品时，没有做好U-CUT切片，使得样品与芯片没有完全分离。以上问题会导致样品平躺在制备时留下的槽的底部，使得玻璃针无法靠近，从而无法将其提取出来，最终导致样品提取失败。因此，有必要对现有的样品提取方法进行改进，以提高FIB透射电镜样品提取的成功率。

发明内容
本发明的目的在于提供一种提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，以提高聚焦离子束制备的透射电镜样品提取的成功率。为解决上述问题，本发明提出一种提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，在样品提取的过程中，当样品平躺在制样时留下的槽的底部时，在芯片下垫一可调角度的垫片，使其成一定角度，再使用玻璃针将样品吸附至玻璃针的针尖上，并转移至一样品载体上。可选的，所述垫片包括底板、转轴及支撑件，所述底板的一侧连接至所述转轴上，其另ー侧可绕所述转轴转动，所述支撑件支撑并固定底板，使底板与水平面之间的角度在一定的范围内可调。可选的，所述使用玻璃针将样品吸附至玻璃针的针尖上是指将玻璃针靠近样品，利用样品与玻璃针的针尖之间的静电力，使得样品吸附到玻璃针的针尖上。可选的，所述玻璃针的尖端的直径为O. 2^0. 5 μ m。
可选的，所述样品载体为碳膜铜网。可选的，所述碳膜铜网的直径为3cm。可选的，所述底板与水平面之间的角度范围为5 30度。与现有技术相比，本发明提供的提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法在样品提取的过程中，当样品平躺在制样时留下的槽的底部时，在芯片下垫一可调角度的垫片，使其成一定角度，再使用玻璃针将样品吸附至玻璃针的针尖上，并转移至一祥品载体上；从而避免了样品由于平躺在制备时留下的槽的底部而导致样品提取的失败，提高了样品提取的成功率，降低了成本，且简单易操作。


图I为本发明实施例提供的垫片的结构示意图；图2为本发明实施例提供的芯片位于垫片上的示意图；图3为本发明实施例提供的碳膜铜网的结构示意图。
具体实施例方式以下结合附图和具体实施例对本发明提出的提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法作进ー步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用于方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。本发明的核心思想在于，提供一种提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，该方法在样品提取的过程中，当样品平躺在制样时留下的槽的底部时，在芯片下垫一可调角度的垫片，使其成一定角度，再使用玻璃针将样品吸附至玻璃针的针尖上，并转移至一样品载体上；从而避免了样品由于平躺在制备时留下的槽的底部而导致样品提取的失败，提高了样品提取的成功率，降低了成本，且简单易操作。本发明实施例提供的提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法为在样品提取的过程中，当样品平躺在制样时留下的槽的底部时，在芯片下垫一可调角度的垫片，使其成一定角度，再使用玻璃针将样品吸附至玻璃针的针尖上，并转移至一样品载体上。当然，当样品处于正常位置时，可直接采用提取系统(Pickup系统)，在显微控制系统的控制下，将玻璃针靠近已制备好的样品，利用样品与玻璃针的针尖之间的静电力，使得样品吸附到第一玻璃针上。请參考图I及图2，其中，图I为本发明实施例提供的垫片的结构示意图，图2为本发明实施例提供的芯片位于垫片上的示意图，如图I及图2所示，本发明实施例提供的所述垫片包括底板101、转轴102及支撑件103，所述底板101的一侧连接至所述转轴102上，其另ー侧可绕所述转轴102转动，所述支撑件103支撑并固定所述底板101，使底板101与水平面之间的角度在一定的范围内可调；具体地，在本发明实施例中，所述垫片放置在水平上，所述底板101通过所述支撑件103支撑在水平面上，并与水平面成一定角度，所述芯片200放置于所述底板101上，因此，所述芯片200相对于水平面也成一定角度，从而可方便玻璃针靠近所述样品；进ー步地，所述使用玻璃针将样品吸附至玻璃针的针尖上是指将玻璃针靠近样品，利用样品与玻璃针的针尖之间的静电力，使得样品吸附到玻璃针的针尖上。进ー步地，所述玻璃针的尖端的直径为O. 2^0. 5 μ m。进ー步地，所述样品载体为碳膜铜网，如图3所示；且所述碳膜铜网的直径为3cm。进ー步地，所述底板与水平面之间的角度范围为5 30度。综上所述，本发明提供了一种提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，该方法在样品提取的过程中，当样品平躺在制样时留下的槽的底部时，在芯片下垫一可调角度的垫片，使其成一定角度，再使用玻璃针将样品吸附至玻璃针的针尖上，并转移至一样品载体上；从而避免了样品由于平躺在制备时留下的槽的底部而导致样品提取的失败，提高了样品提取的成功率，降低了成本，且简单易操作。显然，本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求
1.一种提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，其特征在于，在样品提取的过程中，当样品平躺在制样时留下的槽的底部时，在芯片下垫一可调角度的垫片，使其成一定角度，再使用玻璃针将样品吸附至玻璃针的针尖上，并转移至一样品载体上。
2.如权利要求I所述的提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，其特征在于，所述垫片包括底板、转轴及支撑件，所述底板的一侧连接至所述转轴上，其另ー侧可绕所述转轴转动，所述支撑件支撑并固定所述底板，使底板与水平面之间的角度在一定的范围内可调。
3.如权利要求I所述的提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，其特征在于，所述使用玻璃针将样品吸附至玻璃针的针尖上是指将玻璃针靠近样品，利用样品与玻璃针的针尖之间的静电力，使得样品吸附到玻璃针的针尖上。
4.如权利要求3所述的提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，其特征在于，所述玻璃针的尖端的直径为O. 2^0. 5 μ m。
5.如权利要求I所述的提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，其特征在于，所述样品载体为碳膜铜网。
6.如权利要求5所述的提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，其特征在于，所述碳膜铜网的直径为3cm。
7.如权利要求I所述的提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，其特征在于，所述底板与水平面之间的角度范围为5 30度。
全文摘要
本发明公开了一种提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，该方法在样品提取的过程中，当样品平躺在制样时留下的槽的底部时，在芯片下垫一可调角度的垫片，使其成一定角度，再使用玻璃针将样品吸附至玻璃针的针尖上，并转移至一样品载体上；从而避免了样品由于平躺在制备时留下的槽的底部而导致样品提取的失败，提高了样品提取的成功率，降低了成本，且简单易操作。
文档编号G01N23/22GK102749347SQ20121026462
公开日2012年10月24日 申请日期2012年7月27日 优先权日2012年7月27日
发明者王炯翀, 陈强, 高林, 高金德 申请人:上海华力微电子有限公司